一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及熱處理裝置領(lǐng)域，具體為一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空退火箱普通的循環(huán)水冷卻方式降溫速度過(guò)慢，無(wú)法滿(mǎn)足該冷卻要求，在高溫退火過(guò)程中，支架容易被氧化，發(fā)黃，對(duì)晶振的品質(zhì)、穩(wěn)定性造成了二次影響，加裝真空系統(tǒng)，在高真空的環(huán)境下對(duì)支架進(jìn)行高溫退火，可以有效的防止支架被氧化，最終成功的消除了機(jī)械應(yīng)力，保障了晶振的品質(zhì)，但真空加工下還是應(yīng)密封度和溫度等原因產(chǎn)生真空環(huán)境需要大量的限制條件，從而造成的成本上升，所以我們需要加入其他氣體排出箱內(nèi)的空氣。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的是設(shè)計(jì)一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置，能防止氮?dú)獾燃庸さ亩栊詺怏w泄露和隨意排放。
[0004]本實(shí)用新型是通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置，由氮?dú)鈨?chǔ)存裝置、解壓裝置、調(diào)壓排送裝置、排真空回收和發(fā)散裝置組成；其中所述氮?dú)鈨?chǔ)存裝置串聯(lián)到解壓裝置，調(diào)壓排送裝置設(shè)置在真空箱外，通過(guò)內(nèi)排送管連接真空箱內(nèi)的排真空回收和發(fā)散裝置，所述解壓裝置由設(shè)置在氮?dú)馑蜌夤苋肟诘倪^(guò)濾閥和送氣減壓閥組成，后設(shè)置的輸氣管連接到調(diào)壓排送裝置，調(diào)壓排送裝置由T型輸氣管和設(shè)置在T型輸氣管左邊的壓力栗和右邊的適壓栗組成，適壓栗通過(guò)內(nèi)排送管連接到真空箱內(nèi)的回收和排真空裝置上，所述排真空回收和發(fā)散裝置至少由五組排真空回收和發(fā)散栗，其中至少2組為氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗，2組為空氣排真空回收和發(fā)散栗，1組為空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗，所述排真空回收和發(fā)散栗的所有進(jìn)出氣管都串聯(lián)在主抽氣管和主排放管上；所述氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗由調(diào)壓栗、解壓栗、氮?dú)膺^(guò)濾裝置、氮?dú)鈨?chǔ)存筒組成，所述空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗由空氣調(diào)壓栗、空氣解壓栗，空氣過(guò)濾裝置、空氣排出栗組成。
[0005]作為優(yōu)選所述氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗串聯(lián)氮?dú)鈨?chǔ)存筒。
[0006]作為優(yōu)選所述空氣排真空回收和發(fā)散栗串聯(lián)空氣排出栗。
[0007]作為優(yōu)選所述送氣減壓閥還設(shè)置有壓力計(jì)。
[0008]作為優(yōu)選所述空氣排真空回收和發(fā)散栗的進(jìn)氣管上設(shè)置有自適應(yīng)壓力進(jìn)出閥門(mén)。
[0009]作為優(yōu)選所述氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗的調(diào)壓栗和解壓栗之間還設(shè)置有一對(duì)速率控制電子閥在進(jìn)氮?dú)夤芎统龅獨(dú)夤苌稀?br>[0010]本實(shí)用新型與【背景技術(shù)】相比，具有的有益的效果是:克服了真空退火箱在抽真空后再排放氮?dú)馇闆r下會(huì)有一定的倒吸情況，同時(shí)進(jìn)行了氮?dú)饣厥眨挥妹看伍_(kāi)箱都有氮?dú)庑孤?，長(zhǎng)期積累1造成了氮?dú)饫速M(fèi)，2制作環(huán)境因?yàn)槭峭耆珶o(wú)塵的封閉環(huán)境較高，會(huì)造成制作場(chǎng)所氮?dú)夂吭龈邔?duì)人體造成不適。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型整體組合圖。
[0012]圖2為氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗圖。
