專利名稱：用于在濺射涂膜系統(tǒng)中固定和運輸對撞擊敏感的片的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
屬于我們?nèi)粘１匦杵返暮芏嗉夹g(shù)裝置需要在生產(chǎn)過程中濺射涂膜。我們可以在計 算機硬盤、CD存儲介質(zhì)和LCD平面屏幕、濺鍍軸承、現(xiàn)代熱防護玻璃、鏡子、商素發(fā)射體或汽 車前燈中找到這些層。所有這些有用的裝置在不通過濺射進行涂膜的情況下是不能實現(xiàn) 的。
背景技術(shù)：
英語表達“to sputter (濺射)”，“spUttering(濺射的)”表示陰極濺射的工藝。 在這種情況下，氬離子撞擊在陰極(所謂的靶子)上，在陰極通常存在500伏特的電壓。當(dāng) 離子撞擊時，原子被從陰極釋放并在周圍環(huán)境中聚集，這導(dǎo)致層的生長。對于濺射涂膜來說 重要的部件是所謂的磁控管(具有集成磁性系統(tǒng)的陰極)和真空室(接收器室)。在許多情況中，待涂膜材料是大的玻璃片。在較大設(shè)計和大數(shù)量的平面屏幕的生產(chǎn)中，這種對震動敏感的片的生產(chǎn)和進一步 處理也是需要的。有關(guān)歷史現(xiàn)代平面屏幕正越來越多地代替舊的電子管監(jiān)視器，并且也正在變得越來越便且。它們基于TFT/IXD技術(shù)。在上下文中，IXD (液晶顯示器)代表液晶在屏幕的單獨 像素中的使用，TFT代表“薄膜晶體管”。TFT是非常小的晶體管元件，它們控制液晶的方向， 因而控制其光透射。平面屏幕顯示器由許多像素組成，每個像素依次由對應(yīng)于紅色、綠色和藍色的三 個IXD單元(子像素)組成。15英寸屏幕(沿對角線測量)包含大約800000像素或大約 240萬LCD單元。關(guān)于理解操作的模式液晶單元(LCD單元)以與偏光太陽鏡相似的方式工作。如果兩個偏光玻璃彼此 疊置并開始相對于彼此轉(zhuǎn)動，則一開始能看到越來越少的東西，然后根本什么都看不到。這 個結(jié)果的出現(xiàn)是因為偏光玻璃僅僅讓在特殊平面中振動的光波透過。如果兩個這種玻璃彼 此疊置并且相對于彼此轉(zhuǎn)動90°，則光中的一些仍能通過第一片玻璃，但不再通過第二片 玻璃，這是因為第二片玻璃與入射光波呈橫向并且將它們過濾掉了。IXD單元以相同原理工作。它由相對于彼此轉(zhuǎn)動90°的兩個偏光玻璃組成，因而 根據(jù)上面的說明，沒有光能通過這兩個偏光玻璃。具有使光的振動平面旋轉(zhuǎn)的自然屬性的 液晶層位于這兩個偏光玻璃之間，該液晶層正好足夠厚，使得通過第一片偏振片玻璃的光 回轉(zhuǎn)90°，因而通過第一片偏光玻璃的光也能通過第二片偏光玻璃，也就是說變得對于觀 眾可見。 如果通過施加電壓然后使得液晶分子旋轉(zhuǎn)遠離它們的自然位置，則較少的光通過 單元，對應(yīng)的像素變黑。通過TFT元件產(chǎn)生對應(yīng)的電壓，TFT元件是每個IXD單元的一部
4分。在屏幕外殼的后部中通過可大規(guī)模地用于照亮房間的多個小熒光管產(chǎn)生用于IXD顯示 器的光。由于每個像素都具有用于紅色、綠色和藍色的三種濾色器，所以控制這些濾色器 的透射率意味著每個像素能呈現(xiàn)所需的混合色或所需的顏色。對于標(biāo)準(zhǔn)的辦公室應(yīng)用，平面屏幕具有極佳的銳度和足夠的顏色品質(zhì)。按照人機 工程的觀點，TFT還有許多優(yōu)點可以提供較小的空間需求、僅僅是電子管監(jiān)視器能耗的三 分之一的能耗和顯著較低的輻射。在微電子學(xué)中，按照常規(guī)TFT屏幕的生產(chǎn)需要所謂的超凈室。