專利名稱：在導(dǎo)線鍵合過(guò)程中用于增強(qiáng)保護(hù)氣體覆蓋的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子元件上電氣連接的形成，特別是涉及在導(dǎo)線鍵合過(guò)程中導(dǎo)線至電子元件的連接。
背景技術(shù)：
導(dǎo)線鍵合被用作為連接不同器件的電氣觸點(diǎn)，或者同一器件的不同電氣觸點(diǎn)。當(dāng)由活性材料如銅或鋁制成的鍵合導(dǎo)線被用作為導(dǎo)線鍵合時(shí)，在加熱的材料和環(huán)境中的氧氣發(fā)生反應(yīng)之際導(dǎo)線存在出現(xiàn)導(dǎo)線氧化的趨勢(shì)。導(dǎo)線的氧化使得后續(xù)所形成的導(dǎo)線鍵合的質(zhì)量變壞。因此，有必要提供一種包括相對(duì)惰性氣體如氮?dú)?、氫氣或氬氣的保護(hù)氣體，以在導(dǎo)線球形鍵合工序的焊球形成過(guò)程中覆蓋和保護(hù)導(dǎo)線。在鍵合過(guò)程中通過(guò)提供保護(hù)導(dǎo)線的氮?dú)夂?或氫氣，關(guān)于更好地保護(hù)銅線的持續(xù)著重點(diǎn)在于驅(qū)動(dòng)保證在導(dǎo)線點(diǎn)火區(qū)域以內(nèi)獲得氣體的系統(tǒng)的發(fā)展，在該區(qū)域中熔融的焊球從導(dǎo)線處得以形成，以進(jìn)行銅焊球的鍵合。將惰性氣體提供給鍵合導(dǎo)線時(shí)用于容置保護(hù)氣體的一種裝置公開在專利號(hào)為 6，234，376、發(fā)明名稱為“用于導(dǎo)線球形鍵合的遮蓋氣體的供應(yīng)”的美國(guó)專利中。該裝置包含有氣體容置導(dǎo)管，以將保護(hù)氣體引導(dǎo)至鍵合導(dǎo)線。橫截的串聯(lián)口形成于該導(dǎo)管中以使得鍵合工具的毛細(xì)尖管能夠進(jìn)入該氣體容置導(dǎo)管中進(jìn)行焊球形成，然后穿過(guò)該導(dǎo)管而將焊球鍵合在鍵合表面上。另一個(gè)用于容置保護(hù)氣體的現(xiàn)有裝置公開在專利號(hào)為7，628，307、發(fā)明名稱為“用于在導(dǎo)線鍵合期間傳送保護(hù)氣體的裝置”的美國(guó)專利中。在將導(dǎo)線鍵合至電子元件期間，保護(hù)氣體通過(guò)使用一種裝置被供應(yīng)，該裝置包含有帶有延展槽孔的主體，該延展槽孔具有通常在第一方向從主體的一側(cè)延展進(jìn)入主體之中的寬度，該延展槽孔在第二方向上還從主體的上表面延伸至下表面，該第二方向垂直于延展槽孔寬度所在的第一方向。當(dāng)氣體出口供應(yīng)保護(hù)氣體進(jìn)入延展槽孔的同時(shí)，毛細(xì)尖管的端部可用于在第二方向上穿越延展槽孔。將保護(hù)氣體傳送至毛細(xì)尖管的傳統(tǒng)方法的缺點(diǎn)是現(xiàn)有系統(tǒng)著重于主要阻止導(dǎo)線在導(dǎo)線點(diǎn)火以形成熔融焊球的過(guò)程中出現(xiàn)自然氧化。在導(dǎo)管或裝置的開口處由于氣體損耗，以致于在這些開口的外側(cè)氧化保護(hù)是不可能的。因此，它們沒(méi)有有效地提供氣體的覆蓋，以防止在執(zhí)行導(dǎo)線鍵合時(shí)或者將毛細(xì)尖管側(cè)向移動(dòng)至不同的位置時(shí)氧化，除非毛細(xì)尖管在這種移動(dòng)中總是位于氣體容置導(dǎo)管以內(nèi)。這樣限制了這種系統(tǒng)的靈活性。因此，開發(fā)一種用于供應(yīng)保護(hù)氣體至鍵合導(dǎo)線的裝置是令人期望的，該裝置保證導(dǎo)線不僅在點(diǎn)火區(qū)域之內(nèi)，而且沿著毛細(xì)尖管朝向鍵合盤的移動(dòng)路徑上被保護(hù)氣體所保護(hù)，因此在熔融焊球鍵合以前和鍵合過(guò)程中保證熔融焊球的質(zhì)量得以實(shí)現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供增強(qiáng)后的氣體覆蓋至鍵合導(dǎo)線，以便于不僅在點(diǎn)火期間， 而且在毛細(xì)尖管移動(dòng)過(guò)程中尤其是在鍵合過(guò)程中防止導(dǎo)線氧化。
