專利名稱：電介質(zhì)阻擋放電燈裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電介質(zhì)阻擋放電燈裝置。
背景技術(shù)：
電介質(zhì)阻擋放電燈裝置具備多個電介質(zhì)阻擋放電燈，為了光清洗例如使用半導(dǎo)體晶片、或液晶顯示裝置中用到的玻璃基板等。作為以往的電介質(zhì)阻擋放電燈，例如公知:將在內(nèi)周面設(shè)置了電極的玻璃管作為內(nèi)管、且將在外周面設(shè)置了電極的玻璃管作為外管的雙管構(gòu)造(參照專利文獻(xiàn)I);和在角筒狀的玻璃管的大致半周面具備網(wǎng)格狀電極、且在相反側(cè)的半周面具備滿電極的單管構(gòu)造(參照專利文獻(xiàn)2)。專利文獻(xiàn)1:日本特開2003-257375號公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開2005-322632號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明要解決的課題)上述專利文獻(xiàn)I以及2所記載的任何電介質(zhì)阻擋放電燈都是在內(nèi)部封入了放電氣體的玻璃管中使一對電極一體化而成的構(gòu)造。這些燈是按如下方式制造的，即:在玻璃管內(nèi)填充了放電氣體的狀態(tài)下熔敷玻璃管的端部來進(jìn)行密封，進(jìn)而在該玻璃管的表面例如通過蒸渡或?yàn)R射來附著一對電極，在這一對電極之上釬焊從連接器向各電極導(dǎo)出的導(dǎo)線。這樣，不僅經(jīng)過玻璃管的氣體密封工序還需要經(jīng)過電極形成工序以及導(dǎo)線安裝工序，因此以往的電介質(zhì)阻擋放電燈不得不變得非常昂貴。此外，在電介質(zhì)阻擋放電燈裝置中組合燈之際，不僅針對每個燈而需要與電源裝置連接的布線構(gòu)造，當(dāng)然針對每個燈也需要固定于裝置框體的安裝構(gòu)造，所以作為燈裝置而趨向于成為復(fù)雜的構(gòu)造。本發(fā)明是基于上述這種情況而完成的，其目的在于提供一種能夠使電介質(zhì)阻擋放電燈自身的構(gòu)造簡化，并且作為燈裝置也能簡化構(gòu)造的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置。(用于解決課題的技術(shù)方案)作為解決上述課題的技術(shù)方案，本發(fā)明提供一種電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于，具備:燈罩，其具有光照射開口 ；網(wǎng)格狀電極，其被設(shè)置于該燈罩的所述光照射開口、且由多孔狀的導(dǎo)電體構(gòu)成；放電容器，其是在透光性的容器中封入放電氣體而形成的；放電容器保持部件，其在與所述網(wǎng)格狀電極之間夾持該放電容器、且與所述放電容器獨(dú)立形成；電極部件，其被配置在夾著所述放電容器而與所述網(wǎng)格狀電極對置的位置；和電源裝置，其在所述網(wǎng)格狀電極與所述電極部件之間施加放電用的電壓，所述放電容器被所述網(wǎng)格狀電極支撐。在本發(fā)明中，因?yàn)殡娊橘|(zhì)阻擋放電燈是通過用網(wǎng)格狀電極、電極部件、和放電容器保持部件來夾持在透光性的容器中封入放電氣體而形成的放電容器所獲得到的，所以不需要如制造以往的燈時(shí)那樣在放電容器通過蒸鍍等的方法形成電極的工序。
在本發(fā)明中，因?yàn)槭欠烹娙萜鲀H被網(wǎng)格狀電極支撐的構(gòu)成，所以在照射光的路徑上除了網(wǎng)格狀電極以外無需設(shè)置用于支撐放電容器的元件。因此，根據(jù)本發(fā)明，較之除了網(wǎng)格狀電極以外還設(shè)置了用于支撐放電容器的元件的情況，能夠提高光的透過率。進(jìn)而，在除了網(wǎng)格狀電極以外還設(shè)置了用于支撐放電容器的元件的情況下，當(dāng)進(jìn)行放電的光中包含紫外線時(shí)，可能會產(chǎn)生該元件因紫外線而劣化的問題，但是根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)檫@種元件被省略了，所以能夠提高燈的耐久性。而且，在將燈組合到本發(fā)明的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置中之際，在用網(wǎng)格狀電極、電極部件、和放電容器保持部件夾持了規(guī)定個數(shù)的放電容器之后，只要將網(wǎng)格狀電極以及電極部件分別與電源裝置連接即可。也就是說，在本發(fā)明中，在將燈組合到電介質(zhì)阻擋放電燈裝置中之際，因?yàn)獒槍γ總€燈也不需要與電源裝置連接的布線構(gòu)造、固定于燈罩的安裝構(gòu)造，所以作為燈裝置也能夠簡化構(gòu)造。本發(fā)明也可以是以下的構(gòu)成。所述網(wǎng)格狀電極也可以為板材。通過采用這種構(gòu)成，則加工變得容易。也可在所述燈罩中，和所述網(wǎng)格狀電極的與所述放電容器相反側(cè)的面相接且支撐所述網(wǎng)格狀電極的支撐部件被設(shè)置于從所述放電容器偏離的位置。