專利名稱：用于補(bǔ)償磁噪聲的系統(tǒng)與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及噪聲消除領(lǐng)域，且尤其涉及影響粒子束的磁噪聲的消除。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體晶片藉由高度復(fù)雜、需要許多制造工具的制造工藝來(lái)制造。晶片可藉由高架起重運(yùn)輸(overhead hoist transport, OHT)系統(tǒng)從一個(gè)制造工具傳送至另一個(gè)。典型的OHT系統(tǒng)包含多個(gè)OHT軌道。OHT軌道包含一對(duì)平行的導(dǎo)線，這些導(dǎo)線藉由交流(AC)信號(hào)饋送。這些AC信號(hào)產(chǎn)生會(huì)在電子束系統(tǒng)中弓I入誤差的磁場(chǎng)。AC電源供應(yīng)系統(tǒng)亦產(chǎn)生會(huì)導(dǎo)致粒子束位置誤差的磁場(chǎng)
發(fā)明內(nèi)容
一種用于粒子束的噪聲補(bǔ)償?shù)姆椒?，依?jù)本發(fā)明一實(shí)施例，該方法包括以下步驟藉由至少兩個(gè)傳感器在至少一個(gè)預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，以提供磁噪聲測(cè)量值，其中所述至少兩個(gè)傳感器彼此間隔；基于磁噪聲測(cè)量值以及磁噪聲值與粒子束位置誤差值之間的關(guān)系，產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)；以及響應(yīng)于期望粒子束掃描圖案及磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)，藉由粒子束掃描物體。該方法可包括以下步驟界定或接收實(shí)際掃描圖案，使得可在存在磁噪聲的情況下獲得期望掃描圖案；及藉由沿著實(shí)際掃描圖案引導(dǎo)粒子束來(lái)掃描物體。該方法可包括以下步驟產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)，磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)相對(duì)于噪聲信號(hào)實(shí)質(zhì)偏移180度。該方法可包括以下步驟延遲磁噪聲測(cè)量值約180度以提供延遲信號(hào)，并應(yīng)用增益函數(shù)于延遲信號(hào)以提供磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。該方法可包括以下步驟基于磁噪聲測(cè)量值以及磁噪聲值與粒子束位置誤差值之間的關(guān)系計(jì)算磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。該方法可包括以下步驟掃描已知形狀的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償，以獲得實(shí)際圖像；及基于已知形狀與實(shí)際圖像間的差異估計(jì)至少一些磁噪聲值和至少一些粒子束位置誤差值間的關(guān)系。該方法可包括以下步驟沿著圓形掃描圖案掃描包括彼此垂直的兩線的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償，以獲得實(shí)際圖像。該方法可包括以下步驟藉由包含至少一個(gè)傳感器的第一組傳感器在第一預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲；及藉由包含至少一個(gè)傳感器、且不同于第一組傳感器的第二組傳感器在與第一預(yù)定頻帶不同的第二預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲。該方法可包括以下步驟藉由置于粒子束柱外側(cè)的傳感器感測(cè)磁噪聲。該方法可包括以下步驟藉由至少四個(gè)傳感器感測(cè)磁噪聲，該至少四個(gè)傳感器具有彼此分隔約90度的感測(cè)區(qū)域。該方法可包括以下步驟藉由置于鄰近工具框架的不同面的傳感器感測(cè)磁噪聲，該工具包括粒子束柱。該方法可包括以下步驟檢測(cè)磁噪聲的主要來(lái)源，并放置傳感器以面對(duì)磁噪聲的主要來(lái)源。該方法可包括以下步驟放置傳感器以面對(duì)磁噪聲的一組鄰近的主要來(lái)源。該方法可包括以下步驟在包括9kHz頻率成分的預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲。該方法可包括以下步驟在預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，該預(yù)定頻帶包括有50Hz、60Hz、50Hz諧波或60Hz諧波的頻率成分。該方法可包括以下步驟在預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，該預(yù)定頻帶包括噪聲頻率，這些噪聲頻率由高架起重運(yùn)輸(OHT)系統(tǒng)所產(chǎn)生。依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，提供一種系統(tǒng)，該系統(tǒng)可包括至少兩個(gè)傳感器，該至少兩 個(gè)傳感器彼此間隔且經(jīng)配置以在至少一個(gè)預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，以提供磁噪聲測(cè)量值；噪聲補(bǔ)償模塊，該噪聲補(bǔ)償模塊經(jīng)配置以基于磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)；及粒子束掃描器，該粒子束掃描器經(jīng)配置以響應(yīng)于期望粒子束掃描圖案及磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)而藉由粒子束掃描物體。該粒子束掃描器可經(jīng)配置以接收實(shí)際掃描圖案，使得期望粒子束掃描圖案在存在磁噪聲的情況下獲得；及藉由沿著實(shí)際掃描圖案引導(dǎo)粒子束而掃描物體。該噪聲補(bǔ)償模塊可經(jīng)配置以產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)，磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)相對(duì)于噪聲信號(hào)實(shí)質(zhì)偏移180度。該噪聲補(bǔ)償模塊可經(jīng)配置以延遲磁噪聲測(cè)量值約180度以提供延遲信號(hào)，并應(yīng)用增益函數(shù)于延遲信號(hào)上，以提供磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。該噪聲補(bǔ)償模塊可經(jīng)配置以基于磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系計(jì)算磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。