專(zhuān)利名稱(chēng)：用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的薄膜沉積裝置。特別 涉及一種在制造薄膜型太陽(yáng)電池時(shí)能夠防止微粒帶來(lái)的污染，從而防 止太陽(yáng)電池的性能下降并減少維修費(fèi)的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的 沉積裝置。
背景技術(shù)：
通常，薄膜型太陽(yáng)電池經(jīng)過(guò)分解原料氣體、硅沉積、形成PN接
合及形成抗反射膜及電極的過(guò)程制造。原料氣體的分解過(guò)程是，向真 空內(nèi)注入含有硅元素的單硅烷等原料氣體后，利用等離子體或加熱絲
施加高能量而完成的。通常在加熱后溫度為200° C-300° C的帶透明 電極(IT0)的玻璃基板上混合注入含有原料氣體和硼的氣體(B晶)，以 形成P型薄膜，然后投入單硅烷使其堆積在沉積有硅的被處理物之 上。接著注入含有原料氣體和磷的氣體(Ph3)以形成N型薄膜，從而 完成薄膜型太陽(yáng)電池。在上述制造薄膜型太陽(yáng)電池的一般過(guò)程中所使 用的薄膜沉積裝置形成水平設(shè)置結(jié)構(gòu)，其中被沉積物(玻璃基板等) 被設(shè)置在下方，所述被沉積物的上方設(shè)置由氣體供給裝置及等離子源 或加熱絲等構(gòu)成的加熱部。
因此，以往的薄膜沉積裝置在沉積過(guò)程中存在貼附于氣體供給裝 置等上的微粒掉落在被沉積物上的問(wèn)題，而這將成為導(dǎo)致太陽(yáng)電池缺 陷的因素，或?qū)е码姵匦阅芗吧a(chǎn)效率下降等問(wèn)題。當(dāng)利用加熱絲時(shí)，所述加熱絲的兩端通常被固定在一起，從而形 成兩端固定型結(jié)構(gòu)。而這種結(jié)構(gòu)，在發(fā)熱過(guò)程中由于熱變形而會(huì)發(fā)生 加熱絲的下垂，并由此而導(dǎo)致電氣性能的變化及硅沉積厚度的變化。
此外，如果發(fā)生如上所述加熱絲的下垂現(xiàn)象，需要更換該加熱絲， 從而增加維修費(fèi)用。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提供一種用于 制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置，其可在制造太陽(yáng)電池的過(guò)程中防止 微粒掉落在被沉積物之上，以降低產(chǎn)品的不良率。
并且，本發(fā)明的另一目的是提供一種用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的 沉積裝置，其通過(guò)延長(zhǎng)加熱絲的使用壽命，減少更換加熱絲所消耗的 維修費(fèi)用。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采取了如下技術(shù)方案。即本發(fā)明包括 腔室，具有可讓被沉積物出入的入口及出口；氣體供應(yīng)部，向所述腔 室內(nèi)供給氣體；加熱組件，配置在所述腔室內(nèi)；導(dǎo)軌，配置在所述腔 室內(nèi)部；被沉積物固定盤(pán)，沿著所述導(dǎo)軌滑行移動(dòng)；輸送部，用于輸 送所述被沉積物固定盤(pán)。
所述腔室最好由本體及蓋體組成，所述蓋體的一側(cè)樞接在所述本 體上，另一側(cè)上結(jié)合有連接件。
所述腔室內(nèi)最好設(shè)置有散氣板，所述散氣板向所述加熱組件擴(kuò)散 通過(guò)所述氣體供應(yīng)部進(jìn)入腔室內(nèi)的氣體。
所述導(dǎo)軌最好由上下相隔預(yù)定距離設(shè)置的兩個(gè)導(dǎo)軌成對(duì)配置。最好是把所述被沉積物在其垂直固定在所述被沉積物固定盤(pán)的 狀態(tài)下輸送。
所述被沉積物固定盤(pán)上最好設(shè)有可供被沉積物夾設(shè)的插槽。
