專利名稱：微細(xì)圓柱群電極電化學(xué)腐蝕加工方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的微細(xì)圓柱群電極電化學(xué)腐蝕加工方法，屬電解加工技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
微細(xì)陣列群孔作為一種典型的微細(xì)結(jié)構(gòu)在航空航天、精密儀器、化纖等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，如高速打印機(jī)噴嘴板、光纖連接器、化纖噴絲板、微過濾網(wǎng)以及電子顯微鏡光柵等。對于微細(xì)群孔結(jié)構(gòu)的加工而言，微細(xì)電加工相對于常規(guī)鉆削加工具有無機(jī)械切削力作用，加工精度和加工效率高，可在薄壁、彈性件等低剛度工件上加工等優(yōu)點，因此其在微細(xì)群孔結(jié)構(gòu)的加工發(fā)面具有廣泛的應(yīng)用前景。微細(xì)圓柱群電極的加工是實現(xiàn)群孔結(jié)構(gòu)微細(xì)電加工的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。微細(xì)圓柱群電極是指由尺寸在微米至納米級的多個圓柱電極組合在一起所形成的整體電極，可作為微細(xì)電火花、微細(xì)電解加工中的工具電極；同時微細(xì)群圓柱類零件也是微型機(jī)械和微機(jī)電系統(tǒng)的重要組成部件。
常用金屬微細(xì)圓柱群電極的加工方法包括LIGA和準(zhǔn)LIGA技術(shù)、微細(xì)電火花反拷加工法、多孔氧化鋁模板法等。采用LIGA技術(shù)制作微細(xì)群電極的工藝流程主要包括涂膠-X射線深度光刻-顯影-微電鑄成型-去膠等步驟，制作的微細(xì)群電極具有精度高、深寬比大等優(yōu)點，但由于LIGA技術(shù)采用電鑄工藝，不能制備鎢、硬質(zhì)合金材料的電極，同時該技術(shù)需要同步輻射光源和特制的掩膜板，成本極高；采用微細(xì)電火花反拷法加工微細(xì)群電極的原理是，首先利用線電極電火花磨削(WEDG)技術(shù)加工出簡單的單圓柱電極；然后控制電極的運動軌跡，對易加工的中間電極(金屬薄板)進(jìn)行微細(xì)電火花穿孔加工，在加工過程中，使圓柱電極一面旋轉(zhuǎn)，一面進(jìn)給加工，使用較小的放電能量，以便能進(jìn)行穩(wěn)定的放電加工，從而在中間電極上加工出陣列微孔結(jié)構(gòu)；最后利用中間電極作工具電極，在塊電極上反拷加工出微細(xì)群電極，但電火花反拷法設(shè)備復(fù)雜、加工效率低，加工存在熱影響區(qū)，加工表面易產(chǎn)生變質(zhì)層和微裂紋；氧化鋁模板法利用多孔氧化鋁為樣模，利用直流電沉積金屬制備群電極，此方法主要涉及納米尺寸群電極的加工，只適用于固體電化學(xué)動力學(xué)參數(shù)測定以及痕量物質(zhì)檢測，難以作為工具電極應(yīng)用于微細(xì)加工中。
電解加工是利用金屬在電解液中的電化學(xué)陽極溶解來將工件加工成形的。在電解加工過程中，工件陽極金屬不斷失去電子成為離子而進(jìn)入到溶液當(dāng)中，工件材料的減少過程是以離子形式進(jìn)行的，由于金屬離子的尺寸非常微小，因此電解加工的這種微溶解去除方式非常適合微細(xì)結(jié)構(gòu)的加工。同時電解加工還具有不受材料力學(xué)性能限制，加工速度快，可達(dá)到較好的表面粗糙度，不存在內(nèi)應(yīng)力、變形和飛邊毛刺，陰極工具無損耗等優(yōu)點，因此利用電解加工制備微細(xì)圓柱群電極對實現(xiàn)微細(xì)群孔結(jié)構(gòu)的高效率、高精度的穩(wěn)定加工具有重要意義。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對目前微細(xì)群電極制作方法中存在的工藝流程復(fù)雜、制造成本高、加工質(zhì)量低等不足，提供一種高加工效率、低制造成本，具有較高深寬比微細(xì)群電極的加工方法。