如果放電容器和電極(網(wǎng)格狀電極以及電極部件)的非接觸區(qū)域變多，則在向電極施加電壓時(shí)在電極與放電容器之間容易產(chǎn)生微小的放電(微型濺射)，通過該放電可能導(dǎo)致放電容器、電極劣化，從而導(dǎo)致光透過率降低等、壽命變短。然而，通過采用上述這種構(gòu)成，則因?yàn)榫W(wǎng)格狀電極被設(shè)置于從放電容器偏離的位置處的支撐部件支撐，所以來自放電容器的光的照射不會被遮擋，可以使網(wǎng)格狀電極以及電極部件與放電容器的接觸狀態(tài)變得良好(密接化)。其結(jié)果，能夠防止放電容器、電極的劣化，且能夠抑制光透過率降低。也可具備多個所述放電容器，所述網(wǎng)格狀電極被設(shè)置成與多個所述放電容器相接。通過采用這種構(gòu)成，則即便在具備多個放電容器的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置的情況下，因?yàn)閮H用電極部件以及電容器保持部件、和多個放電容器所共用的網(wǎng)格狀電極進(jìn)行夾持就能夠組合多個放電容器，所以也能夠簡化構(gòu)造。在此，例如通過設(shè)置成使一個網(wǎng)格狀電極與多個放電容器接觸，由此能夠?qū)⒕W(wǎng)格狀電極作為公共電極。也可具備多個所述放電容器，所述電極部件被設(shè)置成與多個所述放電容器相接。通過采用這種構(gòu)成，即便在具備多個放電容器的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置的情況下，因?yàn)閮H用網(wǎng)格狀電極、多個放電容器所公共的電極部件、和放電容器保持部件進(jìn)行夾持就能組合多個放電容器，所以也能夠簡化構(gòu)造。在此，例如通過設(shè)置成使一個電極部件與多個放電容器接觸，由此能夠?qū)㈦姌O部件設(shè)為公共電極部件。在上述構(gòu)成中，如果所述支撐部件沿著所述放電容器的整個長邊方向設(shè)置，則能夠沿著整個長邊方向支撐放電容器，能夠使網(wǎng)格狀電極以及電極兼容器保持部件與放電容器的接觸狀態(tài)變得更良好。 所述電極部件和所述放電容器保持部件也可以為一體式電極兼容器保持部件。通過采用這種構(gòu)成，由此能夠減少元件個數(shù)，故能夠簡化電介質(zhì)阻擋放電燈自體的構(gòu)造。在上述構(gòu)成中，如果具備多個所述放電容器、所述電極兼容器保持部件被設(shè)置成與多個所述放電容器相接，則在用網(wǎng)格狀電極、和電極兼容器保持部件夾持規(guī)定個數(shù)的放電容器之后，僅通過將網(wǎng)格狀電極以及電極兼保持部件分別與電源裝置連接，就能將燈組合到電介質(zhì)阻擋放電燈裝置中。也就是說，在該構(gòu)成中，在將燈組合到電介質(zhì)阻擋放電燈裝置中之際，因?yàn)獒槍γ總€燈也不需要與電源裝置連接的布線構(gòu)造、固定于燈罩的安裝構(gòu)造，所以作為燈裝置也能夠簡化構(gòu)造。在此，例如通過設(shè)置成使一個電極兼容器保持部件與多個放電容器接觸，由此能夠?qū)㈦姌O兼容器保持部件設(shè)為公共的部件。在上述構(gòu)成中，也可所述電極兼容器保持部件由能反射通過所述放電容器內(nèi)的電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光的材料構(gòu)成，且在與所述放電容器相接的接觸部的兩側(cè)具有將來自所述放電容器內(nèi)的光反射到所述網(wǎng)格狀電極側(cè)的反射面。通過采用這種構(gòu)成，則因?yàn)殡姌O兼放容器保持部件作為反射板發(fā)揮功能，所以能夠提高通過網(wǎng)格狀電極被照射的光的透過率，并且無需另行設(shè)置反射板，故能夠進(jìn)一步簡化構(gòu)造。在上述構(gòu)成中，也可在所述電極兼容器保持部件設(shè)置了氣體供給孔，該氣體供給孔供給用于將所述燈罩的光照射開口部分的空間設(shè)為低氧狀態(tài)或惰性氣體氣氛的氣體。由于通過電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光之中的、例如波長為172nm的紫外線容易與氧結(jié)合，因此存在難以在空氣中通過的光透過率下降的顧慮。因此，通過采用這種構(gòu)成，則因?yàn)樵O(shè)為低氧狀態(tài)或惰性氣體氣氛的氣體被導(dǎo)入到燈罩的光照射開口部分的空間中，所以通過電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光容易通過該空間，故光透過率得到提高。在上述構(gòu)成中，也可所述放電容器呈圓筒狀，在所述電極兼容器保持部件的所述接觸部形成有沿著所述放電容器的外周面的剖面為弧狀的凹部。通過采用這種構(gòu)成，則即便在放電容器為圓筒狀的情況下，也能在與電極兼容器保持部件的接觸部所設(shè)置的凹部內(nèi)按著沿著放電容器的外周面的方式進(jìn)行配置，所以難以錯開放電容器。在本發(fā)明中，所述網(wǎng)格狀電極也可以為以下的構(gòu)成。所述網(wǎng)格狀電極的厚度為0.03mm以上且0.3mm以下。所述網(wǎng)格狀電極為從鋁合金、不銹鋼(SUS)、銅、鈹銅選出的導(dǎo)電體。所述網(wǎng)格狀電極的開口率為50%以上。通過采用上述這種構(gòu)成，則網(wǎng)格狀電極具備支撐放電容器所需的充分的強(qiáng)度。在本發(fā)明中，所述放電容器也可為圓筒狀。通過采用這種構(gòu)成，則能夠?qū)⑼ㄓ玫膱A管直接用作放電容器而幾乎不進(jìn)行復(fù)雜的加工，故能夠減低加工負(fù)擔(dān)以及成本。(發(fā)明效果)根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種能夠使電介質(zhì)阻擋放電燈自身的構(gòu)造簡化，并且作為燈裝置也能簡化構(gòu)造的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置。