這是必需的，因為考 慮到線路承載結(jié)構(gòu)的小尺寸，甚至小的微粒也能引起生產(chǎn)過程中的線路中斷。在生產(chǎn)TFT 屏幕的情況下，這種線路中斷將導(dǎo)致像素的故障。因而，這種屏幕的生產(chǎn)需要超凈室條件。凈室或超凈室是對空氣傳播微粒的濃度進行控制的房間。它被以這樣的方式建造 和使用，即被引入房間的或在房間中產(chǎn)生和沉積的微粒的數(shù)量盡可能地小，并且諸如溫度、 濕度或氣壓的其他參數(shù)可按照需要被控制。一方面，TFT屏幕現(xiàn)在正變得越來越便宜，另一方面，對于大面積屏幕的需求越來 越突出，下列兩個原因?qū)е赂尤绱?，首先因為這種類型的屏幕能非常容易地在大型活動 中使用，其次因為這種類型的屏幕由于現(xiàn)代生產(chǎn)技術(shù)而可在可承受的價格范圍內(nèi)得到。然而，大屏幕的生產(chǎn)甚至在超凈室中也需要專用機器來處理在這種情況下所需的 大面積的薄玻璃片。如權(quán)利要求1的前序部分所述，在DE19905882C1中，現(xiàn)有技術(shù)披露了用于在第一 凈室和第二凈室之間運輸物品特別是晶片或晶片保持器的裝置，第一凈室和第二凈室能與 不同的凈室類裝置相關(guān)聯(lián)并且在其中蘊含不同的氣壓。該裝置處理的問題是提供一種運輸 裝置，其減少由該裝置的控制軟件構(gòu)成的需求，并且在同樣減少的運輸時間內(nèi)，使得物品能 可靠地從處理站運輸或運輸?shù)教幚碚尽Ｋ鰡栴}通過下列部件解決-垂直輸送機，其被引導(dǎo)通過第一凈室的密封部中的孔口和第二凈室的地板，并且 它的可垂直移動的輸送元件具有位于第一凈室內(nèi)的第一終點位置和位于第二凈室內(nèi)的第 二終點位置，-阻塞所述垂直輸送機的橫截面的鎖定單元，所述鎖定單元具有兩個鎖定門，這兩 個鎖定門在輸送方向上間隔開并且限定位于它們之間的鎖定室，和-至少一個移交單元，通過所述移交單元，相應(yīng)的物品能從位于第二凈室內(nèi)的運輸 系統(tǒng)移交到處于其第二終點位置中的輸送元件，以及在相反的方向上，和/或從處于其第 一終點位置中的輸送元件移交到位于第一凈室內(nèi)的處理站，以及在相反的方向上，輸送元 件的終點位置之一布置在鎖定室中。雖然晶片的運輸發(fā)生在凈室條件下，但大玻璃片的運輸在此顯然不是第一重要 的。然而，大屏幕的生產(chǎn)甚至在超凈室中也要求使用專用機器來處理在這種情況下所 需的大面積的薄玻璃片。為此目的，可能主要使用多軸工業(yè)機器人?？梢詮默F(xiàn)有技術(shù)中收集各種各樣實施例的多軸工業(yè)機器人在用于生產(chǎn)各種各樣 產(chǎn)品的技術(shù)中的應(yīng)用。這種類型的工業(yè)機器人用于大的車間中，主要用于運輸笨拙且沉重的負載，但也能有益地用在較小機器零件的生產(chǎn)中。在所有情況下重要的是單獨的抓取操 作、運輸運動和沉降操作的動作順序的可再現(xiàn)精度。在此，這些動作順序發(fā)生的環(huán)境在許多情況下不重要。例如，這種動作順序引起的 噪音輻射或這種操作是否與灰塵的運動或較多或較少的潤滑劑漏出相關(guān)通常不重要。引起 摩擦的運動機器零件的不可避免的磨損通常也無關(guān)緊要。相反，當(dāng)在由污染引起危險的環(huán)境中工作時，例如在食品加工工業(yè)中、在制藥工業(yè) 中或甚至在超凈室內(nèi)的半導(dǎo)體生產(chǎn)中，必須考慮這種類型的自然結(jié)果。因而，在EP1541296A1中，現(xiàn)有技術(shù)披露了一種用于在由污染引起危險的環(huán)境中 使用的操作裝置，如工業(yè)機器人，其在操作裝置的驅(qū)動單元的區(qū)域中具有若干凈化室，凈化 室能被充以凈化介質(zhì)。