技術(shù)編號(hào)：2972226
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種校準(zhǔn)裝置，特別涉及離子注入機(jī)臺(tái)離子源的校準(zhǔn)裝置。 背景技術(shù)離子注入機(jī)臺(tái)中，離子源的作用十分重要。通過離子源內(nèi)部的燈絲和陰極產(chǎn)生離 子打到晶圓上，在性能維護(hù)周期內(nèi)對(duì)離子源進(jìn)行組裝時(shí)，考慮到離子源內(nèi)部的一些組件耗 損的原因需要更換，如燈絲、陰極、絕緣體等。而離子源組裝的好壞影響離子注入機(jī)臺(tái)的性 能維護(hù)是否成功，其中包括燈絲與陰極的位置，位置過近會(huì)導(dǎo)致很難產(chǎn)生電磁弧，位置過 遠(yuǎn)會(huì)導(dǎo)致燈絲與陰極的使用壽命縮短，以至縮短性能維護(hù)的時(shí)間；支撐燈絲與陰...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。