專利名稱：一種磁控濺射玫瑰金靶材及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于冶金技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種磁控濺射玫瑰金靶材及其制備方法。
背景技術(shù)：
玫瑰金的色澤是粉紅色的，其艷麗的色彩和迷人柔和的色調(diào)一直深受人們的青睞。然而 傳統(tǒng)的玫瑰金工藝都是以水電鍍的工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)的，這種工藝容易實(shí)現(xiàn)色彩，但是非常容易氧 化且表面耐磨性很差，且容易造成環(huán)境污染。隨著現(xiàn)代真空磁控濺射技術(shù)的發(fā)展，如何能夠 在真空爐內(nèi)濺射出玫瑰金色度，并達(dá)到抗氧化、抗硫化、硬度高、耐磨性好的目的。是人們 長(zhǎng)期期望實(shí)現(xiàn)的愿望。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種磁控濺射玫瑰金耙材及其制備方法。 本發(fā)明的磁控濺射玫瑰金靶材的成分為含金(Au) 65~78wt%，銅(Cu) 16~33wt%，
銘(Y) 0.01~4wt%，鋅(Zn) l~7wt%，鈷(Co) 0.001 ~ 1.2wt%，銻(Sb) 0.001 ~ 0.2wto/o，
銦(In) 0.02~5wt%。
本發(fā)明的磁控濺射玫瑰金靶材的的制備方法為
1、 中間合金材料的制備
將銅和鈷加熱熔化，再將釔、鋅、銻和銦依次加入到熔化的銅和鈷中，待全部物料熔化 后攪拌均勾，然后在1400 1450'C的條件下精煉3min，精煉完成后將熔化的合金澆入鑄模中， 自然冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操作，獲得中間合金材料。其 中各金屬加入量為銅46.7 ~94.5 wt%，釔0.03~12.5 wt%，鋅2.764~ 22wt%，鈷0.003- 4.5wt%， 銻0.003 0.91wt。/。，銦2.7 20wt。/。。
2、 玫瑰金靶材的制備
將金加熱熔化，再將制備的中間合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占65~78wt%，待全部物料熔化后攪拌均勻，然后在1200-1300'C的條件下精煉5min;精煉 完成后將熔化的合金澆入鑄模中，水冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪 切操作，獲得玫瑰金靶材。其中圓柱形靶材需拉伸后鑲嵌入銅靶基。
本發(fā)明磁控濺射玫瑰金靶材主要應(yīng)用于真空磁控濺射鍍膜手表、手機(jī)、首飾及裝飾產(chǎn)品 領(lǐng)域。采用本發(fā)明的玫瑰金靶材應(yīng)用于磁控濺射鍍膜技術(shù)中，可以獲得色澤鮮艷的玫瑰金鍍 膜，鍍膜色澤均勻、表面硬度高、耐磨性好、抗氧化性能好，采用本發(fā)明的磁控濺射玫瑰金 靶材可以消除水電鍍工藝帶來(lái)的環(huán)境污染和產(chǎn)品易氧化。本發(fā)明的磁控濺射玫瑰金靶材產(chǎn)品
性能穩(wěn)定，可達(dá)到極佳的裝飾效果。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明采用的金、銅、釔、鋅、鈷、銻和銦純度均大于99.9%。 實(shí)施例1
將銅和鈷加熱熔化，再將釔、鋅、銻和銦依次加入到熔化的銅和鈷中，待全部物料熔化 后攪拌均勻，然后在1400 1450'C的條件下精煉3min，精煉完成后將熔化的合金澆入鑄模中， 自然冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操作，獲得中間合金材料。其 中各金屬加入量為銅94.5wt%，釔0.03wt%，鋅2.764wt。/0,鈷0.003wt%，銻0.003wt%，銦 2.7wt%。
將金加熱熔化，再將制備的中間合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占65wtW，待全部物料熔化后攪拌均勻，然后在1200 130(TC的條件下精煉5min;精煉完成 后將熔化的合金澆入鑄模中，水冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操 作，獲得玫瑰金靶材，其成分為含金65wt。/。，銅33wt。/。，釔0.01wt。/。，鋅lwt%，鈷0.001 wt%， 銻0.001wt%，銦0.988wt%。
玫瑰金色度指標(biāo)通過(guò)了遼寧省計(jì)量科學(xué)研究院檢測(cè)，測(cè)量條件為D65光源、10°視角 場(chǎng)、0/t。測(cè)量結(jié)果為反射率(％): Y= 61.79;色度坐標(biāo)直x = 0.3608， y=0.3527。 實(shí)施例2
將銅和鈷加熱熔化，再將釔、鋅、銻和銦依次加入到熔化的銅和鈷中，待全部物料熔化 后攪拌均勻，然后在1400 145(TC的條件下精煉3min，精煉完成后將熔化的合金澆入鑄模中， 自然冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操作，獲得中間合金材料。其 中各金屬加入量為銅72.8wtn/n，釔4.5wt11/。，鋅9.1wt。/c，鈷4.5wt0/。，銻0.91wt。/。，銦8.19wt%。
將金加熱熔化，再將制備的中間合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占78wtV。，待全部物料熔化后攪拌均勻，然后在1200 130(TC的條件下精煉5min;精煉完成 后將熔化的合金澆入鑄模中，水冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操 作，獲得玫瑰金靶材，其成分為含金78wto/。，銅16wt。/。，釔lwt。/n，鋅2wt。/。，鈷lwt。/。，銻 0.2wt%，銦1.8wt%。 實(shí)施例3
