專利名稱：鋸線的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種鋸線、制造該鋸線的方法以及其在切割硬材料如單晶硅方面的應(yīng)用。
脆硬材料的薄片在許多技術(shù)領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。最重要的例子是在半導(dǎo)體技術(shù)中所述的硅晶片的應(yīng)用。這種薄片通常由相應(yīng)材料的塊錠或單晶通過切割或切斷過程得到。通常該切割或切斷過程是在磨料存在下使用鋼鋸線進(jìn)行。通常該磨料在切割過程中以松散的懸浮狀態(tài)撒在鋸線上，以便可以切割材料。這樣的一種裝置例如已經(jīng)由US-4187828所公開。這種傳統(tǒng)方法的缺點(diǎn)是在操作過程中鋸線易損壞，通常只能使用一次。另外，在使用松散的懸浮磨料時還會形成少量不能回收的廢料。
因此，人們試圖通過直接將磨料涂在其表面上使鋸線更耐用。EP-A-0982094就描述了這樣一種鋸線，其中鋼鋸線經(jīng)粘附性的中間層與金屬粘結(jié)相相粘合，該金屬粘結(jié)相中嵌有磨料例如鉆石粒。US-4485757描述了一種類似的鋼絲鋸。但是這種鋸絲的制造成本很高。此外，它們常常會有氫脆問題，從而造成自發(fā)破裂。
JP-A-207598描述了一種由一種鋼琴絲和磨料顆粒構(gòu)成的鋸線，其中砂粒借助于一種特定的粘合劑固定在鋼琴絲表面上。由于添加了如金屬顆粒添加劑，這種粘合劑可抗外部影響。US-5313742描述了切割輪，該輪為全鍛型結(jié)構(gòu)，其中間不切割的部分厚度較大，外面的切割范圍厚度較小，因此具有高強(qiáng)度。該切割輪由摻有磨料顆粒的粘結(jié)樹脂構(gòu)成。
然而，上述切割工具在用于切割硬脆材料時并不能最好地滿足對其所提出的要求。恰恰對昂貴的材料如單晶硅，切割寬度應(yīng)當(dāng)很小，以便將切割損失減少到最低程度。當(dāng)然，通過在鋸線上涂敷磨料會增大切割工具的直徑，從而增大切割寬度。使用松散懸浮形式的磨料時必須以約1000m/min的高切割速度操作，以便使得磨料一起運(yùn)動而形成切口。這會導(dǎo)致溫度急劇升高，并在切割過程中不得不進(jìn)行水冷。使用鉆石作為磨料時，由于該材料的導(dǎo)熱性能極好，水冷會產(chǎn)生局部高溫，從而對切割工具產(chǎn)生明顯應(yīng)力，引起磨損加快。如果磨料固定在切割工具的表面上，則切割工具在磨掉該表面層后即報(bào)廢，這在上述條件下切割硬脆材料時發(fā)生得很快。
含有纖維材料芯及澆注該纖維材料的聚合物基質(zhì)的復(fù)合材料基本上也是已知的。例如US-5068142即描述了這種在結(jié)構(gòu)織物中使用的纖維增強(qiáng)的復(fù)合材料，例如用于防止塌方。該復(fù)合材料由多種纖維構(gòu)成，其總厚度為幾毫米或以上。
WO 93/18891描述了一種用于表面拋光的刷子，該刷子由一種內(nèi)含磨料顆粒的熱塑性聚合物構(gòu)成。但是該說明書明確指出，這里所述的結(jié)構(gòu)與在預(yù)成型芯料上涂敷以填充有磨料的熱塑性彈性體的結(jié)構(gòu)不同，特別是在抗拉強(qiáng)度方面。但未提及構(gòu)成的絲可以用于切割硬脆材料。
