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一種用于寬束離子注入機的引出電極系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:2905879閱讀:481來源:國知局
專利名稱:一種用于寬束離子注入機的引出電極系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造控制系統(tǒng),即離子注入機,特別地,涉及一種用于寬束離子注入機的引出電極系統(tǒng),屬于半導(dǎo)體裝備制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)
在半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備離子注入機中,離子源引出系統(tǒng)是整機設(shè)備關(guān)鍵部件之一,其與離子源本體結(jié)合在一起構(gòu)成離子注入機的核心部件-離子源系統(tǒng);其決定了離子注入機諸多性能指標(biāo),如離子源系統(tǒng)的引出束流大小、引出能量大小、引出束流品質(zhì)及束穩(wěn)定性能等。離子注入機離子源引出電極系統(tǒng)一般采用的是加減速三電極結(jié)構(gòu),但是當(dāng)我們?yōu)?了得到低能大束流時,將采用寬縫離子源,這種情況下,三電極結(jié)構(gòu)將很難精確調(diào)節(jié)引出縫和離子源引出縫的位置,本發(fā)明提供了一種用于寬束離子注入機的引出電極系統(tǒng),能夠在四個方向調(diào)節(jié)引出電極的位置,以精確調(diào)節(jié)引出電極引出縫和離子源的位置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種用于寬束離子注入機的引出電極系統(tǒng)。本發(fā)明所涉及的實施例包括以下結(jié)構(gòu)件Y1方向運動機構(gòu)⑴,移動支架⑵,安裝法蘭(3),引出電極(4),抑制電極(5),Y2方向運動機構(gòu)(6),Zl方向運動機構(gòu)(7),Ζ2方向運動機構(gòu)(8),用于連接抑制電極(5)和引出電極⑷的連接柱(9)。其中Yl方向運動機構(gòu)⑴用于控制抑制電極(5)和引出電極⑷在Yl方向上的運動,Υ2方向運動機構(gòu)(6)用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Υ2方向上的運動。Zl方向運動機構(gòu)⑵和Ζ2方向運動機構(gòu)⑶分別用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Zl方向上和Ζ2方向上的運動。其中Yl方向運動機構(gòu)(I)和Υ2方向運動機構(gòu)在結(jié)構(gòu)上相對獨立,即Yl方向運動機構(gòu)(I)和Υ2方向運動機構(gòu)都是單獨運動,不相互影響,以此調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)在X方向的位置,最終調(diào)節(jié)至抑制電極(5)和引出電極(4)的引出縫水平。其中Zl方向運動機構(gòu)(7)用于調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)在Z方向上的整體運動,以此調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)引出縫和離子源引出縫的距離,其中Ζ2方向運動機構(gòu)⑶與Yl方向運動機構(gòu)⑴連接,Ζ2方向運動機構(gòu)⑶與Υ2方向運動機構(gòu)
(6)相互獨立,即Ζ2方向運動機構(gòu)⑶用于調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極⑷在Yl方向運動機構(gòu)(I) 一端的Z方向上的移動,以此調(diào)節(jié)至抑制電極(5)和引出電極⑷的左右兩端在Z方向上相平。


下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹,但不作為對本發(fā)明專利的限定。
圖I離子源和引出電極系統(tǒng)的排列示意圖。圖2為引出電極系統(tǒng)的主視示意圖。圖3為引出電極系統(tǒng)的俯視示意圖。圖I中包括離子源(10),引出電極(4)和抑制電極(5).圖2和圖3中包括Y1方向運動機構(gòu)(I),移動支架(2),安裝法蘭(3),引出電極(4),抑制電極(5),Y2方向運動機構(gòu)(6),Ζ1方向運動機構(gòu)(7),Ζ2方向運動機構(gòu)(8),用于連接抑制電極(5)和引出電極⑷的連接柱(9)。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖的具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹,應(yīng)該理解,這些描述都是說·明性的,本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。如圖I所示,引出電極⑷將離子源(10)中產(chǎn)生的離子束流引出。本專利所涉及的引出電極系統(tǒng)設(shè)置在離子源(10)出口的后方,將離子源(10)產(chǎn)生的束流引出。設(shè)計良好的引出電極系統(tǒng)對于離子源(10)的不同放電狀態(tài)以及不同的引出能量,都能自動引出光學(xué)品質(zhì)良好的束流。