一種蒸鍍用掩模組件及相應(yīng)的掩模板安裝方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種蒸鍍用掩模組件，包括外框、若干數(shù)量的支撐，所述外框?yàn)閮山M對邊形成的中空四邊形結(jié)構(gòu)，所述外框包括蒸鍍面和掩模板安裝面,所述蒸鍍面為所述外框面對蒸鍍源的一面，所述掩模板安裝面為所述外框背離蒸鍍源的一面；所述支撐數(shù)量大于等于1，所述支撐跨過所述外框中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框一組對邊上。采用本發(fā)明的蒸鍍用掩模組件可以克服掩模板下垂導(dǎo)致掩模板上的掩模圖案變形的問題，提高蒸鍍質(zhì)量，進(jìn)而提高OLED顯示器的質(zhì)量。
【專利說明】一種蒸鍍用掩模組件及相應(yīng)的掩模板安裝方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于電子印刷領(lǐng)域，涉及一種蒸鍍用掩模組件及相應(yīng)的掩模板安裝方法?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]有機(jī)電致發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode, OLED),與傳統(tǒng)的液晶顯示(Liquid Crystal Display, LCD)相比具有制造成本低(只有 TFT-LCD 的 30% — 40%)、可視范圍寬(170度以上的視角)、反應(yīng)時(shí)間快、使用溫度范圍廣(-40°~80° )等突出優(yōu)點(diǎn)，使得利用OLED技術(shù)所制成的顯示器成為人們廣泛關(guān)注的產(chǎn)品之一。
[0003]制造OLED顯示器關(guān)鍵環(huán)節(jié)是將有機(jī)材料選擇性地蒸鍍到襯底上，因此需要蒸鍍用的掩模組件，使有機(jī)材料淀積的圖案與設(shè)計(jì)的圖案相對應(yīng)。目前小尺寸的OLED顯示器的制作技術(shù)已經(jīng)很成熟，而通過同時(shí)制作多個(gè)OLED顯示器實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量的提高，以及大尺寸的OLED顯示器的制作，需要增大傳統(tǒng)襯底的尺寸，相應(yīng)的就需要增大掩模組件的尺寸。
[0004]傳統(tǒng)技術(shù)中，制作大尺寸的OLED顯示器的掩模組件如圖1~圖3所示，圖1所示為傳統(tǒng)蒸鍍用掩模組件的組裝示意圖，10為掩模板，11為外框，101為掩模板上的掩模圖案，對掩模板10施加張力的同時(shí)將掩模板焊接到外框11上，如圖2所示為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件平面結(jié)構(gòu)示意圖，是將掩模板10焊接到外框11上的平面結(jié)構(gòu)示意圖，20為焊點(diǎn)。由于掩模板受到自身重力的影響，會產(chǎn)生下垂，導(dǎo)致掩膜組件整體結(jié)構(gòu)發(fā)生變形，進(jìn)而引起掩模圖案101的變形，從而影響到蒸鍍的質(zhì)量，如圖3所示為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件因掩模板下垂導(dǎo)致掩模組件變形的平面結(jié)構(gòu)示意圖。[0005]有鑒于此，有必要提出一種掩膜組件，以克服掩模板下垂導(dǎo)致掩模板上的掩模圖案變形的問題，提聞?wù)翦戀|(zhì)量，進(jìn)而提聞OLED顯不器的質(zhì)量。
[0006]

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷中的至少一個(gè)。本發(fā)明提供了一種蒸鍍用掩模組件，包括外框、若干數(shù)量的支撐，其特征在于:
所述外框?yàn)閮山M對邊形成的中空四邊形結(jié)構(gòu)，所述外框包括蒸鍍面和掩模板安裝面，所述蒸鍍面為所述外框面對蒸鍍源的一面，所述掩模板安裝面為所述外框背離蒸鍍源的一面；
所述支撐數(shù)量大于等于1，所述支撐跨過所述外框中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框一組對邊上。
