專利名稱：一種場發(fā)射電子源發(fā)叉鎢絲成型裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及成型裝置，具體涉及一種場發(fā)射電子源發(fā)叉鎢絲成型裝置。
背景技術(shù)：
場發(fā)射電子顯微鏡作為人類探索微觀世界的重要工具，以其獨特的高分辨及分析性能，被廣泛地應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)以及地質(zhì)、能源、醫(yī)療、制藥等諸多領(lǐng)域，在人類科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著巨大作用。場發(fā)射電子源是場發(fā)射電鏡的核心部件之一，電子槍性能的主要參數(shù)包括電子槍的發(fā)射電流密度、束流分布、束斑形狀等。其性能直接影響著電子顯微鏡的分辨本領(lǐng)。場發(fā)射電子源包括帶有兩個電極的陶瓷座；焊接在陶瓷座的電極上的V型發(fā)叉鎢絲；以及焊接在V型發(fā)叉鎢絲的尖端的單晶鎢絲，其中單晶鎢絲的直徑為0. 1-0. 2mm。將陶瓷座裝入圓筒狀的柵帽中，使單晶鎢絲穿過柵帽頂端中心處直徑為0. 35-0. 4mm的小孔， 并且要求單晶鎢絲位于柵帽孔的中心，偏心度小于10微米，從而構(gòu)成場發(fā)射電子源發(fā)射體的基本單元。在發(fā)射體的基本單元中，V型發(fā)叉鎢絲的作用是電流加載和單晶鎢絲支撐，其彎曲角度和V型叉長度的一致性是保證后續(xù)焊接和安裝精度的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。通常V型發(fā)叉鎢絲成型的方法是將直鎢絲放在軟橡膠墊上，用刀片的刀口擠壓鎢絲使其彎曲一定的角度，然后測量其角度，保留下滿足要求的V型發(fā)叉鎢絲，這樣做成功率很低，且一致性差，對操作人員要求很高。

發(fā)明內(nèi)容
針對以上提出的現(xiàn)有技術(shù)的不足，提出本發(fā)明。本發(fā)明的目的在于提出一種場發(fā)射電子源發(fā)叉鎢絲成型裝置。本發(fā)明的場發(fā)射電子源發(fā)叉鎢絲成型裝置包括刀片；底座；控制刀片向下擠壓深度的刀片架組；包括一對間距可調(diào)的左固定托和右固定托的間距調(diào)節(jié)組；以及一對用于放置鎢絲的鎢絲定位片；其中，刀片安裝在刀片架組上，刀片架組安裝在底座上，間距調(diào)節(jié)組安裝在底座上，并且刀片位于左固定托和右固定托的間距的正上方，一對鎢絲定位片分別固定在左固定托和右固定托上。刀片架組能夠控制刀片向下壓向鎢絲的擠壓深度，間距調(diào)節(jié)組能夠控制右固定托和左固定托之間的狹縫的間距，通過調(diào)節(jié)刀片的擠壓深度和一對固定托之間的狹縫的間距，可以精確的控制放置在鎢絲定位片中的V型發(fā)叉鎢絲的彎曲角度，并同時保證V型叉的長度相同。刀片架組包括在底座的左側(cè)固定一個框型支架；在框型支架的兩個框梁的右表面上安裝一對垂直導(dǎo)軌和垂直滑塊；在一對垂直滑塊上固定倒U型刀片架；在倒U型刀片架的頂端固定調(diào)節(jié)鈕固定架；在調(diào)節(jié)鈕固定架上安裝高度調(diào)節(jié)鈕，高度調(diào)節(jié)鈕位于框型支架的正上面。