圖1是實(shí)施方式I的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置的底視圖。圖2是卸下具有光照射開口的下框部的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置的底視圖。圖3是電介質(zhì)阻擋放電燈裝置的頂視圖。圖4是圖3的狀態(tài)的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置的側(cè)視圖。圖5是圖1的X-X線處的剖視圖。圖6是圖1的Y-Y線處的剖視圖。圖7是實(shí)施方式2的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置的底視圖。圖8是電介質(zhì)阻擋放電燈裝置的頂視圖。
圖9是圖7的A-A線處的剖視圖。圖10是圖7的B-B線處的剖視圖。符號說明:10,50...電介質(zhì)阻擋放電燈裝置(燈裝置)11...燈罩12...光照射開口15S...光照射開口部分的空間30...網(wǎng)格狀電極30A. 與(網(wǎng)格狀電極的)放電容器相反側(cè)的面31...支撐部件32...放電容器40,52...電極兼容器保持部件(使放電容器保持部件和電極部件一體化而成的部件)41...上側(cè)電極42...第I氣體供給孔43...下側(cè)電極45,55...第2氣體供給孔48、56...接觸部(凹部)49、57...反射面
具體實(shí)施例方式<實(shí)施方式1>通過圖1 圖6來說明本發(fā)明的實(shí)施方式I。圖1是從照射面?zhèn)?下面?zhèn)?示出實(shí)施方式I的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置10(以下也稱為“燈裝置10”)的圖，圖3是從與照射面?zhèn)认喾吹纳蟼?cè)示出燈裝置10的圖。圖2是表示從燈裝置10中卸下下面?zhèn)鹊纳w13(下蓋13)的狀態(tài)的底視圖，圖4是卸下下蓋13的狀態(tài)下的燈裝置10的側(cè)視圖。圖5是圖1的燈裝置10的X-X線處的剖視圖，圖6是圖1的燈裝置10的Y-Y線處的剖視圖、且是圖5的Z-Z線的位置處的剖視圖。如圖1 圖3所示，實(shí)施方式I的燈裝置10具備:具有光照射開口 12的燈罩11、網(wǎng)格狀電極30、放電容器32、電極兼容器保持部件40、以及在網(wǎng)格狀電極30與電極兼容器保持部件40之間施加放電用的電壓的電源裝置(未圖示)。在本實(shí)施方式中，燈罩11呈大致長方體狀，如圖1所示具備:被照射光的面?zhèn)?下側(cè)面)開口的燈罩主體15、和被配置于燈罩主體15的光照射開口 12處的下蓋13。下蓋13由鋁合金等的金屬材料構(gòu)成，具有方形形狀的下蓋開口部14，且呈框狀。下蓋13的周緣通過螺合第I螺釘21而被固定在重疊于上側(cè)的燈罩主體15，且在方形形狀的下蓋開口部14中雖然沒有詳細(xì)敘述，但是配置有由多孔狀的導(dǎo)電體構(gòu)成的網(wǎng)格狀電極
30、和對網(wǎng)格狀電極30進(jìn)行支撐的支撐部件31。從放電容器32照射的光經(jīng)由網(wǎng)格狀電極30而從該下蓋開口部14照射出去。

燈罩主體15由包圍放電容器32周緣的框狀的部分16 (框體部16)、和螺紋固定于框體部16的上側(cè)面的上蓋部20構(gòu)成(參照圖2、圖3)。上蓋部20由陶瓷或聚四氟乙烯(PTFE)等的絕緣性材料構(gòu)成，其周緣部分通過第2螺釘22的螺合而被固定于框體部16的上側(cè)面。在上蓋部20的大致中央部的被挖成圓形的部分20A，配置有電極兼容器保持部件40的上側(cè)電極41 (詳細(xì)見后面敘述)的一部分，且在形成于上側(cè)電極41的氣體供給孔42中從設(shè)置于燈罩11外部的氣體供給源(未圖示)供給氣體。從氣體供給源供給出氮?dú)怏w等的使燈罩主體15內(nèi)的光照射開口部分的空間15S成為非氧狀態(tài)(惰性氣體氣氛)的氣體?？蝮w部16由鋁合金等的導(dǎo)電性的材料構(gòu)成，在其下側(cè)面形成有對下蓋13的周緣進(jìn)行固定的第I螺釘21被螺合的第I螺孔16A，在其上側(cè)面形成有對上蓋部20進(jìn)行固定的第2螺釘22被螺合的螺孔(未圖示)。在框體部16之中的、被配置于放電容器32的長邊方向上的端部側(cè)(圖3中的左右的端部側(cè))的部分中，形成有第I螺孔16A的外側(cè)的部件17 (外框部件17)可以從框體部主體18拆卸下來。