專利名稱：等離子顯示面板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
在此公開的技術(shù)涉及在顯示設(shè)備等中采用的等離子顯示面板的制造方法。
背景技術(shù)：
等離子顯示面板(以下稱為PDP)由前面板與背面板構(gòu)成。前面板由玻璃基板、形成于玻璃基板的一個(gè)主面上的顯示電極、覆蓋顯示電極并作為電容器起作用的電介質(zhì)層以及形成于電介質(zhì)層上且由氧化鎂(MgO)組成的保護(hù)層構(gòu)成。另一方面，背面板由玻璃基板、 形成于玻璃基板的一個(gè)主面上的數(shù)據(jù)電極、覆蓋數(shù)據(jù)電極的基底電介質(zhì)層、形成于基底電介質(zhì)層上的隔壁以及形成于各隔壁之間且分別發(fā)出紅色、綠色及藍(lán)色光的熒光體層構(gòu)成。保護(hù)層主要具有兩種功能。第一種功能為保護(hù)電介質(zhì)層不會(huì)受到放電引起的離子沖擊。第二種功能是放射用于使地址放電產(chǎn)生的初始電子。通過保護(hù)電介質(zhì)層不會(huì)受到離子沖擊，從而可以抑制放電電壓的上升。通過增加初始電子放射數(shù)，可以降低成為圖像閃爍的原因的地址放電錯(cuò)誤。為了使初始電子放射數(shù)增加，公知在MgO中添加雜質(zhì)的技術(shù)或者在MgO膜上形成MgO粒子的技術(shù)(例如參照專利文獻(xiàn)1、2、3、4、5等)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開2002-260535號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開平11-339665號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2006-59779號公報(bào)專利文獻(xiàn)4 日本特開平8-2360 號公報(bào)專利文獻(xiàn)5 日本特開平10-334809號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種具有放電空間和面向放電空間的保護(hù)層的PDP的制造方法。通過向放電空間導(dǎo)入包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體，從而使保護(hù)層暴露在還原性有機(jī)氣體中。接著，從放電空間排出還原性有機(jī)氣體。然后，將放電氣體封入放電空間內(nèi)。


圖1是表示實(shí)施方式涉及的PDP的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是實(shí)施方式涉及的PDP的電極排列圖。圖3是實(shí)施方式涉及的等離子顯示裝置的電路框圖。圖4是實(shí)施方式涉及的等離子顯示裝置的驅(qū)動(dòng)電壓波形圖。圖5是表示實(shí)施方式涉及的PDP的制造方法的一例的流程圖。圖6是表示第一溫度分布例的圖。圖7是表示第二溫度分布例的圖。圖8是表示第三溫度分布例的圖。
圖9是表示實(shí)施方式涉及的PDP的剖面的示意圖。圖10是表示電子放射性能與Vscn點(diǎn)亮電壓的圖。