就這種裝置而言待解決的問題是將裝置進一步研制到這樣的程度 操作裝置能以結(jié)構(gòu)上簡單的方式，并因而尤其成本低地，在由污染引起危險的環(huán)境中安全 地使用。這個問題通過與多組驅(qū)動單元中的每一組相關(guān)聯(lián)的專用凈化室來解決(權(quán)利要 求1)。雖然試圖使用這種工業(yè)機器人的環(huán)境對于污染更加敏感，因而與普通環(huán)境相比， 也對設(shè)計構(gòu)形寄予較高的要求，但這種類型的特殊要求不能與超凈室中規(guī)定的條件相比。除上面已經(jīng)提及的以外，如也用于生產(chǎn)大TFT屏幕的大的薄玻璃片由于它們的晶 體結(jié)構(gòu)和同時存在的較大的面積而對于非常小的撞擊極端敏感。因而，工業(yè)機器人也不適 合于在超凈室中處理大的薄玻璃片，因為它缺乏敏感性并且在某些情況下可能缺乏定位精 確性。在超凈室條件下，對于沿水平方向輸送大的、對撞擊敏感的玻璃片及其旋轉(zhuǎn)，需要 特別小心和注意。在維持超凈室條件時，特別是在生產(chǎn)成本密集型產(chǎn)品時的另一個方面是人為污染 的危險。在此，無意的噴嚏可能破壞整個生產(chǎn)單元。同樣，因為故障，包括關(guān)于待提供的產(chǎn) 品的故障導(dǎo)致高成本，所以這種系統(tǒng)要求增強的可靠性。DE41395491A1披露了一種用于在真空處理系統(tǒng)中和通過真空處理系統(tǒng)運輸片狀 基片的裝置，所述裝置包括多個站，在該裝置中，近似片狀構(gòu)形的基片保持器能在垂直位置 中沿著預(yù)定運輸路徑移動通過所述站。US5909995A也披露了 一種借助于底座通過真空系統(tǒng)運輸基片的裝置。兩篇文獻基 本上教導(dǎo)了用于基片的輥子驅(qū)動器的特定形式，基片被置于運輸框架內(nèi)并且通過輥子驅(qū)動 器并以磁性引導(dǎo)的方式輸送。DE4136342A1教導(dǎo)了用于將片狀基片緊固在運輸框架上的不同的夾緊裝置，夾緊 裝置適合于自動布置。DE4339813A1教導(dǎo)了用于將片狀基片從水平支承臺傳輸?shù)酱怪敝渭艿姆椒ê脱b置。從引用的現(xiàn)有技術(shù)中，不能推斷出在超凈室條件下在濺射工藝中處理大的薄玻璃 片的建議。

發(fā)明內(nèi)容
因而，本發(fā)明的裝置和本發(fā)明的方法分別處理在超凈室條件下在大的薄玻璃片的濺射工藝中確保生產(chǎn)工藝或特定生產(chǎn)工藝的遞送的問題，其能在沒有人為干涉的情況下， 但以受生產(chǎn)之外的人控制和監(jiān)視的方式發(fā)生。相應(yīng)的裝置肯定能可靠且便宜地生產(chǎn)。通過如權(quán)利要求1所述的裝置和如權(quán)利要求8所述的方法解決該問題。


本發(fā)明的裝置在下面更詳細地描述。在圖中，具體地圖1表示從前側(cè)看到的本發(fā)明的裝置的透視圖；圖2表示從后側(cè)觀看的本發(fā)明的裝置；圖3表示本發(fā)明的裝置的側(cè)視圖；圖3a表示運輸框架的側(cè)視圖；圖4表示定心單元的心軸引導(dǎo)件；圖5表示用于框架固定的支承元件；圖6表示圖5的支承元件的固定頭；圖7表示圖5的框架固定的反向支承；圖8表示框架夾子的緊固機構(gòu)的示圖；圖9表示提升機構(gòu)的透視圖。