在外框部件17的側(cè)面可以螺合用于將外框部件17固定于框體部主體18的螺釘部件23(第3螺釘23)。在框體部主體18的安裝有外框部件17的部分19 (內(nèi)框部19)的側(cè)面，形成有用于將外框部件17安裝于內(nèi)框部19的第3螺釘23所穿過的第3螺孔17A。此外，在內(nèi)框部19的側(cè)面，如圖4所示，從側(cè)面方向能穿過支撐部件31的多個支撐部件插通孔19A隔開能配置放電容器32的間隔而形成。雖然支撐部件插通孔19A的一部分形成至內(nèi)框部19的下側(cè)面，但是內(nèi)框部19的下側(cè)面的開口直徑被設(shè)定得小于支撐部件31的口徑，且支撐部件31不會從內(nèi)框部19的下側(cè)面脫落。在本實(shí)施方式中，在被上蓋部20和框體部16包圍的空間內(nèi)，按照從上蓋部20側(cè)開始的順序依次配置有電極兼容器保持部件40、放電容器32、網(wǎng)格狀電極30以及支撐部件31。詳細(xì)而言，在被上蓋部20和框體部16包圍的空間內(nèi)，放電容器32以被電極兼容器保持部件40和網(wǎng)格狀電極30夾持的狀態(tài)進(jìn)行收容。在本實(shí)施方式中，優(yōu)選網(wǎng)格狀電極30例如是通過由鋁合金、不銹鋼(SUS)、銅、鈹銅等導(dǎo)電體構(gòu)成的多孔狀的導(dǎo)電體而構(gòu)成的板材，其開口直徑為2mm、開口率為50%以上、且網(wǎng)格狀電極30的厚度為0.03mm以上。其原因在于，如果采用這種構(gòu)成，則具備用于支撐放電容器的強(qiáng)度的緣故。如果考慮操作性，則進(jìn)一步優(yōu)選網(wǎng)格狀電極30的厚度為0.1mm以上。優(yōu)選網(wǎng)格狀電極30的厚度的下限值被設(shè)定成在進(jìn)行沖孔加工等加工之后能維持形狀這樣的厚度，網(wǎng)格狀電極30的厚度的上限值被設(shè)定成通過沖孔加工等能變形的值。例如，網(wǎng)格狀電極30的厚度能夠設(shè)為0.3mm以下。在本實(shí)施方式中，I個網(wǎng)格狀電極30按照與6根(多個)放電容器32的外周面32A相接觸的方式，相對于這些放電容器32而被公共地設(shè)置，且支撐放電容器32。在本實(shí)施方式中，通過將I個網(wǎng)格狀電極30設(shè)置成與多個放電容器32相接觸，由此將網(wǎng)格狀電極30作為公共電極。網(wǎng)格狀電極30與電源裝置的接地端子(未圖示)側(cè)電連接。如果將網(wǎng)格狀電極30與接地端子連接，則能夠使受到光照射的被處理物與燈裝置10之間的距離靠近，故能夠提高照射光的照度。對于支撐網(wǎng)格狀電極30的支撐部件31，沿著放電容器32的長度方向延伸的扁平棒狀形狀的部件是剖面為圓形的圓管。在形成于放電容器32內(nèi)部的放電空間32S內(nèi)，填充了電介質(zhì)阻擋放電用氣體。在本實(shí)施方式的燈裝置10中，將通用的圓管直接用作放電容器32而幾乎不進(jìn)行復(fù)雜的加工。即，按照具有排氣管(尖端管)的方式將圓筒形的原管(圓管)的兩端加工成前端尖狀，從尖端管封入放電用氣體。而且，通過去尖端的密封加工而成為放電容器32。因此，較之使用扁平角筒狀的放電容器32的構(gòu)成，能夠減低加工負(fù)擔(dān)與成本。作為被填充到放電容器32的電介質(zhì)阻擋放電用氣體，使用氙(Xe)、氬(Ar)及氪(Kr)等的稀有氣體、以及氟(F2)、氯(Cl2)等的鹵素氣體等。燈裝置10根據(jù)氣體的種類而發(fā)出不同波長(172nm、222nm、308nm等的波長)的準(zhǔn)分子光。例如，為了清洗電子元件、即將附著于電子元件的有機(jī)化合物分解，而使用將172nm作為中心波長的準(zhǔn)分子光。因此，此時(shí)使用含有氙(Xe)的氣體。另外，氣體的封入壓力并不特別進(jìn)行限定，通常以10 IOOkPa程度的壓力進(jìn)行封入。電極兼容器保持部件40是與放電容器32單獨(dú)形成的部件，通過第4螺釘24而被螺紋固定于上蓋部20。電極兼容器保持部件40是按照與6根(多個)放電容器32接觸的方式，相對于這些放電容器32而被公共地設(shè)置，且與網(wǎng)格狀電極30 —起作為電介質(zhì)阻擋放電燈的電極發(fā)揮功能的電極部件。此外，電極兼容器保持部件40還具有與網(wǎng)格狀電極30一起支撐放電容器32的功能、即保持放電容器32的功能(放電容器保持部件的一例)。也就是說，電極兼容器保持部件40是使電極部件和放電容器保持部件一體化而成的部件。另夕卜，在本實(shí)施方式中，電極兼容器保持部件40電連接有用于施加交流電壓的電源裝置的高電壓端子(未圖示)。電極兼容器保持部件40由具有導(dǎo)電性、且能反射通過放電容器32內(nèi)的電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光的材料即鋁合金等構(gòu)成。電極兼容器保持部件40由在下側(cè)面43A交替地形成有山部46和谷部46的電極43、和重疊在電極43之上的平板狀的電極41構(gòu)成。將構(gòu)成電極兼容器保持部件40的2個電極41、43之中的、配置于上側(cè)的平板狀的電極41設(shè)為上側(cè)電極41，將配置于下側(cè)且在下側(cè)面43A形成有山部46和谷部46的電極43設(shè)為下側(cè)電極43。