磨削裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種磨削裝置，目的在于能容易地進行磨削輪的裝卸作業(yè)。磨削輪裝卸構(gòu)件（30）具有：第1抽吸管（31），其沿旋轉(zhuǎn)軸（24）的長度方向貫穿旋轉(zhuǎn)軸（24）的內(nèi)部；第2抽吸管（32），其與第1抽吸管（31）連通，并與配設(shè)在輪座（23）的裝配面（200）上的抽吸口（201）連接；抽吸閥（33），其對從抽吸口（201）進行抽吸和切斷抽吸進行切換；以及引導(dǎo)部（37），其將磨削輪（22）引導(dǎo)至輪座（23）的預(yù)定位置，因此通過打開抽吸閥（33），能夠通過引導(dǎo)部（37）將磨削輪（22）不偏移地引導(dǎo)到輪座（23）的裝配面（200）并進行抽吸保持。因此，即使不使用螺絲也能夠容易地進行磨削輪（22）的裝卸作業(yè)。
【專利說明】磨削裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及具有能夠裝卸的磨削輪的磨削裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]對形成有半導(dǎo)體器件等的板狀工件進行磨削的磨削裝置至少由以下部分構(gòu)成:保持構(gòu)件，其具有保持板狀工件的保持工作臺；以及磨削構(gòu)件，其裝配有對板狀工件實施磨削的磨削輪。并且，通過磨削輪來對保持在保持工作臺上的板狀工件進行磨削直到使該板狀工件薄化為預(yù)定厚度為止。
[0003]磨削輪通過螺絲固定在旋轉(zhuǎn)軸的輪座來進行使用，但是當(dāng)緊固在該磨削輪下部的磨削磨具損耗時，需要將該磨削輪從輪座卸下并更換為新的磨削輪。
[0004]在磨削輪的更換作業(yè)中，松開緊固于輪座的螺絲后從輪座取下使用過的磨削輪，并將新的磨削輪安裝到輪座并擰緊螺絲來進行固定。這樣，在一連串的磨削輪的更換作業(yè)中，需要進行拆卸或擰緊螺絲的作業(yè)，為了將新的磨削輪可靠地固定在輪座而使用多個螺絲(例如，參照專利文獻I)。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0006]專利文獻1:日本特開2006-224201號公報
[0007]但是，存在這樣的問題:當(dāng)在磨削輪相對于輪座的裝卸作業(yè)中使用多個螺絲時，磨削輪的裝卸作業(yè)很繁雜。
[0008]另外，當(dāng)通過多個螺絲將磨削輪裝配到輪座時，輪座的裝配有磨削輪的裝配面、和磨削輪的與該裝配面接觸的被裝配面緊貼，有時很難卸下磨削輪。

【發(fā)明內(nèi)容】
[0009]本發(fā)明是鑒于上述事情而完成的發(fā)明，本發(fā)明的要解決的課題在于，能夠容易地進行磨削輪相對于輪座的裝卸作業(yè)。
[0010]本發(fā)明的磨削裝置至少具有:保持工作臺，其用于保持板狀工件；以及磨削構(gòu)件，其用于對上述保持工作臺保持的板狀工件進行磨削，上述磨削構(gòu)件由以下部分構(gòu)成:環(huán)形形狀的磨削輪，在該磨削輪上呈環(huán)狀地排列有磨削磨具；輪座，其具有裝配上述磨削輪的裝配面；旋轉(zhuǎn)軸，其與上述輪座連接，并能夠以上述輪座的中心為軸使上述輪座旋轉(zhuǎn)；以及磨削輪裝卸構(gòu)件，其將上述磨削輪裝配到上述輪座以及使上述磨削輪從上述輪座脫離，上述磨削輪裝卸構(gòu)件具有--第I抽吸管，其沿上述旋轉(zhuǎn)軸的長度方向貫穿上述旋轉(zhuǎn)軸的內(nèi)部；第2抽吸管，其配設(shè)于上述輪座的內(nèi)部，與上述第I抽吸管連通并且與配設(shè)在上述輪座的上述裝配面上的抽吸口連接；抽吸閥，其對從上述抽吸口進行抽吸和切斷上述抽吸進行切換；以及引導(dǎo)部，當(dāng)通過上述抽吸閥的工作將上述磨削輪抽吸保持到上述輪座的上述裝配面時，上述引導(dǎo)部將上述磨削輪引導(dǎo)至上述輪座的預(yù)定位置。
