專利名稱：一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，屬于近場光學(xué)、電子觸控設(shè)計技術(shù)和激光微加工技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的觸摸屏柔性導(dǎo)電膜的原材為卷狀，但市場上的激光蝕刻設(shè)備需要導(dǎo)電膜裁切成固定尺寸方可加工，此種方式對產(chǎn)線帶來設(shè)備成本的增加和生產(chǎn)步驟的增加，且生產(chǎn)效率較低。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種適應(yīng)生產(chǎn)需求、減少生產(chǎn)工序、增加生產(chǎn)效率、節(jié)約生產(chǎn)成本的脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，所述裝置包含有激光器、光閘、1/2波片、格蘭棱鏡、擴(kuò)束鏡、全反鏡片、振鏡系統(tǒng)和遠(yuǎn)心場鏡，所述激光器發(fā)出的激光依次經(jīng)光閘、1/2波片和格蘭棱鏡后射入擴(kuò)束鏡對光束進(jìn)行同軸擴(kuò)束，經(jīng)擴(kuò)束鏡擴(kuò)束準(zhǔn)直后的激光到達(dá)全反鏡片，經(jīng)全反鏡片反射后的激光射入振鏡系統(tǒng)，射出振鏡系統(tǒng)的激光經(jīng)遠(yuǎn)心場鏡后聚焦到被吸附于真空吸附平臺上作為待加工件的柔性導(dǎo)電膜上；所述柔性導(dǎo)電膜卷繞在卷膜傳輸系統(tǒng)上，所述卷膜傳輸系統(tǒng)包含有左右對稱設(shè)置的放卷輥和收卷輥，柔性導(dǎo)電膜一端卷繞在放卷輥上，另一端卷繞在收卷輥上，位于放卷輥和收卷輥的柔性導(dǎo)電膜展平吸附于真空吸附平臺上，且位于放卷輥和收卷輥的柔性導(dǎo)電膜上壓置有壓緊裝置，并且柔性導(dǎo)電膜的上方設(shè)置有一 CXD對位觀察系統(tǒng)。本實(shí)用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，所述柔性導(dǎo)電膜的上方兩側(cè)分別設(shè)置有集塵系統(tǒng)和吹氣系統(tǒng)。本實(shí)用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，所述激光器為高頻率短脈沖激光器。本實(shí)用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，所述激光器、振鏡系統(tǒng)和卷膜傳輸系統(tǒng)均通過通訊系統(tǒng)與工控機(jī)相連。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型通過運(yùn)用高頻率的短脈沖激光器作為激光源，對不同觸摸屏產(chǎn)品中導(dǎo)電膜進(jìn)行激光蝕刻，使有導(dǎo)電膜在高頻率的短脈沖固體激光器的作用下氣化而達(dá)到蝕除的目的，通過高精度CCD對位一次性完成這些導(dǎo)電薄膜材料的蝕刻，產(chǎn)生的粉塵在經(jīng)過特制的吹氣系統(tǒng)和大流量積塵系統(tǒng)集塵，加工出無污染、線性穩(wěn)定、功能完好的觸摸屏電子產(chǎn)品。配合著自動卷材系統(tǒng)，達(dá)到減少加工工序，快速加工的效果。

圖I為本實(shí)用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。[0011]其中激光器I、光閘2、1/2波片3、格蘭棱鏡4、擴(kuò)束鏡5、全反鏡片6、振鏡系統(tǒng)7、遠(yuǎn)心場鏡8、CXD對位觀察系統(tǒng)9、集塵系統(tǒng)10、吹氣系統(tǒng)11、壓緊裝置12、待加工件13、工控機(jī)14、通訊系統(tǒng)15、卷膜傳輸系統(tǒng)16、真空吸附平臺17。
具體實(shí)施方式
參見圖I，本實(shí)用新型涉及一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，所述裝置包含有激光器I、光閘2、1/2波片3、格蘭棱鏡4、擴(kuò)束鏡5、全反鏡片6、振鏡系統(tǒng)7和遠(yuǎn)心場鏡8，所述激光器I發(fā)出的激光經(jīng)光閘2控制開關(guān)光，具體可以由軟件控制感應(yīng)信號來控制光閘2的開啟和關(guān)閉，從而實(shí)現(xiàn)激光器I的外部控制激光開關(guān)，光閘2控制激光光束后經(jīng)過1/2波片3，調(diào)節(jié)1/2波片配合格蘭棱鏡4可以實(shí)現(xiàn)一定范圍內(nèi)功率可調(diào)，對激光器功率的選擇提供很大的便利；然后通過擴(kuò)束鏡5對光束進(jìn)行同軸擴(kuò)束，一方面改善光束傳播的 發(fā)散角，從而達(dá)到光路準(zhǔn)直的目的；另外一方面，對激光光束同軸擴(kuò)束，使得聚焦后光斑和焦深更小，從而實(shí)現(xiàn)激光穩(wěn)定刻蝕的目的；經(jīng)擴(kuò)束鏡5擴(kuò)束準(zhǔn)直后光束到達(dá)全反鏡片6，使激光全部反射到振鏡系統(tǒng)7配合著遠(yuǎn)心場鏡8可以準(zhǔn)確的控制激光聚焦到作為待加工件13的柔性導(dǎo)電膜上，使其蝕刻效果更佳穩(wěn)定；其中，柔性導(dǎo)電膜卷繞在卷膜傳輸系統(tǒng)16上，所述卷膜傳輸系統(tǒng)16包含有左右對稱設(shè)置的放卷輥和收卷輥，柔性導(dǎo)電膜一端卷繞在放卷輥上，另一端卷繞在收卷輥上，位于放卷輥和收卷輥的柔性導(dǎo)電膜展平吸附于真空吸附平臺17上，且位于放卷輥和收卷輥的柔性導(dǎo)電膜上壓置有壓緊裝置12，使得柔性導(dǎo)電膜展開時其平整度更好；所述激光器I、振鏡系統(tǒng)7和卷膜傳輸系統(tǒng)16均通過通訊系統(tǒng)15與工控機(jī)14相連；同時，所述柔性導(dǎo)電膜的上方設(shè)置有一 CCD對位觀察系統(tǒng)9，所述柔性導(dǎo)電膜的上方兩側(cè)分別設(shè)置有集塵系統(tǒng)10和吹氣系統(tǒng)U。