[0008]根據(jù)本發(fā)明【背景技術(shù)】中對現(xiàn)有技術(shù)所述，如圖1-3所示，由于掩模板受到自身重力的影響，會產(chǎn)生下垂，導(dǎo)致掩膜組件整體結(jié)構(gòu)發(fā)生變形，進(jìn)而引起掩模圖案的變形，從而影響到蒸鍍的質(zhì)量；而采用本發(fā)明的蒸鍍用掩模組件在使用過程中，由于所述支撐具有中間凸起兩端低的彎曲結(jié)構(gòu)特征，在掩模板受到自身重力作用出現(xiàn)下垂時(shí)，所述支撐能夠具有良好的支撐作用，凸起部分能夠?qū)ο麓蛊鸬窖a(bǔ)償?shù)淖饔茫寡谀０逶谡翦冞^程中呈平整狀態(tài)，而彎曲的各項(xiàng)參數(shù)則需要實(shí)驗(yàn)來具體確定。
[0009]另外，根據(jù)本發(fā)明公開的蒸鍍用掩模組件還具有如下附加技術(shù)特征:
進(jìn)一步地，所述支撐為中間凸起兩端低的彎曲結(jié)構(gòu)。
[0010]進(jìn)一步地，所述外框和所述支撐是一體成型結(jié)構(gòu)或拼接結(jié)構(gòu)。
[0011]所述外框和所述支撐可以是使用機(jī)械加工或鑄造等方法形成一體結(jié)構(gòu)，所述外框和所述支撐也可以是獨(dú)立個(gè)體，兩者拼接形成的整體。
[0012]進(jìn)一步地，所述外框是兩組對邊拼接結(jié)構(gòu)或一體成型結(jié)構(gòu)。
[0013]拼接結(jié)構(gòu)可以使整體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)更加簡單，但安裝過程中，則可能造成精度上的損失。
[0014]進(jìn)一步地，所述蒸鍍面開口形狀和所述掩模板安裝面開口形狀相似，且所述蒸鍍面開口形狀尺寸大于所述掩模板安裝面開口形狀尺寸。
[0015]優(yōu)選地，聯(lián)接所述蒸鍍面與所述掩模板安裝面之間為斜面或過渡曲面。
[0016]進(jìn)一步地，所述支撐橫截面為一端大于另一端的一端小一端大結(jié)構(gòu)，小端與大端之間為斜線段或過渡曲線。。 [0017]在所述支撐靠近蒸鍍源的一側(cè)尺寸小于遠(yuǎn)離蒸鍍源一側(cè)的尺寸，這樣在蒸鍍工序中可以避免蒸鍍源的遮蔽現(xiàn)象，提高蒸鍍質(zhì)量。
[0018]進(jìn)一步地，所述外框放置所述支撐的一組對邊上有缺口，所述支撐安裝在所述缺口中。
[0019]缺口的增加可以使所述支撐更加穩(wěn)固。
[0020]進(jìn)一步地，所述蒸鍍用掩模組件還包括掩模板，所述掩模板是整體一塊或是數(shù)量大于等于I的可分拆組合的掩模板單元構(gòu)成。
[0021]本發(fā)明還提供了一種采用所述蒸鍍用掩模組件的掩模板安裝方法，包括:
Si繃網(wǎng)定位:將掩模板進(jìn)行繃網(wǎng)，并根據(jù)所述掩模板與所述蒸鍍用掩膜組件的尺寸進(jìn)行定位，以獲得合格的產(chǎn)品；所述掩模板包括掩模圖案，所述掩模圖案透過所述外框與所述支撐形成的中空區(qū)域，避免蒸鍍材料被遮擋。
[0022]S2安裝:將所述掩模板固定聯(lián)接在所述蒸鍍掩膜組件上。
[0023]進(jìn)一步地，所述掩模板是一整塊掩模板，將所述掩模板整體固定聯(lián)接在所述外框和所述支撐上；
或是一組掩模板單元構(gòu)成的掩模板，將與所述外框?qū)?yīng)的外側(cè)掩模板單元與所述外框?qū)?yīng)的對邊和所述支撐固定聯(lián)接，將與所述外框?qū)?yīng)的內(nèi)側(cè)掩模板單元與所述支撐固定聯(lián)接。
[0024]進(jìn)一步地，所述固定聯(lián)接方式是焊接聯(lián)接結(jié)構(gòu)或粘結(jié)聯(lián)接結(jié)構(gòu)。
[0025]本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。
[0026]【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:圖1為傳統(tǒng)蒸鍍用掩模組件的組裝示意圖；
圖2為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件平面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件因掩模板下垂導(dǎo)致掩模組件變形的平面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4為掩?？蛘w結(jié)構(gòu)示意圖；
圖5為掩?？蛎嫦蛘翦冊匆幻娴钠矫娼Y(jié)構(gòu)示意圖；
圖6為將掩模板焊接到掩?？蛏系钠矫娼Y(jié)構(gòu)示意圖；