在倒U型刀片架的上端固定刀片安裝盒，在刀片安裝盒內(nèi)放置刀片，通過兩個螺釘固定刀片。高度調(diào)節(jié)鈕控制調(diào)節(jié)鈕固定架的下底面與固定框架的頂面之間的接觸高度，當(dāng)?shù)?U型刀片架沿垂直導(dǎo)軌上下滑動時，下落高度即為調(diào)節(jié)鈕固定架的下底面與固定框架的頂面之間的接觸高度。通過調(diào)節(jié)高度調(diào)節(jié)鈕，控制了刀片向下壓鎢絲的擠壓深度。間距調(diào)節(jié)組包括一對成鏡像對稱的左固定托和右固定托。左固定托的底部固定在底座上，而右固定托的底部安裝在一個水平導(dǎo)軌上，水平導(dǎo)軌固定在底座上。在水平導(dǎo)軌的右端固定調(diào)節(jié)鈕支架，在調(diào)節(jié)鈕支架上安裝間距調(diào)節(jié)鈕。調(diào)節(jié)鈕支架為內(nèi)螺紋，間距調(diào)節(jié)鈕為外螺紋，間距調(diào)節(jié)鈕在調(diào)節(jié)鈕支架內(nèi)旋轉(zhuǎn)，帶動右固定托沿水平導(dǎo)軌左右移動，從而控制右固定托和左固定托之間的狹縫的間距。間距調(diào)節(jié)鈕的頂端和右固定托的右側(cè)面通過旋轉(zhuǎn)自由方式咬合間距調(diào)節(jié)鈕的頂端通過在右固定托的右側(cè)面的孔進入右固定托并卡在右固定托里，這個孔的直徑等于間距調(diào)節(jié)鈕的直徑，間距調(diào)節(jié)鈕能夠在這個孔中自由轉(zhuǎn)動，并且?guī)佑夜潭ㄍ性谒綄?dǎo)軌上左右移動。通過間距調(diào)節(jié)鈕可以帶動右固定托在水平方向左右移動，調(diào)節(jié)對稱的一對固定托之間的間距，間距大小與鎢絲彎曲角度相關(guān)。左固定托和右固定托相對的面各設(shè)置有凹槽，在凹槽中各放置一塊橡膠墊塊。兩塊相對的橡膠墊塊構(gòu)成狹縫，刀片架組向下降落時刀片正好落入此狹縫，刀片會擠壓橫臥在鎢絲定位片的刻槽中的鎢絲，使鎢絲彎曲成型。由于橡膠墊塊具有彈性，當(dāng)?shù)镀侣鋾r可以緩沖刀片對鎢絲的作用力，減小鎢絲的損傷，提高鎢絲的成品率。在一對固定托的上表面分別固定一塊鎢絲定位片，在每個鎢絲定位片相對的一側(cè)開了多條長度和縫寬相同的刻槽，用于放置鎢絲，從而實現(xiàn)多根鎢絲一次同時成型。本發(fā)明的有益效果本發(fā)明發(fā)叉鎢絲成型裝置是專門為制作統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)的V型發(fā)叉鎢絲而設(shè)計的一種裝置，可以在5° -95°角度范圍內(nèi)的任意角度對鎢絲進行精確的彎曲，既能精確保證彎曲角度也能精確保證V型叉具有相同的長度；并且可多根鎢絲一次同時成型，極大的提高了發(fā)叉鎢絲成型的精度和一致性，同時也大大的提高了 V型發(fā)叉鎢絲制作效率，為確保后續(xù)焊接和安裝精度提供了保證。


圖1為本發(fā)明的場發(fā)射電子源發(fā)叉鎢絲成型裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的場發(fā)射電子源發(fā)叉鎢絲成型裝置的分解的示意圖；圖3為表示本發(fā)明的發(fā)叉鎢絲成型裝置的間距調(diào)節(jié)鈕和右固定托的咬合方式的示意圖。