因此，本發(fā)明提供一種用于在電子器件的導(dǎo)線鍵合過(guò)程中傳送保護(hù)氣體的裝置， 該裝置包含有主體；位于主體中的通孔，該通孔被成形以當(dāng)執(zhí)行導(dǎo)線鍵合時(shí)允許鍵合工具的毛細(xì)尖管的端部插置穿過(guò)該主體；至少一個(gè)氣體出口，其位于主體的底面并相鄰于通孔設(shè)置，該氣體出口被操作來(lái)在朝向電子器件的方向上引導(dǎo)惰性氣體；以及至少一個(gè)氣體入口，其位于主體上，該氣體入口被操作來(lái)將惰性氣體供應(yīng)至通孔和氣體出口。參閱后附的描述本發(fā)明實(shí)施例的附圖，隨后來(lái)詳細(xì)描述本發(fā)明是很方便的。附圖和相關(guān)的描述不能理解成是對(duì)本發(fā)明的限制，本發(fā)明的特點(diǎn)限定在權(quán)利要求書中。


根據(jù)本發(fā)明所述的氣體供應(yīng)裝置的較佳實(shí)施例的示例現(xiàn)結(jié)合附圖詳細(xì)介紹，其中
圖1為根據(jù)本發(fā)明第一較佳實(shí)施例所述的氣體供應(yīng)裝置的平面剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道，以在電子器件的導(dǎo)線鍵合過(guò)程中提供保護(hù)氣體。圖2為圖1中的氣體供應(yīng)裝置的側(cè)視剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道和固定有用于點(diǎn)火與導(dǎo)線鍵合的鍵合導(dǎo)線的毛細(xì)尖管的移動(dòng)范圍。圖3為圖1中的氣體供應(yīng)裝置的前視剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道。圖4為根據(jù)本發(fā)明第二較佳實(shí)施例所述的氣體供應(yīng)裝置的平面剖面示意圖，其具有第一內(nèi)部氣體通道和第二內(nèi)部氣體通道。圖5為根據(jù)本發(fā)明第二較佳實(shí)施例所述的氣體供應(yīng)裝置的平面剖面示意圖，其表明了氣體出口，如沿著其淋浴環(huán)(shower ring)分布的多個(gè)孔洞。圖6為圖5中的氣體供應(yīng)裝置的前視剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道。圖7為根據(jù)本發(fā)明第三較佳實(shí)施例所述的氣體供應(yīng)裝置的側(cè)視剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道。圖8為圖7中的氣體供應(yīng)裝置的前視剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道。圖9為根據(jù)本發(fā)明第四較佳實(shí)施例所述的氣體供應(yīng)裝置的平面剖面示意圖，其包含有外環(huán)。圖10為圖9中的氣體供應(yīng)裝置的側(cè)視剖面示意圖，其表明了外環(huán)。圖11為圖9中的氣體供應(yīng)裝置的前視剖面示意圖，其表明了外環(huán)。圖12為包含有氣體管道的氣體供應(yīng)裝置的前視剖面示意圖，該氣體管道可分離地裝附在主體上。
