用于聚酰亞胺薄膜的表面鍍銅的化學(xué)鍍銅液及其制備方法、使用方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種用于聚酰亞胺薄膜的表面鍍銅的化學(xué)鍍銅液及其制備方法、使用方法，其原料包括銅鹽10g/L～20g/L、穩(wěn)定劑5-甲基-4-(6-甲氧基-2-萘基-2-(2-羥芐亞氨基)噻唑1g/L～3g/L、穩(wěn)定劑((1-二甲胺基)-烯丙基磷酸)-N-烯丙基油酰胺-丙烯酸-丙烯酰胺共聚物0.5g/L～1.5g/L、乙二胺四乙酸鈉絡(luò)合劑30g/L～50g/L、醇胺10g/L～20g/L、Gemini型季銨鹽3g/L～5g/L、酒石酸鉀鈉5g/L～8g/L、十二烷基苯磺酸鈉0.5g/L～1.5g/L，次磷酸鈉4g/L～10g/L，水合肼2g/L～4g/L，加速劑0.5g/L～1.5g/L，聚二硫二丙烷磺酸鈉0.05g/L～0.2g/L，加去離子水至1L。該化學(xué)鍍銅液能協(xié)調(diào)好化學(xué)鍍銅液的穩(wěn)定性和鍍速這一矛盾，獲得一定鍍速和高穩(wěn)定性，并且能夠鍍5微米以上的厚層。
【專利說明】用于聚酰亞胺薄膜的表面鍍銅的化學(xué)鍍銅液及其制備方 法、使用方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及撓性印刷【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種用于聚酰亞胺薄膜的表面鍍銅的化 學(xué)鍍銅液及其制備方法、使用方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 撓性印制電路板（FPC)和剛撓結(jié)合電路板多使用有聚酰亞胺基材，聚酰亞胺材料 具有優(yōu)異的熱性能、機(jī)械性能和電性能。但同時(shí)由于聚酰亞胺表面非常光滑，在印制電路板 制作流程的化學(xué)鍍銅工藝過程中，需要對聚酰亞胺基材樹脂表面進(jìn)行適當(dāng)處理，才能增強(qiáng) 樹脂表面的粗糙度和親水能力，保證化學(xué)鍍銅層與基材的結(jié)合力，避免化學(xué)鍍銅層剝落造 成孔金屬化失效。對于多層線路板，還可以通過此工藝除去鉆孔后留下的污物。去鉆污的 作用是去除高速鉆孔過程中因高溫而產(chǎn)生的樹脂熔膠（特別在內(nèi)層銅環(huán)上的熔膠），保證 化學(xué)鍍銅后線路板內(nèi)層銅與外層電路連接的高度可靠性。
[0003] 在印制電路板制造技術(shù)中，最關(guān)鍵的就是化學(xué)鍍銅工序。它主要的作用就是使雙 面和多層印制電路板的非金屬孔，通過氧化還原反應(yīng)在孔壁上沉積一層均勻的導(dǎo)電層，再 經(jīng)過電鍍加厚鍍銅，達(dá)到回路的目的。要達(dá)到此目的就必須選擇性能穩(wěn)定、可靠的化學(xué)處理 液和制定正確的、可行的和有效的工藝程序。
[0004] 隨著集成電路的發(fā)展，化學(xué)鍍銅技術(shù)正在向無污染化方向發(fā)展。但是傳統(tǒng)的化學(xué) 鍍銅工藝，以甲醛為還原劑，EDTA和酒石酸鉀鈉為單獨(dú)或混合絡(luò)合劑，其中，所采用的甲醛， 對環(huán)境污染嚴(yán)重，且其氣味難聞，具有致畸性、致突變性、致癌性。而且堿性鍍銅液會改變聚 酰亞胺薄膜的結(jié)構(gòu)，使其表面改性，因此不適用于聚酰亞胺表面的化學(xué)鍍銅，因此，針對該 問題，已開發(fā)了一些無甲醛化學(xué)鍍銅溶液，但是，大多數(shù)常規(guī)無甲醛化學(xué)鍍銅溶液由于它們 的高反應(yīng)性，具有較差的穩(wěn)定性，且使用時(shí)很快分解。因此需要開發(fā)具有高穩(wěn)定性的無甲醛 化學(xué)鍍液，并且使用它可以迅速完成化學(xué)鍍銅過程。