JP-A-10-151559描述了一種在水冷條件下適合用于多次切割的鋼絲鋸。該鋸由一種多絲線構(gòu)成，其表面和內(nèi)部配有磨料。磨料是借助于一種基于聚四氟乙烯為必要組分的特殊粘結(jié)樹脂與多絲相粘合。磨料/粘合劑混合物以分散體形式涂敷在多絲上。這要求其后進(jìn)行蒸發(fā)，從而產(chǎn)生了氣泡。因此，得不到精確圓柱形狀的鋸絲。此外，由于生態(tài)學(xué)和毒理學(xué)方面的原因，使用含氟的粘合劑是令人擔(dān)憂的。
FR-A-1142604原則上描述了將塑料用作鋸絲材料的可使用性。但在該說明書中僅僅詳細(xì)說明了一種具有最多3條塑料纖維的鋸絲。但是沒有公開對本發(fā)明鋸的應(yīng)用所需的多絲。
因此，本發(fā)明的目的是提供一種切割工具，它可以克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點(diǎn)。
本發(fā)明的目的由以下的鋸線達(dá)到，該鋸線包括含有粘結(jié)樹脂和磨料的磨料混合物以及由抗斷裂纖維構(gòu)成的多絲，其中纖維優(yōu)選基本上相互平行排列并由磨料混合物所包裹，纖維之間的空隙填充有磨料混合物，其特征在于，粘結(jié)樹脂不含有聚四氟乙烯。
本發(fā)明的另一方面涉及一種鋸線，它包括含有粘結(jié)樹脂和磨料的磨料混合物以及由抗斷裂纖維構(gòu)成的多絲，其中纖維優(yōu)選基本上相互平行排列并由磨料混合物所包裹，纖維之間的空隙填充有磨料混合物，其特征在于，磨料混合物中的磨料的量從鋸線的表面向其內(nèi)部逐漸減少。換句話說，在該鋸線中，表面上的磨料顆粒比內(nèi)部多。本發(fā)明所說的磨料逐漸減少是指磨料的量從鋸線表面到內(nèi)部基本上呈連續(xù)減少。制造過程可能產(chǎn)生連續(xù)性的少許偏差，例如偏差約10％。本發(fā)明最好使得鋸線從表面到內(nèi)部每隔30μm其磨料的量減少2-60％，優(yōu)選5-40％，特別優(yōu)選5-20％。在本發(fā)明的這一方面，其粘結(jié)樹脂也優(yōu)選不含聚四氟乙烯。
按照本發(fā)明的一個優(yōu)選的實(shí)施方案，鋸線的厚度等于或小于350μm。
按照本發(fā)明的一個優(yōu)選的實(shí)施方案，鋸線的厚度為125-300μm。
本發(fā)明所說的多絲是指一種由多根單絲纖維構(gòu)成的復(fù)合材料。
出人意料地發(fā)現(xiàn)，本發(fā)明的鋸線非常適合于切割硬脆材料。通過使用如200-1000根纖維、優(yōu)選200-800根纖維這樣比較少量的纖維，復(fù)合材料的直徑約為125-350μm，因此使得切割寬度小于或等于350μm。現(xiàn)有技術(shù)中的切割工具僅僅在金屬絲的表面存在一層含磨料的層，該表面磨掉后即行報(bào)廢，與此相反，本發(fā)明的鋸線在單個纖維之間也存在磨料混合物。因此，在操作過程中鋸線的表面磨損后，磨損線內(nèi)部的新的磨料就顯漏出來了，可以代替原來位于表面的已經(jīng)通過磨損而失去的磨料。因此，用本發(fā)明的鋸線切割硬脆材料可以達(dá)到明顯高的耐用度。
另外，用本發(fā)明的鋸線可以在低的切割速度下切割硬脆材料。由此可以減少切割工具由于在切割期間出現(xiàn)高溫所造成的應(yīng)力。再者，有可能細(xì)心地進(jìn)行僅有少量切割損失的精確切割。不需要加入松散的懸浮狀磨料。