該粒子束掃描器可經(jīng)配置以掃描已知形狀的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償，以獲得實(shí)際圖像；且該噪聲補(bǔ)償模塊可經(jīng)配置以基于已知形狀與實(shí)際圖像間的差異估計(jì)至少一些磁噪聲值和至少一些粒子束位置誤差值間的關(guān)系。該粒子束掃描器可經(jīng)配置以沿著圓形掃描圖案掃描包括彼此垂直的兩線的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償，以獲得實(shí)際圖像。該系統(tǒng)可包括第一組傳感器，該第一組傳感器可經(jīng)配置以在第一預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲；及第二組傳感器，該第二組傳感器經(jīng)配置以在與第一預(yù)定頻帶不同的第二預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲。該系統(tǒng)可包括置于粒子束柱外側(cè)并配置成感測(cè)磁噪聲的傳感器。該系統(tǒng)可包括至少四個(gè)傳感器，該至少四個(gè)傳感器具有彼此分隔約90度的感測(cè)區(qū)域。該系統(tǒng)可包括置于鄰近工具框架不同面的傳感器，該工具包括粒子束柱。該系統(tǒng)可包括經(jīng)配置以在包括9kHz頻率成分的預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲的至少一個(gè)傳感器。該系統(tǒng)可包括經(jīng)配置以在另一預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲的至少一個(gè)傳感器，該預(yù)定頻帶包括有50Hz、60Hz、50Hz諧波或60Hz諧波的頻率成分。該系統(tǒng)可包括在預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲的至少一個(gè)傳感器，該預(yù)定頻帶包括噪聲頻率，該噪聲頻率由高架起重運(yùn)輸(OHT)系統(tǒng)所產(chǎn)生。一種非過渡計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，該非過渡計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)儲(chǔ)存指令，這些指令用以執(zhí)行以下步驟藉由彼此間隔的至少兩個(gè)傳感器在至少一個(gè)預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，以提供磁噪聲測(cè)量值；基于磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系，產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)；及響應(yīng)于期望粒子束掃描圖案及磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)而藉由粒子束掃描物體。該非過渡計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)可儲(chǔ)存指令，以執(zhí)行以下步驟中的至少一個(gè)或以下步驟的結(jié)合a.界定或接收實(shí)際掃描圖案，使得期望掃描圖案可在存在磁噪聲的情況下獲得；及藉由沿著實(shí)際掃描圖案引導(dǎo)粒子束掃描物體。b.產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào),該磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)相對(duì)于噪聲信號(hào)實(shí)質(zhì)偏移180度。c.延遲磁噪聲測(cè)量值約180度以提供延遲信號(hào)，并應(yīng)用增益函數(shù)于延遲信號(hào)，以 提供噪聲補(bǔ)償信號(hào)。d.基于磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系計(jì)算磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。e.掃描已知形狀的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償，以獲得實(shí)際圖像；及基于已知形狀與實(shí)際圖像間的差異估計(jì)至少一些磁噪聲值和至少一些粒子束位置誤差值間的關(guān)系。f.沿著圓形掃描圖案掃描包括兩線的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償，以獲得實(shí)際圖像，該兩線彼此垂直。g.藉由包含至少一個(gè)傳感器的第一組傳感器在第一預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲；及藉由包含至少一個(gè)傳感器、且不同于第一組傳感器的第二組傳感器在與第一預(yù)定頻帶不同的第二預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲。h.藉由置于粒子束柱外側(cè)的傳感器感測(cè)磁噪聲。i.藉由至少四個(gè)傳感器感測(cè)磁噪聲，該至少四個(gè)傳感器具有彼此分隔約90度的感測(cè)區(qū)域。j.藉由置于鄰近工具框架不同面的傳感器來(lái)感測(cè)磁噪聲，該工具包括粒子束柱。k.檢測(cè)磁噪聲的主要來(lái)源，并放置傳感器以面對(duì)磁噪聲的主要來(lái)源。I.放置傳感器以面對(duì)磁噪聲的一組鄰近的主要來(lái)源。m.在包括9kHz頻率成分的預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲。η.在預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲,該預(yù)定頻帶包括有50Ηζ、60Ηζ、50Ηζ諧波或60Hz諧波的頻率成分。ο.在預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，該預(yù)定頻帶包括由高架起重運(yùn)輸(OHT)系統(tǒng)所產(chǎn)生的噪聲頻率。


本文特別地指出作為本發(fā)明的標(biāo)的主體，并且本說明書的結(jié)論部分中清晰地請(qǐng)求作為本發(fā)明的標(biāo)的主體。然而，本發(fā)明不管是機(jī)構(gòu)或操作方法，隨其目的、特征及優(yōu)點(diǎn)，可藉由參考以下詳細(xì)說明并配合附圖而獲得最佳理解，其中圖I示出依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的系統(tǒng)及其環(huán)境；圖2示出依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的系統(tǒng)及其環(huán)境；
