專利名稱：拋光系統(tǒng)的拋光墊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本公開涉及一種拋光墊，更具體地，涉及到一種拋光用于液晶顯示器的玻璃板的拋光系統(tǒng)的拋光墊。
背景技術(shù)：
一般，用于將液晶顯示器的玻璃板(或玻璃基板)的平面度維持到指定水平，以精確呈現(xiàn)圖像是非常重要的。所述玻璃板通過熔融法或浮法制備。大多數(shù)現(xiàn)有的玻璃板(大約95%或更多)是用浮法制備。浮法生產(chǎn)的玻璃(或浮法玻璃)在漂浮盆中被處理成帶狀，并在接下來的切割工藝中切分為預(yù)先確定尺寸。另外，執(zhí)行拋光工藝，移除出現(xiàn)在所述浮法玻璃表面上的細(xì)微不平或雜質(zhì)。同時(shí),所述玻璃基板的拋光工藝可以分類為稱作‘奧斯卡(Oscar)’法的逐一拋光單個(gè)玻璃基板的方法和稱作‘排隊(duì)(inline)’法的依次拋光成隊(duì)玻璃基板的方法。另外，傳統(tǒng)的拋光工藝也可以分類為僅拋光玻璃基體一個(gè)表面的‘單面拋光’和拋光玻璃基體兩個(gè)表面的‘兩面拋光’。在玻璃板位于下單元(或，下板)上，并且拋光板的拋光墊(或，上板)的拋光墊接觸到玻璃板的情況下，通過在下單元旋轉(zhuǎn)時(shí)將拋光液供給到拋光板，所述傳統(tǒng)玻璃拋光設(shè)備拋光玻璃板。與被拋光的玻璃板表面相接觸的用于拋光玻璃板的拋光墊被附著到所述玻璃板拋光設(shè)備的拋光板上。圖1是概要示出傳統(tǒng)拋光墊的平面圖。參考圖1，傳統(tǒng)的拋光墊I整體上具有盤形，并且包括在中心處制備的中心供給孔2和六個(gè)徑向布置在預(yù)先確定半徑的徑向供給孔3。所述供給孔2和3用于接收從外面流向所述拋光墊的拋光表面的拋光液。同時(shí)，在拋光墊I的拋光面處提供了溝槽，以將從孔2和3供給所述拋光液規(guī)則地分散到整個(gè)拋光表面。這個(gè)溝槽具有直線形式(矩形網(wǎng)格)的溝槽圖案。然而，由于接觸到玻璃板(未示出)的拋光墊I的旋轉(zhuǎn)(沿順時(shí)針方向或沿反時(shí)針方向)，離心力影響從拋光墊I的拋光面上形成的溝槽中流過的拋光液。因此，在傳統(tǒng)的拋光墊I中，拋光墊I的旋轉(zhuǎn)方向與拋光表面的所述直線網(wǎng)格狀溝槽圖案不一致。這導(dǎo)致了流過在拋光墊I處形成的溝槽的拋光液的流量差異或不均勻流動。同時(shí)，在所述拋光墊I具有這種溝槽圖案的情況下，如果拋光速率高或供給的拋光液量大，在所述拋光工藝中可能發(fā)生打滑現(xiàn)象。圖2是示出所測量的流過圖1的傳統(tǒng)拋光墊的所述溝槽的拋光液的速度分布圖。這里，所述圖的X軸表示拋光墊I的任意位置，它的意思是以羅馬字母表示的方向，且Y軸表示拋光液的流速(kg/m2s)。參考圖2,從所述拋光墊I的整個(gè)拋光表面產(chǎn)生的拋光液的速度偏差是O. 6m/s,這是非常大的。換言之，在接近拋光板I的邊緣處，所述拋光液的流動差異是很顯著的。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題本發(fā)明設(shè)計(jì)來解決之前的技術(shù)問題，因此本公開的目的是提供有改進(jìn)結(jié)構(gòu)的拋光系統(tǒng)的拋光墊，通過優(yōu)化在拋光墊處形成的溝槽圖案，可以將拋光液均勻分布到整個(gè)拋光表面。技術(shù)方案在一方面，本公開提供拋光系統(tǒng)的拋光墊，它能夠安裝到拋光板并具有預(yù)先確定的溝槽圖案，以允許從拋光液供給器供給的拋光液在拋光表面移動，其中，所述溝槽圖案具有至少兩種圖案。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述拋光圖案可以包括在包含拋光墊中心的第一區(qū)域中形成的第一溝槽圖案；以及在圍繞所述第一區(qū)域的第二區(qū)域中形成的第二溝槽圖案，該第二區(qū)域從中心到外側(cè)與第一區(qū)域分開。所述第一溝槽圖案可以是或不是傳統(tǒng)的直線網(wǎng)格圖案。