專利名稱：一種制氧機(jī)組的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及氣體制造設(shè)備，特別涉及一種制氧機(jī)組。
背景技術(shù)：
帶有制氬流程的制氧機(jī)，從工藝上可劃分為加氫制氬流程的制氧機(jī)和無氫制氬流 程的制氧機(jī)兩種。加氫制氬流程的制氧機(jī)是國內(nèi)制氧機(jī)第四、五代產(chǎn)品，其結(jié)構(gòu)一般為篩板 塔結(jié)構(gòu)；而無氫制氬流程的制氧機(jī)是第六代產(chǎn)品，工藝先進(jìn)，為填料塔結(jié)構(gòu)。這兩種類型的 產(chǎn)品也是目前國內(nèi)應(yīng)用最為廣泛的產(chǎn)品。就加氫制氬制氧機(jī)而言，由于配套制氫設(shè)備的電解槽耗電量大，一年電費(fèi)可達(dá)60 萬元以上(電解槽耗電大小與制氫量大小相關(guān))，且制氫安全系數(shù)低，極易發(fā)生爆炸，所以 很多企業(yè)都將這部分功能閑置下來，白白浪費(fèi)了制氧機(jī)的氬資源。而無氫制氬制氧機(jī)雖然 沒有這個問題，但使用過程中發(fā)現(xiàn)，粗氬氣的設(shè)計(jì)流量偏低，而氬餾份的含氬率有限，使得 設(shè)備未能充分發(fā)揮其生產(chǎn)能力。

實(shí)用新型內(nèi)容針對上述問題，本實(shí)用新型提供了一種制氧機(jī)組，利用加氫制氬制氧機(jī)與無氫制 氬制氧機(jī)的組合，將加氫制氬制氧機(jī)所產(chǎn)的粗氬氣或液化除氮后的粗液氬引入無氫制氬制 氧機(jī)，參加精餾提取，能夠提高制氧機(jī)的氬產(chǎn)量。本實(shí)用新型還提供了一種制氧機(jī)組，將兩個或兩個以上加氫制氬制氧機(jī)組合，前 端加氫制氬制氧機(jī)的制氬流程中未經(jīng)加氫除氧的粗氬氣，引入尾端加氫制氬制氧機(jī)經(jīng)共 同壓縮引致氬純化器中除氧、經(jīng)板式換熱器換熱為低溫進(jìn)入尾端加氫制氧機(jī)的精氬塔進(jìn)行 氮、氬分離得到純液氬。從而減少制氫站，降低費(fèi)用。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是—種制氧機(jī)組，包括具有加氫制氬流程的第一制氧機(jī)和具有無氫制氬流程的第二 制氧機(jī)，自所述第一制氧機(jī)輸出的未經(jīng)加氫除氧的粗氬氣或液化除氮后的粗液氬，通過液 體和氣體管道輸入至所述第二制氧機(jī)的粗氬二塔；由所述第二制氧機(jī)的粗氬二塔第二次氧、氬分離得到的粗氬氣輸入至所述第二制 氧機(jī)的粗氬冷凝器進(jìn)行換熱冷凝部分液化并回流；自所述第二制氧機(jī)的粗氬冷凝器輸出的未液化低溫粗氣氬輸入至所述第二制氧 機(jī)的精氬塔進(jìn)行精餾實(shí)現(xiàn)氮、氬分離，并由所述第二制氧機(jī)的精氬塔底部輸出純液氬。優(yōu)選地，所述液體和氣體管道中進(jìn)一步包括液體和氣體儲存裝置。還提供了一種制氧機(jī)組，包括順序連接的至少兩個具有加氫制氬流程的第一制氧 機(jī)，自位于前端的所述第一制氧機(jī)輸出的未經(jīng)加氫除氧的粗氣氬，通過氣體管道輸入 至位于后端的第一制氧機(jī)粗氬壓縮機(jī)的的吸入端，匯同位于后端的所述第一制氧機(jī)的粗氣氬經(jīng)共同壓縮后輸入至氬純化器，進(jìn)行干燥和冷卻；由所述位于后端的第一制氧機(jī)的氬純化器輸出的粗氣氬輸入至所述位于后端的第一制氧機(jī)的精氬塔進(jìn)行精餾除氮，并由所述位于后端的第一制氧機(jī)的精氬塔底部輸出除 氮后的粗液氬。