圖3示出依據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的系統(tǒng)及其環(huán)境；圖4示出依據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施例的系統(tǒng)及其環(huán)境；圖5示出依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的系統(tǒng)的一些單元；圖6不出依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的噪聲補(bǔ)償模塊；圖7示出依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的圖案及掃描圖案；圖8示出依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的之方法；及圖9示出依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的方法的階段。應(yīng)理解，為了說明的簡(jiǎn)易及清晰，圖中所示元件無(wú)需依尺寸而繪制。舉例來(lái)說，一些元件的尺寸為了清晰而相對(duì)于其他元件作放大。此外，考量到合適性，元件符號(hào)可于圖中 重復(fù)使用作為指明相同或類似的元件。
具體實(shí)施例方式在以下的詳細(xì)說明中提出各種具體的細(xì)節(jié)，以提供對(duì)本發(fā)明的全盤了解。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解，本發(fā)明可不以這些具體細(xì)節(jié)而實(shí)施。在其他例子中，已知方法、程序及組件未詳細(xì)說明，以避免混淆本發(fā)明。依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，提供一種系統(tǒng)。該系統(tǒng)可包括(i) 一個(gè)或數(shù)個(gè)傳感器，這些傳感器彼此間隔且經(jīng)配置以(在至少一個(gè)預(yù)定頻帶內(nèi))感測(cè)磁噪聲，以提供磁噪聲測(cè)量值；(ii)噪聲補(bǔ)償模塊，該噪聲補(bǔ)償模塊經(jīng)配置以基于磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系，產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)；(iii)帶電粒子束掃描器，該帶電粒子束掃描器經(jīng)配置以響應(yīng)于期望粒子束掃描圖案及磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)而藉由粒子束掃描物體，該帶電粒子束掃描器可具有控制單元、粒子束源、粒子束偏轉(zhuǎn)器、磁鐵及類似物。系統(tǒng)亦可包含成像單元，成像單元可包含成像帶電粒子光學(xué)元件、粒子檢測(cè)器及監(jiān)控器或另一對(duì)帶電粒子束位置敏感的系統(tǒng)。帶電粒子束可以是離子束或電子束。系統(tǒng)可以是(或包含)掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope, SEM)、臨界尺寸掃描電子顯微鏡(critical dimensionscanning electron microscope, CDSEM)、電子束檢查(electron beam inspection, EBI)裝置、穿透式電子顯微鏡(transmitting electron microscope, TEM)、米勒裝置(miller)或以上裝置之組合。系統(tǒng)可藉由使用一個(gè)或多個(gè)帶電粒子束掃描物體。為簡(jiǎn)化說明，假設(shè)系統(tǒng)系使用單一電子束。傳感器可彼此分隔以感測(cè)影響粒子束且從不同方向抵達(dá)的磁場(chǎng)。系統(tǒng)通常鄰近多個(gè)磁噪聲源，這些磁噪聲源相對(duì)于該系統(tǒng)通常位于不同位置及不同方向。舉例來(lái)說，OHT軌道可環(huán)繞于系統(tǒng)的四側(cè)。OHT軌道通常彼此垂此，但并非必要。磁噪聲源的數(shù)量、磁噪聲源相對(duì)于系統(tǒng)的位置、磁噪聲的強(qiáng)度及尤其是磁噪聲對(duì)電子束位置的影響難以事先預(yù)測(cè)，且需要在校正期間被感測(cè)及評(píng)估。為了能夠補(bǔ)償磁噪聲，系統(tǒng)應(yīng)包含數(shù)個(gè)不少于噪聲源數(shù)量的傳感器。傳感器應(yīng)被放置使得每一噪聲源可藉由至少一個(gè)傳感器感測(cè)。依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，在所有傳感器中產(chǎn)生相同響應(yīng)的一組噪聲源可被視為單一噪聲源。典型地，這組噪聲源較接近彼此，而非較接近系統(tǒng)。因此，彼此實(shí)質(zhì)平行且接近彼此(或至少彼此間的距離較至系統(tǒng)的距離接近)的一組OHT軌道可被視為單一噪聲源。同樣的方式亦適用于接近彼此且可發(fā)射于50Hz (或60Hz)范圍的磁場(chǎng)和/或此頻率諧波的電力供應(yīng)源。為簡(jiǎn)化說明，以下說明將討論50Hz，但亦適用于50Hz諧波(或60Hz或60Hz諧波)。傳感器的位置與數(shù)量可事先決定(舉例來(lái)說，藉由考慮最多傳感器需求方案或較少需求方案)。通常在傳感器數(shù)量上存在有硬件和/或成本限制，而在一些實(shí)施例中，系統(tǒng)總是可配置最大數(shù)量的傳感器。依據(jù)本發(fā)明其他實(shí)施例，傳感器的數(shù)量及位置可依據(jù)系統(tǒng)預(yù)期被放置的環(huán)境而調(diào)整。依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，可提供多余的傳感器且僅那些面對(duì)重要磁噪聲源(如OHT軌道)的傳感器可在噪聲補(bǔ)償過程中讀取。替代地，所有的傳感器皆可被讀取。所有間隔開的傳感器間的距離可相同但一對(duì)傳感器間的距離與另一對(duì)亦可不同。傳感器可放置以面對(duì)不同方向。這些面向間的角度可彼此相同但一對(duì)面向的角度可與另一對(duì)不同。舉例來(lái)說，M個(gè)傳感器可經(jīng)放置使得每對(duì)鄰近傳感器的面向間的角度約為360/M度。但在另一例子中，至少一對(duì)傳感器間的面向角度可不同于至少一對(duì)其他傳感器間的面向角度。 傳感器的平均分布例子示出于圖1-3。四個(gè)用以感測(cè)OHT軌道磁噪聲的傳感器11-14(M等于4)面對(duì)O度、90度、180度及270度的方向。應(yīng)注意，四個(gè)傳感器11_14可放置成面對(duì)其他方向-即使一些方向并未彼此垂直。更應(yīng)注意，可有超過四個(gè)傳感器，超過兩個(gè)傳感器或甚至超過三個(gè)傳感器。具有三個(gè)OHT軌道磁噪聲傳感器的結(jié)構(gòu)示出于圖4。依據(jù)本發(fā)明各種實(shí)施例，不同的傳感器可分配以在不同頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲。因此，傳感器可經(jīng)配置以在單一頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲或可在不止一個(gè)單一頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲。應(yīng)注意，傳感器可經(jīng)調(diào)整以在單一頻帶內(nèi)感測(cè)磁信號(hào)，可接著藉由濾波器在一或多個(gè)頻帶中濾波磁信號(hào)或類似物。