具體實(shí)施例方式1. PDPl 的結(jié)構(gòu)PDP的基本結(jié)構(gòu)是一般的交流面放電型PDP。如圖1所示，PDPl對置地配置有由前面玻璃基板3等構(gòu)成的前面板2和由背面玻璃基板11等構(gòu)成的背面板10。前面板2與背面板10被外周部由玻璃料等構(gòu)成的密封材料進(jìn)行氣密密封。在所密封的PDPl內(nèi)部的放電空間16內(nèi)，以53kPa(400Torr) 80kPa(600Torr)的壓力封入氖氣(Ne)以及氙氣(Xe) 等放電氣體。在前面玻璃基板3上，由掃描電極4與維持電極5組成的一對帶狀的顯示電極6 和黑條(black stripe) 7互相平行地分別配置有多列。在前面玻璃基板3上，按照覆蓋顯示電極6與黑條7的方式形成作為電容器起作用的電介質(zhì)層8。還有，在電介質(zhì)層8的表面形成由氧化鎂(MgO)等構(gòu)成的保護(hù)層9。其中，關(guān)于保護(hù)層9，將在后面詳細(xì)敘述。掃描電極4及維持電極5分別在由銦錫氧化物(ITO)、氧化錫(SnO2)、氧化鋅(ZnO) 等導(dǎo)電性金屬氧化物構(gòu)成的透明電極上層疊由Ag構(gòu)成的總線電極。在背面玻璃基板11上，在與顯示電極6正交的方向上，互相平行地配置有由以銀 (Ag)為主要成分的導(dǎo)電性材料構(gòu)成的多個(gè)數(shù)據(jù)電極12。數(shù)據(jù)電極12被基底電介質(zhì)層13 覆蓋。還有，在數(shù)據(jù)電極12之間的基底電介質(zhì)層13上形成有劃分放電空間16的規(guī)定高度的隔壁14。在隔壁14之間的溝槽中，按照每個(gè)數(shù)據(jù)電極12，依次涂敷并形成有借助紫外線發(fā)出紅色光的熒光體層15、發(fā)出綠色光的熒光體層15以及發(fā)出藍(lán)色光的熒光體層15。在顯示電極6與數(shù)據(jù)電極12交叉的位置處形成有放電單元。具有在顯示電極6的方向上排列的紅色、綠色、藍(lán)色的熒光體層15的放電單元成為用于進(jìn)行彩色顯示的像素。另外，在本實(shí)施方式中，被封入放電空間16的放電氣體包含10體積百分比以上、 30體積百分比以下的氙氣。如圖2所示，PDPl具有沿著行方向延伸排列的η根掃描電極SCl、SC2、SC3.....
SCn(圖1中為4)。PDPl還具有沿著行方向延伸排列的η根維持電極SUU SU2、SU3.....
SUn(圖1中為5)。PDPl還具有沿著列方向延伸排列的m根數(shù)據(jù)電極Dl.....Dm(圖中為
12)。而且，在一對掃描電極SCl及維持電極SUl與1個(gè)數(shù)據(jù)電極Dl交叉的部分形成有放電單元。放電單元在放電空間內(nèi)形成有mXn個(gè)。掃描電極及維持電極與設(shè)置在前面板的圖像顯示區(qū)域外的周邊端部的連接端子連接。數(shù)據(jù)電極與設(shè)置在背面板的圖像顯示區(qū)域外的周邊端部的連接端子連接。2.等離子顯示裝置的結(jié)構(gòu)如圖3所示，等離子顯示裝置具備PDP1、圖像信號處理電路21、數(shù)據(jù)電極驅(qū)動(dòng)電路22、掃描電極驅(qū)動(dòng)電路23、維持電極驅(qū)動(dòng)電路M、定時(shí)生成電路25以及電源電路(未圖示)°圖像信號處理電路21將圖像信號Sig變換為每個(gè)子場的圖像數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)電極驅(qū)動(dòng)電路22將每個(gè)子場的圖像數(shù)據(jù)變換為與各數(shù)據(jù)電極Dl Dm對應(yīng)的信號，以驅(qū)動(dòng)各數(shù)據(jù)電極Dl Dm。定時(shí)生成電路25基于水平同步信號H及垂直同步信號V，生成各種定時(shí)信號，并提供給各驅(qū)動(dòng)電路模塊。掃描電極驅(qū)動(dòng)電路23基于定時(shí)信號將驅(qū)動(dòng)電壓波形提供給掃描電極SCl SCn。