多極測定裝置制造方法
【專利摘要】為了提供一種能容易地取得對帶電粒子束裝置的象差進行修正的象差修正器的表格數(shù)據(jù)的多極測定裝置，在具備光學(xué)系統(tǒng)(10)、被插入象差修正器(6)的空間、和位置檢測器(7)的多極測定裝置中，對于在多個點進行的一次帶電粒子束向象差修正器(6)的入射位置以及角度和在位置檢測器(7)上的照射位置與多極的關(guān)系，通過在激勵了多極場的狀態(tài)以及不激勵的狀態(tài)下進行測定，由此提取出激勵了多極場的狀態(tài)包含的多極成分。
【專利說明】多極測定裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于調(diào)整帶電粒子束裝置的象差修正器的多極測定裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在以掃描式電子顯微鏡(SEM)、透射式電子顯微鏡(TEM)等的電子顯微鏡為代表的帶電粒子束裝置中，采用使用了用于會聚帶電粒子束的電場或者磁場的透鏡。在電場或者磁場透鏡中，不可避免地產(chǎn)生各種象差。因此，即便提高縮小率想要集中帶電粒子束線，象差變大不能使束點徑變小，無法觀察微小構(gòu)造，無法提高尺寸測定精度。
[0003]在帶電粒子束裝置中，為了提高分辨率，引進了象差修正器。該象差修正器通過設(shè)置多段的多極透鏡而構(gòu)成，通過在多極透鏡內(nèi)產(chǎn)生電場乃至磁場，由此除去象差。象差有多個利類，需要根據(jù)象差的種類設(shè)定適當(dāng)?shù)亩鄻O場。
[0004]關(guān)于象差修正器，例如如以下的非專利文獻I公開的那樣，使用了 4段的12極透鏡。在非專利文獻I的象差修正器中，作為象差修正方法，記述了與象差的種類相應(yīng)的多極場的調(diào)整方法。
[0005]關(guān)于象差與修正量的關(guān)系，被公開在非專利文獻2或?qū)＠墨II中。在此，在理想的條件下，根據(jù)計算導(dǎo)出象差與多極場組合的關(guān)系。另外在專利文獻I中，也公開了在象差修正器中測定象差，并對其進行修正的技術(shù)。作為該技術(shù)，由改變聚焦而取得的多枚的圖像取得束剖面圖數(shù)據(jù)，基于所取得的束剖面圖數(shù)據(jù)求出各種幾何象差的象差量，根據(jù)求出的象差量決定向象差修正器輸入的修正量，除去各種象差。
[0006]但是，這些象差測定需要在將使束聚焦到樣品的狀態(tài)或者聚焦后的狀態(tài)與基準(zhǔn)相比稍微錯開的狀態(tài)下進行，但由于受到象差的影響，維持束聚焦的狀態(tài)容易被打破，需要成為能測定象差的狀態(tài)的前階段的調(diào)整。該調(diào)整需要將程序反復(fù)，因此調(diào)整時間成為問題。另夕卜，在這些測定中，若僅增大與I段相應(yīng)的I種多極場等的特定要素，則不能維持聚焦?fàn)顟B(tài)，所以每個要素的測定是困難的。由于這種測定是困難的，所以考慮非專利文獻2的方法。
[0007]在規(guī)定預(yù)先的象差與修正量的關(guān)系時，假設(shè)考慮修正器中的多極的機械式的位置偏移等從理想狀態(tài)的偏離來進行修正的情況。在該情況下，若進行象差修正，則進而產(chǎn)生伴隨修正而附屬地產(chǎn)生的象差(寄生象差)，所以需要進行抑制。為了抑制該寄生象差，除了主要目的的修正場之外，還激勵輔助的多極場。因此，在假設(shè)更高度的調(diào)整時，象差與修正量的關(guān)系除了理想的多極場與修正量的關(guān)系的測定外，還需要輔助的多極場的組合的測定，該測定所花費的時間成為問題。另外，象差量由于依賴于光學(xué)條件，所以需要在每個光學(xué)條件下調(diào)查象差與修正量的關(guān)系，因此花費與條件的量相應(yīng)的時間。
[0008]上述，在象差與修正量的關(guān)系的測定中，進而在寄生象差大的情況下，存在束落到測定范圍外而不能測定的缺點，為了避免該缺點需要以細致的步驟進行反復(fù)，導(dǎo)致程序復(fù)雜。