具體實施例方式圖1表示從前側(cè)觀看的本發(fā)明的裝置的透視圖。基本框架(1)由兩個側(cè)部部件組 成，每個側(cè)部部件都由兩個平行的、互相連接的型材部件組成并且在下部和上部區(qū)域中通 過橫拉條相連。在該基本框架構(gòu)造的上部區(qū)域中，用于運輸框架(19)的磁性軌座(2)被設(shè) 置為兩個側(cè)部部件的連接件。在該框架構(gòu)造的下部區(qū)域中，裝配了另一個橫拉條，其同時特 別充當(dāng)框架運輸裝置的輥子(6)的支撐件。在后視圖中，如圖2中所示，能再次看到磁性軌座(2)，并且其他的元件(5，8)總共 八個，準(zhǔn)確地說，在運輸框架(19)每側(cè)上各有三個，在頂側(cè)上有兩個。從其他的圖中容易看 到更精確的示圖。在圖2的示圖中，能從后側(cè)看到本發(fā)明的裝置。在此也再次如圖1中那樣，作為例 子，在右側(cè)上標(biāo)明了框架固定的兩個打開頭(3)和兩個壓力缸(8)?？偟恼f來，如能從圖中 看到的，在右側(cè)上示出了另一個壓力缸(8)，在左側(cè)上示出了另外三個壓力缸(8)，并且在 上側(cè)示出了另外兩個壓力缸(8)。在該圖中，能在下部區(qū)域的中央看到定心單元的移動缸 (11)，并且能在左側(cè)看到輥子(6)的驅(qū)動器(12)。圖3表示本發(fā)明的裝置的側(cè)視圖。另外，運輸框架(19)連同上側(cè)的磁性軌(20)和 下側(cè)的相關(guān)滑走裝置(21)分別在圖3a中在同一張紙上分別示出。出于清楚的原因，運輸 框架(19)在圖3中未示出。然而，圖3中的示圖連同圖3a中以截面方式所示的運輸框架 展現(xiàn)了運輸框架(19)怎樣通過其磁性軌(20)安裝在圖3中的磁性軌座(2)中。因而，在 下部區(qū)域中被構(gòu)形為U形式樣的磁性軌(20)在被同樣構(gòu)形為U形式樣的磁性軌座(2)中 移動。在這種情況下，運輸框架(19)的滑走裝置(21)在同樣在圖3中示出的輥子(6)中 移動。在輥子(6)的區(qū)域中，圖3還示出了輥子驅(qū)動器(12)、輥子傳動機構(gòu)(22)和框架提升單元(7)。為了更詳細地說明本發(fā)明的裝置的功能，下面描述當(dāng)給運輸框架(19)裝配玻璃 片(18)時的動作順序。使待在濺射系統(tǒng)中處理的玻璃片(18)從水平位置進入垂直位置，然后通過用于 無污染傳輸這種片的裝置將所述玻璃片置于運輸框架(19)中。作為例子，根據(jù)本申請人的以前沒有公開的DE102007052182. 2的裝置適合于這 個目的。所述文獻涉及一種用于將薄的、對撞擊敏感的晶體片，特別是玻璃片從水平位置 無污染傳輸?shù)揭?guī)定的垂直位置的裝置(11)，其包括下面的特征a)使在超凈室中通過具有相應(yīng)的專用驅(qū)動器的輥子提供的玻璃片停止在傳輸單 元的區(qū)域中，b)通過在玻璃片下面提供傳輸叉的橫向支桿來抓緊玻璃片，該橫向支桿具有垂直 地緊固到其上的吸頭支撐支桿，吸頭支撐支桿的頂側(cè)具有分布在其長度上并穿過輥子之間 的自由空間的吸頭，c)使吸頭朝著玻璃片的下側(cè)移動，并通過吸氣使所述吸頭的抽吸元件與玻璃片相 連，d)由此與傳輸叉相連的玻璃片通過傳輸叉樞轉(zhuǎn)到垂直位置，e)在細微調(diào)節(jié)之后，將玻璃片置于沉降裝置中，在此沉降裝置是運輸框架，f)使吸頭與玻璃片分開。在這種情況下，在用于打開所述框架的相應(yīng)準(zhǔn)備之后，運輸框架(19)充當(dāng)遞送裝置。為此目的，輥子驅(qū)動器(12)將適合于相應(yīng)玻璃片(18)的垂直運輸框架(19)的滑 走裝置(21)輸送到定心單元，所述運輸框架的頂側(cè)被引導(dǎo)在磁性軌座(2)中，定心單元首 先使運輸框架(19)在水平方向上居中。定心單元在圖4中更詳細地描述。