維持電極驅(qū)動(dòng)電路M基于定時(shí)信號將驅(qū)動(dòng)電壓波形提供給維持電極 SUl SUn。3. PDPl 的驅(qū)動(dòng)如圖4所示，等離子顯示裝置利用多個(gè)子場來構(gòu)成1個(gè)場。子場具有初始化期間、 寫入期間和維持期間。初始化期間是在放電單元內(nèi)使初始化放電產(chǎn)生的期間。寫入期間是在初始化期間之后選擇發(fā)光的放電單元并使寫入放電產(chǎn)生的期間。維持期間是使寫入期間內(nèi)選出的放電單元產(chǎn)生維持放電的期間。3-1.初始化期間在第一子場的初始化期間內(nèi)，數(shù)據(jù)電極Dl Dm及維持電極SUl SUn保持0 (V)。 再有，向掃描電極SCl SCn施加斜坡電壓，該斜坡電壓從放電開始電壓以下的電壓Vi 1 (V) 向超過放電開始電壓的電壓Vi2(V)緩慢上升。于是，在所有的放電單元中產(chǎn)生第一次微弱的初始化放電。通過初始化放電，在掃描電極SCl SCn上蓄積了負(fù)的壁電壓。在維持電極SUl SUn上以及數(shù)據(jù)電極Dl Dm上蓄積了正的壁電壓。所謂壁電壓指的是由保護(hù)層 9或熒光體層15等上蓄積的壁電荷產(chǎn)生的電壓。然后，維持電極SUl SUn保持正的電壓Vel (V)，掃描電極SCl SCn被施加從電壓Vi3(V)向電壓Vi4(V)緩慢下降的斜坡電壓。于是，在所有的放電單元中產(chǎn)生第二次微弱的初始化放電。掃描電極SCl SCn上與維持電極SUl SUn上之間的壁電壓減弱。數(shù)據(jù)電極Dl Dm上的壁電壓被調(diào)整為適于寫入動(dòng)作的值。3-2.寫入期間在接下來的寫入期間內(nèi)，掃描電極SCl SCn暫時(shí)保持Vc(V)。維持電極SUl SUn保持Ve2(V)。接著，向第1行的掃描電極SCl施加負(fù)的掃描脈沖電壓Va(V)，同時(shí)向數(shù)據(jù)電極Dl Dm中的應(yīng)在第1行顯示的放電單元的數(shù)據(jù)電極Dk (k= 1 m)施加正的寫入脈沖電壓Vd(V)。此時(shí)，數(shù)據(jù)電極Dk與掃描電極SCl的交叉部的電壓成為在外部施加電壓 (Vd-Va) (V)上相加了數(shù)據(jù)電極Dk上的壁電壓與掃描電極SCl上的壁電壓之后的電壓，超過放電開始電壓。而且，在數(shù)據(jù)電極Dk與掃描電極SCl之間以及維持電極SUl與掃描電極 SCl之間產(chǎn)生寫入放電。在產(chǎn)生了寫入放電的放電單元的掃描電極SCl上蓄積正的壁電壓。 在產(chǎn)生了寫入放電的放電單元的維持電極SUl上蓄積負(fù)的壁電壓。在產(chǎn)生了寫入放電的放電單元的數(shù)據(jù)電極Dk上蓄積負(fù)的壁電壓。另一方面，未被施加寫入脈沖電壓Vd (V)的數(shù)據(jù)電極Dl Dm與掃描電極SCl的交叉部的電壓未超過放電開始電壓。由此，不會(huì)產(chǎn)生寫入放電。以上的寫入動(dòng)作依次進(jìn)行到第η行的放電單元為止。寫入期間的結(jié)束是第η行的放電單元的寫入動(dòng)作結(jié)束之時(shí)。3-3.維持期間在接下來的維持期間內(nèi)，作為第一電壓，向掃描電極SCl SCn施加正的維持脈沖電壓Vs(V)。作為第二電壓，向維持電極SUl SUn施加接地電位、S卩O(V)。此時(shí)，在產(chǎn)生了寫入放電的放電單元中，掃描電極SCi上與維持電極SUi上之間的電壓成為在維持脈沖電壓Vs(V)上相加了掃描電極SCi上的壁電壓與維持電極SUi上的壁電壓之后的電壓，超過放電開始電壓。而且，在掃描電極SCi與維持電極SUi之間產(chǎn)生維持放電。