本技術(shù)涉及一種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)：

1、在實(shí)際運(yùn)用中由于碳化硅槳的長(zhǎng)懸臂特性和加載在碳化硅槳上的負(fù)載硅片較重，碳化硅槳會(huì)不可避免的產(chǎn)生彎曲變形，變形的幅度由于碳化硅材質(zhì)本身特性存在差異而不同，在工藝爐內(nèi)的位置調(diào)整不好很容易影響硅片的處理品質(zhì)，這樣就要求碳化硅槳必須有可以調(diào)整位置的機(jī)構(gòu)，若該調(diào)整機(jī)構(gòu)越簡(jiǎn)單方便、調(diào)整的位置精度越高，則該調(diào)整機(jī)構(gòu)就越能實(shí)現(xiàn)并產(chǎn)生經(jīng)濟(jì)效益。

2、現(xiàn)有的技術(shù)方案是通過上下兩組螺絲頂緊的方式來調(diào)整碳化硅槳的上下位置，通過一根銷軸外側(cè)兩組螺絲頂緊的方式來調(diào)整碳化硅槳的水平位置和水平傾角，主要利用螺絲的頂拉作用使需要調(diào)整的零件相對(duì)另一零件產(chǎn)生相互滑動(dòng)來實(shí)現(xiàn)平移或角度的調(diào)節(jié)，這種通過滑動(dòng)調(diào)整的機(jī)構(gòu)需要克服的摩擦力往往很大，調(diào)整的難度很大，調(diào)整精度也不容易控制，往往需要反復(fù)進(jìn)行調(diào)整，調(diào)節(jié)浪費(fèi)很長(zhǎng)的時(shí)間，嚴(yán)重影響經(jīng)濟(jì)效益。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是提供一種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，快速準(zhǔn)確調(diào)整碳化硅槳的位置。

2、為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：

3、一種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，包括基臺(tái)、支撐機(jī)構(gòu)、高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、擺動(dòng)機(jī)構(gòu)、微調(diào)機(jī)構(gòu)，所述的支撐機(jī)構(gòu)包括第一支板、第二支板、第三支板以及支撐座，所述的第一支板包括縱板、與所述的縱板連接的橫板，所述的縱板沿豎直方向延伸，所述的橫板沿水平方向延伸，所述的第二支板設(shè)置在所述的橫板上，所述的第三支板設(shè)置在所述的第二支板上，所述的支撐座設(shè)置在所述的橫板上，所述的支撐座用于固定碳化硅槳；

4、所述的高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述的基臺(tái)一側(cè)，所述的高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與所述的縱板連接用于調(diào)節(jié)所述的支撐機(jī)構(gòu)在豎直方向移動(dòng)，所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述的縱板連接用于調(diào)節(jié)所述的支撐機(jī)構(gòu)在與所述的縱板平行的豎直面旋轉(zhuǎn)，所述的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述的第三支板連接用于帶動(dòng)所述的第三支板與所述的支撐座在所述的第二支板上水平擺動(dòng)，所述的微調(diào)機(jī)構(gòu)與所述的支撐座、第三支板連接用于調(diào)節(jié)所述的支撐座以豎直線為中心使其相對(duì)兩端升降，所述的支撐座的相對(duì)兩端的運(yùn)動(dòng)方向相反。

5、在一些實(shí)施方式中，所述的支撐座包括相對(duì)設(shè)置的上板和下板，所述的下板設(shè)置在所述的第三支板上，所述的上板位于所述的下板上方，所述的上板與所述的下板通過緊固件連接，碳化硅槳位于所述的上板和下板之間；所述的上板遠(yuǎn)離所述的下板的一側(cè)設(shè)置有第一連接件和第二連接件，所述的第一連接件、第二連接件分別沿y軸方向前后設(shè)置。