具體實施例方式下面通過一個實施例，結(jié)合附圖詳描述本發(fā)明的實施方式。如圖1所示，本發(fā)明的場發(fā)射電子源發(fā)叉鎢絲成型裝置包括刀片52 ；底座1 ；控制刀片向下擠壓深度的刀片架組2 ；包括一對間距可調(diào)的左固定托31和右固定托32的間距調(diào)節(jié)組；以及一對用于放置鎢絲的鎢絲定位片4 ；其中，刀片52安裝在刀片架組2上，刀片架組2安裝在底座1上，間距調(diào)節(jié)組安裝在底座1上并且刀片52位于左固定托31和右固定托32的間距的正上方，一對鎢絲定位片4分別固定在左固定托31和右固定托32上。如圖1和圖2所示，刀片架組2包括在底座1的左側(cè)固定一個框型支架21 ；在框型支架的兩個框梁的右表面上安裝一對垂直導(dǎo)軌22和垂直滑塊23 ；在一對垂直滑塊上固定倒U型刀片架M ；在倒U型刀片架的頂端固定調(diào)節(jié)鈕固定架25 ；在調(diào)節(jié)鈕固定架25上安裝高度調(diào)節(jié)鈕26，高度調(diào)節(jié)鈕沈位于框型支架21的正上面。在倒U型刀片架M的上端固定刀片安裝盒51，在刀片安裝盒51內(nèi)放置刀片52， 通過兩個螺釘53固定刀片。在底座1上并且位于框型支架21和倒U型刀片架M的下方安裝間距調(diào)節(jié)組。間距調(diào)節(jié)組包括一對成鏡像對稱的左固定托31和右固定托32，左固定托31的底部固定在底座1上，而右固定托32的底部安裝在一個水平導(dǎo)軌33上，水平導(dǎo)軌33固定在底座1上。 在水平導(dǎo)軌33的右端固定調(diào)節(jié)鈕支架34，在調(diào)節(jié)鈕支架34上安裝右固定托的間距調(diào)節(jié)鈕 35。如圖3所示，間距調(diào)節(jié)鈕35的頂端通過在右固定托的右側(cè)面的孔321進入右固定托32并卡在右固定托里，這個孔的直徑等于間距調(diào)節(jié)鈕35的直徑，間距調(diào)節(jié)鈕35能夠在這個孔中自由轉(zhuǎn)動。間距調(diào)節(jié)鈕35的左端具有定位卡351，其直徑略大于右固定托32的孔 321的直徑，從而卡在右固定托32里。右固定托32具有空腔322，空腔322剛好容下定位卡351并使其在空腔322內(nèi)自由轉(zhuǎn)動。這樣，實現(xiàn)了間距調(diào)節(jié)鈕35帶動右固定托32沿水平導(dǎo)軌33左右移動。如圖2所示，在一對固定托31和32的上表面分別固定一塊鎢絲定位片4，在一對鎢絲定位片4相對的一側(cè)開了多條刻槽41，用于放置鎢絲。刻槽的長約1cm，寬約0.2mm。在左固定托31和右固定托32相對的面各設(shè)置有凹槽，在凹槽中各放置一塊橡膠墊塊36。最后需要注意的是，公布實施方式的目的在于幫助進一步理解本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解在不脫離本發(fā)明及所附的權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)，各種替換和修改都是可能的。因此，本發(fā)明不應(yīng)局限于實施例所公開的內(nèi)容，本發(fā)明要求保護的范圍以權(quán)利要求書界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種發(fā)叉鎢絲成型裝置，用于制備場發(fā)射電子源發(fā)射體的V型發(fā)叉鎢絲，其特征在于，所述裝置包括刀片(52)；底座(1)；控制刀片向下擠壓深度的刀片架組O)；包括一對間距可調(diào)的左固定托(31)和右固定托(3 的間距調(diào)節(jié)組；以及一對用于放置鎢絲的鎢絲定位片⑷；其中，刀片(52)安裝在刀片架組(2)上，刀片架組(2)安裝在底座⑴上，間距調(diào)節(jié)組安裝在底座(1)上，并且刀片(52)位于左固定托(31)和右固定托(32)的間距的正上方，一對鎢絲定位片(4)分別固定在左固定托(31)和右固定托(3 上。