由因維持放電而產(chǎn)生的紫外線激勵(lì)熒光體層，并使熒光體層發(fā)光。再有，掃描電極SCi上蓄積負(fù)的壁電壓。維持電極SUi上蓄積正的壁電壓。數(shù)據(jù)電極Dk上蓄積正的壁電壓。在寫入期間內(nèi)未產(chǎn)生寫入放電的放電單元中，也不會(huì)產(chǎn)生維持放電。由此，保持初始化期間結(jié)束時(shí)的壁電壓。接著，對掃描電極SCl SCn施加作為第二電壓的O(V)。對維持電極SUl SUn施加作為第一電壓的維持脈沖電壓Vs (V)。于是，在產(chǎn)生了維持放電的放電單元中，維持電極SUi上與掃描電極SCi上之間的電壓超過放電開始電壓。因此，再次在維持電極SUi與掃描電極SCi之間產(chǎn)生維持放電。也就是說，在維持電極SUi上蓄積負(fù)的壁電壓。在掃描電極SCi上蓄積正的壁電壓。以后同樣，通過向掃描電極SCl SCn與維持電極SUl SUn交替地施加與亮度權(quán)重相應(yīng)的個(gè)數(shù)的維持脈沖電壓Vs(V),從而在寫入期間內(nèi)產(chǎn)生了寫入放電的放電單元中繼續(xù)產(chǎn)生維持放電。若規(guī)定個(gè)數(shù)的維持脈沖電壓Vs (V)的施加結(jié)束，則維持期間內(nèi)的維持動(dòng)作結(jié)束。3-4.第二子場以后接下來的第二子場以后的初始化期間、寫入期間、維持期間的動(dòng)作也與第一子場中的動(dòng)作基本相同。由此，省略詳細(xì)的說明。其中，在第二子場以后的子場中，維持電極 SUl SUn保持正的電壓Vel (V)。向掃描電極SCl SCn施加從電壓Vi3 (V)向電壓Vi4(V) 緩慢下降的斜坡電壓。于是，可以僅在前一子場中產(chǎn)生了維持放電的放電單元中產(chǎn)生微弱的初始化放電。即，在第一子場中進(jìn)行使全部的放電單元產(chǎn)生初始化放電的全部單元初始化動(dòng)作。在第二子場以后的子場中，進(jìn)行僅在前一子場中引起了維持放電的放電單元中選擇性地產(chǎn)生初始化放電的選擇初始化動(dòng)作。另外，對于全部單元初始化動(dòng)作與選擇初始化動(dòng)作而言，在本實(shí)施方式中，在第一子場與其他的子場之間分開使用。然而，全部單元初始化動(dòng)作也可以在第一子場以外的子場的初始化期間內(nèi)進(jìn)行。還有，全部單元初始化動(dòng)作也可以在幾個(gè)場中以1次的頻度進(jìn)行。再有，寫入期間、維持期間的動(dòng)作與上述的第一子場中的動(dòng)作同樣。但是，維持期間的動(dòng)作并非必須和上述的第一子場中的動(dòng)作同樣。為了使能夠得到與圖像信號sig對應(yīng)的亮度的維持放電產(chǎn)生，維持放電脈沖Vs (V)的個(gè)數(shù)變化。即，按照控制每個(gè)子場的亮度方式來驅(qū)動(dòng)維持期間。4. PDPl的制造方法如圖5所示，本實(shí)施方式涉及的PDPl的制造方法具有前面板制作工序Al、背面板制作工序Bi、玻璃料涂敷工序B2、密封工序Cl、還原性氣體導(dǎo)入工序C2、排氣工序C3以及放電氣體供給工序C4。4-1.前面板制作工序Al在前面板制作工序Al中，采用光刻法在前面玻璃基板3上形成掃描電極4、維持電極5和黑條7。掃描電極4及維持電極5具有包含用于確保導(dǎo)電性的銀(Ag)的金屬總線電極4b、5b。再有，掃描電極4及維持電極5具有透明電極^、5a。金屬總線電極4b被層疊在透明電極如上。金屬總線電極恥被層疊在透明電極fe上。在透明電極^、5a的材料中采用用于確保透明度與導(dǎo)電率的銦錫氧化物(ITO) 等。首先，采用濺射法等在前面玻璃基板3上形成ITO薄膜。