一種靶極測試真空腔體的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種靶極測試真空腔體，包括：方形腔體（1），其前側(cè)側(cè)壁設(shè)置玻璃視窗安裝口（2），并在所述玻璃視窗安裝口（2）內(nèi)安裝視窗玻璃（3），所述方形腔體（1）的左右兩側(cè)分別設(shè)置一個(gè)真空接口（4）；方形法蘭（5），其焊接在所述方形腔體（1）的上方開口處，所述方形法蘭（5）的內(nèi)側(cè)設(shè)置一密封圈安裝槽（6）。所述靶極測試真空腔體能夠確保靶極在上機(jī)前就得到準(zhǔn)確的合格確認(rèn)，縮短了確認(rèn)時(shí)間，減少誤判，且測試過程簡易，縮短了工時(shí)。
【專利說明】一種靶極測試真空腔體

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種腔體，具體為一種靶極測試真空腔體。

【背景技術(shù)】
[0002]真空濺鍍工藝是目前在鍍膜界的一項(xiàng)新技術(shù)，在真空鍍膜作業(yè)中，腔體內(nèi)的霧氣向、電以及磁力的搭配，再加上氣體與壓力的控制，都能夠直接影響到工件的質(zhì)量和使用效率，而其中用到的磁控裝置就是一個(gè)非常重要的組件。而在磁控裝置的靶極，通常只能在上機(jī)后才能以側(cè)漏方式檢測到側(cè)漏程度，以確定氣密度，而靶極的好壞以及是否可用，則需要達(dá)到一定的真空度才能測試，測試難度較大而且具有滯后性，浪費(fèi)工時(shí)，并且增加了生產(chǎn)成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]針對上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型公開一種靶極測試真空腔體，包括:方形腔體1，其前側(cè)側(cè)壁設(shè)置玻璃視窗安裝口 2，并在所述玻璃視窗安裝口 2內(nèi)安裝視窗玻璃3，所述方形腔體I的左右兩側(cè)分別設(shè)置一個(gè)真空接口 4 ;方形法蘭5，其焊接在所述方形腔體I的上方開口處，所述方形法蘭5的內(nèi)側(cè)設(shè)置一密封圈安裝槽6。
[0004]優(yōu)選地，所述視窗玻璃3通過螺絲7緊固在玻璃視窗安裝口 2內(nèi)。
[0005]本實(shí)用新型的有益效果是所述靶極測試真空腔體能夠確保靶極在上機(jī)前就得到準(zhǔn)確的合格確認(rèn)，縮短了確認(rèn)時(shí)間，減少誤判，且測試過程簡易，縮短了工時(shí)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1是本實(shí)用新型所述靶極測試真空腔體的側(cè)視圖；
[0007]圖2是本實(shí)用新型所述靶極測試真空腔體的俯視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0008]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明，以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說明書文字能夠據(jù)以實(shí)施。
[0009]如圖所示，本實(shí)用新型公開一種靶極測試真空腔體，包括:方形腔體1，其前側(cè)側(cè)壁設(shè)置玻璃視窗安裝口 2，并在所述玻璃視窗安裝口 2內(nèi)安裝視窗玻璃3，所述方形腔體I的左右兩側(cè)分別設(shè)置一個(gè)真空接口 4 ;方形法蘭5，其焊接在所述方形腔體I的上方開口處，所述方形法蘭5的內(nèi)側(cè)設(shè)置一密封圈安裝槽6。
[0010]優(yōu)選地，所述視窗玻璃3通過螺絲7緊固在玻璃視窗安裝口 2內(nèi)。
[0011]所述方形腔體I是不銹鋼方形腔體，所述方形法蘭5也是不銹鋼方形法蘭，所述靶極測試真空腔體能夠確保靶極在上機(jī)前就得到準(zhǔn)確的合格確認(rèn)，縮短了確認(rèn)時(shí)間，減少誤判，且測試過程簡易，縮短了工時(shí)。
[0012]盡管本實(shí)用新型的實(shí)施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實(shí)施方式中所列運(yùn)用，它完全可以被適用于各種適合本實(shí)用新型的領(lǐng)域，對于熟悉本領(lǐng)域的人員而言，可容易地實(shí)現(xiàn)另外的修改，因此在不背離權(quán)利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實(shí)用新型并不限于特定的細(xì)節(jié)和這里示出與描述的圖例。
【權(quán)利要求】
1.一種靶極測試真空腔體，其特征在于，包括: 方形腔體(1)，其前側(cè)側(cè)壁設(shè)置玻璃視窗安裝口(2)，并在所述玻璃視窗安裝口(2)內(nèi)安裝視窗玻璃(3)，所述方形腔體(I)的左右兩側(cè)分別設(shè)置一個(gè)真空接口(4)； 方形法蘭(5)，其焊接在所述方形腔體(I)的上方開口處，所述方形法蘭(5)的內(nèi)側(cè)設(shè)置一密封圈安裝槽(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶極測試真空腔體，其特征在于:所述視窗玻璃(3)通過螺絲(7)緊固在玻璃視窗安裝口(2)內(nèi)。
【文檔編號】C23C14/56GK203960323SQ201420378604
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年7月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月9日
【發(fā)明者】霍凱, 陳宥廷, 李玉, 徐全獻(xiàn) 申請人:蘇州凡特真空濺鍍科技有限公司