專利名稱：一種柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能夠成功地將柔性帶材內(nèi)部的空氣和揮發(fā)性氣 體抽出來(lái)的設(shè)備，具體涉及一種柔性帶材真空濺射預(yù)抽真空處理設(shè) 備。
(二)
背景技術(shù)：
一般的真空濺射設(shè)備由于沒(méi)有經(jīng)過(guò)預(yù)抽真空設(shè)備(或裝置)進(jìn)行 預(yù)抽真空處理，對(duì)于柔性帶材內(nèi)的空氣和揮發(fā)性氣體都不能提前抽出 來(lái)。在真空濺射主體設(shè)備進(jìn)行一次性抽真空，時(shí)間長(zhǎng)、能耗高，且濺 射到基體上的靶材微粒附著力小，成品浸潤(rùn)性差，易造成后道工序出 現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題。
(三)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種柔性帶材真空濺射 預(yù)抽空處理設(shè)備，克服原有在真空濺射主體設(shè)備進(jìn)行一次性抽真空的 不足之處，將柔性帶材內(nèi)部的空氣和揮發(fā)性氣體抽出來(lái)，提高真空濺 射的抽真空速度，降低設(shè)備能耗，提高靶材微粒附著力，改善成品浸 潤(rùn)性，實(shí)現(xiàn)提高真空濺射產(chǎn)品質(zhì)量之目的。
本發(fā)明是通過(guò)如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的
本發(fā)明的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特殊之處在于 包括真空泵和通過(guò)抽氣管與真空泵連接的若干組可以單獨(dú)開閉抽真 空的預(yù)抽真空罐，預(yù)抽真空罐通過(guò)分抽空閥連接抽氣管、通過(guò)充氣閥 設(shè)有進(jìn)氣管，每個(gè)預(yù)抽真空罐內(nèi)都裝有用于安裝柔性帶材巻的芯軸， 每個(gè)預(yù)抽真空罐上還安裝有真空計(jì)；真空泵安裝有主抽空閥。
本發(fā)明的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，每個(gè)預(yù)抽真空罐內(nèi) 的芯軸上都帶有分散孔。
本發(fā)明的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，真空泵與預(yù)抽真空 罐之間連接有緩沖罐。
本發(fā)明的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，進(jìn)氣管的進(jìn)氣端設(shè)
3有空氣濾清器。
本發(fā)明的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，緩沖罐與預(yù)抽真空 罐之間安裝有真空傳感器。利用真空計(jì)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制真空度。
本發(fā)明的有益效果是，可以成功地將柔性帶材內(nèi)部的空氣和揮發(fā) 性氣體抽出來(lái)，這樣不僅可以提高真空濺射的抽空速度，降低設(shè)備能 耗，提高靶材微粒附著力，改善成品浸潤(rùn)性，而且可以提高真空濺射 的產(chǎn)品質(zhì)量。
(四)


圖l為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為電路示意圖。
圖中，l真空泵，2預(yù)抽真空罐，3充氣閥，4分抽空閥，5真空 計(jì)，6主抽空閥，7緩沖罐，8空氣濾清器，9真空傳感器，IO抽氣管， ll進(jìn)氣管。
具體實(shí)施方式
附圖為本發(fā)明的一種具體實(shí)施例。
本發(fā)明的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，包括真空泵l和通 過(guò)抽氣管10與真空泵連接的若干組可以單獨(dú)開閉抽真空的預(yù)抽真空 罐2，預(yù)抽真空罐通過(guò)分抽空閥4連接抽氣管、通過(guò)充氣閥3設(shè)有進(jìn) 氣管ll，每個(gè)預(yù)抽真空罐內(nèi)都裝有用于安裝柔性帶材巻的芯軸，每個(gè) 預(yù)抽真空罐上還安裝有真空計(jì)5;真空泵安裝有主抽空閥6。每個(gè)預(yù) 抽真空罐內(nèi)的芯軸上都帶有分散孔。真空泵與預(yù)抽真空罐之間連接有 緩沖罐。進(jìn)氣管的進(jìn)氣端設(shè)有空氣濾清器8。緩沖罐7與預(yù)抽真空罐 2之間安裝有真空傳感器9。利用真空計(jì)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制真空度。
