專利名稱：內(nèi)置式磁控濺射源用冷卻水接頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于內(nèi)置式磁攔濺射源的冷卻水接頭。
目前常用的磁控濺射源冷卻水接頭為外置式，采用將橡皮管插在帶有倒齒的管接頭上，若該接頭隨磁控濺射靶一起置入真空室中，則會破壞真空環(huán)境，使設(shè)備無法運行。
本實用新型的發(fā)明目的在于提供一種真空室內(nèi)使用的內(nèi)置式磁控濺射源用冷卻水接頭。
本實用新型采用下述技術(shù)方案來實現(xiàn)其發(fā)明目的本實用新型由塑料錐形頭(1)、鎖緊頭(2)和進水頭(3)組成，在錐形塑料頭(1)的錐面上設(shè)有螺紋，在塑料錐形頭(1)上還設(shè)有凸緣(4)，在鎖緊頭(2)內(nèi)設(shè)有階梯通孔，其小孔直徑大于塑料錐形頭(1)的外徑且小于其凸緣(4)的外徑，在階梯通孔之大孔內(nèi)設(shè)有內(nèi)螺紋，在進水頭(3)的一端設(shè)有能與上述大孔內(nèi)螺紋相配合的外螺紋，并在該端面上設(shè)有凸環(huán)(5)，塑料錐形頭(1)與進水頭(3)通過鎖緊頭(2)固緊連接，在塑料錐形頭(1)和進水頭(3)的內(nèi)部分別設(shè)有能夠相通的水流孔(6)和(7)。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如下優(yōu)點本實用新型的塑料錐形頭具有良好的電絕緣性能，從而使本實用新型具有絕緣性能好的優(yōu)點；由于本實用新型采用了塑料錐形頭，尤其是采用尼龍等工程塑料錐形頭，使其在與磁控濺射源旋緊時能夠產(chǎn)生適度的變形，保證了真空密封；而涂覆在錐形面上的環(huán)氧樹脂進一步填補了螺紋連接部位的間隙，提高了密封性能。由于鎖緊頭的作用使進水頭的凸環(huán)，尤其是錐形凸環(huán)能夠緊緊壓入塑料錐形頭，實現(xiàn)了真空密封。另外，本實用新型適用于平面磁控濺射靶、園柱磁控濺靶及S槍，故具有適用面廣的優(yōu)點。


圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
下面對照附圖對本用新型的實施方案作一詳細描述本實用新型由塑料錐形頭(1)、鎖緊頭(2)和進水頭(3)組成，塑料錐形頭(1)可采用工程塑料錐形頭，尤其可以優(yōu)先采用尼龍、聚四氧乙烯、聚乙烯錐形頭，還可選用韌性和塑料性較好的工程塑料錐形頭，在本實施例中選擇尼龍錐形頭，尼龍錐形頭材料強度適中，在受力作用下能適度變形，因而可提高真空密封性能。在該錐形頭的錐面上設(shè)有螺紋，在本實施例中該螺紋采用管螺紋，在錐形頭上還設(shè)有凸緣(4)，在鎖緊頭(2)內(nèi)設(shè)有階梯通孔，其小孔直徑大于錐形頭(1)的外徑且小于其凸緣(4)的外徑，在階梯通孔之大孔內(nèi)設(shè)有內(nèi)螺紋，在進水頭(3)的一端設(shè)有能夠與上述大孔內(nèi)螺紋相配合的外螺紋，在進水頭(3)的外螺紋端的端面上設(shè)有凸環(huán)(5)，在本實施例中凸環(huán)(5)采用錐形凸環(huán)，進水頭采用硬質(zhì)材料制成，例如錐形頭(1)與進水頭(5)通過鎖緊頭(2)固緊連接，在錐形頭(1)和進水頭(5)的內(nèi)部分別設(shè)有能夠相通的水流孔(6)和(7)。在使用時，先將塑料錐形頭(1)套入鎖緊頭(2)；并在錐形頭(1)的螺紋部分涂敷一層環(huán)氧樹脂，然后用力將塑料錐形頭旋入濺射靶座(8)，通過塑料錐形頭的適度變形和固化后的環(huán)氧樹脂，填補錐形螺紋連接部分的間隙，以實現(xiàn)這個部位的真空密封。而塑料錐形頭(1)與進水頭(3)之間的密封則依靠鎖緊頭(2)的固緊，當(dāng)旋緊鎖緊頭(2)時，進水頭(3)的凸環(huán)會嵌入塑料錐形頭，從而實現(xiàn)真空密封。
權(quán)利要求1.一種內(nèi)置式磁控濺射源用冷卻水接頭，其特征在于該冷卻水接頭由塑料錐形頭(1)、鎖緊頭(2)和進水頭(3)組成，在塑料錐形頭(1)的錐面上設(shè)螺紋，在塑料錐形頭(1)的上還設(shè)有凸緣(4)，在鎖緊頭(2)內(nèi)設(shè)有階梯通孔，其小孔直徑大于塑料錐形頭(1)的外徑且小于其凸緣(4)的外徑，在階梯通孔之大孔內(nèi)設(shè)有內(nèi)螺紋，在進水頭(3)的一端設(shè)有能與上述大孔內(nèi)螺紋相配合的外螺紋，并在該端面上設(shè)有凸環(huán)(5)，塑料錐形頭(1)與進水頭(3)通過鎖緊頭(2)固緊連接，在塑料錐形頭(1)和進水頭(3)的內(nèi)部分別設(shè)有能夠相通的水流孔(6)和(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)置式磁控濺射源用冷卻水接頭，其特征在于塑料錐形頭(1)采用工程塑料錐形接頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的內(nèi)置式磁控濺射源用冷卻水接頭，其特征在于錐形頭(1)采用尼龍錐形頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的內(nèi)置式磁控濺射源用冷卻水接頭，其特征在于錐形頭(1)采用聚四氧乙烯錐形接頭。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的內(nèi)置式磁控濺射源用冷卻水接頭，其特征在于錐形頭(1)采用聚乙烯錐形接頭。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的內(nèi)置式磁控濺射源用冷卻水接頭，其特征在于凸環(huán)(5)為錐形凸環(huán)。
專利摘要本實用新型公開了一種內(nèi)置式磁控濺射源用冷卻水接頭，它由塑料錐形頭、鎖緊頭和進水頭組成，在塑料錐形頭的錐面上設(shè)有螺紋，在錐形頭上還設(shè)有凸緣，在鎖緊頭內(nèi)設(shè)階梯通孔，其小孔直徑大于錐形頭外徑且小于凸緣外徑，階梯孔之大孔內(nèi)設(shè)內(nèi)螺紋，在進水頭的一端設(shè)有與大孔內(nèi)螺紋相配的外螺紋，在該端面上設(shè)有凸環(huán)，錐形頭與進水頭通過鎖緊頭固緊連接，它們內(nèi)部分別設(shè)有相通水流孔，本實用新型具有絕緣性與真空密封性良好的優(yōu)點。
文檔編號C23C14/35GK2206792SQ9424222
公開日1995年9月6日 申請日期1994年7月16日 優(yōu)先權(quán)日1994年7月16日
發(fā)明者陳國平, 陳丹曄, 張浩康 申請人:東南大學(xué)