用于器件制造的光刻設(shè)備的輻射源以及方法
【專利摘要】一種用于通過LPP（激光產(chǎn)生等離子體）或（雙激光等離子體）由熔融金屬燃料液滴束流產(chǎn)生EUV的輻射源，具有：燃料液滴生成裝置，配置成提供燃料液滴束流；和至少一個激光器，配置成蒸發(fā)所述燃料液滴中的至少一些，由此產(chǎn)生輻射。所述燃料液滴生成裝置包括噴嘴、燃料供給線和貯液器，其中泵送裝置配置成通過燃料供給線由貯液器供給熔融金屬燃料流并將其作為液滴束流從噴嘴排出。燃料液滴生成裝置包括燃料供給線中的可更換過濾器組件，配置成在使用中過濾熔融金屬燃料，以阻止噴嘴被燃料中的固體顆粒雜質(zhì)堵塞。
【專利說明】用于器件制造的光刻設(shè)備的輻射源以及方法
[0001]相關(guān)申請的交叉引用
[0002]本申請要求于2012年9月2日遞交的美國臨時申請61/530，802的權(quán)益，其在此通過引用全文并入。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明涉及一種EUV輻射源、光刻設(shè)備以及用于制造器件的方法。
【背景技術(shù)】
[0004]光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底上，通常是襯底的目標(biāo)部分上的機器。光刻設(shè)備可用于例如集成電路(IC)制造過程中。在這種情況下，可以將可選地稱為掩?；蜓谀０娴膱D案形成裝置用于生成待形成在所述IC的單層上的電路圖案?？梢詫⒃搱D案轉(zhuǎn)移到襯底(例如，硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如，包括一部分管芯、一個或多個管芯)上。通常，通過將圖案成像到設(shè)置在襯底上的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上而實現(xiàn)圖案的轉(zhuǎn)移。通常，單一襯底將包括相鄰目標(biāo)部分的網(wǎng)絡(luò)，所述相鄰目標(biāo)部分被連續(xù)地圖案化。
[0005]光刻術(shù)被廣泛地看作制造IC和其他器件和/或結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵步驟之一。然而，隨著通過使用光刻術(shù)制造的特征的尺寸變得越來越小，光刻術(shù)越來越成為允許制造微型IC或其他器件和/或結(jié)構(gòu)的更加關(guān)鍵的因素。
[0006]圖案印刷的極限的理論估計可以由用于分辨率的瑞利法則給出，如等式(I)所示:
【權(quán)利要求】
1.一種輻射源，具有燃料液滴生成裝置和至少一個激光器，所述燃料液滴生成裝置配置成提供燃料液滴束流，所述至少一個激光器配置成將所述燃料液滴中的至少一些蒸發(fā)，由此產(chǎn)生輻射，所述燃料液滴生成裝置包括: 噴嘴； 燃料供給線； 貯液器； 泵送裝置，配置成通過燃料供給線由貯液器供給熔融金屬燃料流并將熔融金屬燃料流作為液滴束流從噴嘴排出；和 燃料供給線中的可更換過濾器組件，配置成在使用中過濾所述熔融金屬燃料，該可更換過濾器組件包括具有相反的第一面和第二面的剛性支撐板，設(shè)有一個或更多個通道，每個通道從第一面中的相應(yīng)的第一孔口延伸通過第二面中相應(yīng)的第二孔口，并且該剛性支撐板用于支撐過濾器隔膜，所述過濾器隔膜在第一面上并且在第一面的每個第一孔口上延伸， 其中過濾器隔膜包括其中相互間隔開的孔洞，其中每個第一孔口與多個孔洞對準(zhǔn)以在多個孔洞和相應(yīng)的通道之間提供流體連接。
2.如權(quán)利要求1所述的輻射源，其中燃料液滴生成裝置包括: 包括噴嘴的可更換噴嘴組件；和 連接裝置，用于將噴嘴組件連接至燃料供給線，由此噴嘴與燃料供給線流體連接，其中過濾器組件在使用中被保持在連接裝置中。
3.如權(quán)利要求1或2所述的輻`射源，其中連接裝置適于在使用中將過濾器組件可釋放地保持在燃料供給線和噴嘴組件的入口孔之間。
4.如權(quán)利要求1或2所述的輻射源，其中可更換噴嘴適于在使用中將過濾器組件可釋放地保持在燃料供給線和噴嘴組件的入口孔之間。
5.如權(quán)利要求1或2所述的輻射源，其中過濾器組件被結(jié)合至噴嘴組件的入口孔，由此可更換噴嘴和過濾器組件形成一體部件。
6.如前述權(quán)利要求任一項所述的輻射源，其中剛性支撐板是硅晶片。
7.如前述權(quán)利要求任一項所述的輻射源，其中過濾器隔膜是氮化硅隔膜。
