專(zhuān)利名稱(chēng)：一種pecvd射頻電極接頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及電極接頭技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種PECVD射頻電極接頭。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工業(yè)制造中，生產(chǎn)芯片、處理器等半導(dǎo)體器件、薄膜太陽(yáng)能電池、液晶等平板顯示器過(guò)程中，都要用到射頻電源。射頻電源是產(chǎn)生等離子體的配套電源，主要由射頻功率源和阻抗匹配器組成，廣泛應(yīng)用于濺射鍍膜，PECVD (化學(xué)氣相沉積)，反應(yīng)離子刻蝕等 設(shè)備中。化學(xué)氣相沉積(PECVD)制備Si基薄膜太陽(yáng)電池過(guò)程中采用射頻電源提供高頻電信號(hào)產(chǎn)生等離子體，反應(yīng)后生成非晶硅薄膜。射頻電源經(jīng)匹配器后與設(shè)備通過(guò)接頭連接，射頻電極接頭必須有良好接觸，以減少功率反射，同時(shí)電極接頭外套筒須接地。常用電極接頭連接方式如圖I和圖2所示，I為壓桿，2為壓塊，3為接地金屬套，4為金屬連接桿，5為絕緣層，其中壓桿I和接地金屬套3由一種金屬材料制成，壓塊2和金屬連接桿4由另一種金屬材料制成，絕緣層5由絕緣材料制成。目前設(shè)備中采用的是以壓桿I擠壓壓塊2，從而達(dá)到電極接頭(插口和接口接地端)接地良好的目的。上述方式接頭在實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中常有連接不好(壓桿磨損或壓塊變形)以至射頻電極無(wú)法正常工作，影響到產(chǎn)品質(zhì)量及產(chǎn)能；同時(shí)由于接頭接連操作步驟多還影響到生產(chǎn)效率提高。因此，如何提供一種PECVD射頻電極接頭，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的重要技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種PECVD射頻電極接頭，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種PECVD射頻電極接頭，包括電極接口，所述電極接口包括具有插槽結(jié)構(gòu)的電極接口本體，所述電極接口本體的內(nèi)壁嵌設(shè)有定位滾珠，所述電極接口本體的外壁上套設(shè)有電極接口滑動(dòng)座，所述電極接口滑動(dòng)座上開(kāi)設(shè)有用于同所述定位滾珠配合的第一凹槽，且所述電極接口滑動(dòng)座的一側(cè)通過(guò)彈簧連接于所述電極接口本體，所述彈簧能夠提供沿軸向遠(yuǎn)離所述插槽的槽底方向的回復(fù)力；電極插口，包括具有用于同所述插槽結(jié)構(gòu)配合的插頭結(jié)構(gòu)的電極插口本體，所述電極插口本體還具有用于同所述電極接口滑動(dòng)座與所述彈簧相對(duì)一側(cè)相抵的底座結(jié)構(gòu)，且所述插頭結(jié)構(gòu)的外壁上開(kāi)設(shè)有用于同所述定位滾珠配合的第二凹槽。優(yōu)選的，所述第一凹槽和所述第二凹槽均為半球形凹槽。優(yōu)選的，所述半球形凹槽的邊緣部分倒有圓角。優(yōu)選的，所述定位滾珠具體為金屬滾珠。[0014]優(yōu)選的，所述定位滾珠具體為定位鋼珠。優(yōu)選的，所述電極接口本體上設(shè)置有用于防止所述電極接口滑動(dòng)座脫離的卡簧。優(yōu)選的，所述電極接口本體的所述插槽結(jié)構(gòu)內(nèi)和所述電極插口本體的所述插頭結(jié)構(gòu)上分別設(shè)置有用于傳遞高頻電信號(hào)的電極接口連接部和電極插口連接槽。優(yōu)選的，所述電極插口連接槽內(nèi)設(shè)置有彈性件。優(yōu)選的，所述彈性件具體為三片金屬?gòu)椘?yōu)選的，所述插槽結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁和所述插頭結(jié)構(gòu)的外壁上的相應(yīng)部分分別具有相互配合的錐形面。從上述的技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型提供的PECVD射頻電極接頭，通過(guò)在電 極接口內(nèi)壁嵌設(shè)有定位滾珠，在使用時(shí)只需要移動(dòng)電極接口滑動(dòng)座，待電極插口的接頭結(jié)構(gòu)插入到電極接口的插槽結(jié)構(gòu)中，利用彈簧的回復(fù)力，促使電極接口滑動(dòng)座往回滑動(dòng)直至被電極插口的底座結(jié)構(gòu)抵住，同時(shí)壓迫定位滾珠進(jìn)入到電極插口外壁上的第二凹槽中并與之夾緊，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)電極接口和電極插口的定位，完成PECVD射頻電極接頭的連接；該裝置在固定電極接頭的同時(shí)保證電極接口與電極插口金屬外套管有良好接觸，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性及Si基薄膜太陽(yáng)電池生產(chǎn)效率。