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粉末鍍膜設(shè)備的制作方法

文檔序號:3367684閱讀:854來源:國知局
專利名稱:粉末鍍膜設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及ー種在粉末基材上進(jìn)行全面鍍覆的粉末鍍膜設(shè)備。
背景技術(shù)
在現(xiàn)有的濺射鍍膜技術(shù)中,都是在被鍍樣品是面狀或線狀的樣品上進(jìn)行鍍膜,還不能在粉末樣品上進(jìn)行鍍膜。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述存在的技術(shù)問題,本發(fā)明提供一種能夠在粉末樣品上鍍膜的粉末鍍膜設(shè)
- -O本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是
ー種粉末鍍膜設(shè)備,包括真空室、熱絲電扱、磁控靶、多エ位轉(zhuǎn)靶、離子槍及反彈振動裝置,所述真空室內(nèi)反彈振動裝置的樣品盤上方設(shè)置熱絲電極、磁控靶、多エ位轉(zhuǎn)靶及離子槍,離子槍的離子束通過多エ位轉(zhuǎn)靶的靶面反射至樣品盤,磁控靶的中心線交于樣品盤。所述的反彈振動裝置包括振蕩器、拉緊裝置、前后擺動架、第一驅(qū)動裝置、第二驅(qū)動裝置、第三驅(qū)動裝置、平移架及左右擺動架,所述前后擺動架通過第二銷軸及第ニ滑塊軸連接于左右擺動架上的一端,左右擺動架通過第一銷軸及第一滑塊軸連接于平移架上,第 ー驅(qū)動裝置與平移架上的第一滑塊連接,第二驅(qū)動裝置與左右擺動架上的第二滑塊連接, 第三驅(qū)動裝置與平移架連接,振動器通過拉緊裝置連接于前后擺動架上。所述的第一驅(qū)動裝置、第二驅(qū)動裝置和第三驅(qū)動裝置均包括電機(jī)、曲柄和連桿,曲柄一端與電機(jī)輸出軸連接,另一端與連桿連接。本發(fā)明的有益效果是拉開相鄰顆粒間距離,使之減少顆粒之間的摩擦,避免被鍍層被磨棹,使得每個粉末顆粒每個面都能產(chǎn)生朝向靶面或熱絲電極的機(jī)會,從而實(shí)現(xiàn)在粉末顆粒上各個面上鍍膜。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1中反彈機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、真空室,2、熱絲電扱,3、磁控靶,4、多エ位轉(zhuǎn)靶,5、離子槍,6、反彈振動裝置,7、樣品盤,8、彈簧拉緊裝置,9、前后擺動架,10、電磁震蕩器,11、第二電機(jī),12、第一電機(jī),13、第二曲柄,14、第二連桿,15、平移架,16、第二滑塊,17、左右擺動架,18、第一曲柄, 19、第一連桿,20、第一滑塊,21、第三連桿,22、第三曲柄,23、第三電機(jī),24、第一轉(zhuǎn)軸,25、第 ニ轉(zhuǎn)軸,26、第一滑塊軸,27.第二滑塊軸。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)ー步說明
實(shí)施例如圖1、圖2所示,本發(fā)明包括真空室1、熱絲電極2、磁控靶3、四エ位轉(zhuǎn)靶4、 離子槍5及反彈振動裝置6,所述真空室1內(nèi)反彈振動裝置6的樣品盤7上方設(shè)置熱絲電極 2、磁控靶3、四エ位轉(zhuǎn)靶4及離子槍5,離子槍5的離子束通過四エ位轉(zhuǎn)靶4的靶面反射至樣品盤7,磁控靶3的中心線交于樣品盤7。本例所述的反彈振動裝置6包括電磁振蕩器10、彈簧拉緊裝置8、前后擺動架9、 第一驅(qū)動裝置、第二驅(qū)動裝置、第三驅(qū)動裝置、平移架15及左右擺動架17,本例所述第一驅(qū)動裝置、第二驅(qū)動裝置和第三驅(qū)動裝置均包括電機(jī)、曲柄和連桿,曲柄一端與電機(jī)輸出軸連接,另一端與連桿連接;所述前后擺動架9通過第二滑塊軸27及其兩端第二轉(zhuǎn)軸25連接于左右擺動架17上的一端,左右擺動架17分別通過第一滑塊軸沈及其兩端第一轉(zhuǎn)軸M連接于平移架15上,第一電機(jī)12置于平移架15上,與其輸出軸連接的第一曲柄13通過第一連桿14與平移架15上的第一滑塊16連接,第二電機(jī)12置于左右擺動架17上,與其輸出軸連接的第二曲柄18通過第二連桿19與左右擺動架17上的第二滑塊20連接,第三電機(jī) 23輸出軸上安裝第三曲柄22,通過第三連桿21與平移架15連接,電磁振動器10通過彈簧拉緊裝置8與前后擺動架9連接。本例所述的彈簧拉緊裝置8為四根彈簧,沿電磁振動器10四周均勻設(shè)置。本發(fā)明的工作過程