[0011]優(yōu)選的是，上述磨削裝置具有磨削液供給構(gòu)件，該磨削液供給構(gòu)件向裝配在上述輪座上的上述磨削輪供給磨削液，上述磨削液供給構(gòu)件具有:第I供給管，其與上述第I抽吸管平行地沿上述旋轉(zhuǎn)軸的長度方向貫穿上述旋轉(zhuǎn)軸的內(nèi)部；第2供給管，其配設(shè)于上述輪座的內(nèi)部，與上述第I供給管連通并與配設(shè)于上述裝配面上的供給口連接；以及通液閥，其對向上述供給口流通磨削液和切斷該流通進行切換，通過使上述通液閥工作能夠向上述磨削輪供給磨削液，上述供給口形成為圍繞上述抽吸口周圍的形狀，通過供給到上述供給口的磨削液來對上述輪座的裝配面和裝配在上述裝配面上的上述磨削輪的被裝配面之間的間隙進行液體密封。
[0012]優(yōu)選的是，上述磨削裝置具有排出閥，該排出閥與向上述第I抽吸管供給流體的供給源連接，并對從上述抽吸口排出流體和切斷上述排出進行切換。
[0013]另外，優(yōu)選的是，上述磨削裝置具有保持維持構(gòu)件，該保持維持構(gòu)件對使抽吸閥工作、通過來自抽吸口的抽吸而被抽吸保持的磨削輪的保持進行維持。
[0014]發(fā)明效果
[0015]由于設(shè)置在本發(fā)明的磨削裝置的磨削輪裝卸構(gòu)件具有:第I抽吸管，其沿旋轉(zhuǎn)軸的長度方向貫穿旋轉(zhuǎn)軸的內(nèi)部；第2抽吸管，其與第I抽吸管連通并且與配設(shè)在輪座的裝配面上的抽吸口連接；抽吸閥，其對從抽吸口進行抽吸和切斷抽吸進行切換；以及引導(dǎo)部，其將磨削輪引導(dǎo)至輪座的預(yù)定位置，因此通過打開抽吸閥能夠抽吸磨削輪，并能夠通過引導(dǎo)部將磨削輪不偏移地引導(dǎo)到輪座的裝配面并進行抽吸保持。因此，即使不使用螺絲也能夠容易地進行磨削輪的裝卸作業(yè)。
[0016]上述磨削裝置具有向裝配在輪座上的磨削輪供給磨削液的磨削液供給構(gòu)件，磨削液供給構(gòu)件具有:第I供給管，其與第I抽吸管平行地沿旋轉(zhuǎn)軸的長度方向貫穿旋轉(zhuǎn)軸的內(nèi)部；第2供給管，其與第I供給管連通并且與供給口連接；以及通液閥，其對從供給口流通磨削液和切斷流通進行切換，因此在板狀工件的磨削中，通過打開通液閥，能夠向供給口供給磨削液，并且能夠?qū)π纬捎谳喿难b配面和磨削輪的被裝配面之間的間隙進行液體密封來封閉該間隙。因此，能夠防止在板狀工件的磨削中產(chǎn)生的磨削屑等侵入到形成于磨削輪的被裝配面和輪座的裝配面之間的間隙，磨削輪不會過度緊貼于輪座，從而能夠從輪座容易地卸下磨削輪。
[0017]另外，由于上述磨削裝置的第I抽吸管具有排出閥，該排出閥與向第I抽吸管供給流體的供給源連接并且對從抽吸口朝向磨削輪的流體的排出和排出的切斷進行切換，因此在從輪座卸下磨削輪時，通過打開排出閥，能夠從抽吸口朝向磨削輪的被裝配面排出流體。因此，能夠從輪座容易地卸下磨削輪。
[0018]另外，由于在磨削裝置所具有的輪座的下表面設(shè)置有用于維持對磨削輪的抽吸保持的多個保持維持構(gòu)件，因此能夠維持磨削輪通過抽吸保持而裝配于輪座的狀態(tài)。因此，能夠防止在板狀工件的磨削中磨削輪從輪座掉落。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是表示磨削裝置的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0020]圖2是表示在卸下了磨削輪的狀態(tài)下的磨削構(gòu)件的結(jié)構(gòu)的仰視圖。
[0021]圖3是沿圖2中的a-o-b線的剖視圖。