定心單元的移動缸(11)——也在圖3和圖2中示出——促使定心心軸⑷從定心 單元的心軸引導(dǎo)件(10)移出。在其移動過程中，定心心軸(4)遇到運輸框架(19)中的垂 直延伸的狹槽，以這種方式使運輸框架在水平方向上居中，在進一步移動期間，還通過定心 板(13)建立與所述運輸框架的連接。然后，兩個框架提升單元(7)使磁性軌座(2)中的運輸框架(19)少量升高。它們 在圖1和圖3的下部區(qū)域中被示出在左側(cè)和右側(cè)。它們在垂直方向上對運輸框架(19)的 滑走裝置(21)起作用。固定單元(5，8)隨后固定運輸框架(19)，然后在運輸框架(19)的縱向側(cè)的區(qū)域中 的打開頭(3)打開框架夾子(17)。固定單元(5，8)分別包括框架固定的壓力缸⑶和框架固定的反向缸(5)，它們成 對地出現(xiàn)。這些元件(5，8)的數(shù)量總共是八個，準(zhǔn)確地說，在運輸框架(19)每側(cè)上各有三 個，在頂側(cè)上有兩個。在圖3中能特別清楚地看出它們的功能，在圖3中能看到分別彼此相 反地定位的壓力缸⑶和反向缸(5)，固定頭(14)被標(biāo)明在所示的三個壓力缸⑶的較下 的壓力缸處。
8
圖5詳細地示出了壓力缸⑶。它主要由支承元件(16)、在所述支承元件(16)中 移動的活塞桿(15)和緊固到所述桿的末端的固定頭(14)組成。對于壓力缸(8)必不可少 的是下列特征活塞桿(15)和支承元件(16)都配備有空氣抽吸排出裝置。圖6表示壓力面的構(gòu)形，固定頭(14)通過該壓力面壓在運輸框架(19)上。在此， 可清楚地看出這些方式通過抽吸吸入的空氣帶走可能粘著于運輸框架(19)的微粒的方 式以及該通過抽吸吸入的空氣有助于保持超凈室清潔的方式。圖7詳細地示出了框架固定的反向缸(5)。在其壓力面，它也可具有與固定頭(14) 的結(jié)構(gòu)相似的結(jié)構(gòu)并且與空氣抽吸排出裝置相連。圖8表示框架夾子(17)的緊固機構(gòu)連同運輸框架(19)和插入的玻璃片(18)的 圖。圖1和圖3示出了在整個上下文中作為例子的打開壓力缸(9)和打開頭(3)。圖8中 的功能的示圖顯示了打開頭(3)的打開位置和關(guān)閉位置怎樣影響框架夾子(17)的速動機 構(gòu)。在此顯然地，當(dāng)打開壓力缸(9)的活塞桿從打開壓力缸移出時，其對框架夾子(17)的
支承——由彈簧鋼制造-的反向支承施加壓力，因此，框架夾子不得不繞所示的鉸鏈
軸旋轉(zhuǎn)，這又導(dǎo)致框架夾子向上進行鉸鏈轉(zhuǎn)動。在同一張紙上，在兩個不同視圖中分別示出 了框架夾子(17)。圖9示出了提升單元(7)連同運輸框架(19)的滑走裝置(21)的細節(jié)。隨著運輸框架(19)的最后固定和框架夾子(17)的打開，所述運輸框架準(zhǔn)備容納 玻璃片(18)。按順序開始起作用的傳輸裝置使待涂膜的玻璃片(18)升高，所述玻璃片通過運 輸裝置在水平位置提供，該傳輸裝置使玻璃片進入垂直位置，近似平行地移動玻璃片，然后 將其置于運輸框架(19)中，然后打開頭(3)關(guān)閉所有的框架夾子(17)。因而建立了玻璃片(18)與居中的運輸框架(19)的所需的、精確定位的連接。然后，固定單元(5，8)釋放裝載玻璃片(18)的運輸框架(19)，框架提升單元(7) 降低運輸框架，定心單元與運輸框架(19)分開，輥子驅(qū)動器(12)使帶著玻璃片(18)的運 輸框架(19)進入濺射區(qū)域中。自動在先的輸送操作和描述的處理操作所需的傳感器和控制元件對于本領(lǐng)域技 術(shù)人員明顯是顯而易見的，為了清楚的原因不再闡明。在所有情況下使用的運動元件、控制元件和傳感器的交互式控制需要專門的控制程序。附圖標(biāo)記目錄(1)基本框架(2)磁性軌座(3)打開頭(4)定心心軸(5)框架固定的反向缸(6)框架運輸裝置的輥子(7)框架提升單元(8)框架固定的壓力缸(9)打開壓力缸
