1.一種基于壓電陶瓷驅(qū)動器的變形拋光盤,包括底座、位于底座上的多個壓電陶瓷驅(qū)動器和位于壓電陶瓷驅(qū)動器上方的基盤,其特征在于:
還包括多個彈性片,所述彈性片沿其徑向安裝于底座上表面,且其與壓電陶瓷驅(qū)動器一對一設(shè)置,所述彈性片的頂部與基盤下表面相抵;
所述壓電陶瓷驅(qū)動器沿其軸向安裝于底座上表面,且其一端指向底座中心,另一端處設(shè)有頂緊件,所述彈性片與壓電陶瓷驅(qū)動器指向底座中心的一端相抵,壓電陶瓷驅(qū)動器對彈性片施加擠壓力后,彈性片會產(chǎn)生沿其軸向的伸縮量,以改變基盤的面形;
所述底座下表面設(shè)有導(dǎo)電滑環(huán),所述壓電陶瓷驅(qū)動器通過導(dǎo)電滑環(huán)與電壓源連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于壓電陶瓷驅(qū)動器的變形拋光盤,其特征在于:所述基盤為鋁制球面薄板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于壓電陶瓷驅(qū)動器的變形拋光盤,其特征在于:壓電陶瓷驅(qū)動器上加載的電壓為Umax/2時,基盤產(chǎn)生的面形定義為初始面形;壓電陶瓷驅(qū)動器上加載的電壓為0~Umax/2時,基盤產(chǎn)生負(fù)向形變;壓電陶瓷驅(qū)動器上加載的電壓為Umax/2~Umax時,基盤產(chǎn)生正向形變。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于壓電陶瓷驅(qū)動器的變形拋光盤,其特征在于:所述壓電陶瓷驅(qū)動器的最小伸縮量為納米級。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于壓電陶瓷驅(qū)動器的變形拋光盤,其特征在于:所述壓電陶瓷驅(qū)動器加載電壓后,其沿軸向產(chǎn)生的伸縮量為Δs,所述彈性片沿其徑向產(chǎn)生的伸縮量為Δx,所述彈性片沿其軸向產(chǎn)生的伸縮量為Δy,且Δs=Δx,Δy=n×Δx,其中,n表示由徑向轉(zhuǎn)移到軸向位移的放大量。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于壓電陶瓷驅(qū)動器的變形拋光盤,其特征在于:在基盤面積不變的前提下,增加所述壓電陶瓷驅(qū)動器的個數(shù),提高基盤的面形精度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基于壓電陶瓷驅(qū)動器的變形拋光盤,其特征在于:所述底座和基盤之間設(shè)有固定盤,所述固定盤內(nèi)開設(shè)長條槽,所述壓電陶瓷驅(qū)動器、彈性片均位于長條槽內(nèi),所述頂緊件位于固定盤的邊緣處,并與壓電陶瓷驅(qū)動器的端部相抵。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一所述的一種基于壓電陶瓷驅(qū)動器的變形拋光盤,其特征在于:所述壓電陶瓷驅(qū)動器上方設(shè)有支撐盤,所述支撐盤內(nèi)開設(shè)凹槽,所述基盤位于凹槽內(nèi),且基盤上表面高于支撐盤上表面,所述凹槽內(nèi)對應(yīng)彈性片處設(shè)有凸起,且凸起與彈性片的個數(shù)相等,所述凸起的頂部與基盤的下表面相抵,所述彈性片的頂部與支撐盤的下表面相抵。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種基于壓電陶瓷驅(qū)動器的變形拋光盤,其特征在于:所述壓電陶瓷驅(qū)動器呈對稱式安裝于底座上表面。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種基于壓電陶瓷驅(qū)動器的變形拋光盤,其特征在于:所述支撐盤為鋁制結(jié)構(gòu)或者鋼制結(jié)構(gòu)。