所述加熱組件最好包括固定框；多個(gè)加熱絲，固定在所述固定 框上并相互隔開(kāi)預(yù)定間距；第一固定部，用于將所述多個(gè)加熱絲的一 端固定在所述固定框；第二固定部，用于將所述多個(gè)加熱絲的另一端 固定在所述固定框；張力調(diào)節(jié)部，用于調(diào)節(jié)所述第二固定部的位置以 調(diào)節(jié)所述多個(gè)加熱絲的張力。
所述張力調(diào)節(jié)部最好包括支承板，固定在所述固定框上；張力 調(diào)節(jié)件，螺合在所述支承板上，用于對(duì)所述第二固定部施加壓力；彈 性件，配置在所述固定框和所述第二固定部之間，用于向所述張力調(diào) 節(jié)件方向?qū)λ龅诙潭ú渴┘訅毫Α?br> 所述第一固定部最好包括第一固定塊，與所述固定框相結(jié)合； 第二固定塊，通過(guò)連結(jié)件固定在所述第一固定塊上；多個(gè)連結(jié)件，在 所述多個(gè)加熱絲配置在所述第一固定塊和第二固定塊之間的狀態(tài)下， 用于固定所述第一固定塊和所述第二固定塊。
所述第二固定部最好包括第三固定塊，設(shè)置在形成于所述固定 框上的凹槽中；第四固定塊，通過(guò)連結(jié)件固定在所述第三固定塊上； 多個(gè)連結(jié)件，在所述加熱絲配置在所述第三固定塊和第四固定塊之間 的狀態(tài)下，用于固定所述第三固定塊和所述第四固定塊。
所述加熱組件最好在所述多個(gè)加熱絲垂直設(shè)置的狀態(tài)下固定于 所述腔室內(nèi)。所述輸送部最好包括至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)源；至少一個(gè)轉(zhuǎn)向桿，在所 述驅(qū)動(dòng)源的作用下旋轉(zhuǎn)，并推動(dòng)所述被沉積物或被沉積物固定盤(pán)使其 沿著所述導(dǎo)軌移動(dòng)。
具有如上結(jié)構(gòu)的本發(fā)明由于加熱組件和被沉積物垂直對(duì)向配置， 因此可防止微粒從氣體供應(yīng)部自由掉落在被沉積物上并污染被沉積 物。
并且本發(fā)明首次設(shè)置加熱絲時(shí)，通過(guò)張力調(diào)節(jié)部對(duì)多個(gè)加熱絲的 張力進(jìn)行精確調(diào)節(jié)使之達(dá)到最優(yōu)化，以使其符合各加熱絲的特性，從 而延長(zhǎng)加熱絲的使用壽命，減少維修費(fèi)用。


圖1是為了說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例而提供的工藝腔室布置位置的示意圖。
圖2是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的整體外觀立體圖。
圖3是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例部分內(nèi)部結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖4是圖3中主要部分的分解立體圖。
圖5是圖2中沿V-V的剖視圖。
圖6是本發(fā)明的主要部分一加熱組件的立體圖。
圖7是圖6所示主要部分的分解立體圖。
圖8是用來(lái)輸送被沉積物或被沉積物固定盤(pán)的輸送部的操作過(guò)程 示意圖。
圖9是與圖6所示本發(fā)明主要部分對(duì)應(yīng)的另一實(shí)施例的立體圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。 圖1是可應(yīng)用于本發(fā)明實(shí)施例的薄膜型太陽(yáng)電池沉積裝置的工 藝腔室布置示意圖，所述工藝腔室以直列狀態(tài)配置。
用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置包含裝載部L、第一腔室1、
第二腔室3、第三腔室5及卸載部UL。裝載部L為可將被沉積物供給 到第一腔室l內(nèi)的裝置，其可使用傳送機(jī)器人等常規(guī)裝置。而且，卸 載部UL為用于取出在第三腔室5中完成處理工序的被沉積物，同樣 可以使用傳送機(jī)器人等常規(guī)裝置。
并且，薄膜型太陽(yáng)電池一般通過(guò)在玻璃基板(下稱(chēng)"被沉積物") 上沉積P型薄膜層和N型薄膜層而制成。而在被沉積物上形成所述P 型及N型薄膜層的過(guò)程是將被沉積物依序通過(guò)按直列方式布置的所 述第一腔室l、第二腔室3及第三腔室5而完成。
