一種真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)，包括：箱體，其前側(cè)設(shè)置門，門與箱體之間設(shè)置O型密封圈，且門通過第一螺桿連接門壓板，門壓板通過第二螺桿與鉸鏈相連，箱體前側(cè)左下方設(shè)置第一密封裝置；抽氣裝置，其設(shè)置在箱體的右側(cè)，包括抽氣嘴、放氣筒、氣缸；控制裝置，其設(shè)置在箱體的左側(cè)，控制裝置包括搖臂、氣缸鉸鏈、氣缸，搖臂通過連桿帶動(dòng)閥板，實(shí)現(xiàn)閥板的開啟和關(guān)閉；取樣裝置，其設(shè)置在箱體的頂部，包括取樣桿、樣品框、樣品架蓋，取樣裝置與箱體之間設(shè)置第二密封裝置，取樣桿正對(duì)的箱體壁上設(shè)置一開口，開口上設(shè)置密封板。本實(shí)用新型所述真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)能夠定期在不破壞真空工藝的情況下，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。
【專利說明】 一種真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及取樣裝置，具體為一種真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體相關(guān)制造過程中，許多的制程必須在真空狀態(tài)下進(jìn)行，而真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當(dāng)廣泛的一項(xiàng)重要技術(shù)，近年來已經(jīng)逐漸取代噴導(dǎo)漆和電解電鍍的方式，大量應(yīng)用在光電、通信、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)，成為重要的表面處理技術(shù)。而在真空狀態(tài)下連續(xù)生產(chǎn)的產(chǎn)品，一般很難對(duì)其在連續(xù)真空濺射鍍膜時(shí)進(jìn)行取樣操作。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]針對(duì)上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型公開一種真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)，包括:箱體1，其前側(cè)設(shè)置門11，所述門11與箱體I之間設(shè)置O型密封圈12，且門11通過第一螺桿10連接門壓板9，所述門壓板9通過第二螺桿8與鉸鏈13相連，用于控制門壓板9的開合，所述箱體I前側(cè)左下方設(shè)置第一密封裝置，包括骨架密封圈2、密封軸套3、O型密封圈4 ;抽氣裝置，其設(shè)置在所述箱體I的右側(cè)，所述抽氣裝置包括抽氣嘴24、放氣筒25、氣缸26 ;控制裝置，其設(shè)置在所述箱體I的左側(cè)，所述控制裝置包括搖臂5、氣缸鉸鏈6、氣缸7，所述搖臂5通過連桿15帶動(dòng)閥板16，實(shí)現(xiàn)閥板16的開啟和關(guān)閉；取樣裝置，其設(shè)置在所述箱體I的頂部，包括取樣桿19、樣品框18、樣品架蓋17，所述取樣裝置與箱體I之間設(shè)置第二密封裝置，包括內(nèi)銅套21、外銅套23、骨架密封圈22、密封套20，所述取樣桿19正對(duì)的箱體壁上設(shè)置一開口，所述開口上設(shè)置密封板14。
[0004]本實(shí)用新型的有益效果是所述真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)能夠定期在不破壞真空工藝的情況下，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0005]圖1是本實(shí)用新型所述真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)的正視結(jié)構(gòu)圖；
[0006]圖2是本實(shí)用新型所述真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖；
[0007]圖3是本實(shí)用新型所述真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)的側(cè)視剖面圖。

【具體實(shí)施方式】
[0008]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明，以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說明書文字能夠據(jù)以實(shí)施。
[0009]如圖所示，本實(shí)用新型公開一種真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)，包括:箱體1，其前側(cè)設(shè)置門11，所述門11與箱體I之間設(shè)置O型密封圈12，且門11通過第一螺桿10連接門壓板9，所述門壓板9通過第二螺桿8與鉸鏈13相連，用于控制門壓板9的開合，所述箱體I前側(cè)左下方設(shè)置第一密封裝置，包括骨架密封圈2、密封軸套3、O型密封圈4 ;抽氣裝置，其設(shè)置在所述箱體I的右側(cè)，所述抽氣裝置包括抽氣嘴24、放氣筒25、氣缸26 ;控制裝置，其設(shè)置在所述箱體I的左側(cè)，所述控制裝置包括搖臂5、氣缸鉸鏈6、氣缸7，所述搖臂5通過連桿15帶動(dòng)閥板16，實(shí)現(xiàn)閥板16的開啟和關(guān)閉；取樣裝置，其設(shè)置在所述箱體I的頂部，包括取樣桿19、樣品框18、樣品架蓋17，所述取樣裝置與箱體I之間設(shè)置第二密封裝置，包括內(nèi)銅套21、外銅套23、骨架密封圈22、密封套20，所述取樣桿19正對(duì)的箱體壁上設(shè)置一開口，所述開口上設(shè)置密封板14。
[0010]在工作過程中，通過取樣桿19在真空箱體內(nèi)的上下活動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了定期在不破壞真空工藝的情況下，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行的實(shí)時(shí)監(jiān)控。
[0011]盡管本實(shí)用新型的實(shí)施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實(shí)施方式中所列運(yùn)用，它完全可以被適用于各種適合本實(shí)用新型的領(lǐng)域，對(duì)于熟悉本領(lǐng)域的人員而言，可容易地實(shí)現(xiàn)另外的修改，因此在不背離權(quán)利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實(shí)用新型并不限于特定的細(xì)節(jié)和這里示出與描述的圖例。
【權(quán)利要求】
1.一種真空在線產(chǎn)品取樣機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括: 箱體(1)，其前側(cè)設(shè)置門(11)，所述門(11)與箱體(I)之間設(shè)置O型密封圈(12)，且門(11)通過第一螺桿(10)連接門壓板(9)，所述門壓板(9)通過第二螺桿(8)與鉸鏈(13)相連，用于控制門壓板(9)的開合，所述箱體(I)前側(cè)左下方設(shè)置第一密封裝置，包括骨架密封圈(2)、密封軸套(3)、O型密封圈(4)； 抽氣裝置，其設(shè)置在所述箱體(I)的右側(cè)，所述抽氣裝置包括抽氣嘴(24)、放氣筒(25)、氣缸(26)； 控制裝置，其設(shè)置在所述箱體(I)的左側(cè)，所述控制裝置包括搖臂(5)、氣缸鉸鏈(6)、氣缸(7)，所述搖臂(5)通過連桿(15)帶動(dòng)閥板(16)，實(shí)現(xiàn)閥板(16)的開啟和關(guān)閉； 取樣裝置，其設(shè)置在所述箱體(I)的頂部，包括取樣桿(19)、樣品框(18)、樣品架蓋(17)，所述取樣裝置與箱體(I)之間設(shè)置第二密封裝置，包括內(nèi)銅套(21)、外銅套(23)、骨架密封圈(22)、密封套(20)，所述取樣桿(19)正對(duì)的箱體壁上設(shè)置一開口，所述開口上設(shè)置密封板(14)。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK204039493SQ201420380490
【公開日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2014年7月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月11日
【發(fā)明者】王振東, 何萬能 申請(qǐng)人:蘇州諾耀光電科技有限公司