專利名稱：一種帶有超純氨凈化器的連接管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于エ業(yè)氣體加工生產(chǎn)領(lǐng)域，具體是ー種帶有超純氨凈化器的連接管。
技術(shù)背景超純氨在電子產(chǎn)品加工領(lǐng)域具有很重要的應(yīng)用，如半導(dǎo)體芯片、IXD/LED液晶顯示屏和平板顯示設(shè)備等的制造過程中，需要使用大量的超純氨，在這些過程中，要求氨的純度要足夠高，在沉積膜中即使是痕量的雜質(zhì)，也會導(dǎo)致膜品質(zhì)和性能的下降，如氧雜質(zhì)會造成晶格欲陷，最終導(dǎo)致器件報廢。然而，在氨氣原料的生產(chǎn)過程中，即使制氨エ廠能夠把氨提純到足夠的純度，由于在充裝、儲存、運輸和使用等環(huán)節(jié)，超純氨都存在被污染的可能，因此就有必要采取措施使確保進入使用氨氣使用系統(tǒng)的超純氨純度免遭污染。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的技術(shù)目的是提供一種簡單、方便的裝置解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。本實用新型的技術(shù)方案是一種帶有超純氨凈化器的連接管，其特征在干，其設(shè)置于氨氣原料管路與氨氣使用設(shè)備的氨氣進ロ管路之間，包括分別與氨氣原料管路、氨氣使用設(shè)備的進ロ管路連接的進ロ管口和出口管ロ，所述進ロ管口和出口管ロ之間設(shè)有氨氣凈化系統(tǒng)。進ー步的技術(shù)方案包括在所述進ロ管ロ上設(shè)有控制管路啟閉的電磁閥。所述凈化系統(tǒng)包括脫氧單元和除水単元。本裝置在使用時，一端連接氨氣原料管路，另一端連接氨氣使用設(shè)備，使氨氣原料通過所述浄化器再進入氨氣使用設(shè)備，用于去除氨氣原料在充裝、儲存、運輸和之前的使用環(huán)節(jié)中可能產(chǎn)生的雜質(zhì)污染，有效保障了后續(xù)エ藝的安全進行和產(chǎn)品質(zhì)量，提高了產(chǎn)品的良品率，避免了不必要的損失，并且本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、使用方便。

圖I是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為了闡明本實用新型的技術(shù)方案及技術(shù)目的，
以下結(jié)合附圖及具體實施方式
對本實用新型做進ー步的介紹。如圖I所示，一種帶有超純氨凈化器的連接管，兩端分別為進ロ管ロ I和出口管ロ 2，使用時，將ー端的進ロ管ロ I連接在氨氣原料管路輸出管路上，將另一端的出口管ロ 2連接在氨氣使用設(shè)備的氨氣輸入進ロ管路上，所述進ロ管ロ I和出口管ロ 2上均設(shè)有密封裝置。所述進ロ管ロ I和出口管ロ 2之間設(shè)有氨氣凈化系統(tǒng)3，所述凈化系統(tǒng)3包括脫氧單元和除水単元，用于凈化進入氨氣使用設(shè)備的氨氣原料中的02、H20雜質(zhì)。所述進ロ管ロ I上還設(shè)有控制管路啟閉的電磁閥4，當(dāng)原料氨氣污染超標(biāo)，超出所述凈化系統(tǒng)3的浄化能力范圍使，即控制電磁閥4關(guān)閉進ロ管路1，停止原料供給。以上已以較佳實施例公開了本實用新型，然其并非用以限制本實用新型，凡采用等同替換或者等效變換方式所獲得的技術(shù)方案，均落在本實用新型的保護范圍之內(nèi)?！?br> 權(quán)利要求1.一種帶有超純氨凈化器的連接管，其特征在干，其設(shè)置于氨氣原料管路與氨氣使用設(shè)備的氨氣進ロ管路之間，包括分別與氨氣原料管路、氨氣使用設(shè)備的氨氣進ロ連接的進ロ管口和出口管ロ，所述進ロ管口和出口管ロ之間設(shè)有氨氣凈化系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種帶有超純氨凈化器的連接管，其特征在于，在所述進ロ管ロ上設(shè)有控制管路啟閉的電磁閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的ー種帶有帶有超純氨凈化器的連接管，其特征在于，所述凈化系統(tǒng)包括脫氧單元和除水單元。
專利摘要本實用新型公開了一種帶有超純氨凈化器的連接管，設(shè)置于氨氣原料管路與氨氣使用設(shè)備的氨氣進口管路之間，包括分別與氨氣原料管路、氨氣使用設(shè)備的氨氣進口連接的進口管口和出口管口，所述進口管口和出口管口之間設(shè)有氨氣凈化系統(tǒng)。本實用新型通過在氨氣原料管路和氨氣使用設(shè)備之間預(yù)設(shè)凈化器，有效凈化即將進入原料使用設(shè)備的氨氣原料，去除氨氣原料在充裝、儲存、運輸?shù)拳h(huán)節(jié)中可能產(chǎn)生的雜質(zhì)污染，有效保障后續(xù)工藝的安全運行和產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量。
文檔編號C01C1/12GK202440317SQ201220038130
公開日2012年9月19日 申請日期2012年2月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月7日
發(fā)明者周旻, 陳軍 申請人:南京特種氣體廠有限公司