然而，由于所述第二溝槽圖案更被拋光墊離心力影響，所述第二溝槽圖案優(yōu)選地配置為非直線形式(例如，徑向形式、彎曲形式、二次曲線或其類似形式)，并且，如本領(lǐng)域技術(shù)人員所理解，其方向可以與所述旋轉(zhuǎn)方向一致或相反。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述第二溝槽圖案可以包括至少兩個(gè)從所述中心同心排列并以預(yù)先確定的間隔相互分開的環(huán)形溝槽；以及多個(gè)從所述中心徑向延伸與所述環(huán)形溝槽相交的徑向溝槽。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，每個(gè)徑向溝槽設(shè)置為與拋光墊的離心方向一致。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，每個(gè)徑向溝槽優(yōu)選地配置為直線形式，但作為替代，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員很明顯，所述徑向溝槽可以具有非直線形式，以提供與拋光墊的離心力對應(yīng)的效果。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述第二區(qū)域可以包括配置為與所述第一區(qū)域鄰接的內(nèi)側(cè)區(qū)域和配置在所述內(nèi)側(cè)區(qū)域外側(cè)的外側(cè)區(qū)域，并且，在所述第二溝槽圖案中，所述外側(cè)區(qū)域的溝槽可以配置得比所述內(nèi)側(cè)區(qū)域的溝槽更密。在一個(gè)替代實(shí)施例中，所述內(nèi)側(cè)區(qū)域的溝槽可以布置得比所述外側(cè)區(qū)域的溝槽更
LU O在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述第二溝槽圖案可以還包括在所述外側(cè)區(qū)域的相鄰徑向溝槽之間形成的第二徑向溝槽。對本領(lǐng)域技術(shù)人員很明顯，所述第二徑向溝槽用來將所述溝槽布置更密，并且可以配置為曲線形狀而不用直線形狀。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述拋光液供給器可以包括將拋光液供給到所述第一區(qū)域的第一供給器，以及將拋光液供給到所述第二區(qū)域的第二供給器。優(yōu)選地，所述第一供給器可以包括形成為穿過所述第一供給器，與所述中心一致的第一孔，以及配置為穿過所述第一區(qū)域，與所述第一孔和所述第二供給器相通的直線供給通道。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述第二供給器可以包括在所述第一區(qū)域與所述第二區(qū)域的邊界線上形成為穿過所述第二供給器的多個(gè)第二孔；位于所述邊界線上與所述第二孔相通的環(huán)形供給通道；以及形成為有徑向形狀的從每個(gè)第二孔彎曲向外的曲線徑向供給通道。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述拋光墊可以是圓形。所述拋光墊優(yōu)選具有圓盤形，其直徑大約200mm。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述第一溝槽圖案可以包括多個(gè)相互大體正交的網(wǎng)格狀溝槽。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述溝槽可以具有大約I到30mm的寬度，并且相鄰溝槽的間隔可以是大約10到100mm。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述拋光墊用于拋光使用浮法制備的浮法玻璃。然而，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員很明顯，所述拋光墊也可以應(yīng)用于用熔融法制備的玻璃或其他需要精確拋光以維持預(yù)先確定平面度的部件。有益效果通過形成在與拋光墊產(chǎn)生的離心力大體一致的方向上具有徑向圖案的所謂徑向溝槽，依據(jù)本公開的拋光系統(tǒng)的所述拋光墊可以最小化拋光液流過拋光表面的溝槽時(shí)的流量差異或偏差。因而，在所述拋光系統(tǒng)的拋光工藝中，可以保證均勻而寬泛的工藝范圍。同時(shí)，如果形成了所述徑向溝槽圖案，即使拋光系統(tǒng)的拋光速度相對降低或減少拋光液供給量，也可以阻止不必要的打滑現(xiàn)象。