[0009]在先技術(shù)文獻
[0010]專利文獻[0011]專利文獻I JP特開2005-183086號公報
[0012]非專利文獻
[0013]非專利文獻1:Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,A363(1995)，第 316 ?325 頁
[0014]非專利文獻2:0ptikll6卷，9號，第438-448頁
【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]發(fā)明要解決的課題
[0016]在象差修正器的真正運用的前階段，取得表格數(shù)據(jù)，該表格數(shù)據(jù)記錄了對于輸入值(電壓或電流以及其分配)的強度而激勵的多極場的強度的關(guān)系、對于多極場的強度而需要的調(diào)整場的關(guān)系等。在此，作為誤差因素，確認/記錄極的制作上的位置偏移、相對于輸入值的多極場的強度(相對于輸入值的響應(yīng)特性)之差等而產(chǎn)生的設(shè)計上的假設(shè)與實際的觀察之差，為了抑制在多極場中與本來希望的效果相背離而另外產(chǎn)生的象差(寄生象差)，還記錄調(diào)整場的組合與強度。該測定在安裝了象差修正器的電子顯微鏡上進行，但由于利用掃描式的電子顯微鏡的觀察需要在充分地將探測器集中的狀態(tài)(利用2次電子的情況下)，所以需要連動地使多個段的多極場動作，難以細分成僅進行I段的多極場激勵這樣的要素。若沒有按每個要素進行細分，則在每個條件下分別需要不同的表格數(shù)據(jù)，因此取得裝置所要求的膨大的觀察條件的數(shù)量的表格數(shù)據(jù)是十分繁瑣麻煩的，而且浪費時間，不能應(yīng)對未測定的條件，在運用上產(chǎn)生限制。
[0017]進而，在上述電子顯微鏡中將探測器集中了的狀態(tài)的觀察中，即使對于微量變化也很敏感，所以檢測靈敏度高，但是作為多極場激勵的誤差，在包含大量偏向場的情況下，從用于將探測器集中的物鏡離開而不能觀察，導(dǎo)致針對大的變化較弱，對于表格數(shù)據(jù)取得時的測定也有限制。因此，需要在比較小的步驟中使多極場強度變化，來取得表格數(shù)據(jù)，因此花費很多時間。
[0018]本發(fā)明的目的在于提供一種能容易地取得象差修正器的表格數(shù)據(jù)的多極測定裝置。由此，能夠在短期間內(nèi)進行象差修E器的調(diào)整，能實現(xiàn)象差修正器的量產(chǎn)化。
[0019]用于解決課題的手段
[0020]本發(fā)明提供一種測定象差修正器的多極場特性的裝置。在本裝置中，使帶電粒子束通過會聚透鏡與象差修正器，將通過的帶電粒子束照射到熒光板等的觀察板，進行在觀察板上被照射的位置或被照射的帶電粒子束的束剖面圖的觀察。在象差補會聚透鏡與象差修正器之間具備偏向器，能控制帶電粒子束對象差修正器的入射位置與角度。
[0021]若在象差修正器激勵任意的多極場，則根據(jù)多極場的種類與大小以及帶電粒子束對多極場的入射位置與角度的設(shè)定參數(shù)，帶電粒子束在觀察板上的照射位置與束剖面圖在原理上發(fā)生變化。另外，帶電粒子束在觀察板上的照射位置與束剖面圖除了這些設(shè)定參數(shù)等的原理的因素以外，還根據(jù)極的位置偏移和針對被輸入的電壓或電流的響應(yīng)特性的誤差因素而變化。本發(fā)明變更上述設(shè)定參數(shù)，測定觀察板上的照射位置，計算出消除多極場激勵時的誤差因素的表格。
[0022]發(fā)明效果
[0023]通過本發(fā)明的裝置，能調(diào)查象差修正器的多極場特性，在被搭載于電子顯微鏡等的帶電粒子束裝置前能進行象差修正器的屏蔽(screening)。另外，由于能直接觀察帶電粒子束，所以與利用2次電子的情況相比不需要細致的調(diào)整和限制，容易并且高速地進行檢查與表格制作。進而，由于能相對于單一的段這樣的要素來進行調(diào)查，所以能實現(xiàn)課題的劃分，能取得通用性高的數(shù)據(jù)。由于能用相同的裝置檢查多個象差修正器，所以能以穩(wěn)定的條件進行檢查，有助于品質(zhì)的提聞。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1是第I實施例所涉及的多極測定裝置的整體構(gòu)成概略圖。