圖7所示為一種掩模組件組裝示意圖；
圖8所示為一種掩模組件的平面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖9所示為支撐形變補(bǔ)償?shù)钠矫娼Y(jié)構(gòu)示意圖；
圖10所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；
圖11所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；
圖12所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；
圖13所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；
圖14所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；
圖1中，10為掩模板,11為外框，101為掩模板上的掩模圖案；
圖2中，20為焊點(diǎn)；
圖4中，40為掩模框，401為支撐，41為掩模板安裝面，402為外框；
圖5中，50為蒸鍍面，50'為傾斜面；
圖6中，60為掩模板，601為掩模圖案，61為焊點(diǎn)；
圖7中，70、71為掩模單元，701為掩模圖案；
圖8中，80為掩模部之間的縫隙；
圖9中，A-A為待解剖方向，90為與掩模板焊接的一面，91為朝向蒸鍍源的一側(cè)，91'為傾斜面；
圖10中，%~為朝向蒸鍍源的傾斜面；
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對本發(fā)明的限制。
[0029]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“底”、“頂”、“前”、“后”、“內(nèi)”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0030]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“聯(lián)接”、“連通”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0031]本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思如下，如技術(shù)背景所述，由于掩模板受到自身重力的影響，會產(chǎn)生下垂，導(dǎo)致掩模組件整體結(jié)構(gòu)發(fā)生變形，進(jìn)而引起掩模圖案的變形，從而影響到蒸鍍的質(zhì)量；而采用本發(fā)明的蒸鍍用掩模組件在使用過程中，由于所述支撐具有中間凸起兩端低的彎曲結(jié)構(gòu)特征，在掩模板受到自身重力作用出現(xiàn)下垂時(shí)，所述支撐能夠具有良好的支撐作用，凸起部分能夠?qū)ο麓蛊鸬窖a(bǔ)償?shù)淖饔?，使掩模板在蒸鍍過程中呈平整狀態(tài)，而彎曲的各項(xiàng)參數(shù)則需要實(shí)驗(yàn)來具體確定。
[0032]下面將參照附圖來描述本發(fā)明的蒸鍍用掩模組件，其中圖4為掩?？蛘w結(jié)構(gòu)示意圖，圖5為掩?？蛎嫦蛘翦冊匆幻娴钠矫娼Y(jié)構(gòu)示意圖，圖6為將掩模板焊接到掩?？蛏系钠矫娼Y(jié)構(gòu)示意圖，圖7所示為一種掩模組件組裝示意圖，圖8所示為一種掩模組件的平面結(jié)構(gòu)示意圖，圖9所示為支撐形變補(bǔ)償?shù)钠矫娼Y(jié)構(gòu)示意圖，圖10所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖11所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖12所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖13所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖14所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖。