本發(fā)明在工作狀態(tài)下,離子槍5發(fā)出的離子束將四エ位轉(zhuǎn)靶4上的靶材濺射出來。將放有粉末的樣品盤7放入反彈振動裝置6中的電磁振蕩器10上,作用是使粉末產(chǎn)生上下彈跳起落拉開粉末顆粒間的距離,彈簧拉緊裝置8使樣品盤7貼緊電磁振蕩器10,第二電機(jī)11 輸出軸旋轉(zhuǎn),帶動第二曲柄18、第二連桿19、第二滑塊20運(yùn)動,使前后擺動架9繞第二轉(zhuǎn)軸 25產(chǎn)生前后擺動,使粉末產(chǎn)生前后的滾動,第一電機(jī)12輸出軸旋轉(zhuǎn),帶動第一曲柄13、第一連桿14、第一滑塊16運(yùn)動,使左右擺動架6繞第一轉(zhuǎn)軸M產(chǎn)生左右擺動,使粉末產(chǎn)生左右滾動,第三電機(jī)ぬ輸出軸旋轉(zhuǎn),帶動第三曲柄22、第三連桿21,從而帶動平移架15產(chǎn)生來回平移運(yùn)動,使底層的未被震起的粉末平移一段距離后,躲開上面粉末而能夠振動起來。靶材上濺射出來的材料濺射到運(yùn)動的粉末顆粒上,從而完成粉末鍍膜過程。
權(quán)利要求
1.ー種粉末鍍膜設(shè)備,其特征在于包括真空室、熱絲電扱、磁控靶、多エ位轉(zhuǎn)靶、離子槍及反彈振動裝置,所述真空室內(nèi)反彈振動裝置的樣品盤上方設(shè)置熱絲電極、磁控靶、多エ 位轉(zhuǎn)靶及離子槍,離子槍的離子束通過多エ位轉(zhuǎn)靶的靶面反射至樣品盤,磁控靶的中心線交于樣品盤。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粉末鍍膜設(shè)備,其特征在于所述的反彈振動裝置包括振蕩器、拉緊裝置、前后擺動架、第一驅(qū)動裝置、第二驅(qū)動裝置、第三驅(qū)動裝置、平移架及左右擺動架,所述前后擺動架通過第二銷軸及第ニ滑塊軸連接于左右擺動架上的一端,左右擺動架通過第一銷軸及第一滑塊軸連接于平移架上,第一驅(qū)動裝置與平移架上的第一滑塊連接,第二驅(qū)動裝置與左右擺動架上的第二滑塊連接,第三驅(qū)動裝置與平移架連接,振動器通過拉緊裝置連接于前后擺動架上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粉末鍍膜設(shè)備,其特征在于所述的第一驅(qū)動裝置、第二驅(qū)動裝置和第三驅(qū)動裝置均包括電機(jī)、曲柄和連桿,曲柄一端與電機(jī)輸出軸連接,另一端與連桿連接。
全文摘要
一種粉末鍍膜設(shè)備,屬于鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。包括真空室、熱絲電極、磁控靶、多工位轉(zhuǎn)靶、離子槍及反彈振動裝置,所述真空室內(nèi)反彈振動裝置的樣品盤上方設(shè)置熱絲電極、磁控靶、多工位轉(zhuǎn)靶及離子槍,離子槍的離子束通過多工位轉(zhuǎn)靶的靶面反射至樣品盤,磁控靶的中心線交于樣品盤。本發(fā)明拉開粉末相鄰顆粒間距離,使之減少顆粒之間的摩擦,避免被鍍層被磨掉,使得每個粉末顆粒每個面都能產(chǎn)生朝向靶面或熱絲電極的機(jī)會,從而實(shí)現(xiàn)在粉末顆粒上各個面上鍍膜。
文檔編號C23C14/50GK102534520SQ20101057591
公開日2012年7月4日 申請日期2010年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月7日
發(fā)明者馮彬, 劉大為, 孟凡利, 張寧, 李偉, 王維 申請人:中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司
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