6、在一些實(shí)施方式中，所述的微調(diào)機(jī)構(gòu)包括第一調(diào)節(jié)組件和第二調(diào)節(jié)組件，所述的第一調(diào)節(jié)組件、第二調(diào)節(jié)組件沿y軸方向前后設(shè)置，所述的第一調(diào)節(jié)組件與所述的上板的一端、第三支板連接，所述的第一調(diào)節(jié)組件包括第一桿、第二桿、旋轉(zhuǎn)圓盤、軸承，所述的第一桿沿z軸方向延伸，所述的軸承、旋轉(zhuǎn)圓盤均套設(shè)在所述的第一桿上，所述的軸承較所述的旋轉(zhuǎn)圓盤靠近所述的第一桿的下端，所述的第二桿套設(shè)在所述的第一桿上并與所述的第一桿螺紋連接，所述的第二桿與所述的第一連接件連接；

7、所述的第二調(diào)節(jié)組件與所述的上板的另一端、第三支板連接，所述的第二調(diào)節(jié)組件包括螺桿以及套設(shè)在所述的螺桿上的第一螺母、第二螺母，所述的螺桿沿z軸方向延伸，所述的螺桿下端設(shè)置在所述的第三支板上，所述的螺桿上端穿過所述的第二連接件，所述的第一螺母、第二螺母分別與所述的第二連接件的上表面、下表面相抵。

8、在一些實(shí)施方式中，所述的第一調(diào)節(jié)組件設(shè)置有兩個(gè)，兩個(gè)所述的第一調(diào)節(jié)組件沿x軸方向分布；所述的第二調(diào)節(jié)組件設(shè)置有兩個(gè)，兩個(gè)所述的第二調(diào)節(jié)組件沿x軸方向分布。

9、在一些實(shí)施方式中，所述的高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第一螺栓、第一固定件、第二固定件、第二螺栓，所述的第一固定件、第二固定件均設(shè)置在所述的基臺(tái)的同一側(cè)，所述的第一螺栓、第二螺栓均沿豎直方向延伸，所述的第一螺栓與所述的第一固定件螺紋連接，所述的第一螺栓一端與所述的縱板上端螺紋連接，所述的第二螺栓與所述的第二固定件螺紋連接，所述的第二螺栓一端與所述的縱板下端螺紋連接。

10、在一些實(shí)施方式中，所述的裝置還包括滑塊，所述的滑塊與所述的縱板連接，所述的基臺(tái)上還設(shè)置有滑槽，所述的滑槽沿豎直方向延伸，所述的滑塊可移動(dòng)地設(shè)置在所述的滑槽內(nèi)并可沿所述的滑槽移動(dòng)。

11、在一些實(shí)施方式中，所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括銷軸、第三螺栓、第四螺栓、第三固定件、第四固定件，所述的銷軸一端依次穿過所述的縱板、滑塊、基臺(tái)，使所述的縱板相對(duì)所述的銷軸轉(zhuǎn)動(dòng)；所述的第三固定件、第四固定件均設(shè)置在所述的滑塊朝向所述的縱板的一側(cè)，所述的第三固定件與第四固定件相對(duì)設(shè)置，所述的第三螺栓一端依次穿過所述的第三固定件、所述的縱板，所述的第四螺栓一端依次穿過所述的第四固定件、所述的縱板，所述的第三螺栓、第四螺栓均沿y軸方向延伸。

12、在一些實(shí)施方式中，所述的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)第五螺栓、第五固定件，所述的第五固定件設(shè)置在所述的第二支板遠(yuǎn)離所述的縱板的一側(cè)，所述的第五螺栓一端穿過所述的第五固定件與所述的第三支板螺紋連接，所述的第五螺栓沿x軸方向延伸。

13、在一些實(shí)施方式中，所述的裝置還包括第六固定件、第六螺栓，所述的第六固定件設(shè)置在所述的第三支板上，所述的第六螺栓一端穿過所述的第五固定件與所述的第六固定件螺紋連接，所述的第六螺栓沿x軸方向延伸。