[0022]圖4是表示磨削輪的仰視圖。
[0023]圖5是沿圖2中的o-c線的剖視圖，Ca)表示引導(dǎo)部被收納在槽中的狀態(tài)，(b)表示引導(dǎo)部的下部插入到定位槽的狀態(tài)。
[0024]圖6是表示輪座一邊抽吸保持磨削輪一邊向磨削輪供給磨削液的狀態(tài)的剖視圖。
[0025]圖7是表示形成于輪座的液體密封部的仰視圖。
[0026]圖8是表示使磨削輪從輪座脫離的狀態(tài)的剖視圖。
[0027]標(biāo)號說明
[0028]1:磨削裝置
[0029]2:裝置基體2a:上表面
[0030]3:支柱
[0031]4:移動基座
[0032]5:保持工作臺5a:保持面
[0033]6:波紋部件
[0034]7:旋轉(zhuǎn)接頭
[0035]8:槽
[0036]9:定位槽
[0037]10:磨削進給構(gòu)件11:滾珠絲杠12:馬達13:導(dǎo)軌
[0038]14:升降板
[0039]20:磨削構(gòu)件21:磨削磨具22:磨削輪22a:凸緣
[0040]23:輪座24:旋轉(zhuǎn)軸25:機殼
[0041]200:裝配面201:抽吸口 210:被裝配面
[0042]30:磨削輪裝卸構(gòu)件31:第I抽吸管32:第2抽吸管
[0043]33:抽吸閥34:抽吸源35:排出閥36:供給源
[0044]37:引導(dǎo)部37a:擴徑部38:彈簧
[0045]40:保持維持構(gòu)件41:銷
[0046]50:磨削液供給構(gòu)件51 ：第1供給管52:第2供給管
[0047]53:通液閥54:磨削液供給源55:供給口 56:流路57:磨削液
[0048]60:間隙
【具體實施方式】
[0049]圖1所示的磨削裝置1至少由沿Y軸方向延伸的裝置基體2、和立設(shè)在裝置基體2的Y軸方向后部側(cè)的支柱3構(gòu)成。在裝置基體2的上表面2a配設(shè)有能夠沿Y軸方向移動的移動基座4，移動基座4將保持工作臺5支撐為能夠旋轉(zhuǎn)，上述保持工作臺5具有抽吸保持被加工物的保持面5a。并且，移動基座4隨著波紋部件6的伸縮而沿Y軸方向移動，由此，能夠使保持工作臺5沿同一方向移動。
[0050]如圖1所示，在支柱3的側(cè)方，通過磨削進給構(gòu)件10支撐有磨削構(gòu)件20，上述磨削構(gòu)件20對被加工物實施磨削。磨削進給構(gòu)件10具有:滾珠絲杠11，其沿Z軸方向延伸；馬達12，其與滾珠絲杠11的一端連接；一對導(dǎo)軌13，其與滾珠絲杠11平行地延伸；以及升降板14，設(shè)置于該升降板14內(nèi)部的螺母與滾珠絲杠11螺合并且升降板14的側(cè)部與導(dǎo)軌13滑動接觸。當(dāng)磨削進給構(gòu)件10被馬達12驅(qū)動而使?jié)L珠絲杠11轉(zhuǎn)動時，使升降板14沿一對導(dǎo)軌13沿Z軸方向移動，由此，能夠使與升降板14連接的磨削構(gòu)件10升降。[0051]如圖1所示，磨削構(gòu)件20由以下部分構(gòu)成:環(huán)形形狀的磨削輪22，其呈環(huán)狀地排列有磨削磨具21 ;輪座23，其裝配有磨削輪22 ;旋轉(zhuǎn)軸24，其與輪座23連接并使輪座23能夠以輪座23的中心為軸旋轉(zhuǎn)；支架25，其用于保持旋轉(zhuǎn)軸24 ;以及磨削輪裝卸構(gòu)件30，其將磨削輪22裝配到輪座23并且使磨削輪22從輪座23脫離。
[0052]如圖2所示，在輪座23的下表面?zhèn)妊刂芟蚋糸_一定間隔地形成有多個抽吸口 201。如圖3所示，抽吸口 201經(jīng)第2抽吸管32與構(gòu)成磨削輪裝卸構(gòu)件30的第I抽吸管31連通。第I抽吸管31沿旋轉(zhuǎn)軸24的長度方向貫穿旋轉(zhuǎn)軸24的內(nèi)部。