接著，采用石印術(shù)形成規(guī)定圖案的透明電極如、5a。在金屬總線電極4b、5b的材料中采用包含銀(Ag)、用于粘結(jié)銀的玻璃料、感光性樹脂和溶劑等的電極膏。首先，采用絲網(wǎng)印刷法等在前面玻璃基板3上涂敷電極膏。接著， 利用干燥爐除去電極膏中的溶劑。然后，隔著規(guī)定圖案的光掩模對電極膏進(jìn)行曝光。接著，使電極膏顯影，以形成金屬總線電極圖案。最后，利用焙燒爐，以規(guī)定的溫度對金屬總線電極圖案進(jìn)行焙燒。也就是說，除去金屬總線電極圖案中的感光性樹脂。另外， 金屬總線電極圖案中的玻璃料熔融。熔融后的玻璃料在焙燒后玻璃化。通過以上的工序， 形成金屬總線電極4b、5b。黑條7由包含黑色顏料的材料形成。接著，形成電介質(zhì)層8。電介質(zhì)層8的材料采用包含電介質(zhì)玻璃料、樹脂和溶劑等的電介質(zhì)膏。首先，利用壓模涂布法(die coating) 等，按照覆蓋掃描電極4、維持電極5以及黑條7的方式，以規(guī)定的厚度在前面玻璃基板3上涂敷電介質(zhì)膏。接著，利用干燥爐除去電介質(zhì)膏中的溶劑。最后，利用焙燒爐以規(guī)定的溫度對電介質(zhì)膏進(jìn)行焙燒。也就是說，除去電介質(zhì)膏中的樹脂。再有，電介質(zhì)玻璃料熔融。熔融后的電介質(zhì)玻璃料在焙燒后玻璃化。通過以上的工序形成電介質(zhì)層8。在此，除了對電介質(zhì)膏進(jìn)行壓模涂布的方法以外，還可以采用絲網(wǎng)印刷法、旋轉(zhuǎn)涂布法等。還有，也可以不利用電介質(zhì)膏，而是通過CVD (Chemical Vapor D印osition)法等也能形成構(gòu)成電介質(zhì)層8的膜。電介質(zhì)層8的材料包含從氧化鉍(Bi2O3)、氧化鈣(CaO)、氧化鍶(SrO)、氧化鋇 (BaO)中選出的至少1種和從氧化鉬(MoO3)、氧化鎢(WO3)、氧化鈰(CeO2)、二氧化錳(MnO2) 中選出的至少1種。粘合劑成分是乙基纖維素、或包含1重量百分比 20重量百分比的丙烯酸樹脂的萜品醇或者丁基卡必醇乙酸酯。再有，也可以根據(jù)需要，作為增塑劑在膏中添加鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二丁酯、磷酸三苯酯、磷酸三丁酯，作為分散劑添加甘油單油酸酯、山梨糖醇酐倍半油酸酯、homogenol(Kao公司產(chǎn)品名稱)、烷基芳基的磷酸酯等，從而作為膏，可以提高印刷特性。接著，在電介質(zhì)層8上形成保護(hù)層9。保護(hù)層9的詳細(xì)內(nèi)容將在后面敘述。通過以上工序，在前面玻璃基板3上形成掃描電極4、維持電極5、黑條7、電介質(zhì)層 8和保護(hù)層9，前面板2完成。4-2.背面板制作工序Bl首先，通過光刻法，在背面玻璃基板11上形成數(shù)據(jù)電極12。數(shù)據(jù)電極12的材料采用包含用于確保導(dǎo)電性的銀(Ag)、用于粘結(jié)銀的玻璃料、感光性樹脂和溶劑等的數(shù)據(jù)電極膏。首先，采用絲網(wǎng)印刷法等在背面玻璃基板11上以規(guī)定的厚度涂敷數(shù)據(jù)電極膏。接著， 利用干燥爐除去數(shù)據(jù)電極膏中的溶劑。然后，隔著規(guī)定圖案的光掩模對數(shù)據(jù)電極膏進(jìn)行曝光。接著，使數(shù)據(jù)電極膏顯影，以形成數(shù)據(jù)電極圖案。最后，利用焙燒爐，以規(guī)定的溫度對數(shù)據(jù)電極圖案進(jìn)行焙燒。也就是說，除去數(shù)據(jù)電極圖案中的感光性樹脂。另外，數(shù)據(jù)電極圖案中的玻璃料熔融。