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為現(xiàn)有技術(shù)中常用的電極接頭的正視簡(jiǎn)圖；圖2為圖I的側(cè)視簡(jiǎn)圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD射頻電極接頭的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖。其中，圖I和圖2中，I為壓桿，2為壓塊，3為接地金屬套，4為金屬連接桿，5為絕
緣層；圖3中，11為電極接口本體，12為電極接口滑動(dòng)座，13為電極接口連接部，14為定位滾珠，15為卡簧，16為彈簧，17為接口絕緣層，18為金屬?gòu)椘?9為電極插口本體，20為
插口絕緣層。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種PECVD射頻電極接頭，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖3，圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD射頻電極接頭的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖。[0030]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD射頻電極接頭，其核心改進(jìn)點(diǎn)在于，包括電極接口，電極接口包括具有插槽結(jié)構(gòu)的電極接口本體11，電極接口本體11的內(nèi)壁嵌設(shè)有定位滾珠14，其上設(shè)置有相應(yīng)的通孔，電極接口本體11的外壁上套設(shè)有電極接口滑動(dòng)座12，電極接口滑動(dòng)座12上開(kāi)設(shè)有用于同定位滾珠14配合的第一凹槽，且電極接口滑動(dòng)座12的一側(cè)通過(guò)彈簧16連接于電極接口本體1，彈簧16能夠提供沿軸向遠(yuǎn)離插槽的槽底方向的回復(fù)力；電極插口，包括具有用于同插槽結(jié)構(gòu)配合的插頭結(jié)構(gòu)的電極插口本體19，電極插口本體19還具有用于同電極接口滑動(dòng)座12與彈簧16相對(duì)一側(cè)相抵的底座結(jié)構(gòu)，且插頭結(jié)構(gòu)的外壁上開(kāi)設(shè)有用于同定位滾珠14配合的第二凹槽。上述的電極接口和電極插口分別用于同需要連接的不同部件相連，其連接方式具 體可以采用套接或者螺紋連接?，F(xiàn)舉實(shí)例并結(jié)合圖3對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD射頻電極接頭的結(jié)構(gòu)及各部分功能做詳細(xì)描述。撥動(dòng)電極接口滑動(dòng)座12，電極接口滑動(dòng)座12將從初始狀態(tài)開(kāi)始?jí)嚎s彈簧16，同時(shí)沿水平方向向左側(cè)移動(dòng)；當(dāng)電極接口滑動(dòng)座12移動(dòng)到一定位置時(shí)，定位滾珠14部分將進(jìn)入電極接口滑動(dòng)座12的第一凹槽中，接著將電極插口沿水平方向緩慢移動(dòng)到電極接口中，定位滾珠14將沿電極插口本體19的外輪廓滾動(dòng)，當(dāng)電極插口無(wú)法移動(dòng)時(shí)松開(kāi)電極接口滑動(dòng)座12，彈簧16恢復(fù)到初始狀態(tài)，定位滾珠14將在電極接口滑動(dòng)座12的擠壓下進(jìn)入到電極插口本體19外輪廓的第二凹槽中并與之夾緊。從上述的技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD射頻電極接頭，通過(guò)在電極接口內(nèi)壁嵌設(shè)有定位滾珠14，在使用時(shí)只需要移動(dòng)電極接口滑動(dòng)座12，待電極插口的接頭結(jié)構(gòu)插入到電極接口的插槽結(jié)構(gòu)中，利用彈簧16的回復(fù)力，促使電極接口滑動(dòng)座12往回滑動(dòng)直至被電極插口的底座結(jié)構(gòu)抵住，同時(shí)壓迫定位滾珠14進(jìn)入到電極插口外壁上的第二凹槽中并與之夾緊，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)電極接口和電極插口的定位，完成PECVD射頻電極接頭的連接；該裝置在固定電極接頭的同時(shí)保證電極接口與電極插口金屬外套管有良好接觸，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性及Si基薄膜太陽(yáng)電池生產(chǎn)效率。