此濾波器可以是傳感器的整合部分或是獨(dú)立實(shí)體。因此，若(i)傳感器可經(jīng)配置以在一頻帶內(nèi)感測(cè)磁信號(hào)，(ii)傳感器可經(jīng)配置以在一范圍內(nèi)感測(cè)磁信號(hào)，該范圍包含該頻帶但較該頻帶廣，但傳感器連接濾波器且額外地或替代地，濾波器的結(jié)構(gòu)和/或操作原則實(shí)質(zhì)忽視(或減弱)相對(duì)于頻帶外的頻率的信息時(shí)，傳感器可被視為經(jīng)配置以在該頻帶中感測(cè)磁信號(hào)?？商峁┒鄠€(gè)傳感器陣列(組)-一傳感器陣列(組)于每一頻帶包含一個(gè)或多個(gè)傳感器。陣列(組)可在傳感器的數(shù)量、傳感器的位置及其他傳感器特性(如，靈敏度、動(dòng)態(tài)范圍、感測(cè)區(qū)域及類似物)上彼此不同。在圖1-3所提出的例子中，具有用以感測(cè)OHT軌道磁噪聲的四個(gè)傳感器11-14和用以感測(cè)50Hz (或60Hz)噪聲的單一傳感器15。依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，帶電粒子束在腔室4內(nèi)傳播，且額外地或替代地在柱5內(nèi)傳播。傳感器可位于腔室4或柱5外側(cè)，但并非必要。舉例來(lái)說，一個(gè)或多個(gè)傳感器可放置于腔室或柱內(nèi)側(cè)。盡管一般來(lái)說，所有的傳感器位于柱5及腔室4的外側(cè)-亦為了清潔或尺寸限制或兩者的緣故。圖I不出傳感器11-15設(shè)置于柱5外側(cè)及腔室4外側(cè)。傳感器11_14外的每一傳感器位于鄰近系統(tǒng)2的第一框架3的各個(gè)不同面。OHT軌道10 (I)-IO (5)可被視為磁噪聲的主要來(lái)源，且傳感器11-14被放置以面對(duì)磁噪聲的這些主要來(lái)源中的每一個(gè)。由單一磁噪聲源產(chǎn)生的磁噪聲可藉由不止單個(gè)傳感器而感測(cè)。傳感器可感測(cè)由面對(duì)傳感器的OHT軌道所產(chǎn)生的磁噪聲，及由相對(duì)于該傳感器朝向不同方向的一個(gè)或多個(gè)OHT軌道所產(chǎn)生的磁噪聲。參考圖I中所提出的例子，傳感器11面對(duì)OHT軌道10(1)且可感測(cè)由OHT軌道10(1)所產(chǎn)生的磁噪聲及由垂直于OHT軌道10(1)的OHT軌道10 (2)、10 (4)及10(5)所產(chǎn)生的磁噪聲。傳感器11還可感測(cè)由平行于OHT軌道10 (I)、但位于系統(tǒng)2另一側(cè)的OHT軌道10(3)所產(chǎn)生的磁噪聲。后者可因屏蔽效應(yīng)而忽略但亦可列入考量。參考圖1-4中所提出的例子，提供系統(tǒng)2。系統(tǒng)2可包含傳感器11-15、腔室4、柱5、控制器34、粒子束掃描器20、底盤6、補(bǔ)償函數(shù)計(jì)算器30及噪聲補(bǔ)償模塊22。待檢查或待操作的物體(未示出)可放置于底盤6上，且可藉由機(jī)械臺(tái)或類似物 而移動(dòng)。傳感器11-14可經(jīng)配置以感測(cè)OHT軌道磁噪聲，而傳感器15可經(jīng)配置以感測(cè)由電源供應(yīng)系統(tǒng)所產(chǎn)生的磁噪聲。噪聲補(bǔ)償模塊22可經(jīng)配置以基于磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系，而產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。這些關(guān)系可經(jīng)由系統(tǒng)2在獲得多個(gè)磁噪聲測(cè)量值及多個(gè)粒子束位置誤差值的校正期間估計(jì)。噪聲補(bǔ)償模塊22可經(jīng)配置以基于所獲得的信息計(jì)算這些關(guān)系。依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，不同的OHT軌道以不同的頻率運(yùn)作(甚至非常輕微的不同-例如，相差一 Hz的小數(shù)部分、較少或較多Hz)且因此磁噪聲彼此互相干擾而提供差頻或其他干擾圖案。磁噪聲可于一個(gè)或多個(gè)差頻循環(huán)期間，在多個(gè)測(cè)量值迭代期間而獲得。差頻的頻率可與不同OHT軌道間的頻率差異成反比。噪聲補(bǔ)償模塊22可提供噪聲補(bǔ)償信號(hào)至粒子束掃描器20，粒子束掃描器20可經(jīng)配置以響應(yīng)于期望粒子束掃描圖案(如，光柵掃描圖案、螺旋掃描圖案或任何其他掃描圖案)及磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)而藉由粒子束掃描物體。磁噪聲補(bǔ)償模塊22或甚至粒子束掃描器20可界定或接收實(shí)際掃描圖案，使得期望掃描圖案在存在磁噪聲的情況下獲得。換句話說，實(shí)際掃描圖案可從期望掃描圖案中偏離，當(dāng)考慮到此時(shí)，此偏離將可藉由磁噪聲而抵銷(完全地、實(shí)質(zhì)地或部分地)。噪聲補(bǔ)償信號(hào)可延遲而與由磁噪聲所產(chǎn)生的誤差信號(hào)反相(實(shí)質(zhì)偏移180度)，并放大或減弱以抵消(或至少大部分地減少)因磁噪聲所產(chǎn)生的粒子束位置誤差。應(yīng)注意，圖1-2和4不出噪聲補(bǔ)償模塊22位于鄰近系統(tǒng)2第一框架3處,不過圖3示出噪聲補(bǔ)償模塊22包含于第一框架3中(或至少部分地由第一框架3所環(huán)繞)。補(bǔ)償函數(shù)計(jì)算器30可計(jì)算將用以補(bǔ)償磁噪聲的補(bǔ)償函數(shù)，且此補(bǔ)償函數(shù)可考慮到磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系。補(bǔ)償函數(shù)計(jì)算器30可在粒子束掃描器20的運(yùn)作期間，應(yīng)用補(bǔ)償函數(shù)于已測(cè)量的磁噪聲。補(bǔ)償函數(shù)可用矩陣表示，但其他表示方式亦可計(jì)算。補(bǔ)償函數(shù)可以是表示磁噪聲和粒子束位置誤差間的關(guān)系的偏移函數(shù)的反函數(shù)。在校正期間，補(bǔ)償函數(shù)計(jì)算器30可從傳感器11-15接收磁噪聲測(cè)量值信號(hào)或從噪聲補(bǔ)償模塊22接收至少部分已處理的信號(hào)。補(bǔ)償函數(shù)計(jì)算器30可接收粒子束位置誤差或基于在校正期間所獲得的圖像計(jì)算粒子束位置誤差。簡(jiǎn)言之，補(bǔ)償函數(shù)將由不同磁噪聲源所產(chǎn)生的磁噪聲的相位及振幅列入考量。特別需考量磁噪聲值(由傳感器所感測(cè))及粒子束位置誤差值間的關(guān)系。舉例來(lái)說，補(bǔ)償函數(shù)可考量沿兩軸(如正交的、平的X軸與Y軸)由每一噪聲源所產(chǎn)生的相位誤差，及沿此兩軸考量所產(chǎn)生的振幅誤差。在校正期間，一個(gè)或多個(gè)噪聲源的強(qiáng)度可被操縱(例如，藉由增加或減少流經(jīng)OHT軌道的電流)。期望單獨(dú)地改變每一噪聲源的特性。額外地或替代地，噪聲源的時(shí)間值隨時(shí)間改變且夠長(zhǎng)的校正期間將提供足夠的信息，每一噪聲源對(duì)每一傳感器的影響可根據(jù)該信息而評(píng)估。傳感器可輸出正比于傳感器所感測(cè)的磁噪聲的電流。由不同傳感器所產(chǎn)生的電流值及電流值所導(dǎo)致的粒子束位置誤差，可被提供至決定補(bǔ)償函數(shù)的相關(guān)器。典型地，補(bǔ)償函數(shù)在大量的磁噪聲測(cè)量值后計(jì)算。磁噪聲測(cè)量值的數(shù)量通常超過最小需求值，該最小需求值等于傳感器的數(shù)量乘以磁噪聲源的數(shù)量(該磁噪聲源的數(shù)量是乘以振幅和相位后可影響每一傳感器的磁噪聲源的數(shù)量)。