[0025]圖2A是用于說明圖1所示的多極測定裝置內(nèi)的電子束的軌道的裝置示意圖。
[0026]圖2B是用于說明圖1所示的多極測定裝置內(nèi)的電子束的軌道的裝置示意圖。
[0027]圖2C是用于說明圖1所示的多極測定裝置內(nèi)的電子束的軌道的裝置示意圖。
[0028]圖2D是用于說明圖1所示的多極測定裝置內(nèi)的電子束的軌道的裝置示意圖。
[0029]圖3A是表示圖1所示的多極測定裝置的觀察板上的電子束的照射點的軌跡的一個例子的說明圖。
[0030]圖3B是表示圖1所示的多極測定裝置的觀察板上的電子束的照射點的軌跡的其他例子的說明圖。
[0031]圖3C是表示圖1所示的多極測定裝置的觀察板上的電子束的照射點的軌跡的其他例子的說明圖。
[0032]圖3D是表示圖1所示的多極測定裝置的觀察板上的電子束的照射點的軌跡的其他例子的說明圖。
[0033]圖3E是表示圖1所示的多極測定裝置的觀察板上的電子束的照射點的軌跡的其他例子的說明圖。
[0034]圖4是使用圖1所示的多極測定裝置來測定多極場時的流程圖。
[0035]圖5A是表示使用圖1所示的多極測定裝置測定多極場時入射電子束向多極的偏向圖案的一個例子的說明圖。
[0036]圖5B是表示使用圖1所示的多極測定裝置測定多極場時入射電子束向多極的偏向圖案的其他例子的說明圖。
[0037]圖5C是表示使用圖1所示的多極測定裝置測定多極場時入射電子束向多極的偏向圖案的其他例子的說明圖。
[0038]圖是表示使用圖1所示的多極測定裝置測定多極場時入射電子束向多極的偏向圖案的其他例子的說明圖。
[0039]圖6是表示第I實施例所涉及的多極測定裝置的其他例子的整體構(gòu)成概略圖。
[0040]圖7是表示第I實施例所涉及的多極測定裝置的其他例子的整體構(gòu)成概略圖。
【具體實施方式】
[0041]以下，作為實施例，使用在4-8極型象差修正器中利用了本裝置的例子進行說明。
[0042]實施例1
[0043]圖1表示本發(fā)明的第I實施例所涉及的多極測定裝置的整體構(gòu)成的概略圖。構(gòu)成大概由以下部分組成:照射電子束和進行偏向的電子槍列10 ;收納象差修正器的象差修正器列11 ;收納觀察板的觀察室12 ;用于控制各構(gòu)成元件的控制單元13?？刂茊卧?3上還連接著計算調(diào)整量或偏離量的運算裝置31、成為裝置與裝置用戶之間的人機接口的操作臺32、顯示取得信息的監(jiān)視器33、用于存儲規(guī)定的信息的存儲部34。操作臺32例如由鍵盤、鼠標(biāo)等的信息輸入單元構(gòu)成。
[0044]首先，對電子槍列10、象差修正器列11、觀察室12的構(gòu)成要素進行說明。電子槍列10、象差修正器列11、觀察室12被連結(jié)，使內(nèi)部為真空，作為一體裝置進行動作，但也能將象差修正器列11分開，使得能與其它的象差修正器進行交換。在分開的情況下，關(guān)閉真空閥5與真空閥8，維持電子槍列10與觀察室12的真空。電子槍I通過電子槍電源20，在規(guī)定的電壓下釋放出電子束，釋放出的電子束沿著光軸40向后段的構(gòu)成要素入射。電子束被可動光圈2限制束電流，并由聚束透鏡3會聚，通過偏向器4、象差修正器6，向觀察板7照射。在動作中，通過真空閥控制單元23解放真空閥5與真空閥8，從電子槍I到觀察板7，不會遮擋電子束。偏向器4通過偏向器電源22與控制計算機30連接，能夠通過控制計算機30，以任意的大小、朝向、定時進行偏向。附圖標(biāo)記21是聚束透鏡電源。
[0045]象差修正器列11內(nèi)的象差修正器6具有4段的12極，各極與象差修正器電源24連接，能對各極分別產(chǎn)生任意的大小的電場或磁場或者電場與磁場雙方。12極通過向象差修正器電源24的12極的輸入值的組合，能夠形成電場或磁場的2極場、4極場、6極場、8極場等多極場。多極場也能重疊地形成，其大小或種類、相位、以哪段進行，都可以通過與象差修正器電源24連接的控制計算機30來決定。