在上側(cè)電極41的大致中央部分形成有用于向燈罩主體15內(nèi)導(dǎo)入由氣體供給源供給的氣體的氣體供給孔42 (第I氣體供給孔42)。上側(cè)電極41的形成有第I氣體供給孔42的部分被配置于上蓋部20的大致中央部的被挖成圓形的部分20A，從而在第I氣體供給孔42中導(dǎo)入了由氣體供給源供給的氣體。在下側(cè)電極43的上側(cè)面(與上側(cè)電極41的接合面)形成有凹部44，且在該凹部44形成有第2氣體供給孔45，該第2氣體供給孔45與下側(cè)電極43的下側(cè)面43A的谷部46連通、且將從第I氣體供給孔42導(dǎo)入的氣體導(dǎo)入到燈罩主體15內(nèi)的光照射開口部分的空間 15S。在下側(cè)電極43的下側(cè)面43A，在與放電容器32的接觸部48即山部46的頂點(diǎn)如圖5所示那樣形成有沿著放電容器32的外周面32A的形狀的弧狀的凹部48，且接觸部48的兩側(cè)的傾斜面49被作為將來自放電容器32內(nèi)的光反射到網(wǎng)格狀電極30側(cè)的反射面49。其次，對本實(shí)施方式的燈裝置10的裝配方法進(jìn)行說明。首先，使上側(cè)電極41和下側(cè)電極43按該順序重疊在上蓋部20的下側(cè)面43A，通過螺合第4螺釘24來安裝這些電極41、43 (電極兼容器保持部件40)，并且從框體部16中卸下外框部件17。然后，通過第2螺釘22的螺合將安裝了電極兼容器保持部件40的上蓋部20安裝于卸掉了外框部件17的狀態(tài)的框體部16。其次，在將放電容器32配置于在電極兼容器保持部件40的下側(cè)電極43的山部46的頂點(diǎn)所形成的凹部48時(shí)，放電容器32的外周面32A沿著弧狀的凹部48配置。其次，按照覆蓋在電極兼容器保持部件40的凹部48所配置的放電容器32的方式配置網(wǎng)格狀電極30，在該網(wǎng)格狀電極30的與放電容器32相反側(cè)的面30A配置支撐部件
31。詳細(xì)而言，使支撐部件31沿著放電容器32的長度方向配置在每個相鄰的放電容器32之間。在配置支撐部件31時(shí)，使支撐部件31穿過在框體部主體18的內(nèi)框部19的側(cè)壁所形成的支撐部件插通孔19A。在此，雖然支撐部件插通孔19A的一部分形成至內(nèi)框部19的下側(cè)面，但是因?yàn)閮?nèi)框部19的下側(cè)面的開口直徑被設(shè)定得小于支撐部件31的口徑，所以支撐部件31不會從內(nèi)框部19的下側(cè)面脫落。其次，通過使第3螺釘23螺合到外框部件17的第3螺孔17A，將外框部件17螺紋固定于框體部主體18，將下蓋13疊加在框體部16，在其周緣螺合第I螺釘21，由此在將下蓋13安裝于燈罩主體15的框體部16時(shí)，放電容器32被網(wǎng)格狀電極30和電極兼容器保持部件40夾持(參照圖6)。其次，在將網(wǎng)格狀電極30與電源裝置的接地電極端子連接、將電極兼容器保持部件40與電源裝置的高電壓端子連接時(shí)，獲得本實(shí)施方式的燈裝置10。在對由此獲得到的本實(shí)施方式的燈裝置10的電源裝置施加電壓時(shí)，在放電容器32中通過電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光經(jīng)由配置于光照射開口 12的網(wǎng)格狀電極30而被照射到被照射物。其次，對本實(shí)施方式的作用以及效果進(jìn)行說明。在本實(shí)施方式中，因?yàn)殡娊橘|(zhì)阻擋放電燈是通過由網(wǎng)格狀電極30和電極兼容器保持部件40來夾持在透光性的容器中封入放電氣體而形成的放電容器32從而能夠獲得到的，所以不需要如制造以往的燈時(shí)那樣在放電容器32通過蒸鍍等的方法形成電極的工序。此外，因?yàn)殡姌O兼容器保持部件40是兼具作為具有保持放電容器32的功能的放電容器保持部件和電極部件的功能的部件，所以能夠減少元件個數(shù)。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠簡化電介質(zhì)阻擋放電燈自體的構(gòu)造。此外，在將燈組合到本實(shí)施方式的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置10中之際，在用網(wǎng)格狀電極30和電極兼容器保持部件40夾持了多個放電容器32之后，只要將網(wǎng)格狀電極30以及電極兼容器保持部件40分別與電源裝置連接即可。也就是說，在本實(shí)施方式中，在將燈組合到電介質(zhì)阻擋放電燈裝置10中之際，因?yàn)獒槍γ總€燈也不需要與電源裝置連接的布線構(gòu)造、固定于燈罩11的安裝構(gòu)造，所以作為燈裝置10也能夠簡化構(gòu)造。此外，在本實(shí)施方式中，不僅設(shè)置成將一個網(wǎng)格狀電極30與多個放電容器32相接，還設(shè)置成多個放電容器32所公共的電極兼容器保持部件40與多個放電容器32相接。