與JP-A-10151559的鋸線不同的是，本發(fā)明的鋸線不限于含聚四氟乙烯作為必要組分的粘結(jié)樹脂，從而沒有與此相關(guān)的生態(tài)學(xué)和毒理學(xué)缺點(diǎn)。
另外，本發(fā)明還可以得到一種具有精確的圓柱形的鋸線。因此，本發(fā)明的鋸線具有明顯好的切割性能。
如后面所詳細(xì)描述的那樣，本發(fā)明的鋸線可以簡單而經(jīng)濟(jì)的方式制造。
下面借助于說明性的而非限制的附圖進(jìn)一步解釋本發(fā)明。其中

圖1表示本發(fā)明鋸線的橫截面。
如圖1所示，本發(fā)明的鋸線包括由抗斷裂纖維(1)構(gòu)成的多絲，該纖維基本上相互平行地嵌入在磨料混合物(2)中，并通過磨料混合物(2)相互隔開。本發(fā)明的鋸線包括200-1000根、優(yōu)選200-800根單絲纖維(1)。由此產(chǎn)生等于或小于350μm、優(yōu)選125-300μm的鋸線厚度。該纖維優(yōu)選具有基本上圓的橫截面，但在本發(fā)明中其它的形式也是同樣可能的。
纖維(1)可以由用于制備纖維增強(qiáng)材料常用的材料制造。例如可以是由間-和/或?qū)Ψ甲寰埘０?芳香族聚酰胺)、超高硬聚乙烯、高取向性聚酯、聚酯、聚酰胺構(gòu)成的纖維，碳纖維或玻璃纖維以及多股絞線。本發(fā)明優(yōu)選使用杜邦公司Nomex品牌和Teijin公司Teijinconex品牌的間芳族酰胺構(gòu)成的纖維，和/或杜邦公司Kevlar品牌、Twaron公司Twaron品牌和Teijin公司Technora品牌的對芳族酰胺構(gòu)成的纖維，和/或Toyobo公司Dyneema品牌的超高硬聚乙烯纖維。本發(fā)明特別優(yōu)選使用Toyobo公司Zylon品牌的對聚亞苯基-2，6-苯并二噁唑(benzobisoxazol)。但是，本發(fā)明也可以使用所有上述材料的組合作為本發(fā)明鋸線的纖維材料。
纖維(1)必須具有滿足硬脆材料切割過程所要求的抗斷裂強(qiáng)度。因此，本發(fā)明所說的抗斷裂纖維是指抗拉強(qiáng)度大于25cN/tex或大于300Mpa的纖維。前面所述的纖維材料滿足該要求。
由于使用本發(fā)明鋸線切割硬脆材料時所要求的切割速度低，也可以使用由于使用時會出現(xiàn)高溫而對傳統(tǒng)切割工具不適合的材料來制造鋸線。
如圖1可以看到的那樣，纖維(1)基本上相互平行地嵌入在磨料混合物(2)中。磨料混合物(2)含有粘結(jié)樹脂和磨料。本發(fā)明的粘結(jié)樹脂可以是固體樹脂或液體樹脂。它們可以是已知的熱塑性或熱固性聚合物或者這些材料的組合，但在生態(tài)學(xué)和毒理學(xué)特別有害的含氟粘合劑除外。熱塑性塑料可以例舉聚酰亞胺、聚苯并咪唑、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸二乙酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚酰胺、聚苯醚、聚苯硫、聚芳基醚酮、聚醚醚酮，或者熱固性塑料例如是可硬化的酚樹脂、可硬化的酚醛樹脂、聚酰亞胺樹脂、雙馬來酰亞胺、環(huán)氧樹脂、不飽和聚酯樹脂、DAP樹脂(聚對苯二甲酸二烯丙酯)、MF模塑材料如蜜胺甲醛模塑材料、可硬化的蜜胺苯酚甲醛(MPF)模塑材料或可交聯(lián)的聚胺酯。