[0046]觀察室12內(nèi)部的觀察板7檢測被照射到觀察板7上的電子束的電流量與位置，檢測出的信息通過成像單元25被送到控制計算機30。此外，相同附圖標(biāo)記表示相同構(gòu)成要素。
[0047]接下來，說明該多極測定裝置的動作。動作大致分為:軸確認(調(diào)整)、多極場的測定、多極場的調(diào)整值(輔助場)計算。此外，在本實施例中，雖然省略了單個的記述，但在為了提高多極的激勵狀態(tài)的再現(xiàn)性而使用磁場的多極改變勵磁強度的情況下，也可以進行去磁動作。另外，本實施例在加速電壓一定的條件下進行。在實際的測定中，對使用的加速電壓全部進行同樣的測定。
[0048]對軸確認進行說明。軸確認通過利用偏向器4將電子束41(參照圖2A等)在象差修正器6上與光軸40平行地進行二維掃描來進行。首先，在由象差修正器6不激勵多極場的狀態(tài)(或任意的值)下通過偏向器4進行二維掃描，記錄二維掃描中的偏向器4的輸入值與在觀察板7上觀察的位置的關(guān)系。接下來，由象差修正器6變更I個多極場的輸入值的強度，再度進行二維掃描，記錄二維掃描中的偏向器4的輸入值與在觀察板7上觀察的位置的關(guān)系。由于通過多極場的軸的電子束不管多極場的激勵強度如何都位于相同的位置，所以比較多極場的變更前后，能檢測出在觀察板7上觀察的位置相對于二維掃描中的偏向器4的輸入值的變化最少的地點，并將其作為軸的位置。
[0049]該軸確認雖然是將基于偏向器4的二維掃描與光軸40平行地來進行，但還存在只要能確定坐標(biāo)就傾斜地進行調(diào)查的方法。另外，作為高速且高精度調(diào)查軸的位置的方法，存在下述方法:在將二維掃描中的取樣數(shù)設(shè)為固定的情況下，首先以大的區(qū)域粗略地進行二維掃描，接著將運動最少的區(qū)域作為中心漸漸縮小掃描區(qū)域。
[0050]該軸確認雖然對哪個多極都適用，但作為多極場測定中的軸的設(shè)定，優(yōu)選以主要用于形成軌道的4極為基準(zhǔn)來進行。但是，通常，軸的位置為4段分別不同的位置，多極場測定將按每一段設(shè)定的軸為基準(zhǔn)。每段的軸的位置差異被記錄下來，在SEM中加入象差修正器6，也能利用于估算進行各段的軸調(diào)整時所需的2極場的偏置量。這是因為，以4極的軸為基準(zhǔn)即使是相同的段，軸的位置根據(jù)多極場而不同的情況很多，不能使全部的軸一致。因此，對于具有與4極的軸不同軸的位置的多極，在多極場測定中作為2極成分來處理。
[0051]對多極場測定進行說明。在進行了軸確認后，通過偏向器4使電子束41相對于由前述的軸確認而得到的軸，圍繞軸進行旋轉(zhuǎn)，使象差修正器6通過，在此時的觀察板7檢測電子束41的位置，通過調(diào)查檢測出的位置與向象差修正器6的入射位置的關(guān)系，來進行本實施例中的多極場測定。
[0052]關(guān)于電子束41的旋轉(zhuǎn)，利用圖2A?圖2D所示的多極測定裝置的示意圖進行說明。在本例中，由軸確認而確認的軸的位置與光軸40 —致。圖2A是在電子束41的旋轉(zhuǎn)前的狀態(tài)下，通過聚束透鏡3，電子束41被觀察板7會聚。調(diào)整偏向器4，使得電子束41的旋轉(zhuǎn)從該狀態(tài)開始，如圖2B所示，與光軸40平行地保持一定的半徑r的距離，入射到象差修正器6。
[0053]作為由各多極場測定而得到的結(jié)果的例子，電子束41利用偏向器4而被旋轉(zhuǎn)，受到由象差修正器6激勵的多極場的影響，在觀察板7上如圖3A?圖3E所示那樣觀察，并能輸出到監(jiān)視器33。在圖3A?圖3E中，以觀察板7的電子束41的照射點50為例進行表示，用軌跡51表示伴隨電子束41旋轉(zhuǎn)的電子束的照射點的移動。在此，圖3A表示沒有多極場的情況，圖3B表示受到4極場的影響的情況，圖3C表示受到6極的影響的情況，圖3D表示受到8極的影響的情況。進而，圖3E表示增加8極的強度的情況。這些形狀由象差修正器6的多極場的作用和電子束41向象差修正器6的入射的關(guān)系來決定。此外，圖3E中的附圖標(biāo)記52是電子束的剖面圖內(nèi)部的照射點，附圖標(biāo)記53是電子束的剖面圖外周部的照射點。