優(yōu)選地，所述液體和氣體管道中進(jìn)一步包括液體和氣體儲存裝置。優(yōu)選地，所述制氧機(jī)組進(jìn)一步包括具有無氫制氬流程的第二制氧機(jī)，自所述位于前端和位于后端第一制氧機(jī)輸出的未經(jīng)加氫除氧的粗氬氣或液化除 氮后的粗液氬，通過第二液體和氣體管道輸入至所述第二制氧機(jī)的粗氬二塔和所述第二制 氧機(jī)的粗氬匯合；由所述第二制氧機(jī)的粗氬二塔第二次氧、氬分離得到的粗氬輸入至所述第二制氧 機(jī)的粗氬二塔冷凝器部分液化回流、未液化的部分低溫粗氬氣輸出；自所述第二制氧機(jī)的粗氬冷凝器輸出的低溫粗氬氣輸入至所述第二制氧機(jī)的精 氬塔進(jìn)行精餾實(shí)現(xiàn)氮、氬分離，并由所述第二制氧機(jī)的精氬塔底部輸出純液氬。優(yōu)選地，進(jìn)一步包括氬液化器，自所述第二制氧機(jī)的粗氬冷凝器輸出的低溫粗氬氣經(jīng)所述氬液化器液化后(或 不經(jīng)液化直接)輸入至所述第二制氧機(jī)的精氬塔進(jìn)行精餾。本實(shí)用新型還提供了一種制氧機(jī)組，包括順序連接的至少兩個具有無氫制氬流程 的第二制氧機(jī)，自位于前端的所述第二制氧機(jī)精氬塔輸出的含氧> IOPPm的不合格粗液 氬，通過液體管道輸入至位于后端的所述第二制氧機(jī)的粗氬二塔進(jìn)行精餾除氧，自所述位于前端的第二制氧機(jī)的氬液化器底部輸出的含氧> IOPPm未除氮的粗 液氬，通過液體管道輸入至所述位于后端的第二制氧機(jī)的粗氬二塔底部進(jìn)行精餾除氧，由所述位于后端的第二制氧機(jī)粗氬二塔輸出的含氧< lOPPm、未除氮的粗氬輸入 至所述位于后端的第二制氧機(jī)的精氬塔進(jìn)行精餾除氮，并由第二制氧機(jī)精氬塔底部輸出的 純液氬。優(yōu)選地，所述液體管道中進(jìn)一步包括液體儲存裝置和液體加壓裝置。優(yōu)選地，所述液體管道可與所述位于前端的第二制氧機(jī)粗氬二塔的任一粗氬管道 連接。由以上技術(shù)方案可知，本實(shí)用新型的制氧機(jī)組，通過將加氫制氬制氧機(jī)和無氫制 氬制氧機(jī)、或者至少兩個加氫制氬制氧機(jī)，通過液體、氣體管道以及液體、氣體儲備裝置組 合連接起來，使加氫制氬制氧機(jī)中未經(jīng)加氫除氧的粗氬氣或液化除氮后的粗氬，輸入至無 氫制氬制氧機(jī)或另一臺加氫制氬制氧機(jī)的氬純化器進(jìn)行加氫除氧，并進(jìn)一步到精氬塔精餾 除氮提純后，得到純液氬。本實(shí)用新型可至少節(jié)省一臺制氫站，適用于對現(xiàn)有加氫制氬制氧 機(jī)和無氫制氬制氧機(jī)的改造，提供制氧機(jī)的氬產(chǎn)量，降低制氬成本。

圖1是本實(shí)用新型的制氧機(jī)組的第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型的制氧機(jī)組的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實(shí)用新型的制氧機(jī)組的第三實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的目的在于提供一種制氧機(jī)組，利用加氫制氬制氧機(jī)與無氫制氬制氧 機(jī)的組合，或者兩個及兩個以上加氫制氬制氧機(jī)的組合，將加氫制氬制氧機(jī)中白白放掉的 粗氬進(jìn)行氧、氬分離，并進(jìn)一步精餾提取，從而得到純液氬，能夠提高制氧機(jī)的氬產(chǎn)量，并節(jié) 省至少一臺制氫站。