熔融后的玻璃料在焙燒后玻璃化。通過以上的工序，形成數(shù)據(jù)電極12。 在此，除了對數(shù)據(jù)電極膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的方法以外，還可以采用濺射法、蒸鍍法等。接著，形成基底電介質(zhì)層13?；纂娊橘|(zhì)層13的材料可以采用包含電介質(zhì)玻璃料、樹脂和溶劑等的基底電介質(zhì)膏。首先，通過絲網(wǎng)印刷法等，按照覆蓋數(shù)據(jù)電極12的方式，以規(guī)定的厚度在形成有數(shù)據(jù)電極12的背面玻璃基板11上涂敷基底電介質(zhì)膏。接著，利用干燥爐除去基底電介質(zhì)膏中的溶劑。最后，利用焙燒爐以規(guī)定的溫度對基底電介質(zhì)膏進(jìn)行焙燒。也就是說，除去基底電介質(zhì)膏中的樹脂。再有，電介質(zhì)玻璃料熔融。熔融后的電介質(zhì)玻璃料在焙燒后玻璃化。通過以上的工序形成基底電介質(zhì)層13。在此，除了對基底電介質(zhì)膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的方法以外，還可以采用壓模涂布法、旋轉(zhuǎn)涂布法等。還有，也可以不利用基底電介質(zhì)膏，而是通過CVD (Chemical Vapor D印osition)法等來形成構(gòu)成基底電介質(zhì)層13的膜。接下來，通過光刻法形成隔壁14。隔壁14的材料采用包含填料、用于使填料粘結(jié)的玻璃料、感光性樹脂和溶劑等的隔壁膏。首先，通過壓模涂布法等，以規(guī)定的厚度在基底電介質(zhì)層13上涂敷隔壁膏。接著，利用干燥爐除去隔壁膏中的溶劑。然后，隔著規(guī)定圖案的光掩模對隔壁膏進(jìn)行曝光。接著，使隔壁膏顯影，以形成隔壁圖案。最后，利用焙燒爐，以規(guī)定的溫度對隔壁圖案進(jìn)行焙燒。也就是說，除去隔壁圖案中的感光性樹脂。另外，隔壁圖案中的玻璃料熔融。熔融后的玻璃料在焙燒后玻璃化。通過以上的工序，形成隔壁14。在此，除了光刻法以外，還可以采用噴砂法等。接著，形成熒光體層15。熒光體層15的材料采用包含熒光體粒子、粘合劑和溶劑等的熒光體膏。首先，通過分配法等以規(guī)定的厚度在鄰接的隔壁14之間的基底電介質(zhì)層13 上及隔壁14的側(cè)面涂敷熒光體膏。接著，通過干燥爐除去熒光體膏中的溶劑。最后，通過焙燒爐以規(guī)定的溫度焙燒熒光體膏。也就是說，除去熒光體膏中的樹脂。通過以上的工序形成熒光體層15。在此，除了分配法以外，還可以采用絲網(wǎng)印刷法等。通過以上的工序，背面玻璃基板11上具有規(guī)定的構(gòu)成部件的背面板10完成。4-3.玻璃料涂敷工序B2接下來，在通過背面板制作工序Bl制作出的背面板10的圖像顯示區(qū)域外涂敷作為密封部件的玻璃料。然后，為了除去玻璃料的樹脂成分等，執(zhí)行以350°C左右的溫度進(jìn)行準(zhǔn)焙燒(pre-baking)的玻璃料涂敷工序B2。在此，作為密封部件，希望采用以氧化鉍或氧化釩為主要成分的玻璃料。作為以氧化鉍為主要成分的玻璃料，例如可以采用在Bi2O3-B2O3-RO-MO系(在此R為Ba、Sr、Ca、Mg的任一種，M為CiuSbJe的任一種)的玻璃材料中添加了由Al203、Si02、堇青石(cordierite) 等氧化物組成的填料之后的材料。再有，作為以氧化釩為主要成分的玻璃料，例如可以采用在V2O5-BaO-TeO-WO系的玻璃材料中添加了由Al203、Si02、堇青石等氧化物組成的填料之后的材料。4-4.從密封工序Cl到放電氣體供給工序C4接下來，將前面板2和經(jīng)過玻璃料涂敷工序Bl的背面板10對置配置之后利用密封部件密封周邊部。