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，無論是否為具備多個放電容器32的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置10，都僅通過用多個放電容器32所公共的電極兼容器保持部件40和多個放電容器32所公共的網(wǎng)格狀電極30進(jìn)行夾持就能組合多個放電容器32，所以能夠簡化構(gòu)造。此外，在本實(shí)施方式中，電極兼容器保持部件40由能反射通過放電容器32內(nèi)的電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光的材料構(gòu)成，且在與放電容器32相接的接觸部48的兩側(cè)具有將來自放電容器32內(nèi)的光反射到網(wǎng)格狀電極30側(cè)的反射面49。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，電極兼放容器保持部件40也作為反射板發(fā)揮功能，不但能夠提高通過網(wǎng)格狀電極30被照射的光的透過率，還無需另行設(shè)置反射板，所以能夠簡化構(gòu)造。由于通過電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光之中的、例如波長為172nm的紫外線容易與氧結(jié)合，因此存在難以在空氣中通過而光透過率下降的顧慮。然而，根據(jù)本實(shí)施方式，由于在電極兼容器保持部件40設(shè)置有對用于將燈罩11的光照射開口部分的空間15S設(shè)為非氧狀態(tài)(惰性氣體氣氛)的氣體進(jìn)行供給的第I氣體供給孔42以及第2氣體供給孔45，因此使所述空間15S成為非氧狀態(tài)的氣體被導(dǎo)入到該空間15S，所以通過電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光容易通過所述空間15S，從而光透過率得到提高。如果放電容器32和電極(網(wǎng)格狀電極30以及電極兼容器保持部件40)的非接觸區(qū)域變多，則在向電極施加電壓時(shí)在電極之間容易產(chǎn)生放電，通過該放電可能導(dǎo)致放電容器32和電極劣化，從而壽命變短。然而，在本實(shí)施方式中，在燈罩11中，和網(wǎng)格狀電極30的與放電容器32相反側(cè)的面30A相接且支撐網(wǎng)格狀電極30的支撐部件31被設(shè)置在與放電容器32偏離的位置，且通過該支撐部件31支撐網(wǎng)格狀電極30。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，來自放電容器32的光的照射不會被遮擋，可以使網(wǎng)格狀電極30以及電極兼容器保持部件40與放電容器32之間的接觸狀態(tài)變得良好，所以能夠防止放電容器32、電極30、40的劣化，并且能夠可靠地抑制光透過率的降低。尤其是，在本實(shí)施方式中，由于支撐部件31沿著放電容器32的整個長邊方向設(shè)置，因此能夠沿著整個長邊方向支撐放電容器32，能夠使網(wǎng)格狀電極30以及電極兼容器保持部件40與放電容器32之間的接觸狀態(tài)變得更良好。除此之外，根據(jù)本實(shí)施方式，由于放電容器32呈圓筒狀，在電極兼容器保持部件40的接觸部48形成有沿著放電容器32的外周面32A的剖面為弧狀的凹部48，因此即便在放電容器32為圓筒狀的情況下，也能夠在與電極兼容器保持部件40的接觸部48所設(shè)置的凹部48內(nèi)按沿著放電容器32的外周面32A的方式進(jìn)行配置，所以放電容器32難以錯開，由此作為放電容器32和電極兼容器保持部件40的接觸狀態(tài)良好的情形，能夠抑制光透過率的降低。<實(shí)施方式2>其次，通過圖7 圖10來說明本發(fā)明的實(shí)施方式2。本實(shí)施方式與實(shí)施方式I不同之處在于:不具備支撐部件31，以及電極兼容器保持部件52的下側(cè)面53A(下側(cè)電極的下側(cè)面53A)的形狀。關(guān)于與實(shí)施方式I同樣的構(gòu)成，賦予同一符號，并省略重復(fù)的說明。圖7是從下側(cè)示出本實(shí)施方式的電介質(zhì)阻擋燈裝置50的圖，圖8是從上側(cè)示出燈裝置50的圖，圖9是圖7的A-A線處的剖視圖，圖10是圖7的B-B線處的剖視圖。在本實(shí)施方式中，框體部51被設(shè)置成一體式，且在被上蓋部20和框體部51包圍的空間內(nèi)，從上蓋部20側(cè)開始依次配置有電極兼容器保持部件52、9個放電容器32、網(wǎng)格狀電極30。此外，在本實(shí)施方式中，電極兼容器保持部件52的下側(cè)電極53構(gòu)成為:在平板狀的電極53的一個面53A(下側(cè)的面53A)沿著放電容器32的外周面32A形成有呈弧狀的9個凹部56。下側(cè)電極53的凹部56 (接觸部56)的兩側(cè)的面57是與網(wǎng)格狀電極30大致平行的面，但是該面57是將來自放電容器32內(nèi)的光反射到網(wǎng)格狀電極30側(cè)的反射面57。另夕卜，在下側(cè)電極53的相鄰的凹部56、56之間形成有第2氣體供給孔55。