具體實(shí)施例方式圖1為根據(jù)本發(fā)明第一較佳實(shí)施例所述的氣體供應(yīng)裝置的平面剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道14，以在電子器件的導(dǎo)線鍵合過(guò)程中提供保護(hù)氣體。該氣體供應(yīng)裝置包含有帶通孔12的主體10，該通孔12居中地穿越通過(guò)該主體，并從此處連接有氣體入口，其可能是內(nèi)部氣體通道14網(wǎng)絡(luò)的形式存在。氣體通道14設(shè)置在主體10內(nèi)，并提供有惰性氣體20，如氮?dú)饣驓錃夂偷獨(dú)獾幕旌衔镏镣?2中和通孔12周圍的區(qū)域，以及提供至和通孔 12相鄰設(shè)置的氣體出口。圖1表明了具有三個(gè)獨(dú)立氣體通路的氣體通道14的網(wǎng)絡(luò)，一個(gè)氣體通路直接通向通孔12，兩個(gè)氣體通路至少部分地環(huán)繞于該通孔12。包含于氣體出口處的兩個(gè)氣體噴嘴18 設(shè)置在位于通孔12的與氣體通道14設(shè)置位置相對(duì)的一側(cè)的主體10的端部或者附近，并設(shè)置在相鄰于通孔12的主體10的底面上。更多的氣體噴嘴較佳地貫穿至少部分環(huán)繞通孔12 的整個(gè)氣體通路設(shè)置。該氣體噴嘴連接至氣體通道14的各個(gè)氣體通路上。在導(dǎo)線鍵合過(guò)程中，氣體噴嘴18從主體10的外部提供惰性氣體20，并將惰性氣體20在朝向位于主體下方的電子器件的方向上引導(dǎo)。電極棒16設(shè)置在主要的氣體入口或氣體通道14的內(nèi)部，并在那里平行設(shè)置。電極棒16靠近于通孔12處終止。圖2為圖1中的氣體供應(yīng)裝置的側(cè)視剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道14和固定有用于點(diǎn)火與導(dǎo)線鍵合的鍵合導(dǎo)線(圖中未示)的毛細(xì)尖管22的移動(dòng)范圍。通孔12被如此成形以便于毛細(xì)尖管22的端部可從主體10的一側(cè)插置于通孔12中，而從主體10的相對(duì)另一側(cè)凸伸以完成導(dǎo)線鍵合。毛細(xì)尖管的端部具有點(diǎn)火位置22a，在該位置從毛細(xì)尖管22處垂下的鍵合導(dǎo)線的尾部接收來(lái)自電極棒16的火花，而將鍵合導(dǎo)線熔融以形成熔融的焊球。其后，毛細(xì)尖管22可移動(dòng)至鍵合位置22b，在此位置熔融的焊球被放置于電子器件如晶粒M上以在鍵合導(dǎo)線和晶粒M之間形成初始的電氣觸點(diǎn)或第一球形鍵合。當(dāng)毛細(xì)尖管的端部位于通孔12內(nèi)的點(diǎn)火位置時(shí)，毛細(xì)尖管的端部主要接收從氣體通道14處引入并被饋送進(jìn)入通孔12中的惰性氣體20，以在點(diǎn)火期間保護(hù)鍵合導(dǎo)線避免氧化。如圖2所述，惰性氣體20被引導(dǎo)朝向主體10的頂面和底面進(jìn)入通孔12中，以便于在通孔12內(nèi)遍及毛細(xì)尖管22的整個(gè)移動(dòng)范圍，毛細(xì)尖管22的端部得以被惰性氣體20所保護(hù)。從氣體通道14處引入的惰性氣體20同樣也被饋送至設(shè)置在主體10的底面的噴嘴18。噴嘴18將惰性氣體20引導(dǎo)朝向和到達(dá)晶粒M上。所以，在通孔之外的鍵合位置 22b處，毛細(xì)尖管22的端部主要接收供應(yīng)自噴嘴18處的惰性氣體20，以便于惰性氣體20 在導(dǎo)線鍵合期間保護(hù)鍵合導(dǎo)線避免氧化。和氣體通道14相連的多個(gè)噴嘴18可以圍繞著通孔12而被形成，以提高在鍵合位置22b處毛細(xì)尖管22的端部的氣體覆蓋。所以，即使當(dāng)毛細(xì)尖管22的端部從主體10的底面凸伸的同時(shí)其從一個(gè)晶粒移至另一個(gè)晶粒時(shí)，毛細(xì)尖管 22的端部能夠被惰性氣體20所保護(hù)。在現(xiàn)有的氣體供應(yīng)裝置中，只有在毛細(xì)尖管22的端部位于該氣體供應(yīng)裝置的主體內(nèi)部時(shí)，毛細(xì)尖管22會(huì)被惰性氣體20所保護(hù)，藉此限制了提供給鍵合導(dǎo)線的防氧化保護(hù)的水平。