為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下參照附圖并舉實(shí)施 例，對本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。圖1是本實(shí)用新型的制氧機(jī)組的第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本實(shí)用 新型的制氧機(jī)組，包括具有加氫制氬流程的第一制氧機(jī)101和具有無氫制氬流程的第二制 氧機(jī)102。從第一制氧機(jī)101的分餾塔上塔5，將8 12%、含氮量小于0. 06%的氬餾份氣 體，通過管1輸入至粗氬塔3，經(jīng)冷凝器4液化后的餾份經(jīng)管2回到分餾塔上塔5，同時(shí)氬餾 份經(jīng)過精餾濃縮為含氬> 98%的粗氬氣從管6輸出，進(jìn)入氬氣壓縮機(jī)7壓縮。其中氬氣壓縮機(jī)7的進(jìn)氣壓力為彡O.OOlMPa，排氣壓力為彡0. 13MPa。經(jīng)過氬氣壓縮機(jī)7壓縮的粗氬氣進(jìn)入工藝氬換熱器與低溫氣氮和精氬塔所排出 的廢氣換熱，進(jìn)入精氬塔8最底部工藝氬容器，與工藝氮換熱和精氬塔8中的純液氬換熱后 冷凝為液體，冷凝后的粗液氬從精氬塔最底部工藝氬容器底部輸出，進(jìn)入精氬塔8參與精 餾，使液氬中的氮組份分離從精氬冷凝器頂部作為廢氣排出，純度較高的氣氬從精氬冷凝 器冷凝又回到粗氬塔8底部，從而在精氬塔8底部得到除氮后含量< 3%氧的液氬半成品。自第一制氧機(jī)101輸出的液化除氮后的液氬半成品或未經(jīng)加氫除氧、除氮的粗氬 氣，通過液體和氣體管道10輸入至第二制氧機(jī)102的粗氬塔11底部，匯同第二制氧機(jī)102 的粗氬塔12的粗氬，共同在粗氬塔11進(jìn)行精餾除氧。由粗氬塔11第二次氧、氬分離得到的粗氬氣輸入至第二制氧機(jī)102的粗氬冷凝器 13進(jìn)行換熱冷凝，部分冷凝液化作為粗氬塔11的回流液，未液化含氧< IOppm的低溫粗氬 氣。粗液氬經(jīng)管道14回流至粗氬塔11，粗氬氣經(jīng)管道15導(dǎo)入液化器16液化(或直接進(jìn)入 精氬塔)。自粗氬液化器16輸出的液氬經(jīng)管道輸入至精氬塔18進(jìn)行精餾除氮，并由精氬塔 18底部輸出純液氬。優(yōu)選地，液體和氣體管道10中可進(jìn)一步包括用于儲存粗液氬和粗氬氣液體和氣 體儲存裝置。圖2是本實(shí)用新型的制氧機(jī)組的另一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本實(shí) 用新型的制氧機(jī)組包括具有順序連接的加氫制氬流程的第一制氧機(jī)201和202，其中位于 前端的第一制氧機(jī)201的氧流量為> 2000m3/h，位于后端的第一制氧機(jī)202的氧流量為 彡 3000m3A ο自第一制氧機(jī)201輸出的未經(jīng)加氫除氧的粗氬氣或液氬，通過氣體管道輸入至第 一制氧機(jī)202的粗氬壓縮機(jī)吸入端，；由第一制氧機(jī)202的粗氬塔第一次氧、氬分離得到的粗氬氣輸入粗氬壓縮機(jī)吸入 端，匯同來自第一制氧機(jī)201的粗氬塔的氣粗氬共同壓縮。至第一制氧機(jī)202的氬純化器，進(jìn)行除氧、冷凝、干燥和冷卻；[0045]由第一制氧機(jī)202的氬純化器輸出的氣粗氬輸入至第一制氧機(jī)202的精氬塔進(jìn)行 精餾，并由第一制氧機(jī)202的精氬塔底部輸出純液氬。優(yōu)選地，液體和氣體管道中可進(jìn)一步包括用于儲存粗液氬和粗氬氣液體和氣體儲