8.如前述權(quán)利要求任一項所述的輻射源，其中第一孔口具有100μ m的最大寬度并且孔洞具有3μπι的最大寬度。
9.如前述權(quán)利要求任一項所述的輻射源，其中過濾器組件涂覆有不能溶解在所述熔融金屬燃料中的材料的層。
10.一種光刻設(shè)備，包括: 前述權(quán)利要求任一項所述的輻射源； 照射系統(tǒng)，配置成調(diào)節(jié)該輻射束； 支撐結(jié)構(gòu)，構(gòu)造成支撐圖案形成裝置，該圖案形成裝置能夠?qū)D案在輻射束的橫截面上賦予輻射束以形成圖案化的輻射束； 襯底臺，構(gòu)造成保持襯底；以及 投影系統(tǒng)，配置成將圖案化的輻射束投影到所述襯底的目標(biāo)部分上。
11.一種燃料液滴生成裝置，用在輻射源中為器件光刻提供燃料液滴的束流，所述燃料液滴生成裝置包括噴嘴、燃料供給線、貯液器以及泵送裝置，所述泵送裝置布置成通過燃料供給線由貯液器供給熔融金屬燃料流并將熔融金屬燃料流作為液滴束流從噴嘴排出， 其中燃料液滴生成裝置具有在燃料供給線中的過濾器組件，所述過濾器組件布置成在使用中過濾所述熔融金屬燃料， 所述過濾器組件包括具有相反的第一面和第二面的剛性支撐板，設(shè)有一個或更多個通道，每個通道從第一面中的相應(yīng)的第一孔口延伸通過第二面中相應(yīng)的第二孔口，并且 所述剛性支撐板用于支撐過濾器隔膜，所述過濾器隔膜結(jié)合至第一面并且在第一面的每個第一孔口上延伸， 其中過濾器隔膜包括其中相互間隔開的孔洞，其中每個第一孔口與多個孔洞對準(zhǔn)以在多個孔洞和相應(yīng)的通道之間提供流體連接。
12.一種用于過濾燃料液滴生成裝置的熔融金屬燃料供給的方法，該燃料液滴生成裝置用于提供熔融金屬燃料液滴的束流，以通過激光激發(fā)提供用于器件光刻的輻射源，所述燃料液滴生成裝置包括噴嘴、燃料供給線、貯液器以及泵送裝置，所述泵送裝置布置成通過燃料供給線由貯液器供給熔融金屬燃料流并將熔融金屬燃料流作為液滴束流從噴嘴排出，所述方法包括: 將可更換過濾器組件插入并保持在燃料供給線中，布置成在使用中過濾熔融金屬燃料， 所述可更換過濾器組 件包括具有相反的第一和第二面的剛性支撐板，設(shè)有一個或更多個通道，每個通道從第一面中的相應(yīng)的第一孔口延伸通過第二面中相應(yīng)的第二孔口，和將過濾器隔膜支撐在第一面上并且使其在第一面的每個第一孔口上延伸， 其中過濾器隔膜包括其中相互間隔開的孔洞，其中每個第一孔口與多個孔洞對準(zhǔn)以在多個孔洞和相應(yīng)的通道之間提供流體連接。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中在潔凈室條件下執(zhí)行可更換過濾器組件的插入。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的方法，其中燃料液滴生成裝置包括可更換噴嘴組件和連接裝置，所述可更換噴嘴組件包括噴嘴，所述連接裝置用于將噴嘴組件連接至燃料供給線，由此噴嘴與燃料供給線流體連接，其中過濾器組件在使用中被保持在連接裝置中。
15.根據(jù)權(quán)利要求12至14中任一項所述的方法，其中所述連接裝置適于在使用中將過濾器組件可釋放地保持在噴嘴組件的入口孔和燃料供給線之間。
16.根據(jù)權(quán)利要求12至14中任一項所述的方法，其中可更換噴嘴適于在使用中將過濾器組件可釋放地保持在噴嘴組件的入口孔和燃料供給線之間。
17.根據(jù)權(quán)利要求12至14中任一項所述的方法，其中過濾器組件結(jié)合至噴嘴組件的入口孔，由此可更換噴嘴和過濾器組件形成一體部件。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中過濾器組件在潔凈室條件下結(jié)合至噴嘴入口孔并且在插入之前被存儲在密封包裝中。
19.根據(jù)權(quán)利要求12至18中任一項所述的方法，其中通過在潔凈室條件下蝕刻晶片形成剛性支撐板。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中通過將隔膜層生長到第一面上并在潔凈室條件下蝕刻隔膜層來形成過濾器隔膜。
【文檔編號】C22B9/02GK103765997SQ201280041657
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2012年7月27日 優(yōu)先權(quán)日:2011年9月2日
【發(fā)明者】R·豪特曼, A·凱姆鵬, B·范伊森 申請人:Asml荷蘭有限公司