2.如權(quán)利要求1所述的焊接裝置，其特征在于，所述刀片架組(2)包括在底座(1)的左側(cè)固定一個框型支架；在框型支架的兩個框梁的右表面上安裝一對垂直導(dǎo)軌02) 和垂直滑塊；在垂直滑塊上固定倒U型刀片架04)；在倒U型刀片架的頂端固定調(diào)節(jié)鈕固定架0 ；在調(diào)節(jié)鈕固定架0 上安裝高度調(diào)節(jié)鈕( )，高度調(diào)節(jié)鈕06)位于框型支架的正上面。
3.如權(quán)利要求2所述的焊接裝置，其特征在于，在所述倒U型刀片架04)的上端固定刀片安裝盒(51)，在刀片安裝盒(51)內(nèi)放置刀片(52)，通過兩個螺釘(53)固定刀片。
4.如權(quán)利要求1所述的焊接裝置，其特征在于，所述間距調(diào)節(jié)組包括一對成鏡像對稱的左固定托(31)和右固定托(32)，左固定托(31)的底部固定在底座(1)上，而右固定托 (32)的底部安裝在一個水平導(dǎo)軌(3 上，水平導(dǎo)軌(3 固定在底座(1)上。
5.如權(quán)利要求4所述的焊接裝置，其特征在于，在所述水平導(dǎo)軌(33)的右端固定調(diào)節(jié)鈕支架(34)，在所述調(diào)節(jié)鈕支架(34)上安裝間距調(diào)節(jié)鈕(35)。
6.如權(quán)利要求1所述的焊接裝置，其特征在于，所述間距調(diào)節(jié)鈕(3 的頂端通過在右固定托的右側(cè)面的孔(321)進入右固定托(3 并卡在右固定托里，這個孔的直徑等于間距調(diào)節(jié)鈕(3 的直徑，間距調(diào)節(jié)鈕(3 能夠在這個孔中自由轉(zhuǎn)動，間距調(diào)節(jié)鈕(3 的左端具有定位卡(351)，其直徑略大于右固定托(3 的孔(321)的直徑，從而卡在右固定托 (32)里，右固定托(32)具有空腔(322)，空腔(322)剛好容下定位卡(351)并使其在空腔 (322)內(nèi)自由轉(zhuǎn)動。
7.如權(quán)利要求1所述的焊接裝置，其特征在于，在一對鎢絲定位片(4)相對稱的一側(cè)開了多條刻槽G1)。
8.如權(quán)利要求7所述的焊接裝置，其特征在于，所述刻槽的長約1cm，寬約0.2mm。
9.如權(quán)利要求1所述的焊接裝置，其特征在于，在所述左固定托(31)和右固定托(32) 相對的面各設(shè)置有凹槽，在凹槽中各放置一塊橡膠墊塊(36)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種場發(fā)射電子源發(fā)叉鎢絲成型裝置。本發(fā)明的焊接裝置包括刀片；底座；控制刀片向下擠壓深度的刀片架組；包括一對間距可調(diào)的左固定托和右固定托的間距調(diào)節(jié)組；以及一對用于放置鎢絲的鎢絲定位片。本發(fā)明的成型裝置，可以在5°-95°角度范圍內(nèi)的任意角度對鎢絲進行精確的彎曲，既能精確保證彎曲角度也能精確保證V型叉具有相同的長度；并且可多根鎢絲一次同時成型，極大的提高了發(fā)叉鎢絲成型的精度和一致性，同時也大大的提高了V型發(fā)叉鎢絲制作效率，為確保后續(xù)焊接和安裝精度提供了保證。
文檔編號H01J9/02GK102496541SQ20111040653
公開日2012年6月13日 申請日期2011年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月8日
發(fā)明者劉亞琪, 張會珍, 徐軍, 陳莉 申請人:北京大學(xué)