圖2是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的整體外觀立體圖，其表示可應(yīng)用 于本發(fā)明薄膜型太陽(yáng)電池沉積裝置中的腔室的一實(shí)施例。圖3是用來(lái) 說(shuō)明圖2所示腔室的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的立體圖。圖4是圖3中主要部分的分 解立體圖，其中附圖標(biāo)記ll表示腔室。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，腔室11可由本體13和蓋體15構(gòu)成，其 中本體13具有內(nèi)部空間，而所述蓋體15設(shè)置在所述本體13上并可 開(kāi)關(guān)。所述本體13的兩側(cè)具有可供玻璃基板等被沉積物W (參照?qǐng)D 4)在垂直狀態(tài)下進(jìn)入進(jìn)出的入口 17和出口 19。而且，所述腔室ll具 有向其內(nèi)部供給原料氣體等的氣體供應(yīng)部21。
所述蓋體15的下端樞接在所述本體13上。另外，所述蓋體的上端通過(guò)連結(jié)件23與所述本體13相結(jié)合。用來(lái)結(jié)合本體13和蓋 體15的連結(jié)件23可以是常規(guī)的單觸式夾具(One Touch Clamp)等。 如上所述將本體13和蓋體15樞接在一起并通過(guò)由單觸式夾具構(gòu)成的 連結(jié)件23來(lái)維持結(jié)合狀態(tài)之結(jié)構(gòu)，其在必要時(shí)可以比較容易地將蓋 體15從本體13分離開(kāi)，從而使維修工作變得簡(jiǎn)單。
所述蓋體15的內(nèi)側(cè)連接有用于擴(kuò)散從氣體供應(yīng)部21供給的原料 氣體的散氣板31。散氣板31上穿設(shè)有多個(gè)通孔，因此可以把氣體分 散在較寬的面上。
而且蓋體15上結(jié)合有加熱組件33，所述加熱組件33與散氣板 31之間隔開(kāi)一定的距離，從而形成一定的空間。另外如圖5所示， 本體13上設(shè)有用于引導(dǎo)被沉積物W在垂直狀態(tài)下滑入本體13內(nèi)部或 從本體13向外滑出的導(dǎo)軌35及37。此外如圖8所示，本體13上還 設(shè)有用于輸送被沉積物W的輸送部39。
如圖6及圖7所示，所述加熱組件33包括大約構(gòu)成四邊形的 固定框41，其中央設(shè)有一空間；第一固定部45，其設(shè)置在所述固定 框41的下端，用于固定加熱絲43的一端；第二固定部47，設(shè)置在 所述固定框41的上方，用于固定加熱絲43的另一端；及張力調(diào)節(jié)部 49(如圖6所示)，用于改變第二固定部47的位置，以調(diào)節(jié)加熱絲的 起始張力。
第一固定部45包括第一固定塊51與第二固定塊53、用于連接 第一固定塊51與第二固定塊53的多個(gè)連結(jié)件55。第一固定塊51通 過(guò)螺絲或螺栓等其他連結(jié)件與固定框41下端的凹槽41a (如圖7所示)相結(jié)合。此外，第一固定塊51的一面通過(guò)連結(jié)件55與第二固定 塊53結(jié)合。加熱絲43的一末端夾持在所述第一固定塊51和第二固 定塊53之間，并通過(guò)螺絲或螺栓等連結(jié)件55固定。上述加熱絲43 最好有多個(gè)，且其相互間隔開(kāi)預(yù)定間距。
第二固定部47還包括第三固定塊61與第四固定塊63、用于結(jié) 合第三固定塊61與第四固定塊63的另外多個(gè)連結(jié)件65。多個(gè)第三 固定塊61設(shè)置在形成于固定框41上端的另一凹槽41b內(nèi)，且多個(gè)第 三固定塊61相互間隔開(kāi)預(yù)定間距。此外，第三固定塊61的一面通過(guò) 連結(jié)件65與第四固定塊63相結(jié)合。加熱絲43的另一末端夾持在所 述第三固定塊61和第四固定塊63之間，并通過(guò)螺絲或螺栓等連結(jié)件 65固定。這種加熱絲43最好有多個(gè)，且其相互間相隔預(yù)定距離。此 外，當(dāng)所述第二固定部47與固定框41結(jié)合時(shí)，通過(guò)張力調(diào)節(jié)部49