[0053]如圖3所示，在旋轉(zhuǎn)軸24的內(nèi)部形成有第I供給管51，該第I供給管51與第I抽吸管31平行地貫穿旋轉(zhuǎn)軸24的長度方向，并成為磨削液的通道，第I供給管51與形成于輪座23的第2供給管52連通。第2供給管52在輪座23的內(nèi)部配設(shè)在與旋轉(zhuǎn)軸24的長度方向正交的方向。
[0054]如圖3所示，輪座23外周側(cè)的下表面成為裝配磨削輪22的裝配面200。如圖2所示，第2供給管52在裝配面200的抽吸口 201的內(nèi)周側(cè)開口，并沿周向隔開一定的間隔配設(shè)。另一方面，如圖3所示，磨削輪22的上表面成為與裝配面200面對面的被裝配面210，在被裝配面210內(nèi)側(cè)形成有凸緣22a。
[0055]磨削輪裝卸構(gòu)件30具有對從抽吸口 201進行抽吸和切斷抽吸進行切換的抽吸閥33、和抽吸源34，抽吸閥33經(jīng)旋轉(zhuǎn)接頭7與第I抽吸管31連接。
[0056]如圖3所示，第I抽吸管31經(jīng)旋轉(zhuǎn)接頭7與排出閥35連接，該排出閥35對從抽吸口 201排出流體和切斷流體排出進行切換。該排出閥35與供給源36連接，上述供給源36為向抽吸口 201供給流體的供給源。
[0057]如圖3所示，在輪座23的裝配面200配設(shè)有供給口 55，第2供給管52與供給口55連接。如圖2所示，供給口 55形成為圍繞抽吸口 201周圍的形狀，并且與形成于磨削輪22的內(nèi)部的流過磨削液的流路56連通。如圖4所示，在磨削輪22的下表面?zhèn)瘸蕡A環(huán)狀地緊固有多個單個的磨削磨具21，并且在磨削磨具21的內(nèi)側(cè)開口有流路56。
[0058]另外，如圖3所示，第2供給管52經(jīng)旋轉(zhuǎn)接頭7與通液閥53連接，該通液閥53對磨削液的通液和通液切斷進行切換。通液閥53與磨削液的磨削液供給源54連接。磨削液供給構(gòu)件50由第I供給管51、第2供給管52、通液閥53、以及磨削液供給源54構(gòu)成。
[0059]圖3所示的磨削輪裝卸構(gòu)件30在輪座23的周向具有多個引導(dǎo)部37，該引導(dǎo)部37將磨削輪22引導(dǎo)并裝配到圖2所示的輪座23的預(yù)定位置。如圖5的(a)所示，在引導(dǎo)部37形成有沿徑向擴徑的擴徑部37a。在輪座23的內(nèi)部形成有槽8，引導(dǎo)部37插入在安裝于槽8的螺旋狀的彈簧38內(nèi)。彈簧38的上端部固定在槽8的內(nèi)部，彈簧38的下端部由擴徑部37a從下方支撐，如圖5的(b)所示，彈簧38向下方推出擴徑部37a，能夠使引導(dǎo)部37的下部插入到在磨削輪22的內(nèi)部形成的定位槽9的內(nèi)部。
[0060]如圖2所示,在輪座23的下表面具有多個保持維持構(gòu)件40。保持維持構(gòu)件40構(gòu)成為，以銷41為軸在水平方向旋轉(zhuǎn)，如圖4的(b)所示，在保持維持構(gòu)件40位于凸緣22a的下方的狀態(tài)下，維持如下狀態(tài):磨削輪22保持在輪座23上。
[0061 ] 以下，對通過磨削裝置I來磨削被加工物的動作例進行說明。在磨削板狀工件W之前，磨削輪裝卸構(gòu)件30為了將磨削輪22裝配到輪座23，而使圖6所示的抽吸源34工作并且打開抽吸閥33。并且，如圖6所示，使磨削輪22的被裝配面210與輪座23的裝配面200面對面，通過作用在抽吸口 201的抽吸力將磨削輪22抽吸并拉向輪座23的裝配面200。