存裝置。 本實(shí)用新型的制氧機(jī)組可進(jìn)一步包括具有無氫制氬流程的第二制氧機(jī)203。第一制氧機(jī)201的粗氬塔301上端的粗氬排放管道G_1與第一制氧機(jī)202的粗氬 塔302上端的粗氬排放管道G-2會合后，通過氬壓縮機(jī)壓縮，沿管道G-3進(jìn)入第一制氧機(jī) 202的精氬塔303進(jìn)行精餾、冷凝，所得的液氬半成品經(jīng)過管道G-4與第二制氧機(jī)203的粗 氬塔304連接，匯同第二制氧機(jī)203的粗氬塔304所得的粗氬，共同進(jìn)入第二制氧機(jī)203的 粗氬塔305，進(jìn)行氧、氬分離，部分經(jīng)過冷凝器進(jìn)行換熱冷凝后作為305的回流液，未液化的 低溫粗氬(含氧< IOppm)進(jìn)入氬液化器液化(或不經(jīng)液化直接)進(jìn)入精氬塔306精餾除 第二制氧機(jī)203粗氬中的氮組分，并在精氬塔306底部得到純液氬。圖3是本實(shí)用新型的制氧機(jī)組的第三實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，本實(shí)用 新型的制氧機(jī)組包括具有順序連接的無氫制氬流程的第二制氧機(jī)401和402。自位于前端的第二制氧機(jī)401的精氬塔428底部輸出的含氧> IOppm不合格液 氬，通過液體管道412輸入至位于后端的第二制氧機(jī)402的粗氬二塔421，與第二制氧機(jī) 402所產(chǎn)的粗氬共同進(jìn)行精餾除氧，自所述位于前端的第二制氧機(jī)401的氬液化器426輸出的含氧> IOppm未除氮不 合格粗液氬，通過液體管道412輸入至位于后端的第二制氧機(jī)402的粗氬二塔421，與第二 制氧機(jī)402所產(chǎn)的粗氬共同進(jìn)行精餾除氧，由位于后端的第二制氧機(jī)402的粗氬二塔421輸出的除氧后的粗氬輸入至位于后 端的第二制氧機(jī)402的精氬塔423進(jìn)行精餾除氮，并由第二制氧機(jī)402的精氬塔423底部 輸出的純液氬。優(yōu)選地，液體管道412中可進(jìn)一步包括液體儲存裝置和液體加壓裝置。優(yōu)選地，液體管道412可與位于前端的第二制氧機(jī)401的粗氬一塔424和粗氬二 塔422的任一粗液氬管道連接。從以上方案可知，本實(shí)用新型的制氧機(jī)組通過將加氫制氬制氧機(jī)和無氫制氬制氧 機(jī)、或者至少兩個加氫制氬制氧機(jī)，通過液體、氣體管道以及液體、氣體儲備裝置組合連接 起來，使加氫制氬制氧機(jī)中未經(jīng)加氫除氧的粗氬氣或粗液氬，輸入至無氫制氬制氧機(jī)或另 一臺加氫制氬制氧機(jī)的粗氬塔進(jìn)行氧、氬分離，并進(jìn)一步精餾提純除氮后，得到純液氬。本實(shí)用新型的加氫制氬制氧機(jī)和無氫制氬制氧機(jī)組合的制氧機(jī)組能夠節(jié)省制氫 站及塔外加氫脫氧的輔助設(shè)備，每班可減少至少兩名操作工，降低制氫的成本和動力消耗。 另外，不需要另外加氫，也提高了制氬的安全性。這種制氧機(jī)的組合方式與單機(jī)生產(chǎn)相比， 提高了產(chǎn)量，縮短了生產(chǎn)周期，且維修和故障時(shí)工況恢復(fù)快。本實(shí)用新型的兩個無氫制氬制氧機(jī)組合的一種制氧機(jī)組在任意一臺制氧機(jī)的任 何部位發(fā)生故障時(shí)，另外一臺制氧機(jī)的生產(chǎn)都不會受到影響。