14、在一些實(shí)施方式中，所述的裝置還包括抵壓組件，所述的抵壓組件包括固定板、連接柱、壓輥，所述的固定板設(shè)置在所述的第二支板一端，所述的連接柱一端固定在所述的固定板上，所述的連接柱另一端向所述的支撐座方向延伸，所述的連接柱沿y軸方向延伸，所述的連接柱位于所述的第三支板上方，所述的壓輥套設(shè)在所述的連接柱上，所述的壓輥與所述的第三支板的上表面相抵。

15、在一些實(shí)施方式中，所述的橫板上開設(shè)有長(zhǎng)條形導(dǎo)向孔，所述的導(dǎo)向孔沿x軸方向延伸，所述的第二支板上開設(shè)有與所述的導(dǎo)向孔相對(duì)應(yīng)的安裝孔，通過在所述的導(dǎo)向孔、安裝孔安裝緊固將所述的第二支板與所述的橫板連接。

16、由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)：

17、本實(shí)用新型提供的種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，通過高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、擺動(dòng)機(jī)構(gòu)、微調(diào)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)碳化硅槳的多角度位置調(diào)節(jié)，快速準(zhǔn)確地調(diào)整碳化硅槳的位置，操作簡(jiǎn)單，調(diào)整難度小，調(diào)整精度易控制，極大節(jié)約成本，提高工作效率。

技術(shù)特征：

1.一種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括基臺(tái)、支撐機(jī)構(gòu)、高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、擺動(dòng)機(jī)構(gòu)、微調(diào)機(jī)構(gòu)，所述的支撐機(jī)構(gòu)包括第一支板、第二支板、第三支板以及支撐座，所述的第一支板包括縱板、與所述的縱板連接的橫板，所述的縱板沿豎直方向延伸，所述的橫板沿水平方向延伸，所述的第二支板設(shè)置在所述的橫板上，所述的第三支板設(shè)置在所述的第二支板上，所述的支撐座設(shè)置在所述的橫板上，所述的支撐座用于固定碳化硅槳；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的支撐座包括相對(duì)設(shè)置的上板和下板，所述的下板設(shè)置在所述的第三支板上，所述的上板位于所述的下板上方，所述的上板與所述的下板通過緊固件連接，碳化硅槳位于所述的上板和下板之間；所述的上板遠(yuǎn)離所述的下板的一側(cè)設(shè)置有第一連接件和第二連接件，所述的第一連接件、第二連接件分別沿y軸方向前后設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的微調(diào)機(jī)構(gòu)包括第一調(diào)節(jié)組件和第二調(diào)節(jié)組件，所述的第一調(diào)節(jié)組件、第二調(diào)節(jié)組件沿y軸方向前后設(shè)置，所述的第一調(diào)節(jié)組件與所述的上板的一端、第三支板連接，所述的第一調(diào)節(jié)組件包括第一桿、第二桿、旋轉(zhuǎn)圓盤、軸承，所述的第一桿沿z軸方向延伸，所述的軸承、旋轉(zhuǎn)圓盤均套設(shè)在所述的第一桿上，所述的軸承較所述的旋轉(zhuǎn)圓盤靠近所述的第一桿的下端，所述的第二桿套設(shè)在所述的第一桿上并與所述的第一桿螺紋連接，所述的第二桿與所述的第一連接件連接；

