專利名稱:水輪機(jī)組頂蓋耐磨抗蝕涂層的激光熔覆工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種發(fā)電設(shè)備部件的耐磨抗蝕方法,特別是涉及一種采用激光 熔覆技術(shù)的制備水輪機(jī)組頂蓋耐磨抗蝕涂層的工藝,屬于IPC國(guó)際專利分類表中的 C23C24/10 (2006. 01) I 技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
水輪機(jī)組頂蓋是水輪機(jī)組設(shè)備中的關(guān)鍵部件。水輪機(jī)過流部件的磨損和破壞一直 是水電站運(yùn)行的難治之癥。尤其隨著環(huán)境破壞加劇,泥沙含量增多水輪機(jī)頂蓋磨損破壞呈 加劇趨勢(shì)。由于這種磨損和破壞使水輪機(jī)過流部件的形狀和表面發(fā)生了變化,從而破壞了 水流對(duì)表面應(yīng)有的繞流條件,一方面直接影響機(jī)組效率,一方面也成為進(jìn)一步加劇零件破 壞的根源。水輪機(jī)頂蓋磨損破壞的主要原因是泥沙磨損和氣蝕聯(lián)合作用。對(duì)水輪機(jī)頂蓋采 取防護(hù)措施所用的材料必須從兩方面著手一是尋找抗磨蝕性能好的合金材料,二是對(duì)過 流部位進(jìn)行表面處理,以提高其抗磨蝕性能。固溶強(qiáng)化型不銹鋼碳鋼的抗磨蝕性較低,但 其加工性,焊接性和力學(xué)性能指標(biāo)均良好,而且價(jià)格便宜,水輪機(jī)頂蓋的母材一般都用它制 作,在頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及平面用塞焊法加裝不銹鋼抗磨板,在不銹鋼抗磨板上用熱噴涂 或電刷鍍制備各種抗磨復(fù)層。由于涂層與基材之間為物理結(jié)合,結(jié)合力不高,在水輪機(jī)組長(zhǎng) 期工作時(shí)經(jīng)常發(fā)生涂層脫落,引起磨損破壞,影響機(jī)組效率。其實(shí)際使用效果并不明顯。因此,選擇適當(dāng)?shù)闹苽渌啓C(jī)組頂蓋耐磨抗蝕涂層的工藝,使水輪機(jī)組頂蓋耐磨 抗蝕涂層與基體結(jié)合強(qiáng)度高、耐磨抗蝕性能好、合金涂層的厚度均勻,是當(dāng)前亟待解決的課 題。激光熔覆技術(shù)作為一種先進(jìn)的再制造技術(shù),近年來(lái)得到了迅速推廣和廣泛應(yīng)用。激光熔覆技術(shù)利用高能量激光束聚集能量極高的特點(diǎn),瞬間將在基材表面預(yù)置或 與激光同步自動(dòng)送置的、具有特殊物理、化學(xué)或力學(xué)性能的合金粉末完全熔化,同時(shí)基材部 分熔化,形成一種新的復(fù)合型材料,激光束掃描后快速凝固,獲得與基體冶金結(jié)合的致密覆 層,以達(dá)到恢復(fù)幾何尺寸和表面強(qiáng)化的目的。目前,關(guān)于利用激光熔覆工藝制備設(shè)備部件耐磨抗蝕合金涂層的專利和報(bào)道很 多例如,公開號(hào)為CN1202534的中國(guó)發(fā)明專利申請(qǐng)給出的《金屬表面等離子噴涂后激光熔 覆制備陶瓷涂層的方法》,該方法是先在金屬表面用等離子噴涂方法制備陶瓷涂層,然后在 激光照射的同時(shí),將陶瓷粉末噴向涂層表面,對(duì)陶瓷涂層進(jìn)行二次熔覆處理。公開號(hào)為CN1786272的中國(guó)發(fā)明專利申請(qǐng)給出的《激光熔覆鎳基納米WC/Co預(yù)涂 層的制備方法》,該制備方法包括下列步驟①按每克重的蟲膠與10 20克重的無(wú)水乙醇 稱量蟲膠和無(wú)水乙醇,然后將所述的蟲膠加入無(wú)水乙醇中制成粘結(jié)劑;②根據(jù)需要按每克 鎳基納米WC/Co粉末與0. 1毫升 0. 25毫升的粘結(jié)劑的比例,稱量鎳基納米WC/Co粉末和 所述的粘結(jié)劑并混合,充分?jǐn)嚢杈鶆蛑瞥深A(yù)涂膠;③將上述預(yù)涂膠均勻地涂在待激光熔覆 處理的工件表面,制成預(yù)涂層;④烘干。