從下面參考附圖的實(shí)施例描述中，本公開的其他對象和方面將變得明顯。所述附圖示出了液體供給器和薄膜清除系統(tǒng)，以及根據(jù)示例實(shí)施例的方法。然而，應(yīng)該理解，本公開不限于附圖描繪的零件和方法。在附圖中圖1是概要地示出傳統(tǒng)拋光墊的平面圖；圖2是示出所測量的流過圖1的傳統(tǒng)拋光墊的溝槽的拋光液的速度分布的圖；圖3是一個(gè)示意圖，示出一個(gè)玻璃板拋光系統(tǒng)，其中可以安裝根據(jù)本公開的優(yōu)選實(shí)施例的拋光墊；圖4是示出根據(jù)本公開的優(yōu)選實(shí)施例的拋光墊的平面圖；圖5是示出圖4的“A”部分的放大圖；圖6是示出圖4的“B”部分的放大圖；圖7是沿圖4線7-7的截面圖；以及圖8是示出拋光液的流速差異測量結(jié)果的圖表，它是在圖4顯示的根據(jù)本公開的優(yōu)選實(shí)施例的拋光墊上測量出的。
具體實(shí)施例方式在下面的詳細(xì)描述中使用的詞語都是為方便起見且不應(yīng)限定本公開。詞語如“左”、“右”、“頂面”、以及“底面”表示在所述附圖中所引用的不同方向。詞語如“向內(nèi)”和“向外”分別表示朝向和背離各個(gè)所設(shè)計(jì)的儀器的幾何中心的方向。詞語如“前面”、“后面”、“上面”、“下面”及其相關(guān)單詞和短語表示在附圖中所引用的位置和方向，并且，它們并不試圖對本公開做限定。這些詞語包括上面列出的、它們派生詞以及它們的同義詞。將參考附圖描述示例性實(shí)施例。
圖3是一個(gè)示意圖，示出一個(gè)玻璃板拋光系統(tǒng)，其中可以安裝根據(jù)本公開的優(yōu)選實(shí)施例的拋光墊。參考圖3，根據(jù)本公開的優(yōu)選實(shí)施例的玻璃板拋光系統(tǒng)100用來拋光玻璃板，使得具有例如尺寸超過IOOOmm且厚度大約O. 3mm到1.1mm的大玻璃板G的平面度可以維持到液晶顯示器所需要的水平。另外，所述拋光系統(tǒng)100包括例如，具有回轉(zhuǎn)臺112的下單元110，能在玻璃板G固定的狀態(tài)下以預(yù)先確定轉(zhuǎn)數(shù)來轉(zhuǎn)動玻璃板G ;安裝在下單元110的上側(cè)并可以在水平方向和垂直方向移動的上單元120，使得拋光墊200可接觸被附著的下單兀110支撐的玻璃板G的上表面，即，要拋光的表面；以及用于在所述拋光墊200的拋光表面與被拋光的玻璃板G的表面之間供給拋光液的拋光液供給單元130。在本實(shí)施例的玻璃板拋光系統(tǒng)100中，需要拋光的矩形玻璃板的尺寸(長度和寬度中間最小的尺寸)比上單元120和/或所附著的拋光墊200的尺寸要大。另外下單元110的轉(zhuǎn)軸114和上單元的軸不在于同一直線上，而優(yōu)選在偏離狀態(tài)相對移動。在本實(shí)施例的玻璃板拋光系統(tǒng)100中，在拋光墊200與需要拋光的玻璃板G的表面相接觸的狀態(tài)下，如果下單元110旋轉(zhuǎn)并且同時(shí)上單元120沿預(yù)先確定的水平軌道移動，通過例如在以旋轉(zhuǎn)下單元110來旋轉(zhuǎn)上單元120時(shí)，從拋光液供應(yīng)單元130供應(yīng)拋光液，均勻拋光需要拋光的玻璃板G的整個(gè)表面。附圖標(biāo)記140表示用來將玻璃板G支撐于下單元110的載物臺。根據(jù)本公開的另外一個(gè)實(shí)施例，作為本領(lǐng)域技術(shù)人員都理解，上單元120和拋光液供應(yīng)單元130可以采用由本申請的同一申請人在2009年3月6日申請的名稱為‘玻璃板拋光系統(tǒng)’的申請?zhí)枮?0-2009-192290、10-2009-192292和10-2009-192293韓國專利申請中的上單元和拋光液供應(yīng)單元，以及由本申請的同一申請人在2010年I月19日申請的名稱為“用于‘玻璃板拋光系統(tǒng)和使用它的拋光方法’的下單元”的申請?zhí)枮?0-2010-0007100的韓國專利中上單元。