可以改變其位置。
如圖6所示，張力調(diào)節(jié)部49包括通過(guò)連結(jié)件與固定框41相結(jié) 合的支承板71;穿設(shè)支承板71并與其相結(jié)合的多個(gè)張力調(diào)節(jié)件73; 及利用彈力將所述第二固定部47向所述張力調(diào)節(jié)件73方向推頂?shù)膹?性件75。
支承板71通過(guò)螺絲或螺栓等連結(jié)件與固定框41相結(jié)合，并借此 堵住所述固定框41上的凹槽41b的一部分，使所述第二固定部41保 持置于凹槽41b內(nèi)的狀態(tài)。此外，所述支承板71上可設(shè)有彼此間相 隔預(yù)定距離的多個(gè)孔，并在多個(gè)加熱絲43貫穿所述多個(gè)孔的狀態(tài)下 得以固定。多個(gè)張力調(diào)節(jié)件73與所述支承板71相結(jié)合，且該多個(gè)張力調(diào)節(jié)件73之間相隔預(yù)定距離，并可以緊貼在第二固定部47的第三 固定塊61或第四固定塊63。此外，彈性件75最好由壓縮線(xiàn)圈彈簧 構(gòu)成，其設(shè)置在固定框41的凹槽41b內(nèi)，使第二固定部47緊貼在張 力調(diào)節(jié)件73的前端。
另外，如圖5和圖8所示，所述本體13上設(shè)置有導(dǎo)軌35及導(dǎo)軌 37。導(dǎo)軌35及導(dǎo)軌37的設(shè)置方向最好設(shè)置為被沉積物固定盤(pán)91通 過(guò)入口 15及出口 17可移動(dòng)的方向。而且，導(dǎo)軌35及導(dǎo)軌37成對(duì)配 置，且兩者之間上下隔開(kāi)預(yù)定距離。這種導(dǎo)軌35及導(dǎo)軌37可以被設(shè) 置成能夠使被沉積物W在垂直配置的狀態(tài)下移動(dòng)，也可以改變?cè)O(shè)置位 置，即被設(shè)置成能夠使被沉積物W在與垂直方向形成一角度的傾斜狀 態(tài)下移動(dòng)。
被沉積物固定盤(pán)91在其相對(duì)的位置上設(shè)置有插槽91a，被沉積 物W將插設(shè)在所述插槽91a (如圖4)內(nèi)。這種被沉積物固定盤(pán)91可 在結(jié)合有被沉積物W的狀態(tài)下配置在所述導(dǎo)軌35與導(dǎo)軌37之間，并 可以滑行移動(dòng)。
另外，能夠使所述被沉積物固定盤(pán)91移到相鄰腔室的輸送部39 包含電機(jī)M1、 M2等驅(qū)動(dòng)源和在所述驅(qū)動(dòng)源作用下旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)向桿101、 103。轉(zhuǎn)向桿101、 103的部分被彎曲，且可在驅(qū)動(dòng)源的作用下旋轉(zhuǎn)并 推動(dòng)被沉積物W或被沉積物固定盤(pán)91的一側(cè)以使其沿著導(dǎo)軌35、 17 移動(dòng)。本發(fā)明實(shí)施例中描述了所述輸送部39由通過(guò)驅(qū)動(dòng)源而旋轉(zhuǎn)的 轉(zhuǎn)向桿IOI、 103構(gòu)成的事例，然而本發(fā)明并不局限于此，可以具有多 種結(jié)構(gòu)。下面，具體說(shuō)明依據(jù)由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本發(fā)明實(shí)施例，被沉積物 沉積在腔室內(nèi)的過(guò)程。
首先，將加熱絲43安裝于構(gòu)成加熱組件33的固定框41上。此時(shí)， 加熱絲43的一端設(shè)置于第一固定塊51和第二固定塊53之間，并通 過(guò)連結(jié)件55將第一固定塊51和第二固定塊53相結(jié)合。從而加熱絲 43的一端插設(shè)于第一固定塊51和第二固定塊53之間得以固定。