作為優(yōu)選，第一凹槽和第二凹槽均為半球形凹槽，用于同定位滾珠14的球形結(jié)構(gòu)相配合，能夠達(dá)到更加良好的定位效果。當(dāng)然，還可以根據(jù)實(shí)際使用情況選用其他結(jié)構(gòu)比如方形的凹槽，對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，在此不再贅述。為了進(jìn)一步方便定位滾珠14在電極插口本體19外輪廓的滾動(dòng)，上述半球形凹槽的邊緣部分倒有圓角，方便了使用時(shí)的插接，同時(shí)減少了零部件之間的摩擦，進(jìn)而延長(zhǎng)了整個(gè)裝置的使用壽命。作為優(yōu)選，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD射頻電極接頭，定位滾珠14具體為金屬滾珠，具有較高的強(qiáng)度，保證了接頭連接的可靠性。進(jìn)一步的，所述定位滾珠14具體為定位鋼珠。當(dāng)然，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況對(duì)定位滾珠14的具體材料進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整，在此不再贅述。如圖3所示，電極接口本體11上設(shè)置有用于防止電極接口滑動(dòng)座12脫離的卡簧15，在這里卡簧15具體為環(huán)設(shè)在電極接口本體11外壁上的限位結(jié)構(gòu)，電極接口滑動(dòng)座12與卡簧15相對(duì)的一側(cè)開(kāi)設(shè)有同卡簧15限位結(jié)構(gòu)相配合的凹槽，能夠避免電極接口滑動(dòng)座12被彈簧16推離接口，保證了整個(gè)裝置的穩(wěn)定性和可靠性。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD射頻電極接頭，電極接口本體11的插槽結(jié)構(gòu)內(nèi)和電極插口本體19的插頭結(jié)構(gòu)上分別設(shè)置有用于傳遞高頻電信號(hào)的電極接口連接部13和電極插口連接槽，進(jìn)一步提高了該電極接頭連接的穩(wěn)定性。電極接口本體11、電極接口滑動(dòng)座12、為電極接口連接部13、電極插口本體19和電極插口連接槽均為由金屬材料制成，為了保護(hù)了電極接口內(nèi)部用于傳遞高頻電信號(hào)的元件，在電極接口和電極插口內(nèi)還分別設(shè)置有接口絕緣層17和插口絕緣層20，在本實(shí)施例中，接口絕緣層17具體由陶瓷材料制成，插口絕緣層20具體由塑料材料制成。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述的技術(shù)方案，電極插口連接槽內(nèi)設(shè)置有彈性件，以保證與接口本體插頭接觸良好。作為優(yōu)選，彈性件具體為三片金屬?gòu)椘?8，均勻分布在電極插口連接槽內(nèi)。當(dāng)然，在此只是給出了一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，彈性件的具體形式及使用的數(shù)量并不僅僅局限于此，對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，在此不再贅述。插槽結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁和插頭結(jié)構(gòu)的外壁上的相應(yīng)部分分別具有相互配合的錐形面，用于在插接時(shí)起到引導(dǎo)作用，同時(shí)保證了連接后的穩(wěn)定性。綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD射頻電極接頭，采用與氣路和水路連接常用的快接頭相結(jié)合的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)PECVD射頻電極接頭連接，該裝置在固定電極接頭的同時(shí)保證接口與插口金屬外套管有良好接觸，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性及Si基薄膜太陽(yáng)電池生產(chǎn)效率。