專利名稱：溫度監(jiān)控裝置的制作方法
溫度監(jiān)控裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體圓片制造設(shè)備，尤其涉及一種除氣腔內(nèi)的溫度監(jiān)控裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工藝中，經(jīng)常通過加熱以激活和除去殘留在圓片表面的氣體或液體物質(zhì)，如氧氣和水汽。否則，這些物質(zhì)將會(huì)阻止物理氣相沉積或化學(xué)氣相沉積等工藝進(jìn)程在圓片表面形成薄膜，此外，這些物質(zhì)還會(huì)改變薄膜的性質(zhì)，從而影響圓片的質(zhì)量。通常地，監(jiān)控除氣進(jìn)程溫度的方法是通過在圓片的背面貼上溫度試紙的方式來實(shí)現(xiàn)。將貼有溫度試紙的圓片送入除氣腔，調(diào)整加熱電源的輸出功率和時(shí)間以進(jìn)行圓片表面的除氣操作，最后將圓片取出并觀察溫度試紙的變色狀況，以估計(jì)大概的溫度。但用此方法監(jiān)控溫度，一方面準(zhǔn)確度不高，只能根據(jù)溫度試紙的變色程度大概估計(jì)圓片的溫度，另一方面不能實(shí)時(shí)監(jiān)控進(jìn)程中的溫度變化，從而難以根據(jù)溫度狀況準(zhǔn)確的調(diào)整加熱電源的輸出功率和輸出時(shí)間以獲得最優(yōu)化的工藝溫度。

發(fā)明內(nèi)容基于此，有必要提供一種能實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的監(jiān)測除氣腔除氣進(jìn)程溫度的溫度監(jiān)控裝
置。 一種溫度監(jiān)控裝置，包括腔體、圓片支撐裝置，所述圓片支撐裝置置于所述腔體內(nèi)，所述圓片支撐裝置包括圓片支撐環(huán)，此外，還包括溫度監(jiān)控器，所述溫度監(jiān)控器設(shè)置于所述圓片支撐環(huán)內(nèi)側(cè)，用于監(jiān)控放置于所述圓片支撐環(huán)上的圓片的溫度。優(yōu)選的，該溫度監(jiān)控裝置還包括溫度顯示裝置，所述溫度顯示裝置與溫度監(jiān)控器相連，用于顯示溫度監(jiān)控器測量的溫度數(shù)值。優(yōu)選的，該溫度監(jiān)控裝置還包括溫度調(diào)節(jié)裝置，所述溫度調(diào)節(jié)裝置與溫度監(jiān)控器相連，根據(jù)溫度監(jiān)控器測量的溫度數(shù)值調(diào)節(jié)加熱電源輸出功率和時(shí)間。優(yōu)選的，所述溫度監(jiān)控器圍繞圓片支撐環(huán)內(nèi)側(cè)連續(xù)設(shè)置。優(yōu)選的，所述溫度監(jiān)控器包括至少一個(gè)子溫度監(jiān)控器，所述子溫度監(jiān)控器圍繞圓片支撐環(huán)內(nèi)側(cè)均勻分布。通過在除氣腔圓片支撐環(huán)內(nèi)側(cè)加裝溫度監(jiān)控器，可以準(zhǔn)確的監(jiān)測圓片在除氣過程中溫度的變化，并根據(jù)溫度數(shù)值調(diào)整加熱電源的輸出功率和時(shí)間，以獲得最優(yōu)化的工藝溫度。

圖1為利用了本發(fā)明溫度監(jiān)控裝置的一實(shí)施例的除氣腔結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為除氣腔溫度監(jiān)控裝置局部放大圖。
具體實(shí)施方式