[0033]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，如圖4-14所示，本發(fā)明提供了一種蒸鍍用掩模組件，包括外框402、若干數(shù)量的支撐401，如圖4、5所示，所述外框402為兩組對邊形成的中空四邊形結(jié)構(gòu)，所述外框402包括蒸鍍面50和掩模板安裝面41，所述蒸鍍面50為所述外框402面對蒸鍍源的一面，所述掩模板安裝面41為所述外框402背離蒸鍍源的一面； 所述支撐401數(shù)量大于等于1，所述支撐401跨過所述外框402中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框402 —組對邊上。
[0034]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述支撐401為中間凸起兩端低的彎曲結(jié)構(gòu)，如圖9所示(彎曲幅度實(shí)際上很小，圖9只是示意圖)。
[0035]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述外框402和所述支撐401是一體成型結(jié)構(gòu)或拼接結(jié)構(gòu)。
[0036]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述外框402和所述支撐401可以是使用機(jī)械加工或鑄造等方法形成一體結(jié)構(gòu)，所述外框402和所述支撐401也可以是獨(dú)立個(gè)體，兩者拼接形成的整體。
[0037]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述外框402是兩組對邊拼接結(jié)構(gòu)或一體成型結(jié)構(gòu)。
[0038]拼接結(jié)構(gòu)可以使整體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)更加簡單，但安裝過程中，則可能造成精度上的損失。
[0039]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述蒸鍍面50開口形狀和所述掩模板安裝面41開口形狀相似，且所述蒸鍍面50開口形狀尺寸大于所述掩模板安裝面41開口形狀尺寸，如圖5所示。
[0040]優(yōu)選地，所述蒸鍍面50與所述掩模板安裝面41之間為斜面或過渡曲面，如圖5中的面5(V。
[0041]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例,所述支撐401橫截面為一端大于另一端的一端小一端大結(jié)構(gòu)，小端與大端之間為斜線段或過渡曲線，如圖10-14所示。
[0042]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述支撐401橫截面為三角形，如圖10所示。
[0043]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述支撐401橫截面為上端大，下端小，上述兩者之間為內(nèi)凹過渡曲線構(gòu)成,如圖11所示。
[0044]進(jìn)一步地，下端的頭部為圓滑曲線構(gòu)成，如圖11所示。
[0045]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述支撐401橫截面為類似梯形結(jié)構(gòu)，左右兩邊為凸起過渡曲線，如圖12所示。
[0046]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述支撐401橫截面為梯形結(jié)構(gòu)，如圖13所示。
[0047]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述支撐401橫截面為類似梯形結(jié)構(gòu)，左右兩邊為凹下過渡曲線，如圖14所示。
[0048]在所述支撐靠近蒸鍍源的一側(cè)尺寸小于遠(yuǎn)離蒸鍍源一側(cè)的尺寸，在蒸鍍過程中，可以盡可能的減少對蒸鍍材料的遮蔽可能。
[0049]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述外框402放置所述支撐401的一組對邊上有缺口，所述支撐401安裝在所述缺口中。
[0050]缺口的增加可以使所述支撐401更加穩(wěn)固。
[0051]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述蒸鍍用掩模組件還包括掩模板60,所述掩模板60是整體一塊或是數(shù)量大于等于I的可分拆組合的掩模板單元70、71構(gòu)成。所述掩模板60上包括掩模圖案601、701，如圖6-8所示。
[0052]本發(fā)明還提供了一種采用所述蒸鍍用掩模組件的掩模板安裝方法，包括:
SI繃網(wǎng)定位:將掩模板60進(jìn)行繃網(wǎng)，并根據(jù)所述掩模板60與所述蒸鍍用掩膜組件的尺寸進(jìn)行定位，以獲得合格的 產(chǎn)品；所述掩模板60包括掩模圖案601、701，所述掩模圖案601,701透過所述外框402與所述支撐401形成的中空區(qū)域，避免蒸鍍材料被遮擋。
[0053]S2安裝:將所述掩模板60固定聯(lián)接在所述蒸鍍掩模組件上。
[0054]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述掩模板60是一整塊掩模板,將所述掩模板整體固定聯(lián)接在所述外框402和所述支撐401上；
將掩模板60繃網(wǎng)，使掩模板具有一定的張力(與圖1所示繃網(wǎng)方式類似)，同時(shí)將掩模板焊接到掩?？?0上，如圖6所示為將掩模板焊接到掩模框上的平面結(jié)構(gòu)示意圖，圖6中，60為掩模板，601為掩模圖案，61為焊點(diǎn)，掩模板是一體成型的結(jié)構(gòu)。在繃網(wǎng)焊接的同時(shí)還要進(jìn)行對位，使掩模板上的掩模圖案與外框402和支撐圍成的中空區(qū)域相對應(yīng)，使掩模板上掩模圖案之間的間隙部分與支撐相對應(yīng)，焊接時(shí)掩模板60的周邊與外框402連接(可以是焊接、粘接等方式)在一起，掩模板上掩模圖案601的間隙部分可以選擇性地與支撐401進(jìn)行焊接，焊點(diǎn)過多易使焊點(diǎn)附近的掩模圖案601變形，焊點(diǎn)過少則掩模板焊接不牢固，所以在焊接過程中，盡量使掩模板固定到外框和支撐上同時(shí)又不至于使掩模圖案變形。最佳焊接點(diǎn)的位置及數(shù)量可以通過實(shí)驗(yàn)來確定。
根據(jù)本發(fā)明的另一些實(shí)施例，一組掩模板單兀構(gòu)成的掩模板60,將與所述外框402對應(yīng)的掩模板單元70、71與所述外框402對應(yīng)的對邊和所述支撐401固定聯(lián)接。
[0055]如圖7所示,為一種掩模組件組裝示意圖，70、71為掩模單元,701為掩模單元上的掩模圖案，掩模板是由分立的掩模單元組成，分別對掩模單元(70、71)進(jìn)行繃網(wǎng)固定，繃網(wǎng)的同時(shí)進(jìn)行對位，使掩模單元70、71的左右兩邊無掩模圖案的區(qū)域分別與相鄰的支撐和外框部分重合，并且掩模圖案與支撐401和外框402圍成的中空區(qū)域相對應(yīng)，繃網(wǎng)同時(shí)先將掩模單元70、71上下兩端焊接(或粘接)到掩?？虻耐饪?02的上下邊框上，再將掩模單元的左右兩邊焊接到支撐和外框上。掩模單元71為靠近外框402的掩模單元，對應(yīng)與外框相鄰的一邊要比與支撐相鄰的一邊無掩模圖案的區(qū)域稍寬，如此可以增大外框402對掩模單元71的支撐作用，同時(shí)也方便將71焊接到外框上。焊點(diǎn)過多易使焊點(diǎn)附近的掩模圖案701變形，焊點(diǎn)過少則掩模單元焊接不牢固，所以在焊接過程中，盡量使掩模單元固定到外框和支撐上同時(shí)又不至于使掩模圖案變形。最佳焊接點(diǎn)的位置及數(shù)量可以通過實(shí)驗(yàn)來確定。
[0056]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述固定聯(lián)接方式是焊接聯(lián)接結(jié)構(gòu)或粘結(jié)聯(lián)接結(jié)構(gòu)。
[0057]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，圖8所示為一種掩模組件的平面結(jié)構(gòu)示意圖(為圖7所示掩模組件組裝完成后的平面結(jié)構(gòu)示意圖)，80為掩模單元之間的縫隙。其中支撐401除了對掩模單元70、71起到支撐的作用外，還起到攔截蒸鍍源通過縫隙80蒸鍍到襯底上，避免在襯底上淀積出不必要的圖案，影響蒸鍍質(zhì)量。
[0058]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例,在掩模板因自身重力產(chǎn)生下垂的同時(shí)支撐401也會產(chǎn)生下垂(因自身重力和掩模板的壓力而下垂)，因此有必要在將掩模板組裝到掩模框之前對支撐401施加一定的力致使支撐產(chǎn)生向上的形變(此形變很小)，如圖9所示(變形幅度很小，圖9是示意圖)，在蒸鍍時(shí)可以補(bǔ)償掩模板和支撐因自身重力產(chǎn)生的下垂，即掩模板和支撐本身產(chǎn)生的下垂，可以由支撐向上的形變來抵消掉，使整個(gè)蒸鍍過程中掩模板呈平整狀態(tài)，沒有下垂。