熱塑性塑料優(yōu)選聚對苯二甲酸二乙酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚碳酸酯或聚酰胺，熱固性塑料優(yōu)選可硬化的酚樹脂、環(huán)氧樹脂、可硬化的酚醛樹脂、MF模塑材料如蜜胺甲醛模塑材料和可硬化的蜜胺苯酚甲醛(MPF)模塑材料。本發(fā)明特別優(yōu)選熱固性材料。本發(fā)明也可以使用上述物質(zhì)的混合物作為粘結(jié)樹脂。
粘結(jié)樹脂含有分散形式的磨料。本發(fā)明優(yōu)選的磨料為細(xì)粒的鉆石、碳化硅(SiC)、Al2O3、以及所謂的超級磨料如立方體氮化硼(c-BN)、TiC、ZrC、HfC，這些碳化物的混合物、TiN、ZrN、HfN、或者這些氮化物的混合物。本發(fā)明優(yōu)選使用細(xì)粒的鉆石作為磨料。磨料顆粒的大小優(yōu)選1-25μm，特別優(yōu)選5-20μm。本發(fā)明也可以使用上述物質(zhì)的混合物作為磨料顆粒。
以磨料混合物的總重量計(jì)，本發(fā)明的磨料混合物含有0.1-60重量％，優(yōu)選20-40重量％的磨料。
按照所需的不同應(yīng)用，纖維與磨料混合物的重量比為4∶1至1∶4。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以按照所要求的鋸線的性能毫無困難地使得該重量比最佳化。
另外，磨料混合物還可以含有傳統(tǒng)的添加物如隔離劑、潤滑劑、填料、顏料、粘合助劑、穩(wěn)定劑、抑制劑或加速劑體系。這些添加物是專業(yè)人員基本公知的，可以由他們根據(jù)鋸線的要求毫無困難地選擇。
如果所選擇的涂敷工藝不許可逐個添加各組分，則可以以專業(yè)人員公知的簡易方式通過例如在球磨機(jī)中混合各組分來制備該磨料混合物。
如前所述，本發(fā)明的鋸線可以用簡單的方式制造。纖維可以買到，并制成200-1000股，優(yōu)選200-800股的纖維束。接著用磨料混合物涂敷或填充纖維束。
所述涂敷或填充例如可以通過溶融涂層法進(jìn)行。將待涂敷或待填充的纖維拉過一種溶融物，然后再冷卻，所述溶融物中包含所述粘合劑樹脂。
涂敷或填充纖維的另一種方法是濕浸漬法。將纖維束放在所稱的“粗紗支架(Roving-Gestell)”上，以300-400m./min的速度松繞。對松繞的纖維拉過液體浸漬池，浸漬池中除了粘結(jié)樹脂以外還含有磨料，必要時還含有其它添加物。接著通過蒸發(fā)去除溶劑，這在具有不同溫度區(qū)的“冷卻塔”中通過上下拉動涂敷過的纖維來完成。
在該工藝的另一個方案中，該松繞的纖維借助于噴涂裝置用磨料混合物涂敷或填充。必要時在壓力下使溶解的磨料混合物從位于纖維上方的可旋轉(zhuǎn)的裝置噴射到纖維上。在待涂敷纖維的下方是收集容器，將沒有涂敷到纖維上面的磨料混合物收集在容器中，并再送到纖維上方的可旋轉(zhuǎn)裝置中，以重新使用。溶劑的脫除類似于上述。
