技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種基于達(dá)曼光柵和反射鏡的多光束激光干涉微納加工裝置，采用雙層達(dá)曼透射光柵作為分束器，將經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直擴(kuò)束、光束整形的單束激光分成振幅強(qiáng)度相同的多束相干光，并利用滑道上的反射鏡進(jìn)行光束間夾角的調(diào)整和加工周期的選取，獲得各級(jí)次光強(qiáng)分布均勻的光陣列，將多束相干光會(huì)聚到待加工材料表面干涉，得到干涉激光條紋從而加工出周期性平行溝槽微納結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型取代了現(xiàn)有系統(tǒng)中的離散式多支架方案，大大提高了系統(tǒng)的方便性、可靠性和效率。本實(shí)用新型具有光路調(diào)整方便、加工尺寸可控、效率高、適合低成本大批量生產(chǎn)、操作簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：李永亮;李林蔚;王斯琦;李仕明;王淵博;白沖;雷雨
受保護(hù)的技術(shù)使用者：長(zhǎng)春理工大學(xué)
文檔號(hào)碼：201720157808
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.21
技術(shù)公布日：2017.09.05