然后，在放電空間內(nèi)封入放電氣體。本實(shí)施方式涉及的密封工序Cl、還原性氣體導(dǎo)入工序C2、排氣工序C3以及放電氣體供給工序C4在同一裝置中進(jìn)行圖6、圖7或圖8所示的溫度分布的處理。所謂圖6 圖8中的密封溫度，指的是利用作為密封部件的玻璃料密封前面板2 與背面板10時(shí)的溫度。本實(shí)施方式中的密封溫度例如約為490°C。再有，所謂圖6 圖8 中的排氣溫度，指的是從放電空間排出包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體時(shí)的溫度。本實(shí)施方式中的排氣溫度例如約為400°C。4-4-1.第一溫度分布例如圖6所示，首先在密封工序Cl中，溫度從室溫一直上升到密封溫度為止。接著， 溫度在a_b的期間內(nèi)維持密封溫度。然后，溫度在b-c的期間內(nèi)從密封溫度下降到排氣溫度。在b_c的期間內(nèi)放電空間內(nèi)被排氣。也就是說，放電空間內(nèi)成為減壓狀態(tài)。接下來，在還原性氣體導(dǎo)入工序C2中，溫度在c-d的期間內(nèi)維持排氣溫度。在c-d 的期間內(nèi)將包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體導(dǎo)入放電空間內(nèi)。在c-d的期間內(nèi)保護(hù)層9被暴露在包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體中。然后，在排氣工序C3中，溫度在規(guī)定期間內(nèi)維持排氣溫度。之后，溫度一直下降到室溫左右為止。在d-e的期間內(nèi)，通過對放電空間內(nèi)進(jìn)行排氣，從而包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體被排出。接著，在放電氣體供給工序C4中，向放電空間內(nèi)導(dǎo)入放電氣體。也就是說，在溫度下降到室溫左右的e以后的期間內(nèi)導(dǎo)入放電氣體。4-4-2.第二溫度分布例如圖7所示，首先在密封工序Cl中，溫度從室溫一直上升到密封溫度為止。接著， 溫度在a_b的期間內(nèi)維持密封溫度。然后，溫度在b-c的期間內(nèi)從密封溫度下降到排氣溫度。在溫度被維持為排氣溫度的c-dl的期間內(nèi)放電空間內(nèi)被排氣。也就是說，放電空間內(nèi)成為減壓狀態(tài)。接下來，在還原性氣體導(dǎo)入工序C2中，溫度在dl-d2的期間內(nèi)維持排氣溫度。在 dl-d2的期間內(nèi)將包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體導(dǎo)入放電空間內(nèi)。在dl-d2的期間內(nèi)保護(hù)層9被暴露在包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體中。然后，在排氣工序C3中，溫度在規(guī)定期間內(nèi)維持排氣溫度。之后，溫度一直下降到室溫左右為止。在d2_e的期間內(nèi)，通過對放電空間內(nèi)進(jìn)行排氣，從而包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體被排出。接著，在放電氣體供給工序C4中，向放電空間內(nèi)導(dǎo)入放電氣體。也就是說，在溫度下降到室溫左右的e以后的期間內(nèi)導(dǎo)入放電氣體。4-4-3.第三溫度分布例如圖8所示，首先在密封工序Cl中，溫度從室溫一直上升到密封溫度為止。接著， 溫度在a-bl_b2的期間內(nèi)維持密封溫度。