另外，也可以通過一種干涂工藝進(jìn)行纖維束的涂敷和/或填充。這種方法例如已由EP-A-0680813所描述，將與此有關(guān)的內(nèi)容引入本文作為參考。類似于濕浸漬法，將纖維束從“粗紗支架”上松繞。優(yōu)選使其首先以400-600m/min的速度通過一個裝置使其帶電。這有利于磨料混合物粘附在纖維上。接著使其通過一個流化燒結(jié)池，成品磨料混合物以粉末狀位于該燒結(jié)池中?？諝饣蛘咭环N惰性氣體通過池底的孔吹進(jìn)流化燒結(jié)池，由此形成沸騰狀的粉末池。粉末粘附在通過流化燒結(jié)池拉動的纖維上。接著加熱得到的已涂敷的纖維。優(yōu)選通過紅外光線照射來實(shí)現(xiàn)。這時位于纖維上的粘結(jié)樹脂至少部分地液化，由此可以調(diào)節(jié)要涂敷到纖維上的磨料混合物的量。纖維束可以通過在爐子里繼續(xù)加熱并接著穿過調(diào)徑孔來調(diào)節(jié)其外徑。
按照WO 99/36239(其相關(guān)內(nèi)容引入本文作為參考)描述的優(yōu)選方案，磨料混合物的各組分可經(jīng)干法涂敷工藝中也可不經(jīng)預(yù)先混合而涂敷到纖維束上。為此將各組分加入到流化燒結(jié)池中。在那里例如借助于轉(zhuǎn)子、攪拌器、用超聲波和/或電磁波進(jìn)行混合或者充分混合?；旌线^程必須進(jìn)行到各組分在流化燒結(jié)池中的脫混基本上被制止或消除的程度。進(jìn)一步的處理與上述干法涂敷工藝類似。
本發(fā)明可以精確地調(diào)節(jié)磨線的外形以及磨料顆粒的分布，方法是首先在上述干法涂敷工藝的第一步驟中僅用粘結(jié)樹脂或者用粘結(jié)樹脂和少量磨料顆粒的混合物涂敷纖維束。然后將這樣得到的中間產(chǎn)品精整成確定的尺寸，因?yàn)橥糠蟮恼辰Y(jié)樹脂還沒有固化。在第二工藝步驟中使得到的精整過的中間產(chǎn)品重新穿過僅含有磨料顆?；蛘叽嬖谏倭空辰Y(jié)樹脂的流化燒結(jié)池。由于涂到纖維束上的粘結(jié)樹脂還沒有固化和仍然濕潤，所以在第二工藝步驟中涂敷的磨料顆粒就可以進(jìn)入粘結(jié)樹脂中。通過改變工藝條件可以影響磨料顆粒在所形成的磨料混合物中的分布。然而，在上述兩步制造工藝中較大部分的磨料顆粒通常保留在得到的鋸線的表面。
在上述方法中，“少量粘結(jié)樹脂或磨料顆?！笔侵赶鄬τ谄溆嗟慕M份粘結(jié)樹脂或磨料顆粒來說，在相應(yīng)流化燒結(jié)池中存在的相應(yīng)組分的數(shù)量最高為5重量％。
按照本發(fā)明的另一種實(shí)施方案，借助于雙流體池用干法涂敷工藝制造鋸條線。這里將纖維束送入第一池中，用粘合劑，優(yōu)選一種低粘度粘合劑涂敷纖維束。本發(fā)明所述的低粘度粘合劑是指一種粘度低于500mPas，優(yōu)選粘度范圍為100-500mPas，特別優(yōu)選其范圍為100-200mPas的樹脂。接著將涂敷的線優(yōu)選從池中垂直拉出，加捻并重新閉合。涂敷的線經(jīng)過轉(zhuǎn)向輥導(dǎo)入雙流體池的第二池中，在此重新至少部分地打開。本發(fā)明意義上的部分打開是指不完全打開紡線，各打開度在0和100％之間，優(yōu)選50-99％之間。形成線的多絲的加捻和重新打開例如可以通過控制所置轉(zhuǎn)向輥的差動速度來進(jìn)行。磨料和少量粘合劑的混合物存在第二池中。在第二池中優(yōu)選形成磨料和粘結(jié)樹脂組合物的靜止?fàn)顟B(tài)，由此可保證多絲的確定的涂敷。在第二池中用磨料和少量粘合劑涂敷線。其中磨料大部分保留在鋸線的表面上。然而，在該工藝裝置中，磨料也進(jìn)入鋸線的內(nèi)部，由此如前所述，磨料在磨料混合物中形成一種梯度。