同時(shí)，該制氧機(jī)組能夠在任意 一臺制氧機(jī)氬系統(tǒng)設(shè)備故障(包括氬系統(tǒng)所有元件設(shè)備，如氬塔本體、冷凝器、管道、閥門、 泵、儀表元件)時(shí)，只需停運(yùn)該臺制氧機(jī)發(fā)生故障的設(shè)備及其后序制氧系統(tǒng)，同時(shí)將有故障 的制氧機(jī)的氬餾份氣體、或粗氬氣、或者粗液氬通過氣體或液體管道引入到制氧機(jī)組中的另一臺制氧機(jī)氬系統(tǒng)相應(yīng)設(shè)備中，使原本因氬系統(tǒng)設(shè)備檢修而未提取的氬餾分氣體、或粗 氬得到精餾、提純并以成品送出，節(jié)約了氬資源，增加經(jīng)濟(jì)效益。另外，這種制氧機(jī)組在所述 第二制氧機(jī)檢修和處理故障后恢復(fù)氬生產(chǎn)時(shí)，可以提前將第一制氧機(jī)的粗液引入至第二制 氧機(jī)的粗氬塔，提高第二制氧機(jī)粗氬純度，快速恢復(fù)氬工況。本實(shí)用新型的兩個加氫制氬制氧機(jī)組合的一種制氧機(jī)組能夠節(jié)省一套制氫站降 低制氫成本。另外，這種制氧機(jī)組能在所述第二制氧機(jī)檢修和處理故障后恢復(fù)氬生產(chǎn)時(shí)，可 以提前將第一制氧機(jī)的粗氬氣或液化除氮后的液氬引入至第二制氧機(jī)的氧純化器中進(jìn)行 除氧、冷卻和干燥，并輸送至第二制氧機(jī)的氬塔，達(dá)到快速恢復(fù)工況，提前送氬的目的。本實(shí) 用新型的多個加氫制氬制氧機(jī)和無氫制氬制氧機(jī)組合的制氧機(jī)組能夠至少節(jié)省一臺制氫 站，大大節(jié)約了成本。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本 實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型 保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種制氧機(jī)組，其特征在于，包括具有加氫制氬流程的第一制氧機(jī)和具有無氫制氬流程的第二制氧機(jī)，自所述第一制氧機(jī)輸出的未經(jīng)加氫除氧的粗氬氣或液化除氮后的粗液氬，通過液體和氣體管道輸入至所述第二制氧機(jī)的粗氬二塔；由所述第二制氧機(jī)的粗氬二塔和所述第二制氧機(jī)的粗氬匯合，進(jìn)行第二次氧、氬分離得到的粗氬氣輸入至所述第二制氧機(jī)的粗氬冷凝器進(jìn)行換熱冷凝部分液化并回流；自所述第二制氧機(jī)的粗氬冷凝器輸出的未液化低溫粗氣氬輸入至所述第二制氧機(jī)的精氬塔進(jìn)行精餾實(shí)現(xiàn)氮、氬分離，并由所述第二制氧機(jī)的精氬塔底部輸出純液氬。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制氧機(jī)組，其特征在于，所述液體和氣體管道中進(jìn)一步包括 液體和氣體儲存裝置。
3.一種制氧機(jī)組，其特征在于，包括順序連接的至少兩個具有加氫制氬流程的第一制氧機(jī)，自位于前端的所述第一制氧機(jī)輸出的未經(jīng)加氫除氧的粗氣氬，通過氣體管道輸入至位 于后端的第一制氧機(jī)粗氬壓縮機(jī)的的吸入端，匯同位于前端的所述第一制氧機(jī)的粗氣氬經(jīng) 共同壓縮后輸入至氬純化器，進(jìn)行干燥和冷卻；由所述位于后端的第一制氧機(jī)的氬純化器輸出的粗氣氬輸入至所述位于后端的第一 制氧機(jī)的精氬塔進(jìn)行精餾除氮，并由所述位于后端的第一制氧機(jī)的精氬塔底部輸出除氮后 的粗液氬。