一種微細(xì)群電極電化學(xué)腐蝕加工方法，其特征在于包括以下步驟(1)、根據(jù)所需的單排微細(xì)圓柱群電極尺寸參數(shù)，R(群電極上單個圓柱電極直徑)、L(群電極長度)、D(單個電極間距)、h0(單個電極高度)，設(shè)計群電極毛坯尺寸參數(shù)，群電極毛坯上單個電極截面形狀均為四邊形，邊長為d(d≥2～3R)，群電極毛坯長度、單個電極間距和單個電極高度為L、D和h0；(2)按上步要求加工單電極的群電極毛坯；(3)工具陰極呈平板狀，一側(cè)表面帶有半圓柱凸臺，工具陰極主要參數(shù)陰極長度S、陰極上半圓柱凸臺半徑R、陰陽極間距f是采用電化學(xué)腐蝕加工電場的有限元分析方法優(yōu)化設(shè)計得到的，確保電化學(xué)腐蝕工件陽極上的電流密度均勻分布；(4)制作電化學(xué)工具陰極；(5)將群電極毛坯作為電化學(xué)腐蝕工件陽極，電化學(xué)腐蝕加工時，在電解槽中將工具陰極安裝固定在定位夾具上，通過數(shù)控工作臺調(diào)節(jié)兩極之間的位置f，使得陰陽極相向豎直平行放置，通過機(jī)床主軸的進(jìn)給，將群電極毛坯浸入電解液中深度為h0，使得毛坯上各單個柱體完全處于液面以下；(6)通電，對群電極毛坯進(jìn)行電化學(xué)腐蝕加工，采用恒壓加工控制群電極成形的形狀，而群電極毛坯的尺寸不同，使群電極成形為圓柱形的加工電壓值也發(fā)生變化，對于單個電極邊長在500μm以下的群電極毛坯，使之成形為圓柱形的電壓通常在2～8V范圍內(nèi)，通過多次試驗法可確定此電壓值試驗初始采用較小的電壓，當(dāng)電壓較小時，電極呈根部粗端部細(xì)的圓錐狀，后逐步升高電壓值，電極的錐度將逐漸減小，而電壓過高時，電極呈根部細(xì)端部粗的紡錘狀，可以最終確定圓柱形電極的加工電壓；(7)采用電荷法控制群電極加工尺寸，加工一定直徑的微細(xì)圓柱群電極所需的電量通為Q0=10k(d2-14πR2)h0+2hl3(d-R),]]>加工過程中，通過數(shù)據(jù)采集卡采集加工電流，通過采集的電流值計算加工過程中所通過的電量，即Q=Σi=0nIiΔt,]]>當(dāng)Q＝Q0時，進(jìn)行斷電抬刀，加工完成，其中k為材料的體積電化學(xué)當(dāng)量。
加工原理1.群電極形狀控制電化學(xué)腐蝕加工是利用金屬在電解液中的電化學(xué)陽極溶解來將工件加工成形的。以加工鎢材料群電極為例說明電極成型過程，如圖5所示。接通直流電源，開始電化學(xué)腐蝕加工陽極金屬不斷變成離子進(jìn)入溶液中而逐漸溶解，同時陰極上有氣體析出，其電化學(xué)反應(yīng)方程式如下陰極陽極陽極的初始幾何形狀和反應(yīng)中陽極表面形成的擴(kuò)散層都會影響陽極最終成型的形狀，分別稱之為幾何效應(yīng)和擴(kuò)散層效應(yīng)。陽極溶解過程中，幾何效應(yīng)使得陽極曲率較大處的金屬溶解速度較快，從而造成群電極端部的溶解速度比根部快，因此使群電極有呈根部粗端部細(xì)的圓錐狀的趨勢；擴(kuò)散層效應(yīng)是由陽極金屬溶解所形成的WO42-(16)離子的遷移和擴(kuò)散運動所引起的，表面聚集的WO42-(16)離子在重力的作用下沿著陽極表面向下移動，從而形成一層上薄下厚的擴(kuò)散層(15)，擴(kuò)散層厚的部分產(chǎn)生的WO42-離子越難以擴(kuò)散到溶液中去，造成該部位電化學(xué)反應(yīng)速度變慢，因此擴(kuò)散層效應(yīng)有使群電極呈根部細(xì)端部粗的紡錘狀的趨勢。