[0054]利用圖4對多極場測定流程進行說明。在此，電子束41從軸開始在半徑r的圓周上以等間隔在M點繞一周。另外，使多極場的強度從O開始以Λ T為單位變化P+1次，變化到ΛΤΧΡ，來進行測定。在本例中，作為計數(shù)器使用任意的整數(shù)n、i。
[0055]步驟SlO:通過控制計算機30控制象差修正器電源24，將象差修正器6的多極場的激勵強度設(shè)為ATXi。
[0056]步驟Sll:通過控制計算機30控制偏向器4，設(shè)定向象差修正器6的多極場的入射坐標(biāo)。向象差修正器6的入射坐標(biāo)(xni，yni)由式⑴表示。
[0057][數(shù)式I]
[0058](xni, yni) = (rcos (2 π Χη/Μ), rsin (2 π X η/Μ)) *..(1)
[0059]入射坐標(biāo)(xni，yni)能夠根據(jù)向偏向器電源22的電流或電壓等的輸入值來計算。
[0060]步驟S12:取得觀察板7上的電子束41的照射坐標(biāo)(Xni，Yni)。檢測出的電子束的照射坐標(biāo)通過成像單元25被送到控制計算機30，與在步驟Sll中設(shè)定的電子束的入射坐標(biāo)同步地被記錄在存儲部34中。
[0061]步驟S13:利用計數(shù)器η來判斷規(guī)定的動作(Μ點移動)是否結(jié)束。在結(jié)束了的情況下進入步驟S15，在沒有結(jié)束的情況下進入步驟S14的處理。為了提取到8極成分，M需要為6以上，為了容易計算，優(yōu)選是2的冪乘。
[0062]步驟S14:對計數(shù)器η加I,再度返回到步驟S11。[0063]步驟S15:對計數(shù)器η進行復(fù)位，返回到O。
[0064]步驟S16:使用計數(shù)器i，來判斷規(guī)定的動作(多極強度的變更)是否結(jié)束。在結(jié)束了的情況下進入步驟S18，在沒有結(jié)束的情況下進入步驟S17的處理。
[0065]步驟S17:對計數(shù)器i加1，再度返回步驟S10。
[0066]步驟S18:根據(jù)存儲于存儲部34的入射坐標(biāo)(xni，yni)與照射坐標(biāo)(Xni, Yni)的關(guān)系，對于強度ATXi算出多極成分((Dc, Ds), (Qc, Qs), (He, Hs), (0c, Os)) i0多極成分表現(xiàn)出Dc:2極余弦成分、Ds:2極正弦成分、Qc:4極余弦成分、Qs:4極正弦成分、He:6極余弦成分、Hs:6極正弦成分、Oc:8極余弦成分、Os:8極正弦成分。計算的方法在后面描述。
[0067]關(guān)于上述步驟S11、步驟S12以及步驟S18，象差修正器6的多極的配置、電子束41的坐標(biāo)和觀察板7上的坐標(biāo)預(yù)先校正，將所得到的調(diào)整表格數(shù)據(jù)的坐標(biāo)系與象差修正器6的機械式的位置關(guān)系建立對應(yīng)來管理。由此，在將象差修正器6裝入電子顯微鏡之間，通過參照象差修正器6的多極位置，從而調(diào)整表格的坐標(biāo)系與電子顯微鏡裝置的坐標(biāo)系的校正變得容易。
[0068]在本例中，多極場的測定僅對I個多極場進行了記述。實際的測定是在象差修正器6的4段多極全部的段分別對多極場單獨激勵來進行測定的。它們的順序不管多極場如何都是相同的。在此進行測定的各個多極場是指2極場、4極場、6極場、8極場，進而各個多極場對余弦分布與正弦分布的兩種進行測定。另外，磁場與電場的多極作為分別不同種類的多極場分別進行測定。此外，步驟S19表示返回初始值的處理。