補(bǔ)償函數(shù)可被計(jì)算一次或多次(在校正期間)。補(bǔ)償函數(shù)可在當(dāng)系統(tǒng)安裝于制造設(shè)備中時(shí)、當(dāng)系統(tǒng)環(huán)境改變時(shí)(如，增加或移除OHT軌道時(shí))、當(dāng)圖像品質(zhì)減少至低于可容忍水準(zhǔn)時(shí)、當(dāng)粒子束位置誤差超過可容忍界限時(shí)，響應(yīng)于任何事件，以周期方式、以偽隨機(jī)方式、以隨機(jī)方式及類似方式而計(jì)算。粒子束位置誤差可藉由掃描已知圖案并將所獲得的圖像與已知圖案比較而評(píng)估或測(cè)量。應(yīng)注意，其他評(píng)估方式亦可應(yīng)用作為比較于不同時(shí)間所獲得的相同圖案的圖像。依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，X軸粒子束位置誤差可藉由掃描平行于想象Y軸的一邊緣或一線而評(píng)估，而Y軸粒子束位置誤差可藉由掃描平行于想象X軸的一邊緣或一線而評(píng)估(此X軸與Y軸彼此正交)。依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例，X軸及Y軸邊緣兩者可于相同掃描處理周期掃描，舉例來(lái)說，藉由應(yīng)用任何種類、不同于純X軸掃描或純Y軸掃描的橢圓形掃描圖案而掃描。圓形掃描圖案示出于圖7中。橢圓形掃描圖案可以是線性、圓形或全橢圓形。應(yīng)注意，可在校正期間掃描多種圖案。圖7示出具有兩水平面132和134及兩垂直面131和133的矩形130。圓形掃描圖案140在點(diǎn)142處越過水平面132且在點(diǎn)141處越過垂直面131。無(wú)磁噪聲的話，點(diǎn)141和142的位置應(yīng)于每一掃描處理周期期間相同，且這些位置應(yīng)符合矩形130的已知位置。X軸噪聲和Y軸噪聲可于所獲得的圖像中改變點(diǎn)141和142的位置。此磁噪聲亦可改變邊緣檢測(cè)的時(shí)機(jī)(以點(diǎn)141和142表示)。在操作期間(例如，在不同于校正周期的測(cè)量周期或研磨周期)，粒子束掃描器20可經(jīng)配置以藉由沿著實(shí)際掃描圖案引導(dǎo)粒子束掃描物體。粒子束掃描器20可多次掃描粒子束，使用相同的期望掃描圖案或不同的期望掃描圖案。在每一掃描迭代中，實(shí)際掃描圖案可不同于期望掃描圖案，以完成(在物體的表面上)期望掃描圖案。舉例來(lái)說，若磁場(chǎng)改變粒子束以形成正弦粒子束誤差，則實(shí)際掃描圖案可包含相反的、可抵消非期望改變的正弦圖案。由傳感器11-15所獲得的磁噪聲測(cè)量值可經(jīng)由應(yīng)用不同的操作而處理，如(但不限于)濾波、模數(shù)轉(zhuǎn)換、帶通濾波(包含低通濾波和/或高通濾波)、去除法、近似法及類似方式。圖6不出依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的噪聲補(bǔ)償模塊22。噪聲補(bǔ)償模塊22包含模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC) 50-54、帶通濾波器60-64、儲(chǔ)存單元70和71、延遲單元80-89、匹配濾波器90、線性轉(zhuǎn)換矩陣單元102及前端單元112和114。ADC 50-54將來(lái)自傳感器11_15的模擬磁噪聲測(cè)量值轉(zhuǎn)換至數(shù)字磁噪聲測(cè)量值。由ADC 50-53所產(chǎn)生的數(shù)字磁噪聲測(cè)量值經(jīng)過9kHz帶通濾波器60-63，同時(shí)由ADC 54所產(chǎn)生的數(shù)字磁噪聲測(cè)量值經(jīng)過50Hz帶通濾波器64以提供帶通濾波的磁噪聲測(cè)量值。這些帶通濾波器的每一個(gè)可通過集中于9kHz或50Hz的窄頻帶,但亦非絕對(duì)。舉例來(lái)說,9kHz的帶通濾波器可通過在8和IOkHz范圍間的頻帶內(nèi)的頻率成分。由9kHz帶通濾波器60-63所產(chǎn)生的帶通濾波的磁噪聲測(cè)量值可儲(chǔ)存于儲(chǔ)存單元70，同時(shí)由50Hz帶通濾波器64所產(chǎn)生的帶通濾波的磁噪聲測(cè)量值可儲(chǔ)存于儲(chǔ)存單元71。單一帶通濾波器可由單一傳感器接收噪聲測(cè)量值。由單一帶通濾波器所產(chǎn)生的帶通濾波的磁噪聲測(cè)量值可被檢索并提供至兩延遲單元。提供一個(gè)延遲單元以補(bǔ)償由面對(duì)單一傳感器的磁噪聲源所貢獻(xiàn)的磁噪聲，同時(shí)提 供另一個(gè)延遲單元以補(bǔ)償由非面對(duì)該單一傳感器、且可與該單一傳感器垂直(或相反方向)的磁噪聲源所貢獻(xiàn)的磁噪聲。假設(shè)傳感器11感測(cè)由X軸(與OHT軌道10 (I)同向)及由Y軸(與OHT軌道10(2),10(4)和10(5)同向)所產(chǎn)生的磁噪聲，則一個(gè)延遲單元80可分配以補(bǔ)償由X軸(與OHT軌道10(1)同向)所產(chǎn)生的磁噪聲，而另一延遲單元81則可分配以補(bǔ)償由Y軸(與OHT軌道10(2),10(4)和10(5)同向)所產(chǎn)生的磁噪聲。因此，一對(duì)延遲單元80-89被分配以延遲由傳感器11-15所產(chǎn)生的帶通濾波的磁噪聲測(cè)量值-每一傳感器分配一對(duì)延遲單元。延遲單元的輸出參考作為延遲的磁噪聲測(cè)量值。由每一延遲單元所采用的延遲周期在每一校正期間計(jì)算。應(yīng)注意，在校正周期期間，延遲單元可設(shè)定以提供零延遲或當(dāng)計(jì)算補(bǔ)償函數(shù)時(shí)將會(huì)列入考量的任何已知的延遲周期。匹配過濾器90可從零個(gè)延遲單元或所有延遲單元接收延遲的磁噪聲測(cè)量值。例如，圖6示出匹配過濾器90從延遲單元80-87接收延遲的磁噪聲測(cè)量值。匹配過濾器可應(yīng)用一濾波過程，該濾波過程將補(bǔ)償因由ADC50-54提供的模擬噪聲測(cè)量值信號(hào)的取樣率而導(dǎo)致的測(cè)量值誤差。匹配過濾器90及未饋送至匹配過濾器90的任何延遲單元(88和89)的輸出被提供至應(yīng)用補(bǔ)償函數(shù)以提供輸出信號(hào)的線性轉(zhuǎn)換矩陣單元102。這些輸出信號(hào)被提供至前端單元112和114，該前端單元112和114提供控制信號(hào)至粒子束掃描器20以消除或大量減少粒子束位置誤差?？刂菩盘?hào)可以是模擬信號(hào)且前端單元可包含數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC)。每一前端單元可包含放大輸出信號(hào)(或模擬轉(zhuǎn)換輸出信號(hào))的放大器以提供控制信號(hào)。從前端單元112和114輸出的控制信號(hào)可視為磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。