本實(shí)用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置的刻蝕方法，該方法包含有以下步驟步驟一、激光器I發(fā)出的激光經(jīng)1/2波片3和格蘭棱鏡4后，再經(jīng)擴(kuò)束鏡5準(zhǔn)直擴(kuò)束后，再通過振鏡系統(tǒng)7和具有較小焦距的遠(yuǎn)心場鏡8聚焦，使聚焦光斑在5um 20um ；步驟二、將柔性導(dǎo)電膜吸附在真空吸附平臺17上，步驟三、進(jìn)行CXD定位；利用具有CXD自動抓靶功能的CXD對位觀察系統(tǒng)9，只需第一次在軟件中建立模板，將導(dǎo)入的圖形的對位圖層靶標(biāo)位置與平臺坐標(biāo)中樣品靶標(biāo)位置一一設(shè)置對應(yīng)，后續(xù)同一批次產(chǎn)品直接自動抓靶即可完成定位；步驟四激光按照設(shè)計圖形進(jìn)行蝕刻時，同時打開設(shè)置于作為待加工件13的柔性導(dǎo)電膜的上方兩側(cè)的集塵系統(tǒng)10和吹氣系統(tǒng)11，確保蝕刻產(chǎn)生的粉塵全部吸入集塵系統(tǒng)10中；步驟五通過同步電機(jī)驅(qū)動放卷輥和收卷輥進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得經(jīng)過上述步驟加工好的柔性導(dǎo)電膜卷繞到收卷輥上，同時，需要加工的下一段柔性導(dǎo)電膜移動至真空吸附平臺17上，隨后進(jìn)行步驟三和步驟四，直至放卷輥上卷繞的柔性導(dǎo)電膜卷材全部蝕刻完畢。
權(quán)利要求1.一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，其特征在于所述裝置包含有激光器(I)、光閘(2)、1/2波片(3)、格蘭棱鏡(4)、擴(kuò)束鏡(5)、全反鏡片(6)、振鏡系統(tǒng)(7)和遠(yuǎn)心場鏡(8)，所述激光器(I)發(fā)出的激光依次經(jīng)光閘(2)、1/2波片(3)和格蘭棱鏡(4)后射入擴(kuò)束鏡(5)對光束進(jìn)行同軸擴(kuò)束，經(jīng)擴(kuò)束鏡(5)擴(kuò)束準(zhǔn)直后的激光到達(dá)全反鏡片(6)，經(jīng)全反鏡片(6)反射后的激光射入振鏡系統(tǒng)(7),射出振鏡系統(tǒng)(7)的激光經(jīng)遠(yuǎn)心場鏡(8)后聚焦到被吸附于真空吸附平臺(13)上作為待加工件(12)的柔性導(dǎo)電膜上；所述柔性導(dǎo)電膜卷繞在卷膜傳輸系統(tǒng)(16)上，所述卷膜傳輸系統(tǒng)(16)包含有左右對稱設(shè)置的放卷輥和收卷輥，柔性導(dǎo)電膜一端卷繞在放卷輥上，另一端卷繞在收卷輥上，位于放卷輥和收卷輥的柔性導(dǎo)電膜展平吸附于真空吸附平臺(17)上，且位于放卷輥和收卷輥的柔性導(dǎo)電膜上方設(shè)置有一 CXD對位觀察系統(tǒng)(9)。
2.如權(quán)利要求I所述一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，其特征在于所述柔性導(dǎo)電膜的上方兩側(cè)分別設(shè)置有集塵系統(tǒng)(10)和吹氣系統(tǒng)(11)。
3.如權(quán)利要求I所述一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，其特征在于所述激光器(I)為高頻率短脈沖激光器。
4.如權(quán)利要求I或2或3所述一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，其特征在于所述激光器(I)、振鏡系統(tǒng)(7)和卷膜傳輸系統(tǒng)(16)均通過通訊系統(tǒng)(15)與工控機(jī)(14)相連。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，所述激光器(1)發(fā)出的激光依次經(jīng)光閘(2)、1/2波片(3)和格蘭棱鏡(4)后射入擴(kuò)束鏡(5)對光束進(jìn)行同軸擴(kuò)束，經(jīng)擴(kuò)束鏡(5)擴(kuò)束準(zhǔn)直后的激光到達(dá)全反鏡片(6)，經(jīng)全反鏡片(6)反射后的激光射入振鏡系統(tǒng)(7)，射出振鏡系統(tǒng)(7)的激光經(jīng)遠(yuǎn)心場鏡(8)后聚焦到被吸附于真空吸附平臺(13)上作為待加工件(12)的柔性導(dǎo)電膜上。本實(shí)用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，適應(yīng)生產(chǎn)需求、減少生產(chǎn)工序、增加生產(chǎn)效率且節(jié)約生產(chǎn)成本。
文檔編號B23K26/06GK202667918SQ20122026639
公開日2013年1月16日 申請日期2012年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月7日
發(fā)明者趙裕興, 狄建科, 張偉, 益凱劼, 張子國, 蔡仲云, 閆華 申請人:江陰德力激光設(shè)備有限公司