9
(10)定心單元的心軸引導(dǎo)件(11)定心單元的移動缸(12)輥子的驅(qū)動器(13)定心板(14)框架固定的固定頭(15)帶有抽吸排出裝置的活塞桿(16)帶有抽吸排出裝置的支承元件(框架固定)(17)框架夾子(18)玻璃片(19)運輸框架(20)磁性軌(21)運輸框架的滑走裝置(22)輥子傳動機構(gòu)
權(quán)利要求
一種用于在超凈室中給濺射系統(tǒng)供料的固定和運輸對撞擊敏感的玻璃片的裝置，包括下列特征a)輥子驅(qū)動器(12)，首先用于將適合于相應(yīng)玻璃片(18)的垂直運輸框架(19)的滑走裝置(21)輸送到定心單元，以及其次用于向濺射系統(tǒng)的進一步輸送，所述運輸框架的頂側(cè)被引導(dǎo)在磁性軌座(2)中，所述定心單元使所述運輸框架(19)在水平方向上居中，b)框架提升單元(7)，用于升高和降低所述磁性軌座(2)中的所述運輸框架(19)，c)固定單元(5，8)，用于固定和釋放所述運輸框架(19)，其中打開頭(3)存在于所述運輸框架(19)的縱向側(cè)和頂側(cè)的區(qū)域中用于打開和關(guān)閉容納玻璃片(18)的框架夾子(17)，d)所述待涂膜的相應(yīng)玻璃片(18)的傳輸裝置，用于使所述玻璃片(18)升高和樞轉(zhuǎn)，所述玻璃片通過運輸裝置在水平位置提供，所述傳輸裝置使所述玻璃片進入垂直位置，然后將所述玻璃片置于所述運輸框架(19)中。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述運輸框架(19)由鋁合金構(gòu)成，由鐵合金 構(gòu)成的引導(dǎo)件附接在所述運輸框架(19)的上部區(qū)域中。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述固定單元(5，8)分別具有反向缸(5)和 壓力缸(8)，它們具有用于抽吸排出空氣的裝置。
4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述磁性軌座(2)包括由彼此相反地布置的 兩個線性的磁性元件組成，在兩個磁性元件之間，所述運輸框架(19)的上邊緣以被兩個磁 性元件分別排斥的方式布置。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的裝置，其特征在于，所述定心單元具有被引導(dǎo)在狹 槽中的定心心軸(4)，所述定心心軸被移動缸(11)從心軸引導(dǎo)件(10)移出以使所述運輸框 架(19)居中。
6.如前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述框架夾子(17)由彈簧鋼構(gòu) 成，以及座由金屬或適合于凈室的塑料構(gòu)成。
7.如前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述待涂膜的玻璃片(18)被用 于將玻璃片(18)從水平位置無污染傳輸至垂直位置中的裝置置于所述運輸框架(19)中， 所述傳輸裝置包括下列特征a)在所述超凈室中具有相應(yīng)的專用驅(qū)動器的輥子，b)具有垂直地緊固于其上的吸頭支撐支桿的傳輸叉，所述支桿的頂側(cè)具有分布在其長 度上并穿過所述輥子之間的自由空間的吸頭，c)所述吸頭具有抽吸元件，d)所述傳輸叉可樞轉(zhuǎn)到垂直位置。