采用自制的粘結(jié)劑制備鎳基納米WC/Co預(yù)涂層,然后再采用激光熔覆工藝,制備出了表面較平整,較細(xì)密、基本消除了裂紋與孔隙并與基體呈 冶金結(jié)合的鎳基納米WC/Co復(fù)合涂層。公開號(hào)為CN101338427的中國(guó)發(fā)明專利申請(qǐng)給出的《液壓支架立柱缸筒、活塞桿 耐磨抗蝕涂層的激光熔覆工藝》,包括以下工藝過程首先立柱缸筒、活塞桿表面預(yù)處理室 溫下對(duì)立柱缸筒、活塞桿表面進(jìn)行除油、除銹,并用酒精清洗干凈;然后合金粉末的選擇和 自動(dòng)送粉裝置的調(diào)節(jié)選用具有優(yōu)良耐磨抗蝕性能且與基體冶金相容性良好的鐵基合金粉 末,鐵基合金粉末的成份中主要含有Fe、C、Cr、Ni、Mo、Si、N、Nb、Ta、B ;最后自動(dòng)送粉裝置 的調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)自動(dòng)送粉裝置,使自動(dòng)送粉頭出來(lái)的合金粉末正好落在激光熔池內(nèi),調(diào)節(jié)送粉 量,使合金粉末涂層的厚度達(dá)到0. 6-1. 2mm。公開號(hào)為CN101338425的中國(guó)發(fā)明專利申請(qǐng)給出的《鐵路道岔滑床板表面耐磨抗 蝕合金涂層激光熔覆工藝》,包括以下工藝過程首先滑床板表面預(yù)處理,即在室溫下對(duì)滑 床板表面進(jìn)行除油除銹,并用酒精清洗干凈;然后是合金粉末的預(yù)置,即把待熔覆的鐵基、 鎳基或鈷基合金粉末預(yù)置于上述處理后的滑床板表面,并用帶有導(dǎo)軌的刮尺來(lái)調(diào)整預(yù)制合 金粉末,使之均勻分布在滑床板表面并具有適當(dāng)?shù)暮穸龋詽M足熔覆后涂層厚度的要求;最 后是光熔覆強(qiáng)化滑床板,選用氣體CO2激光器,工作臺(tái)為數(shù)控機(jī)床,在滑床板表面進(jìn)行激光 熔覆強(qiáng)化。公開號(hào)為CN101338428的中國(guó)發(fā)明專利申請(qǐng)給出的《鎬形截齒齒體頭部激光熔覆 耐磨涂層強(qiáng)化工藝》,包括以下工藝過程首先是截齒齒體頭部表面預(yù)處理;然后是合金粉 末的選擇和自動(dòng)送粉裝置的調(diào)整;最后是截齒頭部激光熔覆耐磨合金涂層?,F(xiàn)有技術(shù)給出的上述技術(shù)方案雖能利用激光熔覆工藝對(duì)部分設(shè)備部件進(jìn)行防腐 耐磨涂層處理,并通過配制適當(dāng)?shù)娜鄹膊牧峡朔思す馊蹖哟嬖诘牧鸭y、氣孔和微觀結(jié)構(gòu) 不均勻性的問題,取得一定的技術(shù)效果。但對(duì)其他特定的設(shè)備部件,例如像水輪機(jī)組頂蓋這 樣的特殊結(jié)構(gòu),現(xiàn)有的激光熔覆工藝已明顯不能適應(yīng)。經(jīng)本申請(qǐng)人檢索查證采用激光熔覆工藝完成水輪機(jī)組頂蓋耐磨抗蝕涂層,國(guó)內(nèi) 尚無(wú)先例,國(guó)外也沒有見到相關(guān)報(bào)道。因此,尋找出適當(dāng)?shù)牟捎眉す馊鄹餐瓿伤啓C(jī)組頂蓋 耐磨抗蝕涂層的工藝方法,仍需所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn)一步作出創(chuàng)造性的研究工作。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)對(duì)水輪機(jī)組頂蓋耐磨抗蝕涂層處理難的課題,通 過反復(fù)研究改進(jìn),給出了一種新的水輪機(jī)組頂蓋耐磨抗蝕涂層的激光熔覆工藝,該激光熔 覆工藝采用具有良好的抗腐蝕性和耐磨性的合金粉末作為激光熔覆合金材料,采取激光熔 覆方法將具有耐磨抗蝕性能的合金粉末均勻地熔覆在水輪機(jī)組頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及平面 上,形成均勻致密的冶金結(jié)合涂層,耐蝕性能達(dá)到不銹鋼的水平,熔覆層與基體形成牢固的 冶金結(jié)合,不產(chǎn)生剝落。