另外，本實(shí)施例的玻璃板G通過浮法手段制備，并且它是指通過以預(yù)先確定的長度切割在漂浮盆中處理為預(yù)先確定的厚度和寬度的帶式玻璃獲得的所謂浮法玻璃。圖4是示出根據(jù)本公開的優(yōu)選實(shí)施例的拋光墊的平面圖，圖5是示出圖4的“A”部分的放大圖，圖6是示出圖4的“B”部分的放大圖，圖7是沿圖4線7-7的截面圖。參考圖4到圖7，具有拋光表面202的拋光墊200安裝在圖3的拋光系統(tǒng)100的上單元120的下端并接觸到玻璃板G，并且，具有盤形結(jié)構(gòu)的拋光墊的直徑大約是200mm。另夕卜，拋光墊200具有兩種預(yù)先確定的溝槽圖案，即，第一溝槽圖案220和第二溝槽圖案230，使得從拋光液供應(yīng)器210供應(yīng)的穿過拋光墊200形成的拋光液可以在拋光面202上移動。如圖7所示，每個(gè)溝槽201具有大約I到30mm的寬度W，相鄰溝槽201之間的間隔D大約是10到IOOmm0在本實(shí)施例中，拋光墊200包括包含中心C的第一區(qū)域204和被分割為圍繞所述第一區(qū)域的第二區(qū)域206。在第一區(qū)域204中形成第一溝槽圖案220，且在第二區(qū)域206中形成第二溝槽圖案230。另外，第二區(qū)域206包括布置為與第一區(qū)域204相鄰的內(nèi)側(cè)區(qū)域205和從所內(nèi)側(cè)區(qū)域205的外側(cè)延伸到拋光墊200的最外側(cè)的外側(cè)區(qū)域207。參考圖5，第一溝槽圖案220具有傳統(tǒng)的直線網(wǎng)格圖案。換言之，類似于傳統(tǒng)的拋光墊I，形成的第一溝槽圖案220使得溝槽201大體相互正交。參考圖6，第二溝槽圖案230包括多個(gè)從圓心C同心排列并且相互分開預(yù)先確定間隔的環(huán)形溝槽232，和多個(gè)從圓心C沿徑向延伸與環(huán)形溝槽232相交的徑向溝槽234。每個(gè)徑向溝槽234設(shè)置為與拋光墊200的離心力方向一致并設(shè)置為直線形式。然而，對本領(lǐng)域技術(shù)人員很明顯，作為一個(gè)替代實(shí)施例，徑向溝槽234也可以配置為非直線形式。在第二溝槽圖案230中，在外側(cè)區(qū)域207中形成的溝槽圖案比在內(nèi)側(cè)區(qū)域205中形成的溝槽圖案更加密。作為一個(gè)替代實(shí)施例，內(nèi)側(cè)區(qū)域205的溝槽可以配置得比外側(cè)區(qū)域的溝槽更密。第二溝槽圖案230還包括在外側(cè)區(qū)域207中的相鄰徑向溝槽234之間形成的第二徑向溝槽236。第二溝槽236使得徑向溝槽234配置得更密。作為一個(gè)替代實(shí)施例，第二徑向溝槽236可以具有曲線形式，不用局限于直線形式。同時(shí)，由于第二溝槽圖案230更被拋光墊200的離心力影響，第二溝槽圖案230優(yōu)選配置為非直線形式(例如，徑向形式、彎曲形式、二次曲線形式或其類似形式)，并且其方向可以和拋光墊200的轉(zhuǎn)動方向一致或相反。在本公開的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，在拋光墊200上提供的拋光液供給器210包括將拋光液供給到第一區(qū)域204的第一供給器212和將拋光液供給到第二區(qū)域206的第二供給器214。優(yōu)選地，拋光液供應(yīng)器210具有10到20mm的寬度。第一供給器212包括形成為穿過拋光墊200與中心C 一致的第一孔213，以及在所述拋光表面上布置為穿過第一區(qū)域204與第一孔213及第二供給器214相通的直線供給通道 215。第二供給器214包括在第一區(qū)域204和第二區(qū)域206的邊界線上形成的穿過第二供給器214的多個(gè)第二孔215，在所述邊界線上提供的與第二孔215相通的環(huán)形供應(yīng)通道217，以及形成為從每個(gè)第二孔215向外彎曲的徑向形狀的曲線徑向供應(yīng)通道219。