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制氧機(jī)組，其特征在于，所述液體和氣體管道中進(jìn)一步包括 液體和氣體儲存裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制氧機(jī)組，其特征在于，所述制氧機(jī)組進(jìn)一步包括具有無氫 制氬流程的第二制氧機(jī)，自所述位于前端和位于后端第一制氧機(jī)輸出的未經(jīng)加氫除氧的粗氬氣或液化除氮后 的粗液氬，通過第二液體和氣體管道輸入至所述第二制氧機(jī)的粗氬二塔和所述第二制氧機(jī) 的粗氬匯合；由所述第二制氧機(jī)的粗氬二塔進(jìn)行第二次氧、氬分離得到的粗氬輸入至所述第二制氧 機(jī)的粗氬二塔氬冷凝器，部分液化回流、未液化的部分低溫粗氬氣輸出；自所述第二制氧機(jī)的粗氬冷凝器輸出的低溫粗氬氣輸入至所述第二制氧機(jī)的精氬塔 進(jìn)行精餾實(shí)現(xiàn)氮、氬分離，并由所述第二制氧機(jī)的精氬塔底部輸出純液氬。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制氧機(jī)組，其特征在于，進(jìn)一步包括氬液化器，自所述第二制氧機(jī)的粗氬冷凝器輸出的低溫粗氬氣經(jīng)所述氬液化器液化后輸入至所 述第二制氧機(jī)的精氬塔進(jìn)行精餾。
7.一種制氧機(jī)組，其特征在于，包括順序連接的至少兩個具有無氫制氬流程的第二制氧機(jī)，自位于前端的所述第二制 氧機(jī)精氬塔輸出的含氧> IOPPm的不合格粗液氬，通過液體管道輸入至位于后端的所述第 二制氧機(jī)的粗氬二塔進(jìn)行精餾除氧，自所述位于前端的第二制氧機(jī)的氬液化器底部輸出的含氧> IOPPm未除氮的粗液氬， 通過液體管道輸入至所述位于后端的第二制氧機(jī)的粗氬二塔進(jìn)行精餾除氧，由所述位于后端的第二制氧機(jī)粗氬二塔輸出的含氧< lOPPm、未除氮的粗氬輸入至所述位于后端的第二制氧機(jī)的精氬塔進(jìn)行精餾除氮，并由第二制氧機(jī)精氬塔底部輸出的純液 Μ,ο
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制氧機(jī)組，其特征在于，所述液體管道中進(jìn)一步包括液體儲 存裝置和液體加壓裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制氧機(jī)組，其特征在于，所述液體管道可與所述位于前端的 第二制氧機(jī)粗氬二塔的任一粗氬管道連接。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種制氧機(jī)組，將加氫制氬制氧機(jī)和無氫制氬制氧機(jī)、至少兩個無氫制氬制氧機(jī)、或者至少兩個加氫制氬制氧機(jī)，通過液體、氣體管道以及液體、氣體儲備裝置組合連接起來，使加氫制氬制氧機(jī)中未經(jīng)加氫除氧的粗氬氣或液化除氮后的粗氬，輸入至無氫制氬制氧機(jī)的粗氬塔二次除氧、精氬塔除氮后獲得純液氬，或輸入至另一臺加氫制氬制氧機(jī)經(jīng)共同壓縮引致粗氬純化器進(jìn)行加氫除氧、經(jīng)板式換熱器換熱為低溫后進(jìn)入精氬塔進(jìn)行氮、氬分離得到純液氬。本實(shí)用新型可至少節(jié)省一臺制氫站，適用于對現(xiàn)有加氫制氬制氧機(jī)和無氫制氬制氧機(jī)的改造，提高制氧機(jī)的氬產(chǎn)量，降低制氬成本。
文檔編號C01B13/02GK201729660SQ201020259490
公開日2011年2月2日 申請日期2010年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月12日
發(fā)明者杜金明 申請人:杜金明