專利名稱：基板固定裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明是有關于ー種基板固定裝置，且特別是有關于ー種濺鍍機臺中的基板固定裝置。
背景技術：
請參見圖IA 圖1D，其為ー傳統(tǒng)濺鍍機臺中的基板固定裝置，濺鍍機臺廣泛應用于各類成模制程中，例如，薄膜晶體管與金氧半晶體管等元件的制程中。圖IA表示出基板固定裝置的上視示意圖，其中包含有一承載座91，用以承載該基板90，該承載座91中具有多個透孔910及凹槽99。至于圖IB則表示出基板固定裝置的側面示意圖，該承載座91中的多個透孔910用以讓第一固定結構92的多個插件922穿過該等透孔910，而襯墊923分別設置于該等插件922的端點，至于彈簧924套合于插件922上，該等彈簧一端固接該插件 922，另一端接觸至該承載座91。當該等插件922因移動平臺921下移，便可使得套合于插件922上的彈簧924的回復カ而將該等襯墊923沿基板90的法線方向向下移動，進而形成如圖IC所示的狀態(tài)，用以提供下壓カ來將基板90抵頂至該承載座91而完成固定。而為能提供襯墊923的容置空間，習知承載座91上具有凹槽99來讓襯墊923嵌入。但因進入濺鍍工作狀態(tài)時，承載座91將如圖Id的所示，由水平狀態(tài)轉成直立狀態(tài)，用以靠近濺鍍靶材98以及掩膜97，因此，于制程中產(chǎn)生的碎片很可能掉入位于直立狀態(tài)的承載座91下端的凹槽99中，而堆積凹槽99中的碎片容易造成后續(xù)基板90的固定過程中被夾碎而發(fā)生連續(xù)破片的異常。有鑒于此，如何進ー步改善習用裝置所造成的缺失，為發(fā)展本案的主要目的。

發(fā)明內容
發(fā)明所要解決的技術問題在于提供ー種基板固定裝置，應用于基板的運送過程， 該基板固定裝置包含承載座，用以承載該基板，該承載座中具有多個透孔；第一固定結構，穿過該等透孔并沿該基板的法線方向移動，其移動而提供朝向該基板法線方向的下壓力時將該基板抵頂至該承載座；第二固定結構，設置于該承載座的第一側并透過拉カ元件與該承載座連接；以及滑動軸承結構，分別固定于該承載座與該第二固定結構，其因應該第一固定結構的第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑入而將該第二固定結構推離，以釋放該基板，并因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑出而透過該拉カ元件將該第二固定結構拉近，以固定該基板。根據(jù)上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該基板可為玻璃基板、透光基板或半導體基板。根據(jù)上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該承載座面積可大于該基板而具有外環(huán)部，該外環(huán)部中具有該等透孔。根據(jù)上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該第一固定結構包含移動平臺， 其具有第一凸出部及第ニ凸出部并可沿該基板法線方向進行往復移動；多個插件，接觸至移動平臺的第二凸出部并穿過該等透孔；多個彈簧，套合該等插件；以及多個襯墊，分別設置于該等插件的端點，用以于該等插件因應該等彈簧的回復カ而沿基板的法線方向移動時，來將基板抵頂至承載座。根據(jù)上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中第二凸出部沿基板法線方向向上移動時，壓縮該等彈簧而使該等插件沿基板的法線方向向上移動而使該等襯墊向上移動。根據(jù)上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該第二固定結構包含接觸部，設置于該承載座的該第一側，用以抵頂該基板而將該基板固定至該承載座；以及支架部，透過該拉カ元件與該承載座連接并分別連接至該接觸部與該滑動軸承結構，用以將該滑動軸承結構的移動傳遞至該接觸部。根據(jù)上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該接觸部包含接觸部主體，連接至該支架部；以及緩沖座，連接至該接觸部主體，用以抵頂該基板。根據(jù)上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該緩沖座由ー塑料材料來完成。根據(jù)上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該滑動軸承結構包含第一球狀軸承，固定于該承載座；以及第二球狀軸承，固定于該第二固定結構，其因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑入該等球狀軸承之間而將該第二固定結構推離該基板，并因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑出該等球狀軸承之間，而通過該拉力元件將該第二固定結構拉近該基板。