本發(fā)明給出的技術(shù)方案是這種水輪機(jī)組頂蓋耐磨抗蝕涂層的激光熔覆工藝,其 特點(diǎn)是包括有以下步驟(1)水輪機(jī)組頂蓋表面預(yù)處理用高強(qiáng)度鎳基焊絲在頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及耐磨平面交接直角處焊一圈45°斜角 工藝圈;加工表面進(jìn)行除油、除銹,并用酒精清洗干凈。并對(duì)加工區(qū)域分區(qū)標(biāo)號(hào)。用著色探傷法對(duì)頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面抗磨板及平面抗磨板加工部位進(jìn)行檢驗(yàn),要求加工部位無(wú)裂紋、 氣孔、夾雜等缺陷;(2)合金粉末的選擇和自動(dòng)送粉裝置的調(diào)節(jié)選用具有優(yōu)良耐磨抗蝕性能且與基體冶金相容性良好的鐵基合金粉末。鐵基合金 粉末的化學(xué)成份按重量百分比為c 0. 8%,Cr :16%,Ni :3%、Mo 1%, Si :1%、N:0. 8%、 Nb :0. 8%,Ta :0. 3%,B :0. 3%,余量為 Fe。調(diào)節(jié)自動(dòng)送粉裝置,使自動(dòng)送粉頭出來(lái)的合金粉末正好落在激光熔池內(nèi),調(diào)節(jié)送 粉量,使合金粉末涂層的厚度達(dá)到0. 2-1. 8mm。(3)光束調(diào)節(jié)選用10女Imm寬帶積分鏡,并調(diào)節(jié)離焦量使聚焦激光光斑為矩形,光斑尺寸長(zhǎng)* 寬=(8-10) * (1-1. 5) mm(4)耐磨抗蝕涂層激光熔覆選用DL-HL-T5000型CO2激光器,工作臺(tái)為SIMENS數(shù)控激光加工機(jī)。采用同步送 粉裝置將合金粉末自動(dòng)送入激光熔池,加工時(shí)采用區(qū)域加工方式,加工止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面時(shí)高 功率聚焦激光束和自動(dòng)送粉頭沿頂蓋軸向進(jìn)給,加工環(huán)狀平面時(shí)聚焦激光束和自動(dòng)送粉頭 沿頂蓋徑向進(jìn)給,在止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及平面加工表面形成均勻致密的激光熔覆層。熔覆工藝參數(shù)如下激光功率P = 3500 4500W聚焦矩形光斑尺寸長(zhǎng)*寬=(8-10) * (l-1.5)mm掃描速度V = 300-600mm/min搭接率40 50%涂層厚度0·2-1. 8mm。(5)熔覆后探傷檢驗(yàn)用著色探傷法對(duì)頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面抗磨板及平面抗磨板加工部位進(jìn)行檢驗(yàn),要求 加工部位無(wú)裂紋、氣孔等缺陷;本發(fā)明的原理是采用具有優(yōu)良的耐磨抗蝕性能、與水輪機(jī)組頂蓋基體具有良好 冶金與力學(xué)相容的鐵基合金粉末,在高功率激光束輻照工件表面的同時(shí),采用自動(dòng)送粉裝 置同步向激光熔池送入合金粉末,合金粉末在熔池內(nèi)發(fā)生快速熔化和凝固,形成均勻致密 的耐磨抗蝕熔覆層,熔覆層與基體形成牢固的冶金結(jié)合。熔覆層硬度可在HRC30-60內(nèi)選 擇,熔覆層厚度在0. 2-1. 8mm,硬度、厚度均勻分布。在上述技術(shù)方案選用DL-HL-T5000型CO2激光器和SIMENS數(shù)控激光加工機(jī)均為 現(xiàn)有的專業(yè)設(shè)備。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是1、激光熔覆合金涂層均勻、致密,與基體形成牢固的冶金結(jié)合,涂層具有優(yōu)良的耐 磨抗蝕性能,采用本發(fā)明技術(shù)制造的水輪機(jī)組顯著提高了耐磨抗蝕性能和使用壽命。2、本發(fā)明可用于水輪機(jī)組頂蓋制造和修復(fù)再制造。