從前端單元112和114輸出的磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)的數(shù)量可依所控制的粒子束掃描器20的方式而定。例如，若粒子束掃描器20藉由X軸控制信號(hào)及Y軸控制信號(hào)而饋送，則前端單元112和114將輸出X軸控制信號(hào)和Y軸控制信號(hào)。如圖5中所示，粒子束掃描器20可從控制器34接收期望掃描圖案控制信號(hào)，且亦接收由磁噪聲補(bǔ)償模塊22所輸出的磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)并作為響應(yīng)，沿著對(duì)這些所有信號(hào)產(chǎn)生響應(yīng)的實(shí)際掃描圖案而掃描粒子束。粒子束掃描器20可增加不同的控制信號(hào)或應(yīng)用其他的數(shù)學(xué)函數(shù)于這些信號(hào)上，但并非必要。依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，傳感器11-15具有0_20kHz的頻寬，且每一傳感器可用于9kHz及50Hz噪聲補(bǔ)償。系統(tǒng)2可執(zhí)行用于傳感器11-14的X軸和Y軸噪聲補(bǔ)償，及用于傳感器15的X軸、Y軸和Z軸(Z軸系與X和Y軸兩者正交)噪聲補(bǔ)償。噪聲測(cè)量值信號(hào)的取樣率可為約1MHz。對(duì)于50Hz信號(hào)記錄來(lái)說，需要執(zhí)行去除法以包含足夠數(shù)量的循環(huán)。對(duì)于9kHz信號(hào)記錄來(lái)說，取樣率將與輸入取樣率相似。圖7示出依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的圖案130和掃描圖案140。圖案130為矩形且包含上水平面132、下水平面134、右垂直面133和左垂直面131。掃描圖案140被示為在第一交叉點(diǎn)142與上水平面132交叉，且在第二交叉點(diǎn)141與左垂直面交叉的理想圓形掃描圖案。在無(wú)磁噪聲出現(xiàn)時(shí)，掃描圖案的重復(fù)會(huì)導(dǎo)致相同的結(jié) 果，且圖像可包含代表第一和第二交叉點(diǎn)的小線。當(dāng)出現(xiàn)磁噪聲并影響掃描圖案時(shí)，會(huì)沿著X軸、Y軸或沿著兩者產(chǎn)生偏離于交叉點(diǎn)中。這些偏離將導(dǎo)致圖像中的交叉點(diǎn)位置從第一和第二(無(wú)噪聲)交叉點(diǎn)偏離。應(yīng)注意，可應(yīng)用其他的圖案和其他的掃描圖案。圖8示出依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的方法800，該方法800用于粒子束的噪聲補(bǔ)償。依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，方法800可包含接收代表介于磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系的補(bǔ)償函數(shù)。依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例，方法800包含計(jì)算代表介于磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系的補(bǔ)償函數(shù)。方法800系示出有包含一初始階段810。階段810可包含接收補(bǔ)償函數(shù)、計(jì)算補(bǔ)償函數(shù)及類似步驟的校正步驟811。階段810可包含定位傳感器及類似步驟。舉例來(lái)說，階段810可包含步驟812及步驟814，該步驟812為掃描已知形狀的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償(或應(yīng)用已知的噪聲補(bǔ)償)，以獲得一實(shí)際圖像；該步驟814為基于已知形狀與實(shí)際圖像間的差異而估計(jì)至少一些磁噪聲值和至少一些粒子束位置誤差值間的關(guān)系。步驟812可包含沿著圓形掃描圖案掃描包括兩線的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償，以獲得實(shí)際圖像，該兩線彼此垂直。階段810可包含決定傳感器的位置的步驟816。步驟816可包含檢測(cè)磁噪聲的主要來(lái)源，并放置傳感器以面對(duì)磁噪聲的主要來(lái)源。簡(jiǎn)言之，階段810可包含藉由改變一個(gè)或多個(gè)磁噪聲源的強(qiáng)度而計(jì)算補(bǔ)償函數(shù)。額外地或替代地，夠長(zhǎng)的校正周期(足夠的樣本)可提供樣本的所需數(shù)量。階段810接下來(lái)為步驟820，該步驟820為藉由至少兩個(gè)傳感器而在至少一個(gè)預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，以提供磁噪聲測(cè)量值，該至少兩個(gè)傳感器彼此間隔。步驟820可包含以下步驟中的至少一個(gè)(a)藉由可包含至少一個(gè)傳感器的第一組傳感器而在第一預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲；(b)藉由可包含至少一個(gè)傳感器、且不同于第一組傳感器的第二組傳感器而在與第一預(yù)定頻帶不同的第二預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲；(C)藉由置于粒子束柱外側(cè)的傳感器而感測(cè)磁噪聲；(d)藉由至少四個(gè)傳感器感測(cè)磁噪聲，該至少四個(gè)傳感器具有彼此分隔約90度的感測(cè)區(qū)域；(e)藉由置于鄰近工具框架不同面的傳感器感測(cè)磁噪聲，該工具可包括粒子束柱；(f)檢測(cè)磁噪聲的主要來(lái)源，并放置傳感器以面對(duì)磁噪聲的主要來(lái)源；(g)在可包括9kHz頻率成分的預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲；(h)在可包括50Hz頻率成分的預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲；(i)在預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，該預(yù)定頻帶可包括噪聲頻率，這些噪聲頻率由高架起重運(yùn)輸(OHT)系統(tǒng)所產(chǎn)生。步驟820接下來(lái)為步驟830，該步驟830為基于磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系，產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。步驟830可包含一個(gè)或多個(gè)處理操作，如濾波、延遲、放大、矩陣計(jì)算及類似操作。舉例來(lái)說，步驟830可包含數(shù)模轉(zhuǎn)換、帶通濾波、儲(chǔ)存、檢索、匹配濾波、線性矩陣轉(zhuǎn)換、延遲、放大及類似手段。舉例來(lái)說，步驟830可包含至少一些以下步驟，這些步驟皆示出于圖9中步驟831 :將從傳感器輸出的模擬磁噪聲測(cè)量值轉(zhuǎn)換至數(shù)字磁噪聲測(cè)量值。步驟832 :經(jīng)由帶通濾波器(用以過濾預(yù)定頻帶)，如零或超過9kHz的帶通濾波器及零或超過50Hz的帶通濾波器過濾數(shù)字磁噪聲測(cè)量值以提供帶通濾波的磁噪聲測(cè)量值。