根據(jù)上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該滑動軸承結構包含第一圓柱狀軸承，固定于該承載座；以及第二圓柱狀軸承，固定于該第二固定結構，其因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑入該等圓柱狀軸承之間而將該第二固定結構推離該承載座與該基板，并因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑出該等圓柱狀軸承之間，而透過該拉力元件將該第二固定結構拉近該承載座以抵頂該基板。根據(jù)上述構想，本案所述的基板固定裝置，該基板固定裝置更連接至ー旋轉機構， 該旋轉機構用以將該基板固定裝置由水平位置旋轉至垂直位置，使該第二夾具結構支撐該基板。根據(jù)上述構想，本案所述的基板固定裝置，其設置于濺鍍機臺中。


圖IA 圖1D，為傳統(tǒng)濺鍍機臺中的基板固定裝置的上視示意圖與側面示意圖；圖2A 2E，為本案為改善習用裝置缺失所發(fā)展出來的基板固定裝置的上視示意圖與側面示意圖；圖3為本案基板固定裝置中關于接觸部的構造實例圖。主要元件符號說明承載座91基板90透孔910凹槽99第一固定結構92 多個插件922襯墊923移動平臺921彈簧924濺鍍靶材98掩膜97基板10
承載座11外環(huán)部111
透孔110凹槽19
第一固定結構12第一凸出部120
移動平臺121插件122
襯墊123彈簧124
第二凸出部125濺鍍靶材18
第二固定結構13接觸部131
支架部132拉カ元件130
滑動軸承結構14第一球狀軸承141
第二球狀軸承142接觸部主體1310
緩沖座1311掩膜1具體實施例方式請參見圖2A 2E，是本案為改善習用裝置缺失所發(fā)展出來的基板固定裝置的上視不意圖與側面不意圖，而由圖2A中的上視圖可看出，本案的基板固定裝置利用承載座11 來承載基板10，且該承載座11面積大于基板10而具有外環(huán)部111，而外環(huán)部111兩側上具有多個透孔110，透孔110周圍具有凹槽19。至于圖中承載座11的下側則設置有接觸部 131，用以抵頂該基板10而將該基板10固定至該承載座11，至于該基板10可以是玻璃基板、透光基板或半導體基板等各式基板。再請參見圖2B所示的側面示意圖，其中承載座11中的多個透孔110用以讓第一固定結構12的多個插件122穿過該等透孔110，并接觸至移動平臺121的第二凸出部125， 而該等插件122的端點上分別設置有襯墊123。當?shù)诙钩霾?25沿基板10法線方向向上移動時，使插件122沿基板10的法線方向向上移動，以便使襯墊123向上移動，進而形成可讓基板10置入的空間，而套合于插件122的彈簧124同時被壓縮。當?shù)诙钩霾?25沿基板10法線方向向下運動時，該等插件122因應被壓縮彈簧124的回復カ而推動襯墊123 沿基板10的法線方向向下運動，使基板10抵頂至該承載座11。至于第二固定結構13中的接觸部131，其設置于承載座11的ー側，而與接觸部131相連的支架部132則透過拉カ元件 130 (本圖例為ー彈簧，當然也可是其它種類的拉カ元件)來與承載座11連接。而滑動軸承結構14則分別以第一球狀軸承141與第二球狀軸承141來固定于承載座11與第二固定結構13，其用以因應第一固定結構12中移動平臺121的向上運動，第一凸出部120沿基板法線方向移動的滑入而將該第二固定結構13推開而遠離承載座11。此時襯墊123亦遠離承載座11，因此基板10便可放置到承載座11上，如圖2C所示。而可視基板尺寸與承載座 11下方的空間而選擇設置ー個或多個滑動軸承結構14，而球狀軸承也可改用圓柱狀軸承， 并不被本案所提出的實施例所限制。然后，將移動平臺121的向下運動將帶動第一凸出部120沿基板法線方向移動而從第一球狀軸承141與第二球狀軸承142之間滑出，此時拉力元件130便將該第二固定結構13拉近承載座11與基板10，并可透過接觸部131抵頂至基板10。此時襯墊123亦頂?shù)种脸休d座11，藉由接觸部131與襯墊123的壓制，基板10便可固定在承載座11上，如圖2D 的所示。