[0005] 此外，以二甲基胺硼烷作為還原劑的酸性和中性化學(xué)鍍銅液，該鍍銅液雖適用于 聚酰亞胺薄膜，但是DMB的價(jià)格昂貴而且有毒，得到的硼酸鹽釋放出來對環(huán)境有負(fù)面影 響。因此，集成電路的發(fā)展仍然需要環(huán)保的、適用于聚酰亞胺薄膜的中性化學(xué)鍍銅液。
[0006] 本發(fā)明人已經(jīng)研制出一種用于聚酰亞胺薄膜的表面鍍銅的化學(xué)鍍銅液，其原料包 括銅鹽l〇g/L?20g/L、穩(wěn)定劑5-甲基-4-(6-甲氧基-2-萘基-2-(2-羥芐亞氨基）噻唑 lg/L?3g/L、乙二胺四乙酸鈉絡(luò)合劑30g/L?50g/L、醇胺10g/L?20g/L、Gemini型季銨 鹽3g/L?5g/L、酒石酸鉀鈉5g/L?8g/L、十二燒基苯磺酸鈉0. 5g/L?I. 5g/L，次磷酸鈉 4g/L?10g/L，采用這種化學(xué)鍍銅液具有良好的穩(wěn)定性，鍍層質(zhì)量好，環(huán)境污染小，但是，雖 然保證了這種化學(xué)鍍銅液的穩(wěn)定性，但是限制了其鍍速，鍍速越高，穩(wěn)定性越難控制。穩(wěn)定 性越好，鍍速就越難提升，另外，采用這種化學(xué)鍍銅液只能5微米以下的薄鍍層。
[0007] 因此，本發(fā)明在原有技術(shù)的基礎(chǔ)上，提供一種新型的化學(xué)鍍銅液，其能協(xié)調(diào)好化學(xué) 鍍銅液的穩(wěn)定性和鍍速這一矛盾，獲得一定鍍速和高穩(wěn)定性，并且能夠鍍5微米以上的厚 層。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的化學(xué)鍍銅液不能同時(shí)保證鍍銅速度和鍍銅液穩(wěn)定性的 問題，提供一種新型的化學(xué)鍍銅液，其能協(xié)調(diào)好化學(xué)鍍銅液的穩(wěn)定性和鍍速這一矛盾，獲得 一定鍍速和高穩(wěn)定性，并且能夠鍍5微米以上的厚層。
[0009] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種用于聚酰亞胺薄膜的表面鍍銅的化學(xué)鍍 銅液，其原料包括銅鹽l〇g/L?20g/L、第一穩(wěn)定劑lg/L?3g/L、第二穩(wěn)定劑0. 5g/L? I. 5g/L、乙二胺四乙酸鈉絡(luò)合劑30g/L?50g/L、醇胺10g/L?20g/L、Gemini型季銨鹽3g/ L?5g/L、酒石酸鉀鈉5g/L?8g/L、十二燒基苯磺酸鈉0. 5g/L?I. 5g/L，次磷酸鈉4g/ L?10g/L，水合肼2g/L?4g/L，加速劑0· 5g/L?I. 5g/L，聚二硫二丙燒磺酸鈉0· 05g/L? 0. 2g/L，加去離子水至1L。
[0010] 其中，所述加速劑具體為納米石墨。
[0011] 所述納米石墨的制備方法具體為：
[0012] 第一步，將天然鱗片石墨在KKTC的真空干燥箱中干燥12h，接著將體積比為1:4 的硝酸和硫酸的混合液緩慢加入石墨并攪拌24h，然后過濾洗滌至pH值為7,再在100°C的 干燥箱中干燥12h ;
[0013] 第二步，將第一步獲得的產(chǎn)物放置在900°C的馬弗爐中處理20s，得到膨脹石墨；