步驟833 :儲(chǔ)存帶通濾波的磁噪聲測(cè)量值。步驟834 :檢索帶通濾波的磁噪聲測(cè)量值。步驟835 :延遲帶通濾波的磁噪聲測(cè)量值以提供延遲噪聲測(cè)量值，其中來(lái)自單一傳感器的帶通濾波的磁噪聲測(cè)量值可藉由零或較多延遲的噪聲測(cè)量值而延遲。步驟836 :匹配濾波零或較多帶通濾波的磁噪聲測(cè)量值并匹配濾波零或較多延遲的噪聲測(cè)量值。步驟837 :應(yīng)用補(bǔ)償函數(shù)以提供輸出信號(hào)。步驟838 :轉(zhuǎn)換輸出信號(hào)成用以控制粒子束掃描器的控制信號(hào)，轉(zhuǎn)換過程可包含放大、數(shù)模轉(zhuǎn)換及類似過程?？刂菩盘?hào)可被視為磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。步驟835可包含產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào),磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)系相對(duì)于磁噪聲實(shí)際偏移180 度?；氐綀D8，步驟830接下來(lái)可為階段840，該階段840為響應(yīng)于期望粒子束掃描圖案及磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)而藉由粒子束掃描物體。階段840可包含以下步驟的至少之一步驟841 :界定或接收實(shí)際掃描圖案，使得期望粒子束掃描圖案在存在磁噪聲的情況下獲得。步驟842 :藉由沿著實(shí)際掃描圖案引導(dǎo)粒子束掃描物體。方法800亦可包含控制階段890，該控制階段890為決定何時(shí)重復(fù)校正階段并在重新計(jì)算補(bǔ)償函數(shù)。方法800藉由可執(zhí)行儲(chǔ)存于非過渡性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)(如，碟片、磁碟、磁帶、儲(chǔ)存單元、集成電路及類似物)中的指令(代碼)的處理器而執(zhí)行。非過渡計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)儲(chǔ)存指令，以執(zhí)行以下步驟藉由至少兩個(gè)傳感器而在至少一個(gè)預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，以提供磁噪聲測(cè)量值，該至少兩個(gè)傳感器彼此間隔；基于磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系，產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)；及響應(yīng)于期望粒子束掃描圖案及磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)而藉由粒子束掃描物體。盡管本發(fā)明的一些特征已在此說明及描述，許多的修改、取代、變換及均等對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將可產(chǎn)生。因此，應(yīng)理解，所述權(quán)利要求旨在涵蓋所有這些如落入本發(fā)明的真正精神內(nèi)的修改及變化。
權(quán)利要求
1.一種用于粒子束的噪聲補(bǔ)償方法，該方法包括以下步驟 藉由至少兩個(gè)傳感器在至少一個(gè)預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，以提供磁噪聲測(cè)量值，所述至少兩個(gè)傳感器彼此間隔； 基于所述磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系，產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)；及 響應(yīng)于期望粒子束掃描圖案及所述磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)，藉由所述粒子束掃描物體。
2.如權(quán)利要求I所述的方法，還包括以下步驟 界定或接收實(shí)際掃描圖案，使得所述期望粒子束掃描圖案在存在所述磁噪聲的情況下獲得；及 藉由沿著所述實(shí)際掃描圖案引導(dǎo)所述粒子束掃描所述物體。
3.如權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，所述磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)被產(chǎn)生使得相對(duì)于所述磁噪聲實(shí)際偏移180度。
4.如權(quán)利要求2所述的方法，還包括以下步驟 延遲磁噪聲測(cè)量值約180度以提供延遲信號(hào)，并應(yīng)用增益函數(shù)于所述延遲信號(hào)，以提供所述磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。
5.如權(quán)利要求I所述的方法，還包括以下步驟 在產(chǎn)生所述磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)之前，基于所述磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系來(lái)計(jì)算所述磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。
6.如權(quán)利要求I所述的方法，還包括以下步驟 掃描已知形狀的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償，以獲得實(shí)際圖像 '及 基于所述已知形狀與所述實(shí)際圖像間的差異估計(jì)至少一些所述磁噪聲值和至少一些所述粒子束位置誤差值間的關(guān)系。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，還包括以下步驟 沿著圓形掃描圖案掃描包括兩線的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償，以獲得所述實(shí)際圖像，其中所述兩線彼此垂直。
8.如權(quán)利要求I所述的方法，還包括以下步驟 藉由包含至少一個(gè)傳感器的第一組傳感器在第一預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)所述磁噪聲；及 藉由包含至少一個(gè)傳感器、且不同于所述第一組傳感器的第二組傳感器在與所述第一預(yù)定頻帶不同的第二預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)所述磁噪聲。
