本技術(shù)涉及微波等離子體，具體而言，涉及一種分水器、樣品臺(tái)組件及mpcvd裝置。

背景技術(shù)：

1、微波等離子體化學(xué)氣相沉積法，是當(dāng)今制備高質(zhì)量金剛石膜的先進(jìn)方法，該方法需要用到微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置（以下簡(jiǎn)稱(chēng)mpcvd裝置），mpcvd裝置是將微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波經(jīng)波導(dǎo)傳輸系統(tǒng)導(dǎo)入反應(yīng)腔，并通入甲烷與氫氣的混合氣體，在微波的激勵(lì)下，反應(yīng)腔內(nèi)產(chǎn)生輝光放電，使反應(yīng)氣體的分子離化、產(chǎn)生等離子體，在樣品臺(tái)上沉積從而得到金剛石膜。

2、mpcvd裝置反應(yīng)腔內(nèi)的溫度非常高，而樣品臺(tái)組件長(zhǎng)時(shí)間置于該高溫環(huán)境中，如不及時(shí)有效的助其散熱降溫，勢(shì)必降低其使用壽命甚至損壞。

3、現(xiàn)有技術(shù)的樣品臺(tái)組件，其散熱水道錯(cuò)綜復(fù)雜（見(jiàn)圖1和圖2），不易加工制作，嚴(yán)重制約了mpcvd裝置的應(yīng)用前景。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的，在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種無(wú)需加工散熱水道的、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的分水器。

2、本實(shí)用新型的另一目的，在于提供了一種樣品臺(tái)組件，其采用了上述分水器。

3、本實(shí)用新型的又一目的，在于提供了一種mpcvd裝置，其采用了上述樣品臺(tái)組件。

4、本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

5、一種分水器，包括呈圓盤(pán)狀結(jié)構(gòu)的分水器本體，所述圓盤(pán)狀結(jié)構(gòu)的頂部設(shè)置有通孔，所述圓盤(pán)狀結(jié)構(gòu)的底部設(shè)置有連接部，所述連接部之間間隔設(shè)置并形成通道。

6、進(jìn)一步的，所述通道均勻設(shè)置。

7、進(jìn)一步的，所述通孔居中設(shè)置。

8、一種樣品臺(tái)組件，包括所述分水器，還包括底座和樣品臺(tái)，所述底座與樣品臺(tái)之間設(shè)置有空腔，所述分水器設(shè)置在底座與樣品臺(tái)之間，所述分水器將所述空腔分隔成第一空腔和第二空腔，所述第一空腔和第二空腔通過(guò)通道連通。

9、進(jìn)一步的，還包括與樣品臺(tái)連接的擴(kuò)展臺(tái)，所述擴(kuò)展臺(tái)與樣品臺(tái)之間設(shè)置有容納腔，所述樣品臺(tái)設(shè)置有孔洞，所述容納腔和第一空腔通過(guò)孔洞連通。

10、進(jìn)一步的，所述孔洞均勻設(shè)置。

11、一種mpcvd裝置，包括所述樣品臺(tái)組件。

12、進(jìn)一步的，所述第二空腔與冷卻介質(zhì)輸入端連接，所述第一空腔與冷卻介質(zhì)輸出端連接。

13、本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：

14、本實(shí)用新型的分水器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)需加工制作散熱水道；采用本實(shí)用新型的分水器后，便無(wú)需再在樣品臺(tái)組件上加工錯(cuò)綜復(fù)雜的散熱水道，從而大幅度降低了樣品臺(tái)組件的加工難度。

技術(shù)特征：

1.一種分水器（1），其特征在于：包括呈圓盤(pán)狀結(jié)構(gòu)的分水器本體（2），所述圓盤(pán)狀結(jié)構(gòu)的頂部設(shè)置有通孔（3），所述圓盤(pán)狀結(jié)構(gòu)的底部設(shè)置有連接部（4），所述連接部（4）之間間隔設(shè)置并形成通道（5）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分水器（1），其特征在于：所述通道（5）均勻設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2任一項(xiàng)所述的分水器（1），其特征在于：所述通孔（3）居中設(shè)置。

4.一種樣品臺(tái)組件，其特征在于：包括權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的分水器（1），還包括底座（6）和樣品臺(tái)（7），所述底座（6）與樣品臺(tái)（7）之間設(shè)置有空腔，所述分水器（1）設(shè)置在底座（6）與樣品臺(tái)（7）之間，所述分水器（1）將所述空腔分隔成第一空腔（8）和第二空腔（9），所述第一空腔（8）和第二空腔（9）通過(guò)通道（5）連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的樣品臺(tái)組件，其特征在于：還包括與樣品臺(tái)（7）連接的擴(kuò)展臺(tái)（10），所述擴(kuò)展臺(tái)（10）與樣品臺(tái)（7）之間設(shè)置有容納腔（11），所述樣品臺(tái)（7）設(shè)置有孔洞（12），所述容納腔（11）和第一空腔（8）通過(guò)孔洞（12）連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的樣品臺(tái)組件，其特征在于：所述孔洞（12）均勻設(shè)置。

7.一種mpcvd裝置，其特征在于：包括權(quán)利要求4至6任一項(xiàng)所述的樣品臺(tái)組件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的mpcvd裝置，其特征在于：所述第二空腔（9）與冷卻介質(zhì)輸入端連接，所述第一空腔（8）與冷卻介質(zhì)輸出端連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及微波等離子體技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種分水器、樣品臺(tái)組件及MPCVD裝置，所述分水器包括呈圓盤(pán)狀結(jié)構(gòu)的分水器本體，所述圓盤(pán)狀結(jié)構(gòu)的頂部設(shè)置有通孔，所述圓盤(pán)狀結(jié)構(gòu)的底部設(shè)置有連接部，所述連接部之間間隔設(shè)置并形成通道，提供了一種無(wú)需加工散熱水道的、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的分水器，所述樣品臺(tái)組件包括所述分水器，所述MPCVD裝置包括所述樣品臺(tái)組件。

技術(shù)研發(fā)人員：黃春林,劉文科,胡宗義,李俊宏
受保護(hù)的技術(shù)使用者：成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240222
技術(shù)公布日：2024/12/26