[0069]接下來對步驟S18的多極成分的計算方法進行說明。該計算通過將照射坐標(biāo)(Xni, Yni)看做η的函數(shù)分別對X坐標(biāo)以及y坐標(biāo)進行傅里葉級數(shù)展開，從而能計算出多極成分。但是，關(guān)于4極場成分，需要除去束旋轉(zhuǎn)成分。另外，各多極成分由于與多極的位置和到觀察板7的距離成比例地進`行變化，所以是相對的指標(biāo)。各成分((Dc，Ds)、(Qc, Qs)、(He，Hs)、(O(^Os))i與照射坐標(biāo)(Xni，Yni)的關(guān)系，將旋轉(zhuǎn)成分設(shè)為(Re，Rs)能用式(2-1),式(2-2)來表述。
[0070][數(shù)式2]
[0071 ] Xni = Dc+ (Rc+Qc) X cos (2 π.η/Μ) + (Qs-Rs) X sin (2 π.η/Μ)
[0072]+He X cos (4 π.η/Μ)+Hs X sin (4 π.η/Μ)+Oc X cos (6 π.η/Μ)+Os X sin (6 π.η/Μ)
[0073]...(2-1) Yni = Ds+(Rc-Qc) X sin (2 π.η/Μ) + (Qs+Rs) X cos (2 π.η/Μ)
[0074]-He X sin (4 π.η/Μ)+Hs X cos (4 π.η/Μ)-Oc X sin (6 π.η/Μ)+Os X cos (6 π.η/Μ)
[0075]...(2-2)
[0076]算出了(將R成分的初始相位設(shè)為O的情況下Rs = 0)的值由于根據(jù)各成分的強度與入射條件、多極與觀察板的距離而改變，所以并用作相對指標(biāo)。但是，嚴(yán)格來說若進行校正，則作為絕對值也能用于測定。
[0077]對根據(jù)測定結(jié)果進行的調(diào)整量的計算進行說明。作為調(diào)整量的計算，在將多極w假設(shè)為(w = 2、4、6、8。分別為余弦與正弦分布)時，算出對于w極強度的輸入值的強度aw，作為輔助場而由針對輸入值的系數(shù)定義的輔助的多極場成分((kw2。，kw2s)、(kv4c, kw4s)、(kw6。，kw6s)、(kw8c, kw8s))的激勵的組合。在將w極場的輸入值的強度設(shè)為aw的情況下，若將作為實際的多極場而輸出的j極場成分(j = 2c、2s、4s、4c、6c、6s、8c、8s。c為余弦，s為正弦)(例如若j = 2c，則為2極余弦成分Dc)的強度設(shè)為bwp則成為下式。[0078][數(shù)式3]
【權(quán)利要求】
1.一種多極測定裝置，其具備: 照射光學(xué)系統(tǒng)，其照射一次帶電粒子束； 二維位置檢測器，其檢測被照射該一次帶電粒子束的面上的位置坐標(biāo)； 會聚透鏡，其使上述一次帶電粒子束會聚到該二維位置檢測器的檢測面上； 用于在該會聚透鏡與上述二維位置檢測器之間插入象差修正器的空間，該象差修正器具有多段的多極； 偏向器，其對上述一次帶電粒子束入射到被插入該空間時的上述象差修正器的位置以及角度進行控制； 象差修正器控制部，其對由上述象差修正器激勵的多極的強度以及種類進行控制；和 存儲部，其存儲:在由該象差修正器控制部激勵了任意的多極的狀態(tài)下由上述偏向器控制的上述一次帶電粒子束向上述象差修正器入射的位置以及角度、和由上述二維位置檢測器檢測出的照射位置的關(guān)系， 在多個點進行因偏向引起的上述一次帶電粒子束向上述象差修正器的入射，通過在激勵了多極場的狀態(tài)以及不激勵多極場的狀態(tài)下對在多個點進行的上述一次帶電粒子束向上述象差修正器的入射位置以及角度、上述照射位置和上述多極的關(guān)系進行測定，由此提取出激勵了上述多極場的 狀態(tài)所包含的多極成分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多極測定裝置，其特征在于， 根據(jù)提取出的上述多極成分的值來計算激勵分配并進行記錄，該激勵分配用來消除伴隨著由上述象差修正器控制部進行的任意的多極場激勵而產(chǎn)生的、與本來希望的任意的多極不同種類的多極成分。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多極測定裝置，其特征在于， 針對激勵任意的多極場的電壓或者電流的輸入值，作為響應(yīng)而計算出多極場的實際輸出的強度，進而對變更多極場的強度并計算出輸出的強度的作業(yè)進行反復(fù)，對針對多極場強度的輸入值和輸出的關(guān)系進行記錄。