在圖2E的所示，因進入濺鍍工作狀態(tài)時，承載座11將由水平狀態(tài)轉成直立狀態(tài)， 用以靠近濺鍍靶材18以及掩膜17，而本案設計的接觸部131將可穩(wěn)定的托住該基板10，但為了緩沖因水平轉直立所造成的下滑力，接觸部131可設計成如圖3的所示的構造，其主要由兩部分來完成，第一部分為接觸部主體1310，其可由一般剛性良好的金屬完成，例如不銹鋼材料。而另外一部分則為緩沖座1311，其可由材質較軟的塑料材料來完成,例如聚苯并咪唑(PBI)。綜上所述，本發(fā)明利用原本移動平臺121的上下運動，進而帶動第二固定結構13 的水平運動而能固定該基板10，因此可省去承載座11上可能會造成破片的凹槽，進而改善習用手段的缺失。雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，在不背離本發(fā)明精神及其實質的情況下，熟悉本領域的技術人員當可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應的改變和變形，但這些相應的改變和變形都應屬于本發(fā)明所附的權利要求的保護范圍。
權利要求
1.一種基板固定裝置，應用于一基板的運送過程，其特征在于，該基板固定裝置包含 一承載座，用以承載該基板，該承載座中具有多個透孔；一第一固定結構，穿過該等透孔并沿該基板的法線方向移動，其移動而提供朝向該基板法線方向的一下壓力時，將該基板抵頂至該承載座；一第二固定結構，設置于該承載座的一第一側并透過一拉力元件與該承載座連接；以及一滑動軸承結構，分別固定于該承載座與該第二固定結構，其因應該第一固定結構的一第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑入而將該第二固定結構推離，以釋放該基板，并因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑出而通過該拉力元件將該第二固定結構拉近，以固定該基板。
2.如權利要求I所述的基板固定裝置，其特征在于，該基板為一玻璃基板、一透光基板或一半導體基板。
3.如權利要求I所述的基板固定裝置，其特征在于，該承載座面積大于該基板而具有一外環(huán)部，該外環(huán)部中具有該等透孔。
4.如權利要求I所述的基板固定裝置，其特征在于，該第一固定結構包含一移動平臺，其具有該第一凸出部及一第二凸出部并可沿該基板法線方向進行往復移動；多個插件，接觸至該移動平臺的該第二凸出部并穿過該等透孔；多個彈簧，套合于該等插件；以及多個襯墊，分別設置于該等插件的端點，用以于該等插件因應該等彈簧的回復力而沿該基板的法線方向移動時，來將該基板抵頂至該承載座。
5.如權利要求4所述的基板固定裝置，其特征在于，該第二凸出部沿該基板法線方向向上移動時，壓縮該等彈簧而使該等插件沿該基板的法線方向向上移動而使該等襯墊向上移動。
6.如權利要求I所述的基板固定裝置，其特征在于，該第二固定結構包含一接觸部，設置于該承載座的該第一側，用以抵頂該基板；以及一支架部，透過該拉力元件與該承載座連接并分別連接至該接觸部與該滑動軸承結構，用以將該滑動軸承結構的移動傳遞至該接觸部。
7.如權利要求I所述的基板固定裝置，其特征在于，該接觸部包含一接觸部主體，連接至該支架部；以及一緩沖座，連接至該接觸部主體，用以抵頂該基板。
8.如權利要求I所述的基板固定裝置，其特征在于，該緩沖座由一塑料材料來完成。
9.如權利要求I所述的基板固定裝置，其特征在于，該滑動軸承結構包含一第一球狀軸承，固定于該承載座；以及一第二球狀軸承，固定于該第二固定結構，其因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑入該等球狀軸承之間而將該第二固定結構推離該基板，并因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑出該等球狀軸承之間，而通過該拉力元件將該第二固定結構拉近該基板。
10.如權利要求I所述的基板固定裝置，其特征在于，該滑動軸承結構包含一第一圓柱狀軸承，固定于該承載座；以及一第二圓柱狀軸承，固定于該第二固定結構，其因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑入該等圓柱狀軸承之間而將該第二固定結構推離該承載座與該基板，并因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑出該等圓柱狀軸承之間，而透過該拉力元件將該第二固定結構拉近該承載座以抵頂該基板。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基板固定裝置，應用于基板的運送過程，基板固定裝置包含承載座，用以承載基板，承載座中具有多個透孔；第一固定結構，穿過該等透孔并沿基板的法線方向移動，其移動而提供朝向基板法線方向的下壓力時將基板抵頂至承載座；第二固定結構，置于承載座的第一側并透過拉力元件與承載座連接；及滑動軸承結構，分別固定于承載座與第二固定結構，其因應第一固定結構的第一凸出部沿基板法線方向移動的滑入而將第二固定結構推離，以釋放基板，并因應第一凸出部沿基板法線方向移動的滑出而通過拉力元件將第二固定結構拉近，以固定基板。
文檔編號C23C14/50GK102586752SQ20121006772
公開日2012年7月18日 申請日期2012年3月12日 優(yōu)先權日2011年12月23日
發(fā)明者王培坤, 辛忠興 申請人:友達光電股份有限公司