圖3為圖1中的氣體供應(yīng)裝置的前視剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道14。毛細(xì)尖管22位于其點(diǎn)火位置22a。從氣體通道14被引入的惰性氣體20流入通孔12中，并朝向毛細(xì)尖管22向上流動(dòng)和朝向主體10的底面向下流動(dòng)。當(dāng)電極棒16產(chǎn)生點(diǎn)火以在毛細(xì)尖管22的端部將鍵合導(dǎo)線熔融時(shí)，設(shè)置在通孔12中的鍵合導(dǎo)線被惰性氣體20所保護(hù)以避免氧化。惰性氣體20同樣也通過(guò)諸如槽孔沈之類的連接器流向位于主體10的底面處的噴嘴18，該形成于主體10中的槽孔沈從氣體通道14通向噴嘴18。當(dāng)毛細(xì)尖管22朝向晶粒M降低時(shí)，位于毛細(xì)尖管22的端部的鍵合導(dǎo)線繼續(xù)被從噴嘴18處噴出的惰性氣體20 所保護(hù)。圖4為根據(jù)本發(fā)明第二較佳實(shí)施例所述的氣體供應(yīng)裝置的平面剖面示意圖，其具有第一內(nèi)部氣體通道30和第二內(nèi)部氣體通道32。取代設(shè)置有供應(yīng)惰性氣體20的內(nèi)部氣體
6通道14網(wǎng)絡(luò)，第二實(shí)施例充分利用第一內(nèi)部氣體通道30以將惰性氣體20供應(yīng)給通孔12， 和利用第二內(nèi)部氣體通道32 (其未連通至第一內(nèi)部氣體通道30)以將惰性氣體20供應(yīng)給位于環(huán)繞通孔12的淋浴環(huán)34上的氣體出口。惰性氣體20分別供應(yīng)給第一內(nèi)部氣體通道 30、第二內(nèi)部氣體通道32是被獨(dú)立地控制的。所以，這個(gè)實(shí)施例具有的優(yōu)點(diǎn)是將惰性氣體 20分別提供進(jìn)入通孔12和朝向晶粒24是具有較強(qiáng)控制的。圖5為根據(jù)本發(fā)明第二較佳實(shí)施例所述的氣體供應(yīng)裝置的平面剖面示意圖，其表明了氣體出口，如沿著淋浴環(huán)34分布的多個(gè)淋浴孔洞36。該淋浴孔洞36位于主體觀的底面上，以接受來(lái)自淋浴環(huán)34處的惰性氣體20和在主體觀的下方朝向晶粒M噴射惰性氣體20。當(dāng)淋浴孔洞36位于通孔12外側(cè)時(shí)，增加淋浴孔洞36的數(shù)量將會(huì)對(duì)惰性氣體20朝向毛細(xì)尖管22的端部更大的排泄起作用，并對(duì)防止鍵合導(dǎo)線氧化提供更大的保護(hù)起作用。 可供選擇地，沿著淋浴環(huán)34分布的氣體出口可以為位于主體觀的底面上的延展槽孔的形式。圖6為圖5中的氣體供應(yīng)裝置的前視剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道30、32。 毛細(xì)尖管22處于其點(diǎn)火位置22a。從內(nèi)部氣體通道30被引入的惰性氣體20流入通孔12 中，并向上朝向毛細(xì)尖管22和向下朝向主體觀的底面。當(dāng)電極棒16產(chǎn)生點(diǎn)火以在毛細(xì)尖管22的端部熔融鍵合導(dǎo)線時(shí)，設(shè)置于通孔12中的鍵合導(dǎo)線被惰性氣體20所保護(hù)避免氧化。惰性氣體20通過(guò)形成在主體28內(nèi)部的淋浴環(huán)34也流向主體28的底面處的淋浴孔洞36。淋浴環(huán)34接收來(lái)自第二內(nèi)部氣體通道32的惰性氣體20的供應(yīng)。當(dāng)毛細(xì)尖管22 朝向晶粒M降低時(shí)，位于毛細(xì)尖管22端部處的鍵合導(dǎo)線繼續(xù)被從淋浴孔洞36處噴射的該陣惰性氣體20保護(hù)。圖7為根據(jù)本發(fā)明第三較佳實(shí)施例所述的氣體供應(yīng)裝置的側(cè)視剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道。