[0062]此時，如圖5的(a)所示，當(dāng)使磨削輪22的被裝配面210與輪座23的裝配面200接近時，將引導(dǎo)部37定位到磨削輪22的定位槽9的上方。接下來，如圖5的(b)所示，關(guān)于引導(dǎo)部37，彈簧38向下方推出引導(dǎo)部37，從而使引導(dǎo)部37的下部插入到定位槽9中。這樣，引導(dǎo)部37引導(dǎo)磨削輪22相對于輪座23的定位。這樣，使磨削輪22的被裝配面210裝配到輪座23的裝配面200。
[0063]圖3所示的保持維持構(gòu)件40以銷41為軸在水平方向旋轉(zhuǎn)，由此，如圖5的(b)所示，保持維持構(gòu)件40移動到磨削輪22的凸緣22a的下側(cè)，并固定凸緣22a以便使磨削輪22不動。
[0064]接下來，將圖1所示的板狀工件W裝載到保持工作臺5的保持面5a，通過保持工作臺5來抽吸保持板狀工件W。接下來，保持工作臺5隨著波紋部件6的伸縮而沿Y軸方向移動，并移動到磨削構(gòu)件20的下方。
[0065]如圖6所示，構(gòu)成磨削構(gòu)件20的旋轉(zhuǎn)軸24以中心軸線O為軸使磨削輪22例如向箭頭A方向旋轉(zhuǎn)，同時圖1所示的磨削進給構(gòu)件10使磨削構(gòu)件20以預(yù)定的進給速度沿Z軸方向下降。并且，旋轉(zhuǎn)的磨削磨具21—邊按壓板狀工件W—邊對板狀工件W進行磨削直到達到預(yù)定的厚度。
[0066]在板狀工件W的磨削中，通過磨削液供給構(gòu)件50來朝向磨削輪22供給磨削液。具體來說,如圖5所示，使磨削液供給源54工作并且打開通液閥53。當(dāng)打開通液閥53時，磨削液57通過第I供給管51以及第2供給管52流向供給口 55。
[0067]流到供給口 55的磨削液57對形成于磨削輪22的被裝配面210和輪座23的裝配面200之間的間隙60進行液體密封(由液體來進行密封)來封閉該間隙60，形成液體密封部60a。由此，能夠防止磨削屑侵入到間隙60中。在圖7中如斜線所示，液體密封部60a形成為圓環(huán)狀。并且，如圖6所示，通過間隙60的磨削液57流向流路56并被供給向磨削磨具21。
[0068]接下來，對在磨削輪22的更換時等，用于通過磨削輪裝卸構(gòu)件30來將磨削輪22從輪座23卸下的動作例進行說明。如圖8所示，關(guān)閉抽吸閥33，并且打開排出閥35。接下來，利用供給源36向第I抽吸管31以及第2抽吸管32供給流體(例如，空氣)。并且，從抽吸口 201朝向磨削輪22的被裝配面210排出空氣，從而使磨削輪22從輪座23的裝配面200脫離。
[0069]如上所述，由于設(shè)置于磨削裝置I的磨削輪裝卸構(gòu)件30具有--第I抽吸管31，其沿旋轉(zhuǎn)軸24的長度方向貫穿旋轉(zhuǎn)軸24的內(nèi)部；第2抽吸管32，其與第I抽吸管31連通并且與配設(shè)在輪座23的裝配面200上的抽吸口 201連接；抽吸閥33，其對從抽吸口 201進行抽吸和切斷抽吸進行切換；以及引導(dǎo)部37，其將磨削輪22引導(dǎo)至輪座23的預(yù)定位置，因此通過打開抽吸閥33，能夠使來自抽吸源34的抽吸力在抽吸口 201發(fā)揮作用，并且能夠通過引導(dǎo)部37將磨削輪22的被裝配面210不偏移地引導(dǎo)向輪座23的裝配面200并進行抽吸保持。因此，即使不使用螺絲也能夠容易地進行磨削輪22的裝卸作業(yè)。
[0070]磨削裝置I中具有向裝配在輪座23的磨削輪22供給磨削液的磨削液供給構(gòu)件50，磨削液供給構(gòu)件50具有:第I供給管51，其與第I抽吸管31平行地沿旋轉(zhuǎn)軸24的長度方向貫穿旋轉(zhuǎn)軸24的內(nèi)部；第2供給管52，其與第I供給管51連通并且與供給口 55連接；以及通液閥53，其對從供給口流通磨削液57和切斷流通進行切換，因此在板狀工件W的磨削中，通過打開通液閥53，能夠向供給口 55供給磨削液57并且能夠?qū)π纬捎谳喿?3的裝配面200和磨削輪22的被裝配面210之間的間隙60進行液體密封而封閉該間隙60。由此，能夠防止板狀工件W的磨削屑等侵入到間隙60中，由于磨削輪22不會過度緊貼于輪座23，所以能夠從輪座23容易地卸下磨削輪22。