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多極測定裝置，其特征在于， 關(guān)于多極場的任意的激勵強度中的上述多極成分的提取，上述偏向器的入射位置和角度在以任意的軸為基準(zhǔn)并以軸為中心將入射角度固定的狀態(tài)下保持固定的距離。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多極測定裝置，其特征在于， 關(guān)于伴隨著上述多極成分的提取中的多個上述偏向器的入射的變更的照射位置，考慮上述二維位置檢測器能檢測的區(qū)域，以不脫離能觀察的區(qū)域的方式，根據(jù)由上述象差修正器控制部進行的任意的多極場的激勵強度來變更上述偏向器的入射條件，并將該入射條件反饋給多極成分提取的計算。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多極測定裝置，其特征在于， 關(guān)于伴隨著上述多極成分的提取中的多個上述偏向器的入射的變更的照射位置，在由上述象差修正器控制部進行的任意的上述多極場的激勵時，檢測由上述二維位置檢測器檢測出的照射位置與不激勵上述多極場的狀態(tài)下的照射位置一致的條件，從此時施加給上述偏向器的值和沒有激勵時施加的值的差分，提取出上述多極成分。
7.一種多極測定裝置，為了進行調(diào)整以去除在通過具有多極的象差修正器修正帶電粒子束裝置的象差時附屬地產(chǎn)生的寄生象差而計算多極成分，該多極測定裝置包括:光學(xué)系統(tǒng)，其包括使一次帶電粒子束會聚的會聚透鏡和使一次帶電粒子束偏向的偏向器； 二維位置檢測器，其檢測被照射上述一次帶電粒子束的面上的位置； 用于插入具有上述多極的象差修正器的空間，該空間位于上述光學(xué)系統(tǒng)與上述二維位置檢測器之間； 象差修正器控制部，其對被插入到上述空間中的上述象差修正器的上述多極進行控制；和 運算裝置，其計算上述多極成分， 上述運算裝置，利用:通過上述偏向器向由上述象差修正控制部設(shè)定為規(guī)定的多極場的激勵強度的上述象差修正器偏向的上述一次帶電粒子束入射時的多個入射位置的坐標(biāo)以及角度、和上述一次帶電粒子束通過上述象差修正器而被上述二維位置檢測器檢測出的多個照射位置的坐標(biāo)，來計算上述多極成分。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多極測定裝置，其特征在于， 上述多極成分包括2極余弦成分、2極正弦成分、4極余弦成分、4極正弦成分、6極余弦成分、6極正弦成分、8極余弦成分、8極正弦成分。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多極測定裝置，其特征在于， 上述多極成分包括用于進行本來希望的象差修正的主成分和除此之外的副成分， 上述運算裝置計算出上述副成分為零的調(diào)整量，并將所得到的值表格化。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多極測定裝置，其特征在于， 上述二維位置檢測器是觀察板。
11.根據(jù)權(quán) 利要求7所述的多極測定裝置，其特征在于， 在上述光學(xué)系統(tǒng)的上述偏向器和插入上述象差修正器的上述空間之間，還具有二次電子檢測器。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多極測定裝置，其特征在于， 取代上述二維位置檢測器，而具備掃描線圈和電子檢測器。
【文檔編號】H01J37/244GK103765549SQ201280040592
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2012年5月23日 優(yōu)先權(quán)日:2011年9月8日
【發(fā)明者】中野朝則, 浦野琴子, 伊藤博之 申請人:株式會社日立高新技術(shù)