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第一螺栓、第一固定件、第二固定件、第二螺栓，所述的第一固定件、第二固定件均設(shè)置在所述的基臺(tái)的同一側(cè)，所述的第一螺栓、第二螺栓均沿豎直方向延伸，所述的第一螺栓與所述的第一固定件螺紋連接，所述的第一螺栓一端與所述的縱板上端螺紋連接，所述的第二螺栓與所述的第二固定件螺紋連接，所述的第二螺栓一端與所述的縱板下端螺紋連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的裝置還包括滑塊，所述的滑塊與所述的縱板連接，所述的基臺(tái)上還設(shè)置有滑槽，所述的滑槽沿豎直方向延伸，所述的滑塊可移動(dòng)地設(shè)置在所述的滑槽內(nèi)并可沿所述的滑槽移動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括銷軸、第三螺栓、第四螺栓、第三固定件、第四固定件，所述的銷軸一端依次穿過所述的縱板、滑塊、基臺(tái)，使所述的縱板相對(duì)所述的銷軸轉(zhuǎn)動(dòng)；所述的第三固定件、第四固定件均設(shè)置在所述的滑塊朝向所述的縱板的一側(cè)，所述的第三固定件與第四固定件相對(duì)設(shè)置，所述的第三螺栓一端依次穿過所述的第三固定件、所述的縱板，所述的第四螺栓一端依次穿過所述的第四固定件、所述的縱板，所述的第三螺栓、第四螺栓均沿y軸方向延伸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)第五螺栓、第五固定件，所述的第五固定件設(shè)置在所述的第二支板遠(yuǎn)離所述的縱板的一側(cè)，所述的第五螺栓一端穿過所述的第五固定件與所述的第三支板螺紋連接，所述的第五螺栓沿x軸方向延伸。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的裝置還包括第六固定件、第六螺栓，所述的第六固定件設(shè)置在所述的第三支板上，所述的第六螺栓一端穿過所述的第五固定件與所述的第六固定件螺紋連接，所述的第六螺栓沿x軸方向延伸。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的裝置還包括抵壓組件，所述的抵壓組件包括固定板、連接柱、壓輥，所述的固定板設(shè)置在所述的第二支板一端，所述的連接柱一端固定在所述的固定板上，所述的連接柱另一端向所述的支撐座方向延伸，所述的連接柱沿y軸方向延伸，所述的連接柱位于所述的第三支板上方，所述的壓輥套設(shè)在所述的連接柱上，所述的壓輥與所述的第三支板的上表面相抵。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的種lpcvd碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的橫板上開設(shè)有長(zhǎng)條形導(dǎo)向孔，所述的導(dǎo)向孔沿x軸方向延伸，所述的第二支板上開設(shè)有與所述的導(dǎo)向孔相對(duì)應(yīng)的安裝孔，通過在所述的導(dǎo)向孔、安裝孔安裝緊固將所述的第二支板與所述的橫板連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種LPCVD碳化硅槳調(diào)節(jié)裝置，包括基臺(tái)、支撐機(jī)構(gòu)、高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、擺動(dòng)機(jī)構(gòu)、微調(diào)機(jī)構(gòu)，支撐機(jī)構(gòu)包括第一支板、第二支板、第三支板及支撐座，第一支板包括縱板、橫板，支撐座設(shè)置在橫板上，支撐座用于固定碳化硅槳；高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與縱板連接用于調(diào)節(jié)支撐機(jī)構(gòu)在豎直方向移動(dòng)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與縱板連接用于調(diào)節(jié)支撐機(jī)構(gòu)在與縱板平行的豎直面旋轉(zhuǎn)，擺動(dòng)機(jī)構(gòu)與第三支板連接用于帶動(dòng)第三支板與支撐座在第二支板上水平擺動(dòng)，微調(diào)機(jī)構(gòu)與支撐座、第三支板連接用于調(diào)節(jié)支撐座以豎直線為中心使其相對(duì)兩端升降，支撐座的相對(duì)兩端的運(yùn)動(dòng)方向相反。本技術(shù)提供的裝置，快速準(zhǔn)確調(diào)整碳化硅槳的位置，調(diào)整難度小，調(diào)整精度易控制。

技術(shù)研發(fā)人員：穆代林,任俊江,薇兒妮卡·夏麗葉,云飛,吳京波,肖益波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：賽姆柯（蘇州）智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231227
技術(shù)公布日：2024/11/18