[0014] 第三步，將5g膨脹石墨放置在400ml無水乙醇與蒸餾水（體積比65 : 35)的混 合液中在增力電動攪拌器下高速攪拌24h，讓膨脹石墨完全浸潤，再將混合物放置在120W 的超聲波中超聲30min的時(shí)間，接著過濾洗滌至pH值為中性，然后放置在KKTC干燥箱中干 燥即得。
[0015] 其中，所述第一種穩(wěn)定劑是5-甲基-4-(6-甲氧基-2-萘基-2-(2-羥芐亞氨基） 噻唑，所述第二種穩(wěn)定劑是（(1-二甲胺基）-烯丙基磷酸）-N-烯丙基油酰胺-丙烯酸-丙 烯酰胺共聚物。
[0016] 其中，所述（(1-二甲胺基）-烯丙基磷酸）-N-烯丙基油酰胺-丙烯酸-丙烯酰胺 共聚物的制備方法具體為：
[0017] 在20°C下，稱取300g丙烯酸、600g丙烯酰胺、5gN_烯丙基油酰胺和5g(l_二甲胺 基）-烯丙基磷酸，4g乳化劑0P-10和I. 5L水，加入到反應(yīng)容器中，攪拌Ih?2h，使其充分 溶解，用氫氧化鈉調(diào)解pH值至6?8,通入氮?dú)?0min?0. 5h，隨后加熱至50°C左右，加入 引發(fā)劑過硫酸銨6g充分?jǐn)嚢?，保持?0°C反應(yīng)6h，隨后將反應(yīng)產(chǎn)物用乙醇沉淀，過濾，將過 濾獲得的固體干燥，粉碎，獲得產(chǎn)物。
[0018] 其中，所述聚二硫二丙烷磺酸鈉的制備方法具體為：
[0019] 第一步，稱取I. 5kg硫化鈉，加入反應(yīng)容器中，加入I. 5L水，在50°C的溫度下攪拌 溶解，當(dāng)溶液變?yōu)闊o色后，繼續(xù)攪拌lh，在加入0. 4kg的硫磺，保持在50°C攪拌lh，獲得紅色 透明溶液；
[0020] 第二步，將第一步獲得的透明溶液倒入反應(yīng)容器中，再加入I. 5L醇濃度為90%的 乙醇，保持在室溫下攪拌〇. 5h，隨后一邊攪拌一邊滴加1，3-丙磺酸內(nèi)酯，滴加3. 5h，滴加過 程中保持溫度在35°C?45°C，滴加完畢后繼續(xù)攪拌lh，隨后抽濾，放入真空干燥箱內(nèi)50°C 下干燥，粉碎，獲得粉末。
[0021] 其中，所述銅鹽可以為硝酸銅、硫酸銅、氯化銅中的一種或幾種混合。
[0022] 其中，所述醇胺是碳原子數(shù)為2?6的一醇胺或二醇胺。
[0023] 本發(fā)明還提供了上述化學(xué)鍍銅溶液的制備方法，具體為將上述各原料成分按照重 量混合在一起，配置成IL的溶液。
[0024] 本發(fā)明還提供了上述化學(xué)鍍銅溶液的使用方法，具體為：
[0025] 將上述化學(xué)鍍銅溶液升溫至40°C，用氮?dú)庀蛟摶瘜W(xué)鍍銅液中鼓泡，將經(jīng)過處理的 聚酰亞胺薄膜在上述化學(xué)鍍銅液中浸泡4小時(shí)。將聚酰亞胺薄膜取出，用去離子水沖洗1 分鐘，然后采用氮?dú)夤娘L(fēng)4分鐘，得到聚酰亞胺鍍件。
[0026] 本發(fā)明的有益效果：
[0027] 本發(fā)明提供一種新型的用于聚酰亞胺薄膜的化學(xué)鍍銅液，其能協(xié)調(diào)好化學(xué)鍍銅液 的穩(wěn)定性和鍍速這一矛盾，獲得一定鍍速和高穩(wěn)定性，并且能夠鍍5微米以上的厚層。其能 協(xié)調(diào)好化學(xué)鍍銅液的穩(wěn)定性和鍍速這一矛盾，獲得一定鍍速和高穩(wěn)定性，并且能夠鍍5微 米以上的厚層。
[0028] 說明書附圖
[0029] 附圖I Gemini季銨鹽表面活性劑的紅外譜圖；
[0030] 附圖2 5-甲基-4-(6-甲氧基-2-萘基-2-(2-羥芐亞氨基）噻唑，其1H NMR的 圖譜；
