專利名稱:晶砣去膠裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及晶砣加工領(lǐng)域,特別是一種用于對(duì)晶砣的周邊去膠的裝置。
背景技術(shù):
晶片外形加工需要將許多晶片按要求用蠟?zāi)z合在一起,形成晶砣,經(jīng)過去膠后在進(jìn)行L邊和W邊的切割研磨,由于蠟粘性大,晶砣周邊的殘膠去除比較困難,現(xiàn)有的去膠方式一般有兩種,一種是采用單盤磨加上碳化硅微粉去膠,這種去膠方式會(huì)導(dǎo)致晶砣的刮傷, 另一種方式是采用平面磨床金剛石砂輪去膠,這種去膠方式會(huì)導(dǎo)致金剛石砂輪孔隙被殘膠堵塞,導(dǎo)致晶砣加工應(yīng)力大,晶砣容易產(chǎn)生崩邊亮點(diǎn)問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對(duì)背景技術(shù)中所述的現(xiàn)有的晶砣去膠裝置存在的容易將晶砣刮傷以及容易導(dǎo)致晶砣崩邊亮點(diǎn)等問題,提供一種晶砣去膠裝置。實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)方案如下一種晶砣去膠裝置,其包括機(jī)架、設(shè)置于機(jī)架上的金剛石磨盤和動(dòng)力裝置,所述的動(dòng)力裝置包括正反轉(zhuǎn)電機(jī)和減速皮帶輪組,金剛石磨盤與減速皮帶輪組的動(dòng)力輸出端連接,在機(jī)架上還設(shè)置有晶砣冷卻裝置。所述的晶砣冷卻裝置包括水箱和冷卻水滴管,冷卻水滴管的出水口設(shè)置于金剛石磨盤的上方。本發(fā)明的晶砣去膠裝置與現(xiàn)有的去膠裝置相比具有的有益效果為因?yàn)楸景l(fā)明的晶砣去膠裝置的動(dòng)力裝置為正反轉(zhuǎn)電機(jī)和減速皮帶輪組,因此能帶動(dòng)金剛石磨盤正反向轉(zhuǎn)動(dòng),防止金剛石砂輪孔隙被殘膠堵塞,防止晶砣加工應(yīng)力加大,防止晶砣產(chǎn)生崩邊亮點(diǎn),因?yàn)楸景l(fā)明的晶砣去膠裝置設(shè)置有晶砣冷卻裝置,因此,在對(duì)晶砣進(jìn)行去膠的同時(shí)能對(duì)其進(jìn)行冷卻,防止其因?yàn)榕c金剛石磨盤摩擦產(chǎn)生熱量而導(dǎo)致晶砣的損壞。
圖1為本發(fā)明的示意圖;圖中,1為水箱,2為冷卻水滴管,3為機(jī)架,4為金剛石磨盤,5為減速皮帶輪組,6 為正反轉(zhuǎn)電機(jī)。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)D1所示的一種晶砣去膠裝置,其包括機(jī)架3、設(shè)置于機(jī)架3上的金剛石磨盤 4和動(dòng)力裝置,所述的動(dòng)力裝置包括正反轉(zhuǎn)電機(jī)6和減速皮帶輪組5,金剛石磨盤4與減速皮帶輪組5的動(dòng)力輸出端連接,在機(jī)架3上還設(shè)置有晶砣冷卻裝置。所述的晶砣冷卻裝置包括水箱1和冷卻水滴管2,冷卻水滴管2的出水口設(shè)置于金剛石磨盤4的上方。在對(duì)晶砣去膠時(shí),首先開啟電機(jī),通過減速皮帶輪組5的作用,金剛石磨盤4的轉(zhuǎn)速可以控制在晶砣去膠所需的轉(zhuǎn)速,金剛石磨盤4在電機(jī)的帶動(dòng)下進(jìn)行正反向的轉(zhuǎn)動(dòng),水箱1通過冷卻水滴管 2想金剛石磨盤4上提供冷卻水,操作人員手持晶砣將晶砣上要去膠的端面與金剛石磨盤4 接觸,通過摩擦去除殘膠,因?yàn)殡姍C(jī)是正反轉(zhuǎn)電機(jī)6,因此金剛是磨盤在其帶動(dòng)下會(huì)進(jìn)行正向和反向的轉(zhuǎn)動(dòng),可以防止殘膠堵塞金剛石磨盤4的孔隙,防止晶砣加工應(yīng)力的增大,防止晶砣產(chǎn)生崩邊亮點(diǎn)等問題,通過冷卻水的冷卻可以防止晶砣的損壞,提高晶砣加工質(zhì)量。
權(quán)利要求
1.一種晶砣去膠裝置,其包括機(jī)架、設(shè)置于機(jī)架上的金剛石磨盤和動(dòng)力裝置,其特征在于所述的動(dòng)力裝置包括正反轉(zhuǎn)電機(jī)和減速皮帶輪組,金剛石磨盤與減速皮帶輪組的動(dòng)力輸出端連接,在機(jī)架上還設(shè)置有晶砣冷卻裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶砣去膠裝置,其特征在于所述的晶砣冷卻裝置包括水箱和冷卻水滴管,冷卻水滴管的出水口設(shè)置于金剛石磨盤的上方。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種晶砣去膠裝置,其包括機(jī)架、設(shè)置于機(jī)架上的金剛石磨盤和動(dòng)力裝置,所述的動(dòng)力裝置包括正反轉(zhuǎn)電機(jī)和減速皮帶輪組,金剛石磨盤與減速皮帶輪組的動(dòng)力輸出端連接,在機(jī)架上還設(shè)置有晶砣冷卻裝置;晶砣冷卻裝置包括水箱和冷卻水滴管,冷卻水滴管的出水口設(shè)置于金剛石磨盤的上方。
文檔編號(hào)B24B19/22GK102152204SQ20111000906
公開日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2011年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月17日
發(fā)明者任先林, 陳俊 申請(qǐng)人:常州松晶電子有限公司