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雙層介質(zhì)阻擋放電等離子體反應(yīng)器的制作方法

文檔序號(hào):3412964閱讀:435來源:國(guó)知局
專利名稱:雙層介質(zhì)阻擋放電等離子體反應(yīng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種雙層介質(zhì)阻擋放電等離子體反應(yīng)器。
背景技術(shù)
目前已知單層介質(zhì)阻擋放電等離子體反應(yīng)器放電時(shí),除了反應(yīng)器內(nèi)的工作氣體發(fā)生等離子體反應(yīng)外,暴露在空氣中的反應(yīng)器外壁的電極上也發(fā)生放電反應(yīng),從而產(chǎn)生臭氧而污染空氣。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服目前單層介質(zhì)阻擋放電等離子體反應(yīng)器產(chǎn)生臭氧而污染空氣的缺點(diǎn),本實(shí)用新型提供一種雙層反應(yīng)器結(jié)構(gòu),不僅能夠消除臭氧污染,而且還能夠提高此類反應(yīng)器的能量效率。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是在單層介質(zhì)阻擋放電等離子體反應(yīng)器的外部再加一層同樣材質(zhì)的套罩,使得原單層反應(yīng)器內(nèi)部與內(nèi)外間的夾層中均通入工作氣體,同時(shí)放電,而夾層外部由于沒有暴露在空氣中的電極,故不再放電產(chǎn)生臭氧。
本實(shí)用新型的有益效果是避免了單層介質(zhì)阻擋放電等離子體反應(yīng)器產(chǎn)生臭氧而污染空氣的嚴(yán)重問題,極有益于環(huán)境保護(hù),并且同時(shí)提高了此類反應(yīng)器的能量利用率。


結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型說明如下。附圖是本實(shí)用新型的縱剖面構(gòu)造圖。圖中1是內(nèi)電極,2是絕緣桿,3是反應(yīng)器外層套,4是外電極,5、8是工作氣體流通道,6是內(nèi)外反應(yīng)器中的夾層反應(yīng)腔,7是內(nèi)反應(yīng)器的反應(yīng)腔。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。在附圖中,1是纏繞在絕緣棒2上的導(dǎo)線引出端,3是套在內(nèi)層反應(yīng)器7外部的外層反應(yīng)器,4是纏繞在內(nèi)層7的外壁上的導(dǎo)線,5和8是工作氣體流通道,如果工作氣體密度小于空氣密度,則8是工作氣體入口,5是出口,反之如果工作氣體密度大于空氣密度,則5是工作氣體入口,8是出口。以小密度氣體甲烷為例,先經(jīng)8通入甲烷直至由出口5排出的氣體中所測(cè)空氣含量小于1%后,即可給導(dǎo)線1、4、高壓電源以及調(diào)壓器串聯(lián)所形成的回路通電,達(dá)到一定的電壓后即可在6和7兩層反應(yīng)腔內(nèi)發(fā)生等離子體反應(yīng)。
權(quán)利要求一種雙層介質(zhì)阻擋放電等離子體反應(yīng)器,其特征是在單層反應(yīng)器外部增加一個(gè)外套,形成雙層反應(yīng)腔。
專利摘要一種能夠避免產(chǎn)生臭氧而污染空氣的雙層介質(zhì)阻擋放電等離子體反應(yīng)器,它是在已知的單層介質(zhì)阻擋放電反應(yīng)器的基礎(chǔ)上又增加了一層反應(yīng)器套層,因此將單層外的導(dǎo)線包藏在雙層反應(yīng)器的夾層中,避免了放電時(shí)產(chǎn)生臭氧而污染空氣。
文檔編號(hào)C23C16/00GK2687138SQ0325270
公開日2005年3月23日 申請(qǐng)日期2003年9月2日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月2日
發(fā)明者崔錦華 申請(qǐng)人:遼寧師范大學(xué)
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