具體實(shí)施例方式實(shí)施案例1
(1)水輪機(jī)組頂蓋表面預(yù)處理用高強(qiáng)度鎳基焊絲在頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及耐磨平面交接直角處焊一圈45°斜角 工藝圈;室溫下對(duì)水輪機(jī)組頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及平面表面進(jìn)行除油、除銹,并用酒精清洗干 凈。并對(duì)加工區(qū)域分區(qū)標(biāo)號(hào)。用著色探傷法對(duì)頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面抗磨板及平面抗磨板加工 部位進(jìn)行檢驗(yàn),要求加工部位無(wú)裂紋、氣孔、夾雜等缺陷;(2)合金粉末的選擇和自動(dòng)送粉裝置的調(diào)節(jié)選用具有優(yōu)良耐磨抗蝕性能且與基體冶金相容性良好的鐵基合金粉末,鐵基合金 粉末的化學(xué)成份按重量百分比為C:0. 8%、Cr :16%、Ni :3%,Mo 1%, Si :1%、N:0. 8%、 Nb :0. 8%,Ta :0. 3%,B :0. 3%,余量為 Fe。其制備方法將Fe、C、Cr、Ni、Mo、Si、N、Nb、Ta、B按上述重量百分比提取后放入中頻感應(yīng)爐內(nèi), 在氬氣氣氛下加熱到1450-1550°C,使粉末完全融化并混合均勻,將熔融的金屬液流注入水 霧化設(shè)備的漏包坩堝,在漏包坩堝的下方置有水霧化噴嘴,當(dāng)熔融的金屬液流通過導(dǎo)流嘴 流經(jīng)噴嘴時(shí),被噴嘴射出的高速水流擊碎成小液滴、隨后合金液滴落在水中凝固成粉末。調(diào)節(jié)自動(dòng)送粉頭使粉末正好落在激光熔池內(nèi),調(diào)節(jié)送粉量使涂層厚度達(dá)到1. Omm0(3)光束調(diào)節(jié)選用10*lmm寬帶積分鏡,并調(diào)節(jié)離焦量使聚焦激光光斑為矩形,光斑尺寸長(zhǎng)*寬 =8*1. 5mm(4)耐磨抗蝕涂層激光熔覆選用DL-HL-T5000型CO2激光器,工作臺(tái)為SIMENS數(shù)控激光加工機(jī)。采用同步送 粉裝置將合金粉末自動(dòng)送入激光熔池,加工時(shí)采用區(qū)域加工方式,加工止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面時(shí)高 功率聚焦激光束和自動(dòng)送粉頭沿頂蓋軸向進(jìn)給,加工環(huán)狀平面時(shí)聚焦激光束和自動(dòng)送粉頭 沿頂蓋徑向進(jìn)給,在頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及平面外表面形成均勻致密的激光熔覆層。熔覆工藝參數(shù)如下激光功率P = 4000W;聚焦矩形光斑尺寸長(zhǎng)*寬=8*1. 5mm掃描速度 V = 400mm/min ;搭接率45%。