本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種PECVD射頻電極接頭，其特征在于，包括 電極接口，所述電極接口包括具有插槽結(jié)構(gòu)的電極接口本體(11)，所述電極接口本體(11)的內(nèi)壁嵌設(shè)有定位滾珠(14)，所述電極接口本體(11)的外壁上套設(shè)有電極接口滑動(dòng)座(12)，所述電極接口滑動(dòng)座(12)上開(kāi)設(shè)有用于同所述定位滾珠(14)配合的第一凹槽，且所述電極接口滑動(dòng)座(12)的一側(cè)通過(guò)彈簧(16)連接于所述電極接口本體(1)，所述彈簧(16)能夠提供沿軸向遠(yuǎn)離所述插槽的槽底方向的回復(fù)力； 電極插口，包括具有用于同所述插槽結(jié)構(gòu)配合的插頭結(jié)構(gòu)的電極插口本體(19)，所述電極插口本體(19)還具有用于同所述電極接口滑動(dòng)座(12)與所述彈簧(16)相對(duì)一側(cè)相抵的底座結(jié)構(gòu)，且所述插頭結(jié)構(gòu)的外壁上開(kāi)設(shè)有用于同所述定位滾珠(14)配合的第二凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述第一凹槽和所述第二凹槽均為半球形凹槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述半球形凹槽的邊緣部分倒有圓角。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述定位滾珠(14)具體為金屬滾珠。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述定位滾珠(14)具體為定位鋼珠。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述電極接口本體(11)上設(shè)置有用于防止所述電極接口滑動(dòng)座(12 )脫離的卡簧(15 )。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述電極接口本體(11)的所述插槽結(jié)構(gòu)內(nèi)和所述電極插口本體(19)的所述插頭結(jié)構(gòu)上分別設(shè)置有用于傳遞高頻電信號(hào)的電極接口連接部(13)和電極插口連接槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述電極插口連接槽內(nèi)設(shè)置有彈性件。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述彈性件具體為三片金屬?gòu)椘?18)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9的任意一項(xiàng)所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述插槽結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁和所述插頭結(jié)構(gòu)的外壁上的相應(yīng)部分分別具有相互配合的錐形面。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種PECVD射頻電極接頭，通過(guò)在電極接口內(nèi)壁嵌設(shè)有定位滾珠，在使用時(shí)只需要移動(dòng)電極接口滑動(dòng)座，待電極插口的接頭結(jié)構(gòu)插入到電極接口的插槽結(jié)構(gòu)中，利用彈簧的回復(fù)力，促使電極接口滑動(dòng)座往回滑動(dòng)直至被電極插口的底座結(jié)構(gòu)抵住，同時(shí)壓迫定位滾珠進(jìn)入到電極插口外壁上的第二凹槽中并與之夾緊，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)電極接口和電極插口的定位，完成PECVD射頻電極接頭的連接；該裝置在固定電極接頭的同時(shí)保證電極接口與電極插口金屬外套管有良好接觸，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性及Si基薄膜太陽(yáng)電池生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C23C16/505GK202786425SQ20122038401
公開(kāi)日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年8月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月3日
發(fā)明者呂勇, 劉俊峰, 陳健健, 魏雪林, 李先林, 孟龍 申請(qǐng)人:海南漢能光伏有限公司