其次，對本實(shí)施方式的燈裝置的裝配方法進(jìn)行說明。首先，使上側(cè)電極41以及下側(cè)電極53按該順序重疊在上蓋部20的下側(cè)面，通過螺合第4螺釘24，從而將電極兼容器保持部件52安裝到上蓋部20的下側(cè)面。其次，在電極兼容器保持部件52的凹部配置9個放電容器32時(shí)，放電容器32的外周面32A沿著弧狀的凹部進(jìn)行配置。其次，按照覆蓋在電極兼容器保持部件52的凹部所配置的放電容器32的方式配置網(wǎng)格狀電極30，將下蓋13重疊在該網(wǎng)格狀電極30，當(dāng)通過在下蓋13的周緣螺合第I螺釘21而將下蓋13安裝于燈罩主體15的框體部51時(shí)，放電容器32被網(wǎng)格狀電極30和電極兼容器保持部件52夾持(參照圖9以及圖10)。其次，在將網(wǎng)格狀電極30與電源裝置的接地電極端子連接、將電極兼容器保持部件52與電源裝置的高電壓端子連接時(shí)，獲得本實(shí)施方式的燈裝置50。在對由此獲得到的本實(shí)施方式的燈裝置50的電源裝置施加電壓時(shí)，在放電容器32中通過電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光經(jīng)由配置于光照射開口 12的網(wǎng)格狀電極30而被照射到被照射物。其次，對本實(shí)施方式的作用以及效果進(jìn)行說明。根據(jù)本實(shí)施方式，因?yàn)闊o需安裝支撐部件31的作業(yè)，所以能夠提供構(gòu)造更簡化的燈裝置50。此外，在本實(shí)施方式中，因?yàn)槭欠烹娙萜?2僅被網(wǎng)格狀電極30支撐的構(gòu)成，所以在照射光的路徑上沒有網(wǎng)格狀電極30以外的元件。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，較之在照射光的路徑上設(shè)置了網(wǎng)格狀電極30以外的支撐元件的情況，能夠提高光的透過率。進(jìn)而，在除了網(wǎng)格狀電極30以外還設(shè)置了用于支撐放電容器32的元件的情況下，當(dāng)進(jìn)行放電的光中包含紫外線時(shí)，可能會產(chǎn)生該元件因紫外線而劣化的問題，但是根據(jù)本實(shí)施方式，因?yàn)檫@種元件被省略了，所以能夠提高燈裝置50的耐久性?！雌渌麑?shí)施方式〉本發(fā)明并不限定于通過上述描述以及

過的實(shí)施方式，例如如下那樣的實(shí)施方式也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。(I)在上述實(shí)施方式中，雖然示出具備多個放電容器的情形，但是也可具備一個放電容器。(2)在上述實(shí)施方式中，雖然示出具備剖面為圓形的圓筒狀的放電容器的情形，但是放電容器也可為具有扁平面的形狀、剖面為多角形的角筒狀等。(3)在上述實(shí)施方式中，雖然示出作為網(wǎng)格狀電極而相對于多個放電容器被公共地設(shè)置的情形，但是也可在每個放電容器中具備網(wǎng)格狀電極。如果采用這種構(gòu)成，則能夠部分性更換網(wǎng)格狀電極。(4)在上述實(shí)施方式中，雖然示出作為電極兼容器保持部件而相對于多個放電容器被公共地設(shè)置的情形，但是也可在每個放電容器中具備電極兼容器保持部件。如果采用這種構(gòu)成，則能夠部分性更換電極兼容器保持部件。(5)在上述實(shí)施方式中，雖然示出作為電極兼容器保持部件而由能反射通過電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光的材料構(gòu)成，且在與放電容器的接觸部的兩側(cè)具有反射面的情形，但是并不限定于此。電極兼容器保持部件可以是不能反射通過電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光的材料，可以與電極兼容器保持部件單獨(dú)地設(shè)置反射板，可以在放電容器接合反射膜。(6)在上述實(shí)施方式中，雖然示出作為電極兼容器保持部件而形成了氣體供給孔的情形，但是也可不形成氣體供給孔。(7)在上述實(shí)施方式中，雖然示出作為電極兼容器保持部件而重疊上側(cè)電極和下側(cè)電極的構(gòu)成，但是電極兼容器保持部件也可由I個部件構(gòu)成。(8)在上述實(shí)施方式I中，雖然示出在每個相鄰的放電容器之間沿著放電容器的整個長度方向設(shè)置多個支撐部件的情形，但是并不限定于此。例如，可以沿著配置于端部的放電容器來設(shè)置支撐部件。(9)在上述實(shí)施方式中，雖然示出作為電極兼容器保持部件而在與放電容器的接觸部形成了沿著放電容器的外周形狀的弧狀的凹部的情形，但是在放電容器為具有扁平面的形狀、且利用扁平面而與電極兼容器保持部件接觸這種情況等下，也可不形成凹部。(10)在上述實(shí)施方式中，示出了具備使電極部件和放電容器保持部件一體化而成的電極兼保持部件的情形，但是電極部件和放電容器保持部件也可獨(dú)立形成。
權(quán)利要求