在群電極制備中，正確控制加工參數(shù)，使得陽極溶解的幾何效應(yīng)同擴(kuò)散層效應(yīng)的影響相互平衡，即可制備出直徑均勻的圓柱群電極。群電極的形狀可通過控制加工電壓和電流的方式實現(xiàn)。隨著電化學(xué)腐蝕的進(jìn)行，陽極金屬不斷溶解，加工面積逐漸減小，而加工過程中的加工尺寸測量非常困難，因此采用通過直接控制加工電流來維持恒定電流密度的方式難以實現(xiàn)；采用恒壓加工方式時，加工面積不斷減小的同時，陰、陽極之間的電流隨著加工的進(jìn)行也不斷減小，而加工電壓本身就決定了電極反應(yīng)速度和擴(kuò)散層的形成，一定的加工電壓對應(yīng)著特定的擴(kuò)散層厚度。因此，本方法采用控制加工電壓的方式實現(xiàn)對電極形狀的控制。
2.群電極尺寸控制電化學(xué)腐蝕過程中陽極溶解的物質(zhì)的體積Δv與通過的電量Q成正比，通過控制陰、陽極之間流過的電量，就可以控制電化學(xué)反應(yīng)中陽極金屬的蝕除量，從而實現(xiàn)對群電極加工尺寸的控制。群電極體積蝕除量計算模型如圖6所示。群電極毛坯垂直浸入液面的深度h0，由于表面張力作用，電解液會沿著電極表面上升一定的高度h(通過試驗測得，當(dāng)群電極毛坯浸入電解液一定深度時，電解液沿電極表面上升的高度是一定的)，此部分在加工時將會被腐蝕成拋物線型，其體積蝕除量Δv包括液面以下電極溶解的體積量Δv1和液面以上電極溶解的體積量Δv2兩部分，由此可在恒壓加工條件下，微細(xì)圓柱群電極加工尺寸同電量Q的關(guān)系為(公式適用于所有形狀類似于圖3所示的群電極毛坯)10k(d2-14πR2)h0+2hl3(d-R)=Q0]]>式中k----體積電化學(xué)當(dāng)量(cm3/(A·h))；h0----群電極浸入電解液深度(cm)；h----電解液沿電表面上升高度(cm)；d----群電極毛坯厚度(cm)；
R----群電極加工尺寸(cm)；l----群電極長度(cm)；Q0---加工電量(C)。
數(shù)據(jù)采集卡11不斷采集加工過程的加工電流值并送入計算機(jī)12，計算機(jī)程序根據(jù)采樣時間Δt及每個采樣時間內(nèi)的采集的電流值Ii計算群電極加工加工過程中所通過的電量Q，即Q=Σi=0nIiΔt,]]>根據(jù)尺寸計算模型，可以計算出一定加工尺寸下，陰、陽極之間應(yīng)通過的電量Q0。當(dāng)計算機(jī)根據(jù)采集的電流值得到的陰、陽極之間通過的電量達(dá)到計算值時，即Q＝Q0時，斷電抬刀，加工完成。
3.電化學(xué)腐蝕工具陰極設(shè)計根據(jù)法拉第電解加工定律，陽極金屬的溶解速度與其上的電流密度成正比。因而在群圓柱的電化學(xué)腐蝕加工過程中，群圓柱每個柱體上電流密度分布的一致性直接決定了加工后單個圓柱尺寸的一致性。為制備出直徑大小一致的群圓柱，在加工過程中，應(yīng)盡量使群圓柱每個柱體上的電流密度均勻分布。根據(jù)電解成形理論，電解加工陰極設(shè)計所涉及的電場問題是滿足Laplace方程的恒定電場，陰極的形狀設(shè)計可以通過電場中Laplace方程反邊界問題求解得到。在電化學(xué)腐蝕加工中，陰、陽極之間充滿了電解液，陽極表面各處電解液的電導(dǎo)率大致相同，這樣，電化學(xué)腐蝕陰、陽兩極之間的電場就可以看作導(dǎo)電介質(zhì)中的恒定電場。