[0031] 附圖3 ((1-二甲胺基）-烯丙基磷酸）-N-烯丙基油酰胺-丙烯酸-丙烯酰胺共聚 物的紅外譜圖；
[0032] 附圖4納米石墨的XRD圖；
[0033] 附圖5聚二硫二丙烷磺酸鈉的1H NMR的圖譜。

【具體實(shí)施方式】
[0034] 本發(fā)明提供了一種用于聚酰亞胺薄膜的表面鍍銅的化學(xué)鍍銅液，其原料包括銅鹽 10g/L?20g/L、穩(wěn)定劑5-甲基-4-(6-甲氧基-2-萘基-2-(2-羥芐亞氨基）噻唑lg/L? 3g/L、穩(wěn)定劑（(1-二甲胺基）-烯丙基磷酸）-N-烯丙基油酰胺-丙烯酸-丙烯酰胺共聚物 0· 5g/L?I. 5g/L、乙二胺四乙酸鈉絡(luò)合劑30g/L?50g/L、醇胺10g/L?20g/L、Gemini型 季銨鹽3g/L?5g/L、酒石酸鉀鈉5g/L?8g/L、十二燒基苯磺酸鈉0. 5g/L?I. 5g/L，次磷 酸鈉4g/L?10g/L，水合肼2g/L?4g/L，加速劑0. 5g/L?I. 5g/L，聚二硫二丙燒磺酸鈉 0· 05g/L?0· 2g/L，加去離子水至1L。
[0035] 進(jìn)一步，所述化學(xué)鍍銅液僅由上述原料構(gòu)成。
[0036] 進(jìn)一步優(yōu)選，所述化學(xué)鍍銅液的原料包括銅鹽15g/L、穩(wěn)定劑5-甲基-4-(6-甲氧 基-2-萘基-2-(2-羥芐亞氨基）噻唑2g/L、穩(wěn)定劑（（1-二甲胺基）_烯丙基磷酸）-N-烯 丙基油酰胺-丙烯酸-丙烯酰胺共聚物lg/L、乙二胺四乙酸鈉絡(luò)合劑40g/L、醇胺15g/L、 Gemini型季銨鹽4g/L、酒石酸鉀鈉6g/L、十二燒基苯磺酸鈉 lg/L，次磷酸鈉8g/L，水合肼 3g/L，加速劑lg/L，聚二硫二丙燒磺酸鈉0. lg/L，加去離子水至1L。
[0037] 所述化學(xué)鍍銅液的pH值為11?12。
[0038] 所述銅鹽可以為硝酸銅、硫酸銅、氯化銅中的一種或幾種混合，優(yōu)選為硫酸銅。
[0039] 所述絡(luò)合劑用于與銅離子進(jìn)行絡(luò)合，經(jīng)過大量的實(shí)驗(yàn)研究，我們發(fā)現(xiàn)，采用乙二胺 四乙酸的絡(luò)合效果最好，可以很好的提高鍍銅穩(wěn)定性。
[0040] 所述醇胺是碳原子數(shù)為2?6的一醇胺或二醇胺，可以是乙醇胺、丙醇胺、二乙醇 胺、二丙醇胺中的一種或二種以上的混合物組成。
[0041] 所述5-甲基-4-(6-甲氧基-2-萘基-2-(2-羥芐亞氨基）噻唑的制備方法包括：
[0042] 第一步，取2. 93g(0. Olmol) 6-甲氧基-2-(2-溴丙?；┹?，30mL乙醇， 0. 76g(0. Olmol)硫脲，回流3h，氨水調(diào)pH值為8?9,攪拌，過濾，干燥得淺黃色固體；
[0043] 第二步，將Immol的水楊醛溶于5mL無水乙醇中，室溫?cái)嚢柘戮徛渭?Immol第一 步制備的淺黃色固體的無水乙醇溶液，加畢，回流4h，冷卻，抽濾，無水乙醇重結(jié)晶，得 5-甲基-4-(6-甲氧基-2-萘基-2-(2-羥芐亞氨基）噻唑。
[0044] 所述（(1-二甲胺基）-烯丙基磷酸）-N-烯丙基油酰胺-丙烯酸-丙烯酰胺共聚 物的制備方法具體為：