除了在本發(fā)明第一實(shí)施例中也出現(xiàn)了的氣體通道14之外，在主體38 中剛好位于氣體通道14上方形成有附屬氣體管路40，其也連通至通孔12上。附屬氣體管路40由于饋送惰性氣體20至氣井42而增強(qiáng)了朝向通孔12的惰性氣體20的供應(yīng)，該氣井 42通過(guò)附屬噴嘴44和附屬氣體管路40相連。氣井42剛好設(shè)置在通孔12的頂部。氣井 42的截面面積大于通孔的截面面積，并在其點(diǎn)火位置處提供了環(huán)繞毛細(xì)尖管22端部的惰性氣體20的貯蓄，以增強(qiáng)點(diǎn)火期間鍵合導(dǎo)線的保護(hù)而避免氧化。圖8為圖7中的氣體供應(yīng)裝置的前視剖面示意圖，其表明了內(nèi)部氣體通道。這個(gè)視圖表明了設(shè)置在通孔12的頂部的氣井42和氣體通道14。附屬噴嘴44為氣井42供應(yīng)惰性氣體20，氣井42容置有惰性氣體20的貯蓄，以在點(diǎn)火期間保護(hù)鍵合導(dǎo)線避免氧化。惰性氣體20從附屬噴嘴44到氣井42的額外供應(yīng)有助于防止氣體覆蓋的損耗，尤其是在毛細(xì)尖管22側(cè)向移動(dòng)至不同鍵合位置期間，在此期間更多的惰性氣體20通常損耗在周邊環(huán)境中。這樣進(jìn)一步確保在這種側(cè)向移動(dòng)過(guò)程中，在毛細(xì)尖管22端部下方的鍵合導(dǎo)線的質(zhì)量得以保持。在點(diǎn)火期間鍵合導(dǎo)線避免氧化的增強(qiáng)保護(hù)藉此能夠得以實(shí)現(xiàn)。圖9為根據(jù)本發(fā)明第四較佳實(shí)施例所述的氣體供應(yīng)裝置的平面剖面示意圖，其包含有外環(huán)50。外環(huán)50可以形成于氣體供應(yīng)裝置的主體48中，相鄰于如同前面的實(shí)施例所述的內(nèi)部氣體通道14的網(wǎng)絡(luò)。外環(huán)50形成了大體環(huán)繞于內(nèi)部氣體通道14和通孔12的環(huán)形氣體通路。外環(huán)50可包括包含有單獨(dú)的連續(xù)槽孔的外環(huán)出口 52，其與主體48附近的環(huán)境相連通。另外可選擇的是，外環(huán)出口 52可以包含有多個(gè)孔洞、噴嘴或者槽孔來(lái)取代單獨(dú)的連續(xù)槽孔。外環(huán)50通過(guò)沿著主體48平行于內(nèi)部氣體通道14運(yùn)行的外部氣體通道46連接至惰性氣體20供應(yīng)源。圖10為圖9中的氣體供應(yīng)裝置的側(cè)視剖面示意圖，其表明了外環(huán)50。外環(huán)50和通孔12、氣體噴嘴18空間上分離并大體上環(huán)繞于該通孔12、氣體噴嘴18。外環(huán)50在主體 48的底面提供了從外環(huán)出口 52處發(fā)出的惰性氣體20防護(hù)。所以，該惰性氣體20防護(hù)用來(lái)包圍在鍵合位置22b處的毛細(xì)尖管端部，以強(qiáng)化鍵合導(dǎo)線的保護(hù)避免氧化。圖11為圖9中的氣體供應(yīng)裝置的前視剖面示意圖，其表明了外環(huán)50。這個(gè)外環(huán) 50較佳地設(shè)置在內(nèi)部氣體通道14的下方，并連接至將惰性氣體20供應(yīng)給外環(huán)50的外部氣體通道46。惰性氣體20從外環(huán)出口 52向下噴射以在導(dǎo)線鍵合區(qū)域周圍形成防護(hù)。該防護(hù)形成了阻止環(huán)境中的空氣進(jìn)入導(dǎo)線鍵合區(qū)域的屏障，同時(shí)有助于減少由于氣體通道14 所提供的惰性氣體至周圍環(huán)境的損耗。在毛細(xì)尖管22側(cè)向移動(dòng)至不同的鍵合位置的過(guò)程中，惰性氣體20覆蓋的損耗同樣也得以減少，在這種側(cè)向移動(dòng)過(guò)程中這有助于保持在毛細(xì)尖管22端部鍵合導(dǎo)線的質(zhì)量。