在a-bl的期間內(nèi)放電空間內(nèi)被排氣。也就是說， 放電空間內(nèi)成為減壓狀態(tài)。然后，溫度在132-c的期間內(nèi)從密封溫度下降到排氣溫度。在本例中，還原性氣體導(dǎo)入工序C2在密封工序Cl的期間內(nèi)進(jìn)行。溫度在bl_b2 的期間內(nèi)維持密封溫度。然后在132-c的期間內(nèi)溫度下降到排氣溫度為止。在bl-c的期間內(nèi)將包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體導(dǎo)入放電空間內(nèi)。在bl-c的期間內(nèi)保護(hù)層9被暴露在包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體中。然后，在排氣工序C3中，溫度在規(guī)定期間內(nèi)維持排氣溫度。之后，溫度一直下降到室溫左右為止。在c-e的期間內(nèi)，通過對放電空間內(nèi)進(jìn)行排氣，從而包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體被排出。接著，在放電氣體供給工序C4中，向放電空間內(nèi)導(dǎo)入放電氣體。也就是說，在溫度下降到室溫左右的e以后的期間內(nèi)導(dǎo)入放電氣體。另外，無論在哪一種溫度分布中都具有幾乎同等的作用。4-4-4.還原性有機(jī)氣體的詳細(xì)內(nèi)容如表1所示，作為還原性有機(jī)氣體希望采用分子量在58以下的還原力較大的CH 系有機(jī)氣體。通過將從各種還原性有機(jī)氣體中選擇的至少一種混合到稀有氣體或氮?dú)鈿怏w等中，從而可以制造包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體。[表 1]
權(quán)利要求
1.一種等離子顯示面板的制造方法，該等離子顯示面板具有放電空間以及與所述放電空間面對的保護(hù)層，在該制造方法中，通過向所述放電空間導(dǎo)入包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體，從而將所述保護(hù)層暴露在所述還原性有機(jī)氣體中，接著從所述放電空間排出所述還原性有機(jī)氣體， 然后將放電氣體封入所述放電空間內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子顯示面板的制造方法，其中， 所述還原性有機(jī)氣體是不包含氧的烴類氣體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子顯示面板的制造方法，其中，所述還原性有機(jī)氣體為從乙炔、乙烯、甲基乙炔、丙二烯、丙烯、環(huán)丙烷、丙烷以及丁烷中選出的至少一種。
全文摘要
本發(fā)明提供一種等離子顯示面板的制造方法，該等離子顯示面板具有放電空間以及與放電空間面對的保護(hù)層。通過向放電空間導(dǎo)入包含還原性有機(jī)氣體在內(nèi)的氣體，從而將保護(hù)層暴露在還原性有機(jī)氣體中。接著，從放電空間排出還原性有機(jī)氣體。然后，將放電氣體封入放電空間內(nèi)。
文檔編號H01J11/40GK102473567SQ201180002310
公開日2012年5月23日 申請日期2011年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月12日
發(fā)明者堀河敬司, 奧村加奈子, 小鹽千春, 河原崎秀司 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社