[0071]由于磨削裝置I的第I抽吸管31具有排出閥35，該排出閥35與供給源36連接并且對從抽吸口 201向磨削輪22排出流體和切斷流體的排出進行切換，因此從輪座23卸下磨削輪22時，通過打開排出閥35，能夠從抽吸口 201朝向磨削輪22排出流體。因此，能夠從輪座23容易地卸下磨削輪22。
[0072]另外，由于在輪座23的下表面設(shè)置有用于維持磨削輪22的抽吸保持的多個保持維持構(gòu)件40，因此板狀工件W的磨削中，由于保持維持構(gòu)件40以銷41為軸水平旋轉(zhuǎn)而固定磨削輪22的凸緣22a，因此能夠防止磨削輪22從輪座23掉落。
【權(quán)利要求】
1.一種磨削裝置，其至少具有:保持工作臺，其用于保持板狀工件；以及磨削構(gòu)件，其用于對上述保持工作臺保持的板狀工件進行磨削， 上述磨削裝置的特征在于， 上述磨削構(gòu)件由以下部分構(gòu)成: 環(huán)形形狀的磨削輪，在該磨削輪上呈環(huán)狀地排列有磨削磨具； 輪座，其具有裝配上述磨削輪的裝配面； 旋轉(zhuǎn)軸，其與上述輪座連接，并能夠以上述輪座的中心為軸使上述輪座旋轉(zhuǎn)；以及 磨削輪裝卸構(gòu)件，其將上述磨削輪裝配到上述輪座以及使上述磨削輪從上述輪座脫離， 上述磨削輪裝卸構(gòu)件具有:第I抽吸管，其沿上述旋轉(zhuǎn)軸的長度方向貫穿上述旋轉(zhuǎn)軸的內(nèi)部； 第2抽吸管，其配設(shè)于上述輪座的內(nèi)部，與上述第I抽吸管連通并且與配設(shè)在上述輪座的上述裝配面上的抽吸口連接； 抽吸閥，其對從上述抽吸口進行抽吸和切斷上述抽吸進行切換；以及引導(dǎo)部，當(dāng)通過上述抽吸閥的工作將上述磨削輪抽吸保持到上述輪座的上述裝配面時，上述引導(dǎo)部將上述磨削輪弓I導(dǎo)至上述輪座的預(yù)定位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨削裝置，其特征在于， 上述磨削裝置具有磨削液供給構(gòu)件，該磨削液供給構(gòu)件向裝配在上述輪座上的上述磨削輪供給磨削液， 上述磨削液供給構(gòu)件具有:第I供給管，其與上述第I抽吸管平行地沿上述旋轉(zhuǎn)軸的長度方向貫穿上述旋轉(zhuǎn)軸的內(nèi)部； 第2供給管，其配設(shè)于上述輪座的內(nèi)部，與上述第I供給管連通并與配設(shè)于上述裝配面上的供給口連接；以及 通液閥，其對向上述供給口流通磨削液和切斷該流通進行切換， 通過使上述通液閥工作能夠向上述磨削輪供給磨削液， 上述供給口形成為圍繞上述抽吸口周圍的形狀，通過供給到上述供給口的磨削液來對上述輪座的裝配面和裝配在上述裝配面上的上述磨削輪的被裝配面之間的間隙進行液體密封。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磨削裝置，其特征在于， 上述磨削裝置具有排出閥，該排出閥與向上述第I抽吸管供給流體的供給源連接，并對從上述抽吸口排出流體和切斷上述排出進行切換。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨削裝置，其特征在于， 上述磨削裝置具有保持維持構(gòu)件，該保持維持構(gòu)件對使上述抽吸閥工作、通過來自上述抽吸口的抽吸而被抽吸保持的上述磨削輪的保持進行維持。
【文檔編號】B24B7/20GK103831682SQ201310572280
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月21日
【發(fā)明者】高田暢行 申請人:株式會社迪思科