9.一種系統(tǒng),該系統(tǒng)包括 至少兩個(gè)傳感器，所述至少兩個(gè)傳感器彼此間隔且經(jīng)配置以在至少一個(gè)預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，以提供磁噪聲測(cè)量值； 噪聲補(bǔ)償模塊，所述噪聲補(bǔ)償模塊經(jīng)配置以基于所述磁噪聲測(cè)量值及所述磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系，產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào) '及 粒子束掃描器，所述粒子束掃描器經(jīng)配置以響應(yīng)于期望粒子束掃描圖案及所述磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)用粒子束掃描物體。
10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述粒子束掃描器經(jīng)配置以接收實(shí)際掃描圖案，使得所述期望粒子束掃描圖案在存在所述磁噪聲的情況下獲得；及 藉由沿著所述實(shí)際掃描圖案引導(dǎo)該粒子束掃描所述物體。
11.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述噪聲補(bǔ)償模塊經(jīng)配置以產(chǎn)生所述磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)，所述磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)相對(duì)于所述磁噪聲實(shí)質(zhì)偏移180度。
12.如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述噪聲補(bǔ)償模塊經(jīng)配置以延遲磁噪聲測(cè)量值約180度以提供延遲信號(hào)，并應(yīng)用增益函數(shù)于所述延遲信號(hào)以提供所述磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。
13.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述噪聲補(bǔ)償模塊經(jīng)配置以在產(chǎn)生所述磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)之前，基于所述磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系來(lái)計(jì)算磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。
14.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述粒子束掃描器經(jīng)配置以掃描已知形狀的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償，以獲得實(shí)際圖像；且其中所述噪聲補(bǔ)償模塊經(jīng)配置以基于所述已知形狀與所述實(shí)際圖像間的差異來(lái)估計(jì)至少一些所述磁噪聲值和至少一些粒子束位置誤差值間的關(guān)系。
15.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述粒子束掃描器經(jīng)配置以沿著圓形掃描圖案掃描包括兩線的圖案且不應(yīng)用噪聲補(bǔ)償，以獲得實(shí)際圖像，所述兩線彼此垂直。
16.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括第一組傳感器，所述第一組傳感器經(jīng)配置以在第一預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)所述磁噪聲；及第二組傳感器，所述第二組傳感器經(jīng)配置以在與所述第一預(yù)定頻帶不同的第二預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)所述磁噪聲。
17.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括至少四個(gè)傳感器，所述至少四個(gè)傳感器具有彼此分隔約90度的感測(cè)區(qū)域。
18.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，至少一個(gè)傳感器經(jīng)配置以在預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)所述磁噪聲，所述預(yù)定頻帶包括有50Hz、60Hz、50Hz諧波或60Hz諧波的頻率成分。
19.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，至少一個(gè)傳感器經(jīng)構(gòu)成以在預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)所述磁噪聲，所述預(yù)定頻帶包括噪聲頻率，所述噪聲頻率由高架起重運(yùn)輸(OHT)系統(tǒng)所產(chǎn)生。
20.一種非過渡計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述非過渡計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)儲(chǔ)存計(jì)算機(jī)可讀指令，所述計(jì)算機(jī)可讀指令用以執(zhí)行以下步驟 藉由至少兩個(gè)傳感器在至少一個(gè)預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，以提供磁噪聲測(cè)量值，所述至少兩個(gè)傳感器彼此間隔； 基于所述磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系，產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)；及 響應(yīng)于期望粒子束掃描圖案及所述磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)，藉由粒子束掃描物體。
全文摘要
一種用于帶電粒子束位置的噪聲補(bǔ)償?shù)南到y(tǒng)及方法，包含一個(gè)或多個(gè)傳感器，傳感器彼此間隔以在至少一個(gè)預(yù)定頻帶內(nèi)感測(cè)磁噪聲，藉此提供具有同步檢測(cè)帶電粒子束的位置的磁噪聲測(cè)量值。基于磁噪聲測(cè)量值及磁噪聲值和粒子束位置誤差值間的關(guān)系，產(chǎn)生磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)。接著，響應(yīng)于期望粒子束掃描圖案及磁噪聲補(bǔ)償信號(hào)，藉由粒子束掃描物體。
文檔編號(hào)H01L21/67GK102810494SQ201110289040
公開日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2011年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月31日
發(fā)明者K·奇科, A·利特曼, Y·納春 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料以色列公司