[0013]圖3為空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面通過(guò)實(shí)施例，結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說(shuō)明:
[0015]如圖1所示一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置，由氮?dú)鈨?chǔ)存裝置1、解壓裝置
2、調(diào)壓排送裝置3、排真空回收和發(fā)散裝置4組成；其中所述氮?dú)鈨?chǔ)存裝置串聯(lián)到解壓裝置，調(diào)壓排送裝置設(shè)置在真空箱外，通過(guò)內(nèi)排送管連接真空箱內(nèi)的排真空回收和發(fā)散裝置，所述解壓裝置由設(shè)置在氮?dú)馑蜌夤苋肟?5的過(guò)濾閥6和送氣減壓閥7組成，后設(shè)置的輸氣管8連接到調(diào)壓排送裝置，調(diào)壓排送裝置由T型輸氣管9和設(shè)置在T型輸氣管左邊的壓力栗10和右邊的適壓栗11組成，適壓栗通過(guò)內(nèi)排送管12連接到真空箱內(nèi)的回收和排真空裝置上，所述排真空回收和發(fā)散裝置至少由五組排真空回收和發(fā)散栗13組成，其中至少2組為氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗14，2組為空氣排真空回收和發(fā)散栗15，1組為空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗16，所述排真空回收和發(fā)散栗的所有進(jìn)出氣管都串聯(lián)在主抽氣管17a和主排放管17b上；所述氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗由調(diào)壓栗18、解壓栗19、氮?dú)膺^(guò)濾裝置20、氮?dú)鈨?chǔ)存筒21組成，所述空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗由空氣調(diào)壓栗22、空氣解壓栗23，空氣過(guò)濾裝置24、空氣排出栗25組成。
[0016]作為優(yōu)選所述氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗串聯(lián)氮?dú)鈨?chǔ)存筒。
[0017]作為優(yōu)選所述空氣排真空回收和發(fā)散栗串聯(lián)空氣排出栗。
[0018]作為優(yōu)選所述送氣減壓閥還設(shè)置有壓力計(jì)26。
[0019]作為優(yōu)選所述空氣排真空回收和發(fā)散栗的進(jìn)氣管上設(shè)置有自適應(yīng)壓力進(jìn)出閥門(mén)27。
[0020]作為優(yōu)選所述氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗的調(diào)壓栗和解壓栗之間還設(shè)置有一對(duì)速率控制電子閥28在進(jìn)氮?dú)夤?9和出氮?dú)夤?0上。
[0021]真空退火箱的氮?dú)饫弥饕菍⒁旱湃肭?，將空氣抽空形成真空，并防止真空倒吸，并將液氮解壓排入真空箱?nèi)，本裝置能電子控制機(jī)械達(dá)到和克服倒吸，首先真空箱形成真空后解壓裝置解壓，氮?dú)夤迌?nèi)的氮?dú)忾_(kāi)始輸送，根據(jù)真空的壓力情況由調(diào)壓排送裝置進(jìn)行調(diào)壓排入真空箱，因?yàn)檎{(diào)壓后可以克服排不出氮?dú)饣蛘叩刮諝膺M(jìn)氮?dú)夤?，在制作過(guò)程完全后，調(diào)壓排送裝置增高壓力封閉氮?dú)夤懿慌欧诺獨(dú)猓獨(dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗開(kāi)始運(yùn)作，將真空退火箱的氮?dú)馕耄M(jìn)調(diào)壓和解壓后控制在安全壓力儲(chǔ)存進(jìn)氮?dú)鈨?chǔ)存筒內(nèi)，達(dá)到氮?dú)饣厥者^(guò)程，并在這個(gè)過(guò)程中還設(shè)置過(guò)濾裝置進(jìn)行過(guò)濾，以在逐漸積累后，再次排放的氮?dú)鈱⒂傻獨(dú)鈨?chǔ)存筒中排出，而不再由氮?dú)夤迌?nèi)排放。