環(huán)形供應(yīng)通道217也擔(dān)任相互隔離和劃分第一區(qū)域204和第二區(qū)域206的角色。為此，環(huán)形供應(yīng)通道217的寬度可以超過其它供應(yīng)器210的寬度。因?yàn)閺较驕喜蹐D案在與由拋光墊200的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力方向一致的方向上形成，所以如上配置的拋光墊200可以減小拋光液的流動和流量的偏差。圖8是示出拋光液的流速差異測量結(jié)果的圖，它是在圖4顯示的根據(jù)本公開的優(yōu)選實(shí)施例的拋光墊上測量出的。這里，圖的X軸表示拋光墊200的任意位置，它的意思是圖8中的羅馬字母表示的方向，并且，Y軸表示所述拋光液的流速(kg/m2s)。參考圖5，在根據(jù)本公開的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的拋光墊200中，在整個(gè)區(qū)域上的流速偏差較小。換言之，在使用傳統(tǒng)拋光墊的情況下，拋光液的速度偏差是O. lm/s到O. 6m/s,如果使用根據(jù)本公開的拋光墊200，速度的偏差范圍是O. 15m/s到O. 4m/s,與傳統(tǒng)的速度偏差范圍相比減小了。如上所述，由于減小了拋光液的速度的偏差，可以阻止不必要的打滑現(xiàn)象，因而可以保證所述玻璃板的平面度。另外，由于可以在拋光墊200的邊緣附近均勻執(zhí)行所述拋光工作，可保證寬泛的工藝范圍。上述說明和附圖示出了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該明白，不脫離如權(quán)利要求所定義的所述發(fā)明的精神和范圍，可以做出各種添加、修改、組合和/或替代。特別地，本領(lǐng)域技術(shù)人員會明白，通過在所述發(fā)明的范圍內(nèi)使用其他元素、材料、或零件，本發(fā)明可以用不同的特定形狀、結(jié)構(gòu)、布置、或用量來實(shí)現(xiàn)。本領(lǐng)域技術(shù)人員也會明白，在本發(fā)明的原理內(nèi)，本發(fā)明可以和多種結(jié)構(gòu)修改、布置、用量、材料、或零件結(jié)合起來使用，以專門適應(yīng)特定環(huán)境或操作條件。同時(shí)，說明書中描述的特征可以單獨(dú)使用或與其他特征組合使用。例如，結(jié)合一個(gè)實(shí)施例描述的任何特征都可以作為替代與在另一個(gè)實(shí)施例中描述的其他特征一起使用。因而，所述公開實(shí)施例應(yīng)該理解為不限制所述發(fā)明，而是示出所述發(fā)明的所有方面，并且本發(fā)明的范圍定義在所附權(quán)利要求書中，且不限于描述的細(xì)節(jié)。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員都會明白，在本發(fā)明的范圍內(nèi)，可以做出不同的變化和修改。上面已經(jīng)討論了這類變化和修改中的一些，而其他修改對本領(lǐng)域技術(shù)人員將是明顯的。附圖標(biāo)記100 :玻璃板拋光系統(tǒng)110:下單元114:轉(zhuǎn)軸120 :上單元124 :軸130 :拋光液供給單元140 :載物臺200:拋光墊201 :溝槽202 :拋光表面204 :第一區(qū)域205:內(nèi)側(cè)區(qū)域206 :第二區(qū)域207 :外側(cè)區(qū)域210 :拋光液供給器212 :第一供給器213 :第一孔214:第二供給器215 :第二孔217 :環(huán)形供給器219 :徑向供給通路220 :第一溝槽圖案230 :第二溝槽圖案232 :環(huán)形溝槽234 :徑向溝槽236 :第二徑向溝槽
權(quán)利要求