在群電極電化學(xué)腐蝕加工過程中，陰極的形狀和位置直接決定了陽極表面電流密度分布，從而決定了加工后群電極上單個圓柱體尺寸的一致性。根據(jù)大量的加工試驗證明，如果采用圓柱陰極，則陽極表面電流密度呈中間強、兩側(cè)弱的規(guī)律分布，加工出的群電極上單個圓柱體尺寸按中間細(xì)、兩側(cè)粗的規(guī)律變化；而加工中陰極采用平板電極時，陽極表面電流密度呈中間弱、兩側(cè)強的規(guī)律分布，加工出的群電極上單個圓柱體尺寸按中間粗、兩側(cè)細(xì)的規(guī)律變化。因此將陰極設(shè)計成圖4所示的形狀，可使陽極表面電流密度均勻分布。將以陰、陽極邊界構(gòu)造出的二維封閉區(qū)域作為有限元電化學(xué)腐蝕電場分析實體模型，通過有限元分析計算群電極電化學(xué)腐蝕加工過程中的電場分布。將陰極設(shè)計成如圖4所示的形狀后，影響陰極形狀的尺寸R和S以及陰、陽極之間的距離f是陽極表面電流密度分布一致性的決定影響因素，因此將參數(shù)R、S和f作為陰極形狀優(yōu)化設(shè)計問題的設(shè)計變量，將最大電流密度值與最小電流密度值之差作為目標(biāo)函數(shù)，由有限元優(yōu)化計算可得到使陽極表面電流密度分布一致的參數(shù)。
本發(fā)明的方法具有以下特點1、相對于LIGA、微細(xì)電火花反拷加工技術(shù)而言，本發(fā)明方法由于采用電化學(xué)腐蝕加工工藝，工藝流程大為簡化，并且提高了微細(xì)群電極的加工效率和加工質(zhì)量，同時本發(fā)明方法結(jié)合了微細(xì)電火花線切割的優(yōu)點，易于實現(xiàn)高深寬比微細(xì)圓柱群電極的加工；2、電化學(xué)腐蝕加工中，陰極的形狀和位置直接決定了陽極成型的形狀，本發(fā)明方法采用經(jīng)有限元法優(yōu)化設(shè)計的陰極，大大簡化了陰極設(shè)計過程，加工出直徑大小分布一致的微細(xì)圓柱群電極；3、本發(fā)明方法通過控制加工電壓和加工過程中累計電量來實現(xiàn)對群電極的形狀和尺寸大小的控制，操作簡單易行；4、由于采用電化學(xué)腐蝕靜液加工，無需常規(guī)電解加工中的電解液循環(huán)系統(tǒng)，加工裝置簡單；5、本發(fā)明方法可加工多種金屬材料，如硬質(zhì)合金、鎢、不銹鋼等，根據(jù)不同的群電極毛坯材料，采用不同的電解液，適應(yīng)性極廣。


圖1是微細(xì)群電極電化學(xué)腐蝕加工機(jī)床整體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是群電極電化學(xué)腐蝕加工示意圖。
圖3是群群電極毛坯示意圖。
圖4是電化學(xué)腐蝕陰極設(shè)計示意圖。
圖5是群電極加工過程示意圖。
圖6是群電極體積蝕除量計算模型。
圖7是電化學(xué)腐蝕加工后微細(xì)群電極示意圖。
圖8是有限元法分析法設(shè)計陰極參數(shù)的軟件流程圖。
圖9是微細(xì)群電極電化學(xué)腐蝕加工示意圖。
圖1中標(biāo)號名稱1、Z軸電機(jī)，2、機(jī)床本體，3、Z軸，4、陽極安裝夾具，5、電解液槽，6、電解液，7、陰極安裝夾具，8、工件陽極，9、工具陰極，10、電流表，11、數(shù)據(jù)采集卡，12、計算機(jī)，13、數(shù)控工作臺，14、直流電源。
圖2中標(biāo)號名稱6、電解液，8、工件陽極，9、工具陰極。
圖4中標(biāo)號名稱8、工件陽極，15、擴(kuò)散層，16、金屬陽離子。
具體實施例方式