并且，把加熱絲43的另一端設(shè)置于第三固定塊61和第四固定塊 63之間，并通過(guò)另一連結(jié)件65將第三固定塊61和第四固定塊63相 結(jié)合。從而加熱絲43的另一端插設(shè)于第三固定塊61和第四固定塊 63之間得以固定。因此，本實(shí)施例通過(guò)上述方法將多個(gè)加熱絲43固 定于固定框41上。
然而，通過(guò)上述方法固定的多個(gè)加熱絲43，其各部分張力不夠 均衡。因此，作業(yè)人員通過(guò)張力調(diào)節(jié)部49來(lái)調(diào)節(jié)每個(gè)加熱絲43的張 力。即，將張力調(diào)節(jié)件73旋轉(zhuǎn)時(shí)，張力調(diào)節(jié)件73隨著支承板71沿加 熱絲43的長(zhǎng)度方向移動(dòng)。因此，作業(yè)人員可以比較容易地設(shè)置加熱 絲43的起始張力。另外，彈性件75利用其彈性始終把第二固定部 47向張力調(diào)節(jié)件73方向推頂，因此可以使張力保持一定狀態(tài)。
這種作業(yè)可以預(yù)先精確地設(shè)置當(dāng)所述多個(gè)加熱絲43反復(fù)得到加 熱，從而其膨脹及收縮時(shí)能夠比較符合加熱絲43特性的張力，從而 可以延長(zhǎng)加熱絲43的使用壽命。因此，由于加熱絲43的使用壽命得 到延長(zhǎng)，從而可以減少維修成本。
如此設(shè)置的加熱組件33固定于蓋體15的內(nèi)部，此時(shí)蓋體15在本體13上為開(kāi)放狀態(tài)。并且，通過(guò)連結(jié)件23使蓋體15與本體13相 結(jié)合。此時(shí)，加熱組件33的加熱絲43最好是以垂直狀態(tài)設(shè)置。艮P， 加熱組件33和被沉積物W必須以垂直狀態(tài)相對(duì)應(yīng)設(shè)置，才可以防止 氣體供應(yīng)部21上的微粒掉落在被沉積物上，進(jìn)而避免發(fā)生沉積不良 的現(xiàn)象。
另外，被沉積物W插設(shè)于被沉積物固定盤(pán)91上的插槽91a(如圖 4所示，雖然上下側(cè)均有設(shè)置，但為了方便僅對(duì)使用者可觀察到的下 端部作了附圖標(biāo)記)內(nèi)，并以此狀態(tài)供給到第一腔室l內(nèi)。即，被沉積 物W被夾在被沉積物固定盤(pán)91的上下兩側(cè)上。
夾有被沉積物W的固定盤(pán)91通過(guò)裝載部L上的裝載裝置經(jīng)入口 15供給到第一腔室1內(nèi)。此時(shí)，固定盤(pán)91隨導(dǎo)軌35及導(dǎo)軌37移動(dòng) 而配置在腔室中央。當(dāng)然，被沉積物W最好是以垂直狀態(tài)設(shè)置。但是， 根據(jù)沉積條件的不同，被沉積物W不一定必須保持垂直狀態(tài)，也可以 接近垂直角度的狀態(tài)設(shè)置。
在這種狀態(tài)下，向第一腔室l的內(nèi)部供給原料氣體，并利用加熱 絲施加較高的熱能，從而使所述原料氣體分解。在注入所述原料氣體 時(shí)，同時(shí)混合注入硼氣等氣體，從而在被沉積物W上沉積形成P型硅 薄膜。
并且，為了進(jìn)行后續(xù)工程，向第二腔室3移送被沉積物固定盤(pán) 91。此時(shí)，通過(guò)控制單元(未圖示)依次控制并驅(qū)動(dòng)電機(jī)Ml、 M2。這 樣一來(lái)，轉(zhuǎn)向桿101旋轉(zhuǎn)的同時(shí)緊貼于被沉積物固定盤(pán)91上，且朝 一方向推動(dòng)被沉積物固定盤(pán)91(如圖8所示)。接著，另一轉(zhuǎn)向桿103旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，仍以相同方法推動(dòng)被沉積物固定盤(pán)91。
因此，被沉積物固定盤(pán)91隨導(dǎo)軌35及導(dǎo)軌37移動(dòng)，進(jìn)入相鄰 設(shè)置的第二腔室3。然后，在第二腔室3上進(jìn)行后續(xù)工序并制造太陽(yáng) 電池。