[0045] 在20°C下，稱取300g丙烯酸、600g丙烯酰胺、5gN-烯丙基油酰胺和5g(l-二甲胺 基）-烯丙基磷酸，4g乳化劑0P-10和I. 5L水，加入到反應(yīng)容器中，攪拌Ih?2h，使其充分 溶解，用氫氧化鈉調(diào)解pH值至6?8,通入氮?dú)?0min?0. 5h，隨后加熱至50°C左右，加入 引發(fā)劑過硫酸銨6g充分?jǐn)嚢瑁３衷?0°C反應(yīng)6h，隨后將反應(yīng)產(chǎn)物用乙醇沉淀，過濾，將過 濾獲得的固體干燥，粉碎，獲得產(chǎn)物。
[0046] 通過加入兩種穩(wěn)定劑在提高鍍銅速度的前提下能夠很好的保證鍍銅的穩(wěn)定性。
[0047] 通過添加加速劑我們發(fā)現(xiàn)可以明顯提高鍍銅的速度，所述加速劑具體為納米石 墨。
[0048] 所述納米石墨的制備方法具體為：
[0049] 第一步，將天然鱗片石墨在KKTC的真空干燥箱中干燥12h，接著將體積比為1:4 的硝酸和硫酸的混合液緩慢加入石墨并攪拌24h，然后過濾洗滌至pH值為7,再在100°C的 干燥箱中干燥12h ;
[0050] 第二步，將第一步獲得的產(chǎn)物放置在900°C的馬弗爐中處理20s，得到膨脹石墨；
[0051] 第三步，將5g膨脹石墨放置在400ml無水乙醇與蒸餾水（體積比65 : 35)的混 合液中在增力電動攪拌器下高速攪拌24h，讓膨脹石墨完全浸潤，再將混合物放置在120W 的超聲波中超聲30min的時(shí)間，接著過濾洗滌至pH值為中性，然后放置在KKTC干燥箱中干 燥即得。
[0052] 所述Gemini型季銨鹽的制備方法包括：
[0053] 第一步，在250ml三口瓶中加入13. 4g草酸鈉，25. Og環(huán)氧氯丙烷及IOOml無水乙 醇，在攪拌條件下于50°C反應(yīng)10h，反應(yīng)完成后，將反應(yīng)體系降至室溫，過濾，除去反應(yīng)生成 的氯化鈉，將濾液至于-20°C冰柜中24h，結(jié)晶，過濾，濾餅使用-20°C乙醇淋洗3次后至于 50°C真空干燥箱中干燥24h得中間體；
[0054] 第二步，在250ml三口瓶中加入10. Ig第一步制備的中間體，24. 9g十二烷基二甲 基胺鹽酸鹽及IOOml無水乙醇，在攪拌條件下于50°C反應(yīng)10h。反應(yīng)完成后，將反應(yīng)體系降 至室溫，過濾，除去反應(yīng)生成的氯化鈉，將濾液至于-20°C冰柜中24h，結(jié)晶，過濾，濾餅使用 小于5°C蒸餾水淋洗3次后至于50°C真空干燥箱中干燥24h，稱重得Gemini季銨鹽表面活 性劑。
[0055] 所述Gemini型季銨鹽的合成流程如下：

【權(quán)利要求】
1. 一種用于聚酰亞胺薄膜的表面鍍銅的化學(xué)鍍銅液，其特征在于：原料包括銅鹽IOg/ L?20g/基苯磺酸鈉0. 5g/L?I. 5g/L，次磷酸鈉4g/L?10g/L、第一穩(wěn)定劑lg/L?3g/L、 第二穩(wěn)定劑〇? 5g/L?I. 5g/L、乙二胺四乙酸鈉絡(luò)合劑30g/L?50g/L、醇胺10g/L?20g/ L、Gemini型季銨鹽3g/L?5g/L、酒石酸鉀鈉5g/L?8g/L、十二燒L，水合肼2g/L?4g/ L，加速劑0. 5g/L?I. 5g/L，聚二硫二丙烷磺酸鈉0. 05g/L?0. 2g/L，加去離子水至1L。
2. 如權(quán)利要求1所述的化學(xué)鍍銅液，其特征在于：所述加速劑具體為納米石墨。