本發(fā)明的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，通過(guò)雙位開關(guān)控制 充氣閥3、分抽空閥4。利用每個(gè)預(yù)抽真空罐2內(nèi)裝有帶分散孔的芯 軸提高抽真空速度和均勻性。各個(gè)預(yù)抽真空罐2可以單獨(dú)開閉取放巻 及預(yù)抽真空。該設(shè)備利用真空計(jì)5實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制真空度，真空范圍1 X10—' 500Pa連續(xù)可調(diào)。緩沖罐7有效避免某一預(yù)抽真空罐開閉時(shí)設(shè) 備真空度波動(dòng)過(guò)大。
預(yù)抽真空工作原理滑閥真空泵工作，將預(yù)抽真空罐內(nèi)的空氣揮發(fā)性氣體經(jīng)芯軸分散孔、分抽空閥4、抽氣管10、緩沖罐7、主抽空 閥6到滑閥真空泵1，然后排到大氣中。
該實(shí)施例的預(yù)抽工藝(以生產(chǎn)泡沬鎳的基體——泡綿為例)如下
所示打開預(yù)抽罐一放置柔性帶材巻一關(guān)閉預(yù)抽罐一設(shè)置真空度 —抽空一充氣一開罐取巻。
1. 打開預(yù)抽空罐
觀察罐體真空表是否處于真空狀態(tài)，若罐內(nèi)是真空狀態(tài)，將雙位 開關(guān)從抽空位置撥到充氣位置，這時(shí)抽空閥關(guān)閉，充氣閥打開，空氣 進(jìn)入罐內(nèi)，真空解除即可開門。
2. 放置柔性帶材巻
將預(yù)抽真空關(guān)擦拭干凈，然后把柔性帶材巻(例如泡綿)裝在 罐內(nèi)心軸上。
3. 關(guān)閉預(yù)抽空罐
關(guān)閉預(yù)抽空罐，緊固手輪，確保密封良好。
4. 設(shè)置真空度
將最低真空度設(shè)置為500Pa，最高真空度設(shè)置為1X10—卞a，啟動(dòng) 滑閥真空泵。
5. 抽空
將雙位開關(guān)從充氣位置撥到抽空位置，充氣閥關(guān)閉，這時(shí)抽空閥 打開，預(yù)抽罐進(jìn)入抽空狀態(tài)。柔性帶材巻的材質(zhì)和長(zhǎng)短不同，真空度 和保持時(shí)間也不相同。以泡綿為例，其保持時(shí)間應(yīng)為12 24小時(shí)。
6. 充氣
在設(shè)定的真空度下，保持到規(guī)定時(shí)間后，將雙位開關(guān)從抽空位置 撥到充氣位置，這時(shí)抽空閥關(guān)閉，充氣閥打開，空氣進(jìn)入罐內(nèi)，真空 解除即可開門。
7. 開罐取巻
將預(yù)抽空處理后的巻取出，交下道工序。再次放巻進(jìn)入下一循環(huán)。
權(quán)利要求
1、一種柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于包括真空泵(1)和通過(guò)抽氣管(10)與真空泵連接的若干組可以單獨(dú)開閉抽真空的預(yù)抽真空罐(2)，預(yù)抽真空罐通過(guò)分抽空閥(4)連接抽氣管、通過(guò)充氣閥(3)設(shè)有進(jìn)氣管(11)，每個(gè)預(yù)抽真空罐內(nèi)都裝有用于安裝柔性帶材卷的芯軸，每個(gè)預(yù)抽真空罐上還安裝有真空計(jì)(5)；真空泵安裝有主抽空閥(6)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于每個(gè)預(yù)抽真空罐(2)內(nèi)的芯軸上都帶有分散孔。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于真空泵(1)與預(yù)抽真空罐(2)之間連接有緩沖罐(7)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于進(jìn)氣管的進(jìn)氣端設(shè)有空氣濾清器(8)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于緩沖罐(7)與預(yù)抽真空罐(2)之間安裝有真空傳感器(9)。
全文摘要
本發(fā)明的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，包括真空泵和通過(guò)抽氣管與真空泵連接的若干組可以單獨(dú)開閉抽真空的預(yù)抽真空罐，預(yù)抽真空罐通過(guò)分抽空閥連接抽氣管、通過(guò)充氣閥設(shè)有進(jìn)氣管，每個(gè)預(yù)抽真空罐內(nèi)都裝有用于安裝柔性帶材卷的芯軸，每個(gè)預(yù)抽真空罐上還安裝有真空計(jì)；真空泵安裝有主抽空閥。本發(fā)明的有益效果是，可以成功地將柔性帶材內(nèi)部的空氣和揮發(fā)性氣體抽出來(lái)，這樣不僅可以提高真空濺射的抽空速度，降低設(shè)備能耗，提高靶材微粒附著力，改善成品浸潤(rùn)性，而且可以提高真空濺射的產(chǎn)品質(zhì)量。
文檔編號(hào)C23C14/56GK101660135SQ200910018970
公開日2010年3月3日 申請(qǐng)日期2009年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月22日
發(fā)明者劉俊林, 孟國(guó)強(qiáng), 宋小斌, 強(qiáng) 張, 李常興, 畢研文, 江衍勤, 王乃用, 羅衍濤, 蘇衍憲 申請(qǐng)人:菏澤天宇科技開發(fā)有限責(zé)任公司