圖12為包含有氣體部件如氣體管道M的氣體供應(yīng)裝置的前視剖面示意圖，該氣體管道可分離地裝附在主體58上。不同于如圖9-圖11所述的外環(huán)50形成在主體48內(nèi)部的氣體供應(yīng)裝置，具有外環(huán)的氣體管道M可分離地裝附在主體58的底部。氣體管道的外環(huán)環(huán)繞于通孔12和氣體噴嘴18。氣體管道M具有從其外環(huán)向下噴射惰性氣體20的開口 60或者多個(gè)孔洞或者槽孔，以在導(dǎo)線鍵合區(qū)域周圍形成防護(hù)。氣體管道M通過(guò)連接管道56接收惰性氣體20的供應(yīng)。值得欣賞的是，本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的氣體供應(yīng)裝置改善了由氧化材料制成的鍵合導(dǎo)線通過(guò)惰性氣體20的防護(hù)屏障的效率。氧化保護(hù)不僅可發(fā)生在鍵合導(dǎo)線設(shè)置在主體10內(nèi)部時(shí)的點(diǎn)火過(guò)程中，而且還發(fā)生在毛細(xì)尖管22正在形成導(dǎo)線連接過(guò)程中當(dāng)毛細(xì)尖管22的端部和鍵合導(dǎo)線從主體10出來(lái)之時(shí)，以及當(dāng)毛細(xì)尖管22在不同的鍵合位置之間移動(dòng)時(shí)。由于延伸了沿著毛細(xì)尖管22的移動(dòng)路徑分布的惰性氣體20的覆蓋，所以被制造來(lái)和表面形成導(dǎo)線連接的球形鍵合的質(zhì)量通常通過(guò)鍵合導(dǎo)線更大的保護(hù)避免氧化而得以改善。 另外，通過(guò)引入多個(gè)氣體通道14、附屬氣體管路40和其他氣體通路，惰性氣體流動(dòng)的更好控制是可能的。此處描述的本發(fā)明在所具體描述的內(nèi)容基礎(chǔ)上很容易產(chǎn)生變化、修正和/或補(bǔ)充，可以理解的是所有這些變化、修正和/或補(bǔ)充都包括在本發(fā)明的上述描述的精神和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于在電子器件的導(dǎo)線鍵合過(guò)程中傳送保護(hù)氣體的裝置，該裝置包含有 主體；位于主體中的通孔，該通孔被成形以當(dāng)執(zhí)行導(dǎo)線鍵合時(shí)允許鍵合工具的毛細(xì)尖管的端部插置穿過(guò)該主體；至少一個(gè)氣體出口，其位于主體的底面并相鄰于通孔設(shè)置，該氣體出口被操作來(lái)在朝向電子器件的方向上引導(dǎo)惰性氣體；以及至少一個(gè)氣體入口，其位于主體上，該氣體入口被操作來(lái)將惰性氣體供應(yīng)至通孔和氣體出口。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中該氣體入口包含有 氣體通道，其和該通孔相連通；以及氣體通路，其至少部分地環(huán)繞于該通孔。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其中，該氣體通路是以環(huán)繞于該通孔的淋浴環(huán)的形式存在。
4.如權(quán)利要求3所述的裝置，該裝置還包含有淋浴孔洞，其設(shè)置于主體的底面上，該淋浴孔洞被連接至淋浴環(huán)以從該淋浴環(huán)處噴射惰性氣體。
5.如權(quán)利要求2所述的裝置，該裝置還包含有氣體噴嘴，其位于主體的端部，并設(shè)置在通孔的朝向該通孔設(shè)置有氣體入口的另一側(cè)。
6.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中該氣體出口包含有 延展槽孔，其形成于該主體的底面上。
7.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中該至少一個(gè)氣體出口包括 至少一個(gè)噴嘴，其形成于該主體的底面上。