1.一種電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于，具備: 燈罩，其具有光照射開口； 網(wǎng)格狀電極，其設(shè)置于該燈罩的所述光照射開口、且由多孔狀的導(dǎo)電體構(gòu)成； 放電容器，在透光性的容器中封入放電氣體而形成； 放電容器保持部件，其在與所述網(wǎng)格狀電極之間夾持該放電容器、且與所述放電容器獨(dú)立形成； 電極部件，其被配置在夾著所述放電容器而與所述網(wǎng)格狀電極對置的位置；和 電源裝置，其在所述網(wǎng)格狀電極與所述電極部件之間施加放電用的電壓， 所述放電容器被所述網(wǎng)格狀電極支撐。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 所述網(wǎng)格狀電極為板材。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 在所述燈罩中，和所述網(wǎng)格狀電極的與所述放電容器相反側(cè)的面相接來支撐所述網(wǎng)格狀電極的支撐部件被設(shè)置于與所述放電容器偏離的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 具備多個所述放電容器，所述網(wǎng)格狀電極被設(shè)置成與多個所述放電容器相接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 具備多個所述放電容器，所述電極部件被設(shè)置成與多個所述放電容器相接。
6.根據(jù)權(quán)利要求3至5任一項(xiàng)所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 所述支撐部件沿著所述放電容器的整個長邊方向設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 所述電極部件和所述放電容器保持部件是一體的電極兼容器保持部件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 具備多個所述放電容器，所述電極兼容器保持部件被設(shè)置成與多個所述放電容器相接。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 所述電極兼容器保持部件由能反射通過所述放電容器內(nèi)的電介質(zhì)阻擋放電所產(chǎn)生的光的材料構(gòu)成，并且在與所述放電容器相接的接觸部的兩側(cè)具有將來自所述放電容器內(nèi)的光反射到所述網(wǎng)格狀電極側(cè)的反射面。
10.根據(jù)權(quán)利要求7至9任一項(xiàng)所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 在所述電極兼容器保持部件設(shè)置了氣體供給孔，該氣體供給孔供給用于使所述燈罩的光照射開口部分的空間成為低氧狀態(tài)或惰性氣體氣氛的氣體。
11.根據(jù)權(quán)利要求7至10任一項(xiàng)所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 所述放電容器呈圓筒狀，在所述電極兼容器保持部件的所述接觸部形成有沿著所述放電容器的外周面的剖面為弧狀的凹部。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至11任一項(xiàng)所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 所述網(wǎng)格狀電極的厚度為0.03mm以上且0.3mm以下。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至12任一項(xiàng)所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于， 所述網(wǎng)格狀電極是從鋁合金、不銹鋼SUS、銅、鈹銅中選出的導(dǎo)電體。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13任一項(xiàng)所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于，所述網(wǎng)格狀電極的開口率為50%以上。
15.根 據(jù)權(quán)利要求1至14任一項(xiàng)所述的電介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于，所述放電容器為圓筒狀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種電介質(zhì)阻擋放電燈裝置。電介質(zhì)阻擋放電燈裝置(10)具備燈罩(11)，其具有光照射開口(12)；網(wǎng)格狀電極(30)，其被設(shè)置于該燈罩(11)的光照射開口(12)、且由多孔狀的導(dǎo)電體構(gòu)成；放電容器(32)，在透光性的容器中封入放電氣體而形成；電極兼容器保持部件(40)，其在與所述網(wǎng)格狀電極(30)之間夾持該放電容器(32)、且與放電容器(32)獨(dú)立形成；和電源裝置，其在網(wǎng)格狀電極(30)與電極兼容器保持部件(40)之間施加放電用的電壓。放電容器(32)被網(wǎng)格狀電極(30)支撐。
文檔編號H01J65/00GK103081058SQ20118004186
公開日2013年5月1日 申請日期2011年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者畑瀨和也, 金森佳憲 申請人:株式會社杰士湯淺國際