如圖1所示，微細(xì)圓柱群電極電化學(xué)腐蝕加工在包含機(jī)床本體2、數(shù)控工作臺13、z軸3的能實現(xiàn)三自由度移動的數(shù)控機(jī)床上進(jìn)行；電化學(xué)腐蝕加工系統(tǒng)由安裝在數(shù)控工作臺13上的電解液槽5，通過陰極安裝夾具7固定在電解液槽中的工具陰極9，通過陽極安裝夾具4浸入電解液中的工件陽極8，以及電流表10、數(shù)據(jù)采集卡11、計算機(jī)12、直流電源14組成。
通過數(shù)控工作臺13的移動調(diào)整工件陽極8和工具陰極9之間的相對位置，使其達(dá)到預(yù)期設(shè)計的狀態(tài)，工件陽極9浸入電解液的深度通過Z軸3的上下運動來控制，計算機(jī)12通過數(shù)據(jù)采集卡11采集加工電流值，通過特定的程序控制群電極加工尺寸大小。如圖2所示，電化學(xué)腐蝕加工過程中，工件陽極8和工具陰極9相向平行放置。
圖3所示的群電極毛坯是采用電火花線切割工藝加工而成，由于采用線切割工藝，其上單個電極截面形狀為四邊形，而在電化學(xué)腐蝕過程中，陽極尖棱尖角處電力線集中，電流密度高，蝕除較快，因而群電極毛坯最終能被腐蝕成圓柱形，如圖7所示。而群電極加工過程中陽離子所形成的擴(kuò)散層則影響了群電極上單個電極的圓柱度，如圖5所示。
下面結(jié)合圖1、圖2、圖3和圖4說明本發(fā)明的方法，本實施例為加工鎢材料群電極。實施過程依次經(jīng)過以下幾個步驟1.參考圖3，采用電火花線切割工藝制作帶有多個單電極的群電極毛坯。毛坯帶有10個單電極，長度l為9.3mm，其上的單電極截面形狀為正方形，邊長d為300μm。；2.參考圖4，采用有限元法設(shè)計電化學(xué)腐蝕的工具陰極形狀，影響陰極形狀的尺寸R和S以及陰、陽極之間的距離f是陽極表面電流密度分布一致性的決定影響因素，因此將參數(shù)R、S和f作為陰極形狀優(yōu)化設(shè)計問題的設(shè)計變量。通過比較群電極毛坯單個電極尖棱尖角處節(jié)點的電流密度值來考察電流密度在陽極表面分布的均勻性，將最大電流密度值與最小電流密度值之差作為目標(biāo)函數(shù)，采用ansys軟件的一階優(yōu)化方法，每次迭代中改變設(shè)計變量的值，隨著目標(biāo)函數(shù)值的減小，則所選陽極節(jié)點的電流密度差異也就越小，電流密度在所選節(jié)點處的分布越趨于均勻。對應(yīng)圖3所示的群電極毛坯，其最優(yōu)尺寸參數(shù)為

3.參考圖1，由環(huán)氧樹脂制成的電化學(xué)腐蝕加工陰極夾具7安放在電解液槽5中，將工具陰極裝入陰極夾具，電解液槽5固定在機(jī)床數(shù)控工作臺3上。用陽極夾具4將陽極群電極毛坯8夾緊，通過Z軸3向下進(jìn)給至合適的位置；4.參考圖1及圖2，調(diào)整數(shù)控工作臺3的X、Y軸移動，使得陰、陽極之間按規(guī)定距離相向平行放置，間距為30.8mm，將電解槽5中充滿電解液，調(diào)節(jié)Z軸3的上下運動，使工件陽極9浸入電解液面以下深度達(dá)h0，當(dāng)群電極毛坯浸入2mol/LKOH電解液深度h0為1.5mm時，試驗測得電解液沿電表面上升的高度h為1.14mm；5.參考圖1、圖2、3及圖4，接通直流電源，開始電化學(xué)腐蝕加工對于尺寸如圖3所示的群電極毛坯，當(dāng)加工電壓較低低于5.7V時，電極呈根部粗端部細(xì)的圓錐狀，而當(dāng)加工電壓達(dá)到5.7V時，電極呈直徑均勻的圓柱狀，電壓超過5.7V時，電極呈根部細(xì)端部粗的紡錘狀。
6.將圖3所示的群電極毛坯加工成單個電極尺寸為40μm的微細(xì)圓柱群電極，根據(jù)群電極尺寸計算模型，所要求通過的電量Q為157.63C。當(dāng)計算機(jī)根據(jù)采集的電流值得到的陰、陽極之間通過的電量達(dá)到157.63C時，進(jìn)行斷電抬刀，群電極上個單個電極實際加工尺寸為