8.如權(quán)利要求1所述的裝置，該裝置還包含有電極棒，其設(shè)置在氣體入口內(nèi)部并平行于該氣體入口，其中該電極棒終端靠近于該通 >孔。
9.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，毛細(xì)尖管端部具有在通孔以內(nèi)的點(diǎn)火位置和在通孔以外的鍵合位置，在該點(diǎn)火位置其基本接收供應(yīng)進(jìn)入該通孔中的惰性氣體；在鍵合位置其基本接收從該至少一個(gè)氣體出口處供應(yīng)的惰性氣體。
10.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，該氣體入口還包括 第一內(nèi)部氣體通道，其供應(yīng)惰性氣體至該通孔；第二內(nèi)部氣體通道，其不和該第一內(nèi)部氣體通道相連，該第二內(nèi)部氣體通道供應(yīng)惰性氣體至氣體出口。
11.如權(quán)利要求10所述的裝置，其中，該惰性氣體向第一內(nèi)部氣體通道的供應(yīng)被控制獨(dú)立于惰性氣體向第二內(nèi)部氣體通道的供應(yīng)。
12.如權(quán)利要求1所述的裝置，該裝置還包含有附屬氣體管路，其單獨(dú)地在氣體入口的頂部形成于主體中，并連接至該通孔，以增強(qiáng)惰性氣體朝向該通孔的供應(yīng)。
13.如權(quán)利要求12所述的裝置，該裝置還包含有氣井，其和設(shè)置于通孔頂部的附屬氣體管路相連通，該氣井的截面面積大于該通孔的截面面積。
14.如權(quán)利要求1所述的裝置，該裝置還包含有外環(huán)，其大體環(huán)繞于該通孔和氣體出口，該外環(huán)被操作來(lái)產(chǎn)生大體環(huán)繞于毛細(xì)尖管的端部的惰性氣體防護(hù)。
15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其中，該外環(huán)包含有單一的連續(xù)槽孔，其位于主體的底面上，惰性氣體通過(guò)該連續(xù)槽孔噴出以在主體以外產(chǎn)生惰性氣體防護(hù)。
16.如權(quán)利要求14所述的裝置，其中，該外環(huán)包含有大量的位于主體底面上的噴嘴或槽孔，惰性氣體通過(guò)該噴嘴或槽孔噴出以在主體以外產(chǎn)生惰性氣體防護(hù)。
17.如權(quán)利要求14所述的裝置，其中，該外環(huán)形成于該主體中。
18.如權(quán)利要求14所述的裝置，其中，該外環(huán)形成于可分離地裝附于主體的氣體部件中。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于在電子器件的導(dǎo)線鍵合過(guò)程中傳送保護(hù)氣體的裝置，該裝置包含有主體；位于主體中的通孔，該通孔被成形以當(dāng)執(zhí)行導(dǎo)線鍵合時(shí)允許鍵合工具的毛細(xì)尖管的端部插置穿過(guò)該主體；至少一個(gè)氣體出口，其位于主體的底面并相鄰于通孔設(shè)置，該氣體出口被操作來(lái)在朝向電子器件的方向上引導(dǎo)惰性氣體；以及至少一個(gè)氣體入口，其位于主體上，該氣體入口被操作來(lái)將惰性氣體供應(yīng)至通孔和氣體出口。
文檔編號(hào)B23K37/00GK102528342SQ20111020123
公開日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年7月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月14日
發(fā)明者關(guān)家勝, 葉玟鋑, 宋景耀, 巴拉克里希南·薩蒂什·庫(kù)馬爾, 庫(kù)馬列什·戈文丹·拉達(dá)克里希南, 陳世杰 申請(qǐng)人:先進(jìn)科技新加坡有限公司