在上述方法中，“少量粘合劑”指相對于磨料組分來說，在相應(yīng)流化燒結(jié)池中存在的相應(yīng)組分的量最高為5重量％。
通過上述干法涂敷工藝，可以不加限制地將前面提到的粘結(jié)樹脂用來制造本發(fā)明的鋸線。與此相反，在濕法涂敷工藝中，按照所用的纖維材料，僅僅特定的粘結(jié)樹脂可以用來制造鋸線。
用上述干法涂敷工藝，特別是本發(fā)明的兩步制造工藝，可以精確地調(diào)節(jié)要得到的鋸線的尺寸。也可以制造幾乎精確圓柱形的鋸線。與此相反，濕法涂敷工藝制造的鋸線會產(chǎn)生氣泡，這是由于必須蒸發(fā)溶劑所引起的。因此，以此方式得不到光滑的幾乎精確圓柱形外形的鋸線。所以，本發(fā)明鋸線的切割性能優(yōu)于現(xiàn)有技術(shù)中的鋸線。
本發(fā)明的鋸線可以有利地用于切割或分割硬脆材料。切割可以按照本文應(yīng)用的方法進(jìn)行。有利的是，材料和鋸線借助于冷卻劑例如水進(jìn)行冷卻。
本發(fā)明的鋸線特別適合用于切割或分割單晶硅，該單晶硅通常通過區(qū)域熔煉法以長條形狀(錠塊)制成，必須切成小片(晶片)用于半導(dǎo)體工業(yè)。另外，還可以切割的材料如碳化硅(用于宇航工業(yè))、藍(lán)寶石(用于表面玻璃或者制造藍(lán)光二極管(blue LEDs))、石英、純綠寶石、紅寶石、陶瓷或Al2O3。
通過使用本發(fā)明的鋸線，可以用明顯低于1000m/min的切割速度進(jìn)行切割，而不會導(dǎo)致有損于操作過程的速度。用本發(fā)明的鋸線即使在較低的切割速度下也可以達(dá)到較高的磨削。低的切割速度使得操作過程的高精度成為可能，并且可以使用在傳統(tǒng)切割工具中由于切割過程引起的高溫而不能使用的材料。
權(quán)利要求
1.一種鋸線，它包括含有粘結(jié)樹脂和磨料的磨料混合物以及由抗斷裂纖維構(gòu)成的多絲，其中纖維優(yōu)選基本上相互平行排列并由磨料混合物所包裹，纖維之間的空隙填充有磨料混合物，其特征在于，粘合劑不含有聚四氟乙烯。
2.一種鋸線，它包括含有粘結(jié)樹脂和磨料的磨料混合物以及由抗斷裂纖維構(gòu)成的多絲，其中纖維優(yōu)選基本上相互平行排列并由磨料混合物所包裹，纖維之間的空隙填充有磨料混合物，其特征在于，磨料混合物中的磨料的量從鋸線的表面向其內(nèi)部逐漸減少。
3.如權(quán)利要求1或2所述的鋸線，其中鋸線的厚度等于或小于350μm。
4.如權(quán)利要求1或2所述的鋸線，其中鋸線的厚度為125-300μm。
5.如權(quán)利要求1-4之一所述的鋸線，其中纖維由選自以下的材料構(gòu)成間-和/或?qū)Ψ甲寰埘０?、超高硬聚乙烯、高取向性聚酯、聚酯、聚酰胺、碳纖維、對聚亞苯基-2，6-苯并二噁唑或玻璃纖維或者這些材料的組合。
6.權(quán)利要求5所述的鋸線，其中纖維由間-芳族聚酰胺、對-芳族聚酰胺或超高硬聚乙烯構(gòu)成。
7.權(quán)利要求5所述的鋸線，其中纖維由對聚亞苯基-2，6-苯并二噁唑構(gòu)成。
8.權(quán)利要求1-7之一所述的鋸線，其中粘結(jié)樹脂由熱塑性或熱固性聚合物或者這些材料的組合構(gòu)成。
