專利名稱：一種安裝晶圓托架的專用工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種安裝晶圓托架的專用工具,確切地說(shuō)是一種能使晶圓在真空裝載腔內(nèi)實(shí)現(xiàn)精確定位的新型安裝晶圓托架的專用工具，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
薄膜沉積技術(shù)的原理是將晶圓置于真空環(huán)境中，通入適量的反應(yīng)氣體，利用氣體的物理變化和化學(xué)反應(yīng)，在晶圓表面形成固態(tài)薄膜。在進(jìn)行氣體薄膜沉積的整個(gè)過(guò)程中，晶圓從EFEM中的大氣壓與真空狀態(tài)的轉(zhuǎn)換是通過(guò)Loadlock Chamber進(jìn)行傳送的。與晶圓安裝架相關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)，其托架上晶圓交換的位置不能進(jìn)行準(zhǔn)確定位，無(wú) 法檢測(cè)晶圓的中心與安裝盤(pán)的中心是否同心，并且在托架放入Loadlock Chamber的凹槽時(shí)因?yàn)闆](méi)有手持的把手，很容易發(fā)生偏移，將托架卡在Loadlock Chamber的凹槽邊緣。因此，在實(shí)際應(yīng)用中，這種結(jié)構(gòu)的晶圓托架及安裝方法，存在著效率低，操作比較麻煩及制造成本聞的缺點(diǎn)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型主要解決現(xiàn)有的托架上晶圓交換的位置不能準(zhǔn)確定位及效率低的技術(shù)問(wèn)題，而提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、定位精確、效率高的安裝晶圓托架的專用工具。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案安裝晶圓托架的專用工具，包括晶圓托架安裝架(3 )，晶圓托架安裝架(3 )的上面設(shè)有安裝架把手(I)，安裝架把手(I)是通過(guò)螺栓(5)將其固定在晶圓托架安裝架(3)上的。上述晶圓托架安裝架(3)的中心設(shè)有定位銷(4)，螺栓(2 )與晶圓托架安裝架(3 )螺紋聯(lián)接。本實(shí)用新型的有益效果及特點(diǎn)是本實(shí)用新型能夠準(zhǔn)確確定晶圓托架的安裝位置，保證晶圓托架能夠與晶圓的邊緣相結(jié)合，晶圓和安裝盤(pán)同心，保證了晶圓在真空裝載腔內(nèi)的準(zhǔn)確定位。本實(shí)用新型在上方設(shè)置有把手，在將托架放入真空裝載腔的凹槽中準(zhǔn)確平穩(wěn)，不會(huì)發(fā)生由于偏移所造成托架卡住的狀況。安裝托架之后，只要手持把手將安裝架偏轉(zhuǎn)一定角度便可以輕松取出，不會(huì)劃傷真空裝載腔內(nèi)壁，操作簡(jiǎn)單。本實(shí)用新型在結(jié)構(gòu)和操作均簡(jiǎn)單的條件下，實(shí)現(xiàn)了晶圓托架的準(zhǔn)確定位。其占用空間小，安裝維護(hù)方便，成本低廉。

圖I是本實(shí)用新型專用工具的主視圖。圖2是本實(shí)用新型專用工具的俯視圖。圖3是應(yīng)用本實(shí)用新型安裝晶圓托架的主視圖。圖4是應(yīng)用本實(shí)用新型安裝晶圓托架的的俯視圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例參照?qǐng)D1-4，一種安裝晶圓托架的專用工具，包括晶圓托架安裝架3，晶圓托架安裝架3的上面設(shè)有安裝架把手1，安裝架把手I是通過(guò)螺栓5將其固定在晶圓托架安裝架3上的。上述晶圓托架安裝架3的中心設(shè)有定位銷4，螺栓2與晶圓托架安裝架3螺紋聯(lián)接。上述安裝晶圓托架專用工具的安裝方法，先將定位銷4穿過(guò)晶圓安裝盤(pán)9，把托架安裝架3和晶圓安裝盤(pán)9定位保證同心，定位之后將四個(gè)螺栓2與晶圓安裝盤(pán)9上的四個(gè)孔位對(duì)準(zhǔn)并且旋緊固定，這時(shí)晶圓安裝盤(pán)9和托架安裝架3已經(jīng)完全固定。然后將8個(gè)晶圓托架8以晶圓托架安裝架3的邊緣為依托進(jìn)行定位對(duì)正，保證邊緣完全貼合將位置對(duì)準(zhǔn)之后，用螺栓7旋緊固定。此時(shí)，晶圓托架8已經(jīng)完全固定在晶圓安裝盤(pán)9上，并且保證放在托架上的晶圓與晶圓安裝盤(pán)9是完全對(duì)正同心的狀態(tài)。接下來(lái)手持著已經(jīng)安裝完成的安裝架放入到真空裝載腔(Loadlock Chamber)的·圓形凹槽之中，此圓形凹槽之中有四個(gè)安裝孔與晶圓托架8上的四個(gè)螺栓孔6相匹配。當(dāng)真空裝載腔(Loadlock Chamber)凹槽中的四個(gè)孔和安裝盤(pán)上四個(gè)孔對(duì)準(zhǔn)定位之后使用四個(gè)沉頭螺栓旋緊固定，此時(shí)安裝架與真空裝載腔(Loadlock Chamber)就已經(jīng)完全固定。最后將螺栓2擰下來(lái)，這時(shí)托架安裝架3與晶圓托架8，晶圓安裝盤(pán)9無(wú)連接，手持安裝架把手I旋轉(zhuǎn)合適角度便可以把托架安裝架拿下來(lái)了。使用這種工裝安裝的晶圓托架既省力方便又可以定位晶圓的位置，保證晶圓在真空裝載腔(Loadlock Chamber)中的位置為正中間，從而保證整個(gè)PECVD設(shè)備中晶圓的精確定位。
權(quán)利要求1. 一種安裝晶圓托架的專用工具，包括晶圓托架安裝架(3)，其特征在于晶圓托架安裝架(3 )的上面設(shè)有安裝架把手(I)，安裝架把手(I)是通過(guò)螺栓(5 )將其固定在晶圓托架安裝架(3 )上的，上述晶圓托架安裝架(3 )的中心設(shè)有定位銷(4)，螺栓(2 )與晶圓托架安裝架(3)螺紋聯(lián)接。
專利摘要一種安裝晶圓托架的專用工具，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。主要解決現(xiàn)有的托架上晶圓交換的位置不能準(zhǔn)確定位及效率低的技術(shù)問(wèn)題。它包括晶圓托架安裝架，晶圓托架安裝架的上面設(shè)有安裝架把手，安裝架把手是通過(guò)螺栓將其固定在晶圓托架安裝架上的。上述晶圓托架安裝架的中心設(shè)有定位銷，螺栓與晶圓托架安裝架螺紋聯(lián)接。安裝方法，先將定位銷穿過(guò)晶圓安裝盤(pán)定位保證同心，并固定晶圓安裝盤(pán)和托架安裝架。將托架安裝架放入到真空裝載腔的圓形凹槽之中，對(duì)準(zhǔn)定位之后固定，最后將螺栓擰下來(lái)，將托架安裝架取下來(lái)。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、晶元定位準(zhǔn)確及工作效率高。
文檔編號(hào)C23C16/458GK202717846SQ20122037662
公開(kāi)日2013年2月6日 申請(qǐng)日期2012年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月1日
發(fā)明者姜崴, 蘆佳 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)拓荊科技有限公司