8.一種用于在給濺射系統(tǒng)供料的超凈室中固定和運輸對撞擊敏感的玻璃片的方法，包 括下列特征a)輥子驅(qū)動器(12)將適合于相應(yīng)玻璃片(18)的垂直運輸框架(19)的滑走裝置(21) 輸送到定心單元，所述運輸框架的頂側(cè)被引導(dǎo)在磁性軌座(2)中，所述定心單元使所述運 輸框架(19)在水平方向上居中，b)兩個框架提升單元(7)從下側(cè)升高所述磁性軌座(2)中的所述運輸框架(19)，c)固定單元(5，8)將所述運輸框架(19)固定在其合適位置中，然后在所述運輸框架 (19)的縱向側(cè)和頂側(cè)的區(qū)域中的打開頭(3)打開框架夾子(17)，d)傳輸裝置升高所述待涂膜的玻璃片(18)，所述玻璃片通過運輸裝置在水平位置提 供，所述傳輸裝置使所述玻璃片進入垂直位置，然后將所述玻璃片置于所述運輸框架(19) 中，然后打開頭(3)關(guān)閉所述框架夾子(17)，e)使所述運輸框架(19)與所述固定單元(5，8)分開，然后所述框架提升單元(7)降低 所述運輸框架(19)，所述定心單元隨后釋放所述運輸框架(19)并且所述輥子驅(qū)動器(12) 使所述運輸框架(19)與所述玻璃片(18) —起進入所述濺射區(qū)域中。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述待涂膜的玻璃片(18)被用于將玻璃片 (18)從水平位置無污染傳輸至垂直位置中的裝置置于所述運輸框架(19)中，所述傳輸裝 置包括下列特征a)使在所述超凈室中通過具有相應(yīng)的專用驅(qū)動器的輥子提供的玻璃片停止在傳輸單 元的區(qū)域中，b)通過在玻璃片下面提供傳輸叉的橫向支桿來抓緊所述玻璃片，所述橫向支桿具有垂 直地緊固到其上的吸頭支撐支桿，所述吸頭支撐支桿的頂側(cè)具有分布在其長度上并穿過所 述輥子之間的自由空間的吸頭，c)使所述吸頭朝著所述玻璃片的下側(cè)移動，并且所述吸頭的抽吸元件通過吸氣與所述 玻璃片相連，d)由此與所述傳輸叉相連的所述玻璃片通過所述傳輸叉樞轉(zhuǎn)到垂直位置，e)在細微調(diào)節(jié)之后，將所述玻璃片置于遞送裝置中，在此所述遞送裝置是所述運輸框 架(19)，f)使所述吸頭與所述玻璃片分開。
10.一種包括程序代碼的計算機程序，當(dāng)在計算機中執(zhí)行該程序時，所述程序代碼用于 實現(xiàn)如權(quán)利要求8和9中任一項所述的方法步驟。
11.一種機器可讀的存儲介質(zhì)，其包括計算機程序的程序代碼，當(dāng)在計算機中執(zhí)行該程 序時，所述程序代碼用于實現(xiàn)如權(quán)利要求8和9中任一項所述的方法。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于在給濺射系統(tǒng)供料的超凈室中固定玻璃片的裝置和方法，包括下列特征a)輥子驅(qū)動器(12)，其設(shè)計成將運輸框架(19)輸送到定心單元，并將所述框架從所述單元輸送到濺射系統(tǒng)，定心單元使運輸框架(19)在水平方向上居中；b)升高和降低磁性軌座(2)中的運輸框架(19)的框架提升單元(7)；c)固定和釋放運輸框架(19)的固定單元(5，8)，被提供用于打開和關(guān)閉容納玻璃板(18)的框架夾子(17)的打開頭(3)；d)用于使所述玻璃板(18)升高和樞轉(zhuǎn)的提升單元，該單元使玻璃板進入垂直位置并將所述玻璃板置于運輸框架(9)中。
文檔編號C23C14/56GK101980935SQ200980110906
公開日2011年2月23日 申請日期2009年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月27日
發(fā)明者羅蘭·弗朗茨 申請人:格林策巴赫機械制造有限公司