(5)熔覆后探傷檢驗(yàn)用著色探傷法對(duì)頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面抗磨板及平面抗磨板加工部位進(jìn)行檢驗(yàn),加工 部位無(wú)裂紋、氣孔等缺陷;實(shí)施案例2 (1)水輪機(jī)組頂蓋表面預(yù)處理用高強(qiáng)度鎳基焊絲在頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及耐磨平面交接直角處焊一圈45°斜角 工藝圈;室溫下對(duì)水輪機(jī)組頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及平面表面進(jìn)行除油、除銹,并用酒精清洗干 凈。并對(duì)加工區(qū)域分區(qū)標(biāo)號(hào)。用著色探傷法對(duì)頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面抗磨板及平面抗磨板加工 部位進(jìn)行檢驗(yàn),要求加工部位無(wú)裂紋、氣孔、夾雜等缺陷;(2)合金粉末的選擇和自動(dòng)送粉裝置的調(diào)節(jié)選用具有優(yōu)良耐磨抗蝕性能且與基體冶金相容性良好的鐵基合金粉末,鐵基合金粉末的化學(xué)成份按重量百分比為C 0. 8%,Cr :16%,Ni :3%、Mo 1%, Si :1%、N:0. 8%、 Nb :0. 8%,Ta :0. 3%,B :0. 3%,余量為 Fe。其制備方法將Fe、C、Cr、Ni、Mo、Si、N、Nb、Ta、B按上述重量百分比提取后放入中頻感應(yīng)爐內(nèi), 在氬氣氣氛下加熱到1450-1550°C,使粉末完全融化并混合均勻,將熔融的金屬液流注入水 霧化設(shè)備的漏包坩堝,在漏包坩堝的下方置有水霧化噴嘴,當(dāng)熔融的金屬液流通過導(dǎo)流嘴 流經(jīng)噴嘴時(shí),被噴嘴射出的高速水流擊碎成小液滴、隨后合金液滴落在水中凝固成粉末。調(diào)節(jié)自動(dòng)送粉頭使粉末正好落在激光熔池內(nèi),調(diào)節(jié)送粉量使涂層厚度達(dá)到1. 8mm。(3)光束調(diào)節(jié)選用10*lmm寬帶積分鏡,并調(diào)節(jié)離焦量使聚焦激光光斑為矩形,光斑尺寸長(zhǎng)*寬
=10氺Imm(4)耐磨抗蝕涂層激光熔覆選用DL-HL-T5000型CO2激光器,工作臺(tái)為SIMENS數(shù)控激光加工機(jī)。采用同步送 粉裝置將合金粉末自動(dòng)送入激光熔池,加工時(shí)采用區(qū)域加工方式,加工止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面時(shí)高 功率聚焦激光束和自動(dòng)送粉頭沿頂蓋軸向進(jìn)給,加工環(huán)狀平面時(shí)聚焦激光束和自動(dòng)送粉頭 沿頂蓋徑向進(jìn)給,在頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及平面外表面形成均勻致密的激光熔覆層。熔覆工藝參數(shù)如下激光功率P = 4000W ;聚焦矩形光斑尺寸長(zhǎng)*寬=10*lmm掃描速度 V = 600mm/min ;搭接率45%。(5)熔覆后探傷檢驗(yàn)用著色探傷法對(duì)頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面抗磨板及平面抗磨板加工部位進(jìn)行檢驗(yàn),加工 部位無(wú)裂紋、氣孔等缺陷。
權(quán)利要求