在上述本發(fā)明的實(shí)施例中，由于可以對(duì)加熱組件33上形成的加 熱絲43的張力分別進(jìn)行調(diào)節(jié)從而將其設(shè)置為最佳狀態(tài)，因此可以延 長(zhǎng)加熱絲43的使用壽命，減少維修成本。并且在本發(fā)明的實(shí)施例中， 由于加熱組件33和被沉積物在垂直狀態(tài)下相對(duì)設(shè)置，因此可以防止 從原料氣體供應(yīng)部或加熱組件上掉落的微粒直接落到被沉積物上的 現(xiàn)象，從而降低產(chǎn)品次品率。
另外，雖然所述本發(fā)明的實(shí)施例中并沒(méi)有直接提到，本發(fā)明還可 以被設(shè)置為使微粒不直接落到被沉積物上的其他結(jié)構(gòu)，即翻轉(zhuǎn)現(xiàn)有氣 體供應(yīng)部和加熱組件的水平結(jié)構(gòu)，從而在基板的下部設(shè)置所述氣體供 應(yīng)部和加熱組件。因而，在基板的底面上沉積硅薄膜，可以防止微粒 掉到基板上的現(xiàn)有技術(shù)缺陷。
圖9是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的另一實(shí)施例中與圖6相對(duì)應(yīng)的加熱組 件。針對(duì)本發(fā)明的另一實(shí)施例中的加熱組件，其中與上述實(shí)施例相同 部分以上述實(shí)施例的說(shuō)明來(lái)代替，在此僅對(duì)不同之處進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā) 明的另一實(shí)施例中，第一固定部45與固定框41連接，并通過(guò)樞軸 151旋轉(zhuǎn)。g卩，固定框41上水平(參照?qǐng)D9)設(shè)置有可以插入樞軸151 的插孔41c。并且，第一固定部45上與該插孔41c對(duì)應(yīng)的位置上設(shè) 置有另一插孔(未圖示)。第一固定部45上設(shè)置的孔最好是設(shè)置在第一固定部45的偏心位置上。第一固定部45最好是以所述樞軸151為 中心可以通過(guò)自身重力旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)來(lái)結(jié)合到固定框41上。所述第一 固定部45的固定結(jié)構(gòu)最好是，當(dāng)加熱絲43在沉積過(guò)程中斷開(kāi)，從而 所述第一固定部45根據(jù)其自身重力旋轉(zhuǎn)時(shí)，由于其受到固定框41的 壁面阻力，其向氣體供應(yīng)部21方向的旋轉(zhuǎn)受到限制，因而只向氣體供 應(yīng)部21的相反方向旋轉(zhuǎn)。這種結(jié)構(gòu)是為了防止沉積過(guò)程中斷開(kāi)的加 熱絲43接觸到可設(shè)置在氣體供應(yīng)部21處的電氣裝置等而發(fā)生電性短 路。
權(quán)利要求
1.一種用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置，其特征在于，包括腔室，具有供被沉積物出入的入口及出口；氣體供應(yīng)部，向所述腔室內(nèi)供給氣體；加熱組件，配置在所述腔室內(nèi)，并具有多個(gè)加熱絲；導(dǎo)軌，配置在所述腔室內(nèi)部；被沉積物固定盤(pán)，沿著所述導(dǎo)軌滑行移動(dòng)；輸送部，用于輸送所述被沉積物固定盤(pán)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置， 其特征在于所述腔室由本體及蓋體組成，所述蓋體的一側(cè)樞接在所述本體 上，另一側(cè)與連結(jié)件相結(jié)合。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置， 其特征在于所述腔室內(nèi)設(shè)置有散氣板，所述散氣板向所述加熱組件方向擴(kuò)散 通過(guò)所述氣體供應(yīng)部進(jìn)入腔室內(nèi)的氣體。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置， 其特征在于-所述導(dǎo)軌由上下相隔預(yù)定距離的兩個(gè)導(dǎo)軌成對(duì)配置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置， 其特征在于所述被沉積物以垂直固定于所述被沉積物固定盤(pán)的狀態(tài)下輸送。