將銅和鈷加熱熔化，再將釔、鋅、銻和銦依次加入到熔化的銅和鈷中，待全部物料熔化 后攪拌均勻，然后在1400 1450'C的條件下精煉3min，精煉完成后將熔化的合金澆入鑄模中， 自然冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操作，獲得中間合金材料。其
中各金屬加入量為銅46.7wtn/。，釔12.5wt。/。，鋅22wt。/。，鈷3.8wt%，銻0.3wt%，銦14.7wt%。 將金加熱熔化，再將制備的中間合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占68wty。，待全部物料熔化后攪拌均勻，然后在1200 130(TC的條件下精煉5min;精煉完成 后將熔化的合金澆入鑄模中，水冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操 作，獲得玫瑰金靶材，其成分為含金68wt%,銅15wt%,釔4wt%,鋅7wt%,鈷1.2wt%， 銻0.1wt0/0，銦4.7wt0/。。 、 實(shí)施例4
將銅和鈷加熱熔化，再將釔、鋅、銻和銦依次加入到熔化的銅和鈷中，待全部物料熔化 后攪拌均勻，然后在1400 145(TC的條件下精煉3min，精煉完成后將熔化的合金澆入鑄模中， 自然冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操作，獲得中間合金材料。其 中各金屬加入量為銅69wt°/。，釔10.3wt%，鋅17.25wt%，鈷2.69wt%,銻0.69wt%，銦0.07wt%。
將金加熱熔化，再將制備的中間合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占71wt。/。，待全部物料熔化后攪拌均勻，然后在1200 13O0'C的條件下精煉5min;精煉完成 后將熔化的合金澆入鑄模中，水冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操 作，獲得玫瑰金靶材，其成分為含金71wt。/。，銅20wt。/。，釔3wtn/。，鋅5wt。/。，鈷O. 78wt%， 銻0.2wt0/0，銦0.02wt0/0。 實(shí)施例5
將銅和鈷加熱熔化，再將釔、鋅、銻和銦依次加入到熔化的銅和鈷中，待全部物料熔化 后攪拌均勻，然后在1400 1450'C的條件下精煉3min，精煉完成后將熔化的合金澆入鑄模中， 自然冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操作，獲得中間合金材料。其 中各金屬加入量為銅56wt%，釔8wt"/。，鋅12wtn/。，鈷3.8wty。，銻0.2wt%,銦20wt%。
將金加熱熔化，再將制備的中間合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占75wtW,待全部物料熔化后攪拌均勻，然后在1200 130(TC的條件下精煉5min;精煉完成 后將熔化的合金澆入鑄模中，水冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操 作，獲得玫瑰金靶材，其成分為含金75wt%，銅14wt。/。，釔2wt。/。，鋅3wt。/。，鈷0.95wt0/。， 銻0.05wt。/。，銦5wte/。。
權(quán)利要求
1、一種磁控濺射玫瑰金靶材，其特征在于磁控濺射玫瑰金靶材的按成分重量百分比為含金65～78wt％，銅16～33wt％，釔0.01～4wt％，鋅1～7wt％，鈷0.001～1.2wt％，銻0.001～0.2wt％，銦0.02～5wt％。
2、 權(quán)利要求1所述的磁控濺射玫瑰金靶材的制備方法:其特征在于按如下步驟進(jìn)行(1) 將銅和鈷加熱熔化，再將釔、鋅、銻和銦依次加入到熔化的銅和鈷中，待全部物料熔化后攪拌均勻，然后在1400 1450'C的條件下精煉3min，精煉完成后將熔化的合金澆入鑄模中，自 然冷卻至室溫，取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操作，獲得中間合金材料；其中 各金屬加入量為銅46.7 ~94.5 wt%，紀(jì)0.03~12.5 wt%，鋅2.764~ 22wt%，鈷0.003~ 4.5wt%， 銻0.003~ 0.91wt%，銦2.7 20wt。/。； (2)將金加熱熔化，再將制備的中間合金材料加入到熔 化的金中，加入量按金在全部物料中占65~78wt%，待全部物料熔化后攪拌均勻，然后在 1200 1300'C的條件下精煉5min;精煉完成后將熔化的合金澆入鑄模中，自然冷卻至室溫， 取出合金錠，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操作，獲得玫瑰金靶材。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控濺射玫瑰金靶材的制備方法，其特征在于所采用的金、 銅、釔、鋅、鈷、銻和銦純度均大于99.9%。 '
全文摘要
一種磁控濺射玫瑰金靶材及其制備方法，其特征在于玫瑰金靶材的成分按重量百分比為含金65～78wt％，銅16～33wt％，釔0.01～4wt％，鋅1～7wt％，鈷0.001～1.2wt％，銻0.001～0.2wt％，銦0.02～5wt％。制備方法為將銅和鈷加熱熔化，再將釔、鋅、銻和銦加入到熔化的銅和鈷中，在1400～1450℃的條件下精煉3min，經(jīng)過(guò)常規(guī)的銑面、軋制和剪切操作，獲得中間合金材料；將金加熱熔化，再將制備的中間合金材料加入到熔化的金中，在1200～1300℃的條件下精煉5min；獲得玫瑰金靶材采用本發(fā)明的磁控濺射玫瑰金靶材可以消除水電鍍工藝帶來(lái)的環(huán)境污染和產(chǎn)品易氧化。本發(fā)明的磁控濺射玫瑰金靶材產(chǎn)品性能穩(wěn)定，可達(dá)到極佳的裝飾效果。
文檔編號(hào)C23C14/14GK101358331SQ20081001343
公開(kāi)日2009年2月4日 申請(qǐng)日期2008年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月27日
發(fā)明者革 劉 申請(qǐng)人:東北大學(xué)黃金學(xué)院貴金屬材料廠