1.拋光系統(tǒng)的拋光墊，能夠安裝到拋光板，并且具有預(yù)先確定的溝槽圖案以允許從拋光液供給器供給的拋光液在拋光表面移動，其中，所述溝槽圖案具有至少兩種圖案。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光系統(tǒng)的拋光墊，其中，所述的拋光圖案包括:第一溝槽圖案，在包含拋光墊中心的第一區(qū)域中形成；以及第二溝槽圖案，在與所述第一區(qū)域從所述中心到外側(cè)分開以圍繞所述第一區(qū)域的第二區(qū)域中形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光系統(tǒng)的拋光墊，其中，所述第二溝槽圖案包括:至少兩個(gè)環(huán)形溝槽，從所述中心同心排列，并且以預(yù)先確定的間隔相互分開；以及多個(gè)徑向溝槽，從所述中心徑向延伸與所述環(huán)形溝槽相交。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光系統(tǒng)的拋光墊，其中，每個(gè)徑向溝槽被設(shè)置為與所述拋光墊的離心方向一致。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光系統(tǒng)的拋光墊，其中，所述第二區(qū)域包括配置為與所述第一區(qū)域鄰接的內(nèi)側(cè)區(qū)域和配置在所述內(nèi)側(cè)區(qū)域外側(cè)的外側(cè)區(qū)域，并且其中，在所述第二溝槽圖案中，所述外側(cè)區(qū)域的溝槽配置得比所述內(nèi)側(cè)區(qū)域的溝槽更 LU O
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光系統(tǒng)的拋光墊，其中，所述第二溝槽圖案還包括在所述外側(cè)區(qū)域的相鄰徑向溝槽之間形成的第二徑向溝槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光系統(tǒng)的拋光墊，其中，所述拋光液供給器包括:第一供給器，用于將拋光液供給到所述第一區(qū)域；以及第二供給器，用于將拋光液供給到所述第二區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拋光系統(tǒng)的拋光墊，其中，所述第一供給器包括:第一孔，形成為穿過所述第一供給器，與所述中心一致；以及直線供給通道，配置為穿過所述第一區(qū)域，與所述第一孔及所述第二供給器相通。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拋光系統(tǒng)的拋光墊，其中，所述第二供給器包括:多個(gè)第二孔，在所述第一區(qū)域與所述第二區(qū)域的邊界線上形成為穿過所述第二供給器；環(huán)形供給通道，設(shè)置于所述邊界線上，與所述第二孔相通；以及曲線的徑向供給通道，形成為從每個(gè)第二孔彎曲向外的徑向形狀。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光系統(tǒng)的拋光墊，其中，所述拋光墊為圓形。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光系統(tǒng)的拋光墊，其中，所述第一溝槽圖案包括多個(gè)大體上相互正交的網(wǎng)格狀溝槽。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光系統(tǒng)的拋光墊，其中，所述溝槽具有大約I到30mm的寬度以及相鄰溝槽間的間隔大約是10到100mm。
全文摘要
一種可安裝到拋光板的拋光系統(tǒng)的拋光墊，并且具有預(yù)先確定的溝槽圖案，以允許從拋光液供給器供給的拋光液在拋光表面移動。所述溝槽圖案具有至少兩種圖案。
文檔編號B24D11/00GK103079767SQ201180039962
公開日2013年5月1日 申請日期2011年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月18日
發(fā)明者閔庚勳, 林云勳, 李大淵, 宋在翊, 樸壽讃 申請人:Lg化學(xué)株式會社