技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及一種基于壓電陶瓷驅(qū)動器的變形拋光盤，屬于非球面鏡拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括底座、位于底座上的多個壓電陶瓷驅(qū)動器和位于壓電陶瓷驅(qū)動器上方的基盤，還包括多個彈性片，所述彈性片沿其徑向安裝于底座上表面，且其與壓電陶瓷驅(qū)動器一對一設(shè)置，所述壓電陶瓷驅(qū)動器沿其軸向安裝于底座上表面，且其一端指向底座中心，所述彈性片與壓電陶瓷驅(qū)動器指向底座中心的一端相抵，壓電陶瓷驅(qū)動器對彈性片施加擠壓力后，彈性片會產(chǎn)生沿其軸向的伸縮量，以改變基盤的面形，本實用新型增加了拋光盤的徑厚比，結(jié)構(gòu)緊湊，顯著提高拋光盤在自轉(zhuǎn)時的穩(wěn)定性以及與工件的吻合性，成本低，有助于延長壓電陶瓷驅(qū)動器的使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：代萬俊;楊英;薛嶠;陳良明;胡東霞;袁強;張鑫;王德恩;趙軍普;張曉璐;曾發(fā);王深圳;張崑;周維;朱啟華;鄭奎興;粟敬欽
受保護的技術(shù)使用者：中國工程物理研究院激光聚變研究中心
文檔號碼：201720243896
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.14
技術(shù)公布日：2017.11.10