9.權(quán)利要求8所述的鋸線，其中粘結(jié)樹脂由熱固性聚合物構(gòu)成。
10.權(quán)利要求9所述的鋸線，其中熱固性聚合物選自可硬化的酚樹脂、環(huán)氧樹脂、可硬化的酚醛樹脂、MF模塑材料和可硬化的蜜胺苯酚甲醛(MPF)模塑材料或者這些材料的組合。
11.權(quán)利要求8所述的鋸線，其中粘結(jié)樹脂由熱塑性聚合物構(gòu)成，該聚合物選自聚酰亞胺、聚酰胺和聚醚醚酮。
12.權(quán)利要求1-11之一所述的鋸線，其中磨料選自細(xì)粒的鉆石、碳化硅(SiC)、Al2O3、立方體氮化硼(c-BN)、TiC、ZrC、HfC，這些碳化物的混合物、TiN、ZrN、HfN，或者這些氮化物的混合物，或者這些材料的組合。
13.權(quán)利要求12所述的鋸線，其中磨料是細(xì)粒的鉆石。
14.一種用于制造權(quán)利要求1-13之一所述的鋸線的方法，包括以下步驟a)提供一種由抗斷裂纖維構(gòu)成的多絲；b)用包括粘結(jié)樹脂和磨料的磨料混合物涂敷或填充該多絲；和c)進(jìn)一步處理所得到的多絲。
15.權(quán)利要求14所述的方法，其中通過濕法浸漬工藝或干法涂敷工藝進(jìn)行步驟b)的涂敷或填充。
16.權(quán)利要求15所述的方法，其中用干法涂敷工藝通過將多絲牽引穿過流化床進(jìn)行步驟b)。
17.權(quán)利要求16所述的方法，其中在兩步法工藝中進(jìn)行步驟b)，首先通過牽引使多絲通過含有粘結(jié)樹脂和少量或不含磨料顆粒的流化床，接著精整后重新通過牽引使其穿過含有磨料顆粒和少量或不含粘結(jié)樹脂的流化床。
18.權(quán)利要求16所述的方法，其中借助于雙流體池進(jìn)行步驟b)，包括使多絲穿過含有粘結(jié)樹脂的第一池，以及使多絲通過含有磨料和少量粘結(jié)樹脂的第二池。
19.權(quán)利要求18所述的方法，其中將多絲從第一池中垂直拉出、加捻、轉(zhuǎn)向、至少部分地打開，接著送入第二池中。
20.一種鋸線，它是由權(quán)利要求14-19之一所述的方法得到的。
21.權(quán)利要求20所述的鋸條線，其特征在于，磨料中磨料顆粒的量從外向內(nèi)減少。
22.權(quán)利要求1-13或20-21之一所述的鋸線在切割硬脆材料中的應(yīng)用。
23.權(quán)利要求22所述的應(yīng)用，其中硬脆材料選自單晶硅、碳化硅、藍(lán)寶石、石英、純綠寶石、紅寶石、陶瓷或Al2O3。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于切割硬脆材料例如單晶硅的鋸線，它包括含有粘結(jié)樹脂和磨料的磨料混合物(2)以及由抗斷裂纖維(1)構(gòu)成的多絲，其中纖維優(yōu)選基本上相互平行排列并由磨料混合物(2)所包裹，纖維(1)之間的空隙填充有磨料混合物(2)，其特征在于，粘結(jié)樹脂不含有聚四氟乙烯和/或磨料混合物(2)中的磨料的量從鋸線的表面向其內(nèi)部逐漸減少。
文檔編號B24D3/20GK1638904SQ02821782
公開日2005年7月13日 申請日期2002年10月28日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月13日
發(fā)明者C·詹特根斯 申請人:西亞研磨料工業(yè)股份公司