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置， 其特征在于所述加熱組件在垂直設(shè)置有所述多個(gè)加熱絲的狀態(tài)下固定在所 述腔室內(nèi)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置， 其特征在于，所述加熱組件包括固定框；多個(gè)加熱絲，固定在所述固定框上并相互隔開(kāi)預(yù)定間距；第一固定部，用于將所述多個(gè)加熱絲的一端固定在所述固定框上；第二固定部，用于將所述多個(gè)加熱絲的另一端固定在所述固定框上；張力調(diào)節(jié)部，用于調(diào)節(jié)所述第二固定部的位置以調(diào)節(jié)所述多個(gè)加 熱絲的張力。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置， 其特征在于，所述張力調(diào)節(jié)部包括支承板，固定在所述固定框上；張力調(diào)節(jié)件，螺合在所述支承板上，用于對(duì)所述第二固定部施加 壓力；彈性件，配置在所述固定框和所述第二固定部之間，用于向所述 張力調(diào)節(jié)件方向?qū)λ龅诙潭ú渴┘訅毫Α?br> 9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置，其特征在于，所述第一固定部包括第一固定塊，與所述固定框相結(jié)合；第二固定塊，通過(guò)連結(jié)件固定在所述第一固定塊上；多個(gè)連結(jié)件，在所述多個(gè)加熱絲配置在所述第一固定塊和第二固定塊之間的狀態(tài)下，用于固定所述第一固定塊和所述第二固定塊。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置，其特征在于，所述第二固定部包括第三固定塊，設(shè)置在形成于所述固定框上的凹槽中；第四固定塊，通過(guò)連結(jié)件固定在所述第三固定塊；多個(gè)連結(jié)件，在所述加熱絲配置在所述第三固定塊和第四固定塊之間的狀態(tài)下，用于固定所述第三固定塊和所述第四固定塊。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝 置，其特征在于，所述輸送部包括至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)源；至少一個(gè)轉(zhuǎn)向桿，在所述驅(qū)動(dòng)源的作用下旋轉(zhuǎn)，并推動(dòng)所述被沉 積物或被沉積物固定盤(pán)使之沿著所述導(dǎo)軌移動(dòng)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置，其特征在于，所述第一固定部通過(guò)樞軸固定在所述固定框上并具 有偏心力，從而靠自身重力得以旋轉(zhuǎn)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置，其制造薄膜型太陽(yáng)電池時(shí)能夠防止微粒帶來(lái)的污染，從而防止太陽(yáng)電池的性能下降并減少維修費(fèi)用。本發(fā)明的用于制造薄膜型太陽(yáng)電池的沉積裝置包括腔室，具有可讓被沉積物流入流出的入口及出口；氣體供應(yīng)部，向所述腔室內(nèi)供給氣體；加熱組件，配置在所述腔室內(nèi)；導(dǎo)軌，配置在所述腔室內(nèi)部；被沉積物固定盤(pán)，沿著所述導(dǎo)軌滑行移動(dòng)；輸送部，用于輸送所述被沉積物固定盤(pán)。
文檔編號(hào)C23C16/44GK101525741SQ20081018358
公開(kāi)日2009年9月9日 申請(qǐng)日期2008年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月7日
發(fā)明者樸勝一, 許閏成 申請(qǐng)人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會(huì)社