[0022]本文中所描述的具體實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型精神作舉例說(shuō)明。本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類(lèi)似的方式替代，但并不會(huì)偏離本實(shí)用新型的精神或者超越所附權(quán)利要求書(shū)所定義的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置，由氮?dú)鈨?chǔ)存裝置(1)、解壓裝置(2)、調(diào)壓排送裝置(3)、排真空回收和發(fā)散裝置(4)組成；其中所述氮?dú)鈨?chǔ)存裝置串聯(lián)到解壓裝置，調(diào)壓排送裝置設(shè)置在真空箱外，通過(guò)內(nèi)排送管連接真空箱內(nèi)的排真空回收和發(fā)散裝置，所述解壓裝置由設(shè)置在氮?dú)馑蜌夤苋肟? 5 )的過(guò)濾閥(6 )和送氣減壓閥(7 )組成，后設(shè)置的輸氣管(8)連接到調(diào)壓排送裝置，調(diào)壓排送裝置由T型輸氣管(9)和設(shè)置在T型輸氣管左邊的壓力栗(10)和右邊的適壓栗(11)組成，適壓栗通過(guò)內(nèi)排送管(12)連接到真空箱內(nèi)的回收和排真空裝置上，所述排真空回收和發(fā)散裝置至少由五組排真空回收和發(fā)散栗(13)組成，其中至少2組為氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗(14)，2組為空氣排真空回收和發(fā)散栗(15)，1組為空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗(16)，所述排真空回收和發(fā)散栗的所有進(jìn)出氣管都串聯(lián)在主抽氣管(17a)和主排放管(17b)上；所述氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗由調(diào)壓栗(18)、解壓栗(19)、氮?dú)膺^(guò)濾裝置(20)、氮?dú)鈨?chǔ)存筒(21)組成，所述空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗由空氣調(diào)壓栗(22)、空氣解壓栗(23)，空氣過(guò)濾裝置(24)、空氣排出栗(25)組成。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置，其特征是:所述氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗串聯(lián)氮?dú)鈨?chǔ)存筒。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置，其特征是:所述空氣排真空回收和發(fā)散栗串聯(lián)空氣排出栗。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置，其特征是:所述送氣減壓閥還設(shè)置有壓力計(jì)(26)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置，其特征是:所述空氣排真空回收和發(fā)散栗的進(jìn)氣管上設(shè)置有自適應(yīng)壓力進(jìn)出閥門(mén)(27 )。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置，其特征是:所述氮?dú)馀耪婵栈厥蘸桶l(fā)散栗的調(diào)壓栗和解壓栗之間還設(shè)置有一對(duì)速率控制電子閥(28)在進(jìn)氮?dú)夤?29)和出氮?dú)夤?30)上。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及熱處理裝置領(lǐng)域，具體為一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置。本實(shí)用新型的目的是設(shè)計(jì)一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置，能防止氮?dú)獾燃庸さ亩栊詺怏w泄露和隨意排放。本實(shí)用新型是通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：一種真空退火箱的氮?dú)膺M(jìn)出安全裝置,由氮?dú)鈨?chǔ)存裝置、解壓裝置、調(diào)壓排送裝置、排真空回收和發(fā)散裝置組成；其中所述氮?dú)鈨?chǔ)存裝置串聯(lián)到解壓裝置，調(diào)壓排送裝置設(shè)置在真空箱外，通過(guò)內(nèi)排送管連接真空箱內(nèi)的排真空回收和發(fā)散裝置，所述解壓裝置由設(shè)置在氮?dú)馑蜌夤苋肟诘倪^(guò)濾閥和送氣減壓閥組成，后設(shè)置的輸氣管連接到調(diào)壓排送裝置，適壓泵通過(guò)內(nèi)排送管連接到真空箱內(nèi)的回收和排真空裝置上。
【IPC分類(lèi)】C21D1/26, C21D1/773
【公開(kāi)號(hào)】CN205077101
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520473436
【發(fā)明人】葉國(guó)萍, 湯海燕
【申請(qǐng)人】匯隆電子（金華）有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月9日
【申請(qǐng)日】2015年7月5日