7.參考圖1，松開陽極，取出工件，再安裝另一個群電極毛坯，夾緊后浸入電解液中再進(jìn)行加工。這樣，可實現(xiàn)群電極的批量高效、低成本制造。
權(quán)利要求
1.一種微細(xì)圓柱群電極電化學(xué)腐蝕加工方法，其特征在于包括以下步驟(1)、根據(jù)所需的單排微細(xì)圓柱群電極設(shè)計群電極毛坯尺寸參數(shù)，群電極毛坯上單個電極截面形狀均為四邊形，其中群電極毛坯邊長d≥2～3R，長度L、單個電極間距D和單個電極高度h0與所需的單排微細(xì)圓柱群電極尺寸參數(shù)一致；(2)、按上步要求加工單電極的群電極毛坯；(3)、工具陰極呈平板狀，一側(cè)表面帶有半圓柱凸臺，工具陰極主要參數(shù)陰極長度S、陰極上半圓柱凸臺半徑R、陰陽極間距f是采用電化學(xué)腐蝕加工電場的有限元分析方法優(yōu)化設(shè)計得到的，確保電化學(xué)腐蝕工件陽極上的電流密度均勻分布；(4)、制作電化學(xué)工具陰極(4)；(5)、將群電極毛坯作為電化學(xué)腐蝕工件陽極(5)，電化學(xué)腐蝕加工時，在電解槽中將工具陰極安裝固定在定位夾具(7)上，通過數(shù)控工作臺(1)調(diào)節(jié)兩極之間的位置，使得陰陽極相向豎直平行放置間距為f，通過機(jī)床主軸(6)的進(jìn)給，將群電極毛坯浸入電解液(3)中深度為h0，使得毛坯上各單個柱體完全處于液面以下；(6)通電，對群電極毛坯進(jìn)行電化學(xué)腐蝕加工，采用恒壓加工控制群電極成形的形狀，而群電極毛坯的尺寸不同，使群電極成形為圓柱形的加工電壓值也發(fā)生變化，對于單個電極邊長在500μm以下的群電極毛坯，使之成形為圓柱形的電壓通常在2～8V范圍內(nèi)，通過多次試驗法可確定此電壓值試驗初始采用較小的電壓，當(dāng)電壓較小時，電極呈根部粗端部細(xì)的圓錐狀，后逐步升高電壓值，電極的錐度將逐漸減小，而電壓過高時，電極呈根部細(xì)端部粗的紡錘狀，可以最終確定圓柱形電極的加工電壓；(7)采用電荷法控制群電極加工尺寸，加工一定直徑的微細(xì)圓柱群電極所需的電量通為Q0=10k(d2-14πR2)h0+2hl3(d-R),]]>加工過程中，通過數(shù)據(jù)采集卡(8)采集加工電流，通過采集的電流值計算加工過程中所通過的電量，即Q=Σi=0nIiΔt,]]>當(dāng)Q＝Q0時，進(jìn)行斷電抬刀，加工完成，其中k為材料的體積電化學(xué)當(dāng)量。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種微細(xì)圓柱群電極電化學(xué)腐蝕加工方法，屬電解加工領(lǐng)域。該方法包括以下步驟(1)采用電火花線切割或微銑削工藝制作帶有多個單電極的群電極毛坯；(2)采用有限元法，設(shè)計、制作電化學(xué)腐蝕工具陰極；(3)群電極毛坯作為電化學(xué)腐蝕陽極，浸入電解液中，使得毛坯上各單個柱體完全處于液面以下；將電化學(xué)腐蝕陰、陽極相向豎直平行放置；(4)通電，對群電極毛坯進(jìn)行電化學(xué)腐蝕加工，采用恒壓加工和電荷法分別控制群電極的形狀和加工尺寸。本發(fā)明的方法具有加工設(shè)備和控制方式簡單，加工效率、加工質(zhì)量高，制造成本低的特點。
文檔編號B23H1/04GK1943950SQ20061009685
公開日2007年4月11日 申請日期2006年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月20日
發(fā)明者朱荻, 王磊, 曲寧松, 王明環(huán) 申請人:南京航空航天大學(xué)