專利名稱：太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)裝置結(jié)構(gòu)的改進(jìn)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)通常使用磁控濺射鍍膜機(jī)。該機(jī)包 括傳動裝置、真空機(jī)組、磁控靶、充氣系統(tǒng)等；每個生產(chǎn)周期需要重新抽真空， 因此，生產(chǎn)效率低，而且耗能大；另外，在鍍膜室內(nèi)的磁控濺射靶要經(jīng)常暴露 于大氣內(nèi)，耙材易氧化，影響了膜層的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是針對上述問題，提供一種生產(chǎn)效率高，鍍膜質(zhì)量好的太陽能集 熱管鍍膜生產(chǎn)線。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案，本發(fā)明包括外環(huán)軌，其結(jié)構(gòu) 要點(diǎn)是外環(huán)軌上依次設(shè)置有進(jìn)管室、鍍膜室、出管室，進(jìn)管室、鍍膜室、出管 室的入口處、出口處分別設(shè)置有門閥、軌道岔口；進(jìn)管室、鍍膜室、出管室分 別同真空裝置相連；外環(huán)軌和進(jìn)管室、鍍膜室、出管室內(nèi)的內(nèi)環(huán)軌上設(shè)置有工 件架鏈，工件架鏈?zhǔn)怯杉瓤衫@外環(huán)軌、內(nèi)環(huán)軌運(yùn)轉(zhuǎn)，又可自轉(zhuǎn)的工件架連接組 成，內(nèi)環(huán)軌內(nèi)設(shè)置有磁控靶；外環(huán)軌側(cè)方的撥叉設(shè)置在兩個鏈輪之間的鏈條上； 相應(yīng)于撥叉的工件架鏈上設(shè)置有撥塊。
本發(fā)明的有益效果
1、生產(chǎn)效率高
本發(fā)明使多個裝有玻璃管的工件架鏈，沿外環(huán)軌、內(nèi)環(huán)軌的生產(chǎn)線連續(xù)地 進(jìn)行公轉(zhuǎn)或自轉(zhuǎn)；又在真空狀態(tài)下，連續(xù)進(jìn)行磁控靶對玻璃管的濺射，因此，生產(chǎn)效率高；每六分鐘，至少生產(chǎn)38個玻璃管的鍍膜； 2、鍍膜質(zhì)量好
本發(fā)明的鍍膜始終是在真空條件下工作，避免了靶材因經(jīng)常暴露于大氣而 造成的污染，確保了膜層的質(zhì)量。


圖l是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖2是本發(fā)明的內(nèi)環(huán)軌及相關(guān)結(jié)構(gòu)示意圖3是圖2的A-A剖視圖4是圖2的B向視圖5是圖2的C-C剖視圖6是本發(fā)明的工件架的結(jié)構(gòu)示意圖7是本發(fā)明的撥叉及相關(guān)結(jié)構(gòu)示意圖8是圖7的D向旋轉(zhuǎn)示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明包括外環(huán)軌12，外環(huán)軌12上依次設(shè)置有進(jìn)管室14、鍍膜室7、出 管室6，進(jìn)管室14、鍍膜室7、出管室6的入口處、出口處分別設(shè)置有門閥21、 軌道岔口35;進(jìn)管室14、鍍膜室7、出管室6分別同真空裝置1相連；外環(huán) 軌12和進(jìn)管室14、鍍膜室7、出管室6內(nèi)的內(nèi)環(huán)軌13上設(shè)置有工件架鏈18， 工件架鏈18是由既可繞外環(huán)軌12、內(nèi)環(huán)軌13運(yùn)轉(zhuǎn)，又可自轉(zhuǎn)的工件架29連 接組成，內(nèi)環(huán)軌13內(nèi)設(shè)置有磁控靶17;外環(huán)軌12側(cè)方的撥叉9設(shè)置在兩個 鏈輪8之間的鏈條11上；相應(yīng)于撥叉9的工件架鏈18上設(shè)置有撥塊10。
