技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種蝕刻組合物，其含有1)至少一種氧化劑；2)至少一種螯合劑；3)至少一種金屬腐蝕抑制劑；4)至少一種有機溶劑；5)至少一種脒堿；及6)水。

技術(shù)研發(fā)人員：T·多瑞;E·A·克內(nèi)爾;高橋智威
受保護的技術(shù)使用者：富士膠片電子材料美國有限公司
文檔號碼：201580017552
技術(shù)研發(fā)日：2015.03.17
技術(shù)公布日：2017.02.22