3. 如權(quán)利要求2所述的化學(xué)鍍銅液，其特征在于：所述納米石墨的制備方法具體為： 第一步，將天然鱗片石墨在l〇〇°C的真空干燥箱中干燥12h，接著將體積比為1:4的硝 酸和硫酸的混合液緩慢加入石墨并攪拌24h，然后過濾洗滌至pH值為7,再在KKTC的干燥 箱中干燥12h ; 第二步，將第一步獲得的產(chǎn)物放置在900°C的馬弗爐中處理20s，得到膨脹石墨； 第三步，將5g膨脹石墨放置在400ml無水乙醇與蒸餾水（體積比65 : 35)的混合液 中在增力電動攪拌器下高速攪拌24h，讓膨脹石墨完全浸潤，再將混合物放置在120W的超 聲波中超聲30min的時(shí)間，接著過濾洗滌至pH值為中性，然后放置在KKTC干燥箱中干燥即 得。
4. 如權(quán)利要求1至3之一所述的化學(xué)鍍銅液，其特征在于：所述第一種穩(wěn)定劑是5-甲 基-4-(6-甲氧基-2-萘基-2-(2-羥芐亞氨基）噻唑，所述第二種穩(wěn)定劑是（（1-二甲胺 基）_烯丙基磷酸）-N-烯丙基油酰胺-丙烯酸-丙烯酰胺共聚物。
5. 如權(quán)利要求4所述的化學(xué)鍍銅液，其特征在于：所述（(1-二甲胺基）-烯丙基磷 酸）-N-烯丙基油酰胺-丙烯酸-丙烯酰胺共聚物的制備方法具體為， 在20°C下，稱取300g丙烯酸、600g丙烯酰胺、5gN-烯丙基油酰胺和5g (1-二甲胺 基）_烯丙基磷酸，4g乳化劑0P-10和I. 5L水，加入到反應(yīng)容器中，攪拌Ih?2h，使其充分 溶解，用氫氧化鈉調(diào)解pH值至6?8,通入氮?dú)?0min?0. 5h，隨后加熱至50°C左右，加入 引發(fā)劑過硫酸銨6g充分?jǐn)嚢?，保持?0°C反應(yīng)6h，隨后將反應(yīng)產(chǎn)物用乙醇沉淀，過濾，將過 濾獲得的固體干燥，粉碎，獲得產(chǎn)物。
6. 如權(quán)利要求4所述的化學(xué)鍍銅液，其特征在于：所述聚二硫二丙烷磺酸鈉的制備方 法具體為： 第一步，稱取I. 5kg硫化鈉，加入反應(yīng)容器中，加入I. 5L水，在50°C的溫度下攪拌溶解， 當(dāng)溶液變?yōu)闊o色后，繼續(xù)攪拌lh，在加入0. 4kg的硫磺，保持在50°C攪拌lh，獲得紅色透明 溶液； 第二步，將第一步獲得的透明溶液倒入反應(yīng)容器中，再加入1.5L醇濃度為90%的乙 醇，保持在室溫下攪拌〇. 5h，隨后一邊攪拌一邊滴加1，3-丙磺酸內(nèi)酯，滴加3. 5h，滴加過程 中保持溫度在35°C?45°C，滴加完畢后繼續(xù)攪拌lh，隨后抽濾，放入真空干燥箱內(nèi)50°C下 干燥，粉碎，獲得粉末。
7. 如權(quán)利要求4所述的化學(xué)鍍銅液，其特征在于：所述銅鹽可以為硝酸銅、硫酸銅、氯 化銅中的一種或幾種混合。
8. 如權(quán)利要求4所述的化學(xué)鍍銅液，其特征在于：所述醇胺是碳原子數(shù)為2?6的一 醇胺或二醇胺。
9. 如權(quán)利要求4所述化學(xué)鍍銅溶液的制備方法，其特征在于：將所述各原料成分按照 重量混合在一起，配置成IL的溶液。
10.如權(quán)利要求7或8所述化學(xué)鍍銅溶液的使用方法，其特征在于： 將上述化學(xué)鍍銅溶液升溫至40°C，用氮?dú)庀蛟摶瘜W(xué)鍍銅液中鼓泡，將經(jīng)過處理的聚酰 亞胺薄膜在上述化學(xué)鍍銅液中浸泡4小時(shí)，將聚酰亞胺薄膜取出，用去離子水沖洗1分鐘， 然后采用氮?dú)夤娘L(fēng)4分鐘，得到聚酰亞胺鍍件。
【文檔編號】C23C18/40GK104313553SQ201410502765
【公開日】2015年1月28日 申請日期:2014年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月26日
【發(fā)明者】麻威武, 王旭 申請人:麗水學(xué)院