工件架29的上方設(shè)置有玻璃管44的托架47;工件架29的底部設(shè)置有與 內(nèi)環(huán)軌13相應(yīng)的滾輪46;托架47與滾輪46之間設(shè)置有同自轉(zhuǎn)鏈盤28上的 自轉(zhuǎn)鏈條27相嚙合的自轉(zhuǎn)鏈輪43、同公轉(zhuǎn)鏈盤25上的公轉(zhuǎn)鏈條26撥叉22 相應(yīng)的撥塊23。軌道岔口 35固定于外環(huán)軌12的軸30上，軌道岔口 35的兩側(cè)分別設(shè)置有 工件架29的滾輪46的外支撐軌32、內(nèi)支撐軌31;在軌道岔口35繞軸30轉(zhuǎn) 動時，使外支撐軌32同內(nèi)環(huán)軌13的外支撐軌36相一致，或使內(nèi)支撐軌31同 外環(huán)軌12相一致，就使工件架鏈18進(jìn)入內(nèi)環(huán)軌13或進(jìn)入外環(huán)軌12運(yùn)轉(zhuǎn)。
公轉(zhuǎn)鏈盤25上設(shè)置有同公轉(zhuǎn)鏈條26相嚙合的浮動輪19;以使公轉(zhuǎn)鏈條 26穩(wěn)定運(yùn)行。
為使工件架29運(yùn)行平穩(wěn)可靠，可在工件架29的外側(cè)和內(nèi)側(cè)分別設(shè)置有與 內(nèi)環(huán)軌13外限位板24、內(nèi)限位板37相應(yīng)的外限位輪45、內(nèi)限位輪41。
與公轉(zhuǎn)鏈條26相嚙合的公轉(zhuǎn)鏈輪39由同軸上的從動輪42所驅(qū)動，從動 輪42通過鏈條38同電機(jī)34上的鏈輪15相連。
為保證玻璃管44的鍍膜效果及生產(chǎn)效率，可設(shè)置三個或更多鍍膜室7。
進(jìn)管室14、出管室6、鍍膜室7內(nèi)的內(nèi)環(huán)軌13及外環(huán)軌12均可為扁圓形 軌道。
真空裝置1可為機(jī)械泵2、擴(kuò)散泵5、羅茨泵4、維持泵3分別組合。 鏈輪15是由電機(jī)34所驅(qū)動。 下面結(jié)合

本發(fā)明的一次動作過程
首先，將待鍍的玻璃管44裝在工件架鏈18上，然后將裝好的工件架鏈 18運(yùn)行到進(jìn)管室14外環(huán)軌12位置等候，當(dāng)門閥21接到指令立即打開，工件 架鏈18進(jìn)入進(jìn)管室14,門閥21關(guān)閉，進(jìn)管室14立即抽真空，當(dāng)真空度抽至 《8X1(T帕，開門閥21，工件架鏈18進(jìn)入鍍膜室7，沿著扁圓形軌道進(jìn)行公 轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，鍍膜室7對玻璃管44鍍金屬底膜，鍍膜完畢，打開門閥21，進(jìn)入 第二鍍膜室7，充反應(yīng)氣體鍍介質(zhì)膜，然后打開門閥21，進(jìn)入第三鍍膜室7， 按工藝要求用同樣方法鍍吸收膜，鍍膜完畢打開門閥21，進(jìn)入出管室6，出管 室6放氣后打開門閥21，工件架鏈18運(yùn)行到外面出管環(huán)軌準(zhǔn)備卸管。門閥21 關(guān)閉后出管室6馬上抽真空，當(dāng)真空度抽至《8X10—3帕，準(zhǔn)備再接鍍膜室7工件架鏈18，開始下個生產(chǎn)周期。
權(quán)利要求
1、太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線，包括外環(huán)軌(12)，其特征在于外環(huán)軌(12)上依次設(shè)置有進(jìn)管室(14)、鍍膜室(7)、出管室(6)，進(jìn)管室(14)、鍍膜室(7)、出管室(6)的入口處、出口處分別設(shè)置有門閥(21)、軌道岔口(35)；進(jìn)管室(14)、鍍膜室(7)、出管室(6)分別同真空裝置(1)相連；外環(huán)軌(12)和進(jìn)管室(14)、鍍膜室(7)、出管室(6)內(nèi)的內(nèi)環(huán)軌(13)上設(shè)置有工件架鏈(18)，工件架鏈(18)是由既可繞外環(huán)軌(12)、內(nèi)環(huán)軌(13)運(yùn)轉(zhuǎn)，又可自轉(zhuǎn)的工件架(29)連接組成，內(nèi)環(huán)軌(13)內(nèi)設(shè)置有磁控靶(17)；外環(huán)軌(12)側(cè)方的撥叉(9)設(shè)置在兩個鏈輪(8)之間的鏈條(11)上；相應(yīng)于撥叉(9)的工件架鏈(18)上設(shè)置有撥塊(10)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于工件架 (29)的上方設(shè)置有玻璃管(44)的托架(47);工件架(29)的底部設(shè)置有與內(nèi)環(huán)軌(13)相應(yīng)的滾輪(46);托架(47)與滾輪(46)之間設(shè)置有同自轉(zhuǎn)鏈 盤(28)上的自轉(zhuǎn)鏈條(27)相嚙合的自轉(zhuǎn)鏈輪(43)、同公轉(zhuǎn)鏈盤(25)上的 公轉(zhuǎn)鏈條(26)撥叉(22)相應(yīng)的撥塊(23)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于軌道岔口 (35)固定于外環(huán)軌(12)的軸(30)上，軌道岔口 (35)的兩側(cè)分別設(shè)置有工件架(29)的滾輪(46)的外支撐軌(32)、內(nèi)支撐軌(31)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于公轉(zhuǎn)鏈盤 (25)上設(shè)置有同公轉(zhuǎn)鏈條(26)相嚙合的浮動輪(19)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于在工件架 (29)的外側(cè)和內(nèi)側(cè)分別設(shè)置有與內(nèi)環(huán)軌(13)外限位板(24)、內(nèi)限位板(37)相應(yīng)的外限位輪(45)、內(nèi)限位輪(41)。
6、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于與公轉(zhuǎn)鏈 條(26)相嚙合的公轉(zhuǎn)鏈輪(39)由同軸上的從動輪(42)所驅(qū)動，從動輪(42) 通過鏈條(38)同電機(jī)(34)上的鏈輪(15)相連。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于設(shè)置三個 鍍膜室(7)。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于進(jìn)管室 (14)、出管室(6)、鍍膜室(7)內(nèi)的內(nèi)環(huán)軌(13)及外環(huán)軌(12)均為扁圓形軌道。
全文摘要
太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線屬于太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)裝置結(jié)構(gòu)的改進(jìn)。本發(fā)明就是提供一種生產(chǎn)效率高，鍍膜質(zhì)量好的太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線。本發(fā)明包括外環(huán)軌，其結(jié)構(gòu)要點(diǎn)是外環(huán)軌上依次設(shè)置有進(jìn)管室、鍍膜室、出管室，進(jìn)管室、鍍膜室、出管室的入口處、出口處分別設(shè)置有門閥、軌道岔口；進(jìn)管室、鍍膜室、出管室分別同真空裝置相連；外環(huán)軌和進(jìn)管室、鍍膜室、出管室內(nèi)的內(nèi)環(huán)軌上設(shè)置有工件架鏈，工件架鏈?zhǔn)怯杉瓤衫@外環(huán)軌、內(nèi)環(huán)軌運(yùn)轉(zhuǎn)，又可自轉(zhuǎn)的工件架連接組成，內(nèi)環(huán)軌內(nèi)設(shè)置有磁控靶；外環(huán)軌側(cè)方的撥叉設(shè)置在兩個鏈輪之間的鏈條上；相應(yīng)于撥叉的工件架鏈上設(shè)置有撥塊。
文檔編號C23C14/56GK101519770SQ20081001051
公開日2009年9月2日 申請日期2008年2月29日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月29日
發(fā)明者王光華, 郭保安 申請人:沈陽百樂真空技術(shù)有限公司