[0059]由于支撐產(chǎn)生的形變量很小，在支撐的兩端與外框連接的部分，面90與面41幾乎在同一平面，蒸鍍時(shí)由于下垂量與支撐向上彎曲的形變量相互抵消，掩模板整體呈平整狀態(tài)。支撐401的長度可以與外框?qū)挾瘸叽缫恢氯鐖D4、圖8所示，也可以比外框的寬度尺寸小，如圖6所示。
[0060]盡管參照本發(fā)明的多個(gè)示意性實(shí)施例對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會脫離本發(fā)明的精神。除了零 部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種蒸鍍用掩模組件，包括外框、若干數(shù)量的支撐，其特征在于: 所述外框?yàn)閮山M對邊形成的中空四邊形結(jié)構(gòu)，所述外框包括蒸鍍面和掩模板安裝面，所述蒸鍍面為所述外框面對蒸鍍源的一面，所述掩模板安裝面為所述外框背離蒸鍍源的一面； 所述支撐數(shù)量大于等于1，所述支撐跨過所述外框中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框一組對邊上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述支撐為中間凸起兩端低的彎曲結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述外框和所述支撐是一體成型結(jié)構(gòu)或拼接結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述外框是兩組對邊拼接結(jié)構(gòu)或一體成型結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述蒸鍍面開口形狀和所述掩模板安裝面開口形狀相似，且所述蒸鍍面開口形狀尺寸大于所述掩模板安裝面開口形狀尺寸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述支撐橫截面為一端大于另一端的一端大一端小的結(jié)構(gòu)，小端與大端之間為斜線段或過渡曲線。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述外框放置所述支撐的一組對邊上有缺口，所述支撐安裝在所述缺口中。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述蒸鍍用掩模組件還包括掩模板，所述掩模板是整體一塊或是數(shù)量大于等于I的可分拆組合的掩模板單元構(gòu)成。
9.一種采用所述蒸鍍用掩模組件的掩模板安裝方法，其特征在于，包括: SI繃網(wǎng)定位:將掩模板進(jìn)行繃網(wǎng)，并根據(jù)所述掩模板與所述蒸鍍用掩膜組件的尺寸進(jìn)行定位，以獲得合格的產(chǎn)品；所述掩模板包括掩模圖案，所述掩模圖案透過所述外框與所述支撐形成的中空區(qū)域，避免蒸鍍材料被遮擋； S2安裝:將所述掩模板固定聯(lián)接在所述蒸鍍掩模組件上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的采用所述蒸鍍用掩模組件的掩模板安裝方法，其特征在于，所述掩模板是一整塊掩模板，將所述掩模板整體固定聯(lián)接在所述外框和所述支撐上； 或是一組掩模板單元構(gòu)成的掩模板，將與所述外框?qū)?yīng)的外側(cè)掩模板單元與所述外框?qū)?yīng)的對邊和所述支撐固定聯(lián)接，將與所述外框?qū)?yīng)的內(nèi)側(cè)掩模板單元與所述支撐固定聯(lián)接。
11.根據(jù)權(quán)利要求9、10所述的采用所述蒸鍍用掩模組件的掩模板安裝方法，其特征在于，所述固定聯(lián)接方式是焊接聯(lián)接結(jié)構(gòu)或粘結(jié)聯(lián)接結(jié)構(gòu)。
【文檔編號】C23C14/24GK103938153SQ201310022990
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2013年1月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月22日
【發(fā)明者】魏志凌, 高小平, 張煒平 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司