一種水輪機(jī)組頂蓋耐磨抗蝕涂層的激光熔覆工藝,其特征在于包括有以下步驟(1)水輪機(jī)組頂蓋表面預(yù)處理用高強(qiáng)度鎳基焊絲在頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及耐磨平面交接直角處焊一圈45°斜角工藝圈;加工表面進(jìn)行除油、除銹,并用酒精清洗干凈,并對(duì)加工區(qū)域分區(qū)標(biāo)號(hào),用著色探傷法對(duì)頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面抗磨板及平面抗磨板加工部位進(jìn)行檢驗(yàn),要求加工部位無(wú)裂紋、氣孔、夾雜等缺陷;(2)合金粉末的選擇和自動(dòng)送粉裝置的調(diào)節(jié)選用具有優(yōu)良耐磨抗蝕性能且與基體冶金相容性良好的鐵基合金粉末。鐵基合金粉末的化學(xué)成份按重量百分比為C0.8%、Cr16%、Ni3%、Mo1%、Si1%、N0.8%、Nb0.8%、Ta0.3%、B0.3%,余量為Fe。調(diào)節(jié)自動(dòng)送粉裝置,使自動(dòng)送粉頭出來(lái)的合金粉末正好落在激光熔池內(nèi),調(diào)節(jié)送粉量,使合金粉末涂層的厚度達(dá)到0.2 1.8mm。(3)光束調(diào)節(jié)選用10*1mm寬帶積分鏡,并調(diào)節(jié)離焦量使聚焦激光光斑為矩形,光斑尺寸長(zhǎng)*寬=(8 10)*(1 1.5)mm;(4)耐磨抗蝕涂層激光熔覆選用DL HL T5000型CO2激光器,工作臺(tái)為SIMENS數(shù)控激光加工機(jī)。采用同步送粉裝置將合金粉末自動(dòng)送入激光熔池,加工時(shí)采用區(qū)域加工方式,加工止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面時(shí)高功率聚焦激光束和自動(dòng)送粉頭沿頂蓋軸向進(jìn)給,加工環(huán)狀平面時(shí)聚焦激光束和自動(dòng)送粉頭沿頂蓋徑向進(jìn)給,在止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及平面加工表面形成均勻致密的激光熔覆層。熔覆工藝參數(shù)如下激光功率P=3500~4500W聚焦矩形光斑尺寸長(zhǎng)*寬=(8 10)*(1 1.5)mm掃描速度V=300 600mm/min搭接率40~50%涂層厚度0.2 1.8mm。(5)熔覆后探傷檢驗(yàn)用著色探傷法對(duì)頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面抗磨板及平面抗磨板加工部位進(jìn)行檢驗(yàn),要求加工部位無(wú)裂紋、氣孔等缺陷。
全文摘要
一種水輪機(jī)組頂蓋耐磨抗蝕涂層的激光熔覆方法,其特點(diǎn)是首先用鎳基焊絲在頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面及耐磨平面交接直角處焊斜角工藝圈,加工表面進(jìn)行除油、除銹、對(duì)加工區(qū)域分區(qū)標(biāo)號(hào),用著色探傷法對(duì)加工部位進(jìn)行檢驗(yàn);然后選擇鐵基合金粉末,采用激光設(shè)備和調(diào)節(jié)自動(dòng)送粉裝置,使自動(dòng)送粉頭出來(lái)的合金粉末落在激光熔池內(nèi),調(diào)節(jié)送粉量,使合金粉末涂層的厚度達(dá)到0.2-1.8mm;用著色探傷法對(duì)頂蓋止漏環(huán)內(nèi)環(huán)面抗磨板及平面抗磨板加工部位進(jìn)行檢驗(yàn),要求加工部位無(wú)裂紋、氣孔等缺陷。本發(fā)明的激光熔覆合金涂層均勻、致密,與基體形成牢固的冶金結(jié)合并具有優(yōu)良的耐磨抗蝕性能,可顯著提高水輪機(jī)組頂蓋的耐磨抗蝕性能和使用壽命。
文檔編號(hào)C23C24/10GK101994113SQ20091001332
公開日2011年3月30日 申請(qǐng)日期2009年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月24日
發(fā)明者廖運(yùn)生, 陶興啟, 黃旭東 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)大陸激光成套設(shè)備有限公司