下面主要結(jié)合具體實(shí)施例及附圖對(duì)溫度監(jiān)控裝置作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。通過在除氣腔的適當(dāng)位置添加溫度監(jiān)控器，并使溫度監(jiān)控器與圓片背面接觸，就可以實(shí)時(shí)精確的監(jiān)測除氣進(jìn)程中圓片的溫度，從而可以準(zhǔn)確的調(diào)整加熱電源的輸出功率和輸出時(shí)間，以獲得最優(yōu)化的工藝溫度。圖1和圖2所示為應(yīng)用了溫度監(jiān)控裝置的一實(shí)施例的除氣腔結(jié)構(gòu)及圓片支撐裝置示意圖。該除氣腔包括腔體110、圓片支撐裝置120、溫度監(jiān)控器130、溫度顯示裝置和溫度調(diào)節(jié)裝置(圖中未顯示)。腔體110用來放置圓片支撐裝置120及其他附屬裝置，圓片支撐裝置120包括圓片300支撐環(huán)210。圓片300在進(jìn)行除氣步驟時(shí)，被放置在圓片300支撐環(huán)210上。溫度監(jiān)控器130圍繞圓片300支撐環(huán)210內(nèi)側(cè)連續(xù)設(shè)置，如圖2所示，并且與圓片300 (圖未示)背面接觸。溫度監(jiān)控器130連接溫度顯示裝置和溫度調(diào)節(jié)裝置。溫度監(jiān)控器130實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地監(jiān)測圓片300在除氣進(jìn)程中的溫度變化，并在溫度顯示裝置上顯示出所述圓片300溫度的變化。從而，用戶或者設(shè)備可以根據(jù)溫度變化實(shí)時(shí)調(diào)整加熱電源的輸出功率和輸出時(shí)間，以獲得最優(yōu)化的工藝溫度。在可選的實(shí)施方式中，溫度監(jiān)控器130可以包括多塊的子溫度監(jiān)控器，各子溫度監(jiān)控器均勻分布在圓片300支撐環(huán)210內(nèi)側(cè)。從而可以節(jié)省材料并結(jié)合多點(diǎn)溫度監(jiān)控裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)圓片300表面溫度更為精確的監(jiān)測。在另外的可選實(shí)施方式中，若在除氣過程中圓片300表面溫度的統(tǒng)一性較好，只需要測量圓片300表面某一位置的溫度就可以反應(yīng)整塊圓片300的溫度。這種情況下，溫度監(jiān)控器130只需要在圓片300支撐環(huán)內(nèi)側(cè)某一點(diǎn)位置設(shè)置即可。通過在除氣腔圓片300支撐環(huán)210內(nèi)側(cè)加裝溫度監(jiān)控器130，溫度監(jiān)控器130再外接溫度顯示裝置和溫度調(diào)節(jié)裝置，可以準(zhǔn)確地監(jiān)測圓片300在除氣過程中溫度的變化，并根據(jù)溫度數(shù)值調(diào)整加熱電源的輸出功率和時(shí)間，以獲得最優(yōu)化的工藝溫度。

以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種溫度監(jiān)控裝置，包括腔體、圓片支撐裝置，所述圓片支撐裝置置于所述腔體內(nèi)，所述圓片支撐裝置包括圓片支撐環(huán)，其特征在于:還包括溫度監(jiān)控器，所述溫度監(jiān)控器設(shè)置于所述圓片支撐環(huán)內(nèi)側(cè)，用于監(jiān)控放置于所述圓片支撐環(huán)上的圓片的溫度。
2.按權(quán)利要求1所述的溫度監(jiān)控裝置，其特征在于:還包括溫度顯示裝置，所述溫度顯示裝置與溫度監(jiān)控器相連，用于顯示溫度監(jiān)控器測量的溫度數(shù)值。
3.按權(quán)利要求1或2所述的溫度監(jiān)控裝置，其特征在于:還包括溫度調(diào)節(jié)裝置，所述溫度調(diào)節(jié)裝置與溫度監(jiān)控器相連，所述溫度調(diào)節(jié)裝置根據(jù)溫度監(jiān)控器測量的溫度數(shù)值調(diào)節(jié)加熱電源輸出功率和時(shí)間。
4.按權(quán)利要求1所述的溫度監(jiān)控裝置，其特征在于:所述溫度監(jiān)控器圍繞圓片支撐環(huán)內(nèi)側(cè)連續(xù)設(shè)置。
5.按權(quán)利要求1所述的溫度監(jiān)控裝置，其特征在于:所述溫度監(jiān)控器包括至少一個(gè)子溫度監(jiān)控器，所述子溫 度監(jiān)控器圍繞圓片支撐環(huán)內(nèi)側(cè)均勻分布。
全文摘要
一種溫度監(jiān)控裝置，包括腔體、圓片支撐裝置，所述圓片支撐裝置置于所述腔體內(nèi)，所述圓片支撐裝置包括圓片支撐環(huán)，此外，還包括溫度監(jiān)控器，所述溫度監(jiān)控器設(shè)置于所述圓片支撐環(huán)內(nèi)側(cè)，用于監(jiān)控放置于所述圓片支撐環(huán)上的圓片的溫度。通過在除氣腔圓片支撐環(huán)內(nèi)側(cè)加裝溫度監(jiān)控器，溫度監(jiān)控器再外接溫度顯示裝置和溫度調(diào)節(jié)裝置，可以準(zhǔn)確地監(jiān)測圓片在除氣過程中溫度的變化，并根據(jù)溫度數(shù)值調(diào)整加熱電源的輸出功率和時(shí)間，以獲得最優(yōu)化的工藝溫度。
文檔編號(hào)C23C14/54GK103088308SQ201110340700
公開日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2011年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月1日
發(fā)明者朱劍, 姚文龍 申請(qǐng)人:無錫華潤上華科技有限公司