本發(fā)明提供了一種用于寬束離子注入機的引出電極系統(tǒng),下面對本發(fā)明的實施例進行詳細描述。圖2為本發(fā)明實施例的主視圖,其中Yl方向運動機構(gòu)(I)用于控制抑制電極(5)和引出電極⑷在Yl方向上的運動,Υ2方向運動機構(gòu)(6)用于控制抑制電極(5)和引出電極⑷在Υ2方向上的運動。其中Yl方向運動機構(gòu)(I)和Υ2方向運動機構(gòu)在結(jié)構(gòu)上相對獨立,即Yl方向運動機構(gòu)(I)和Υ2方向運動機構(gòu)都是單獨運動,不相互影響,以此調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)在X方向的位置,最終調(diào)節(jié)至抑制電極(5)和引出電極(4)的引出縫水平。圖3所示為本發(fā)明實施例的俯視圖,其中Zl方向運動機構(gòu)(7)和Ζ2方向運動機構(gòu)⑶分別用于控制抑制電極(5)和引出電極⑷在Zl方向上和Ζ2方向上的運動。其中Zl方向運動機構(gòu)(7)用于調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)在Z方向上的整體運動,以此調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極⑷引出縫和離子源引出縫的距離。其中Ζ2方向運動機構(gòu)⑶與Yl方向運動機構(gòu)⑴連接,Ζ2方向運動機構(gòu)⑶與Υ2方向運動機構(gòu)(6)相互獨立,即Ζ2方向運動機構(gòu)(8)用于調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)在Yl方向運動機構(gòu)⑴一端的Z方向上的移動,以此調(diào)節(jié)至抑制電極(5)和引出電極(4)的左右兩端在Z方向上相平。圖3中用于連接抑制電極(5)和引出電極⑷的連接柱(9)為4個,材料為陶瓷,起到絕緣作用。以上所述已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言,在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動,都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯,將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
1.一種用于寬帶束離子注入機的引出電極系統(tǒng),包括Y1方向運動機構(gòu)(1),移動支架(2),安裝法蘭(3),引出電極(4),抑制電極(5),Y2方向運動機構(gòu)(6),Zl方向運動機構(gòu)(7),Ζ2方向運動機構(gòu)(8),用于連接抑制電極(5)和引出電極(4)的連接柱(9)。
2.權(quán)利I中所述用于寬帶束離子注入機的引出電極系統(tǒng),其中Yl方向運動機構(gòu)(I)用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Yl方向上的運動,Υ2方向運動機構(gòu)(6)用于控制抑制電極(5)和引出電極⑷在Υ2方向上的運動。Zl方向運動機構(gòu)(7)和Ζ2方向運動機構(gòu)⑶分別用于控制抑制電極(5)和引出電極⑷在Zl方向上和Ζ2方向上的運動。
3.權(quán)利I和2中所述用于寬帶束離子注入機的引出電極系統(tǒng),其中Yl方向運動機構(gòu)(I)和Υ2方向運動機構(gòu)在結(jié)構(gòu)上相對獨立,即Yl方向運動機構(gòu)(I)和Υ2方向運動機構(gòu)都是單獨運動,不相互影響,以此調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)在X方向的位置,最終調(diào)節(jié)至抑制電極(5)和引出電極⑷的引出縫水平。
4.權(quán)利I和2中所述用于寬帶束離子注入機的引出電極系統(tǒng),其中Zl方向運動機構(gòu)(7)用于調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極⑷在Z方向上的整體運動,以此調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極⑷引出縫和離子源引出縫的距離,其中Ζ2方向運動機構(gòu)⑶與Yl方向運動機構(gòu)⑴連接,Ζ2方向運動機構(gòu)⑶與Υ2方向運動機構(gòu)(6)相互獨立,即Ζ2方向運動機構(gòu)⑶用于調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極⑷在Yl方向運動機構(gòu)⑴一端的Z方向上的移動,以此調(diào)節(jié)至抑制電極(5)和引出電極(4)的左右兩端在Z方向上相平。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于寬帶束離子注入機的引出電極系統(tǒng),包括Y1方向運動機構(gòu)(1),移動支架(2),安裝法蘭(3),引出電極(4),抑制電極(5),Y2方向運動機構(gòu)(6),Z1方向運動機構(gòu)(7),Z2方向運動機構(gòu)(8),用于連接抑制電極(5)和引出電極(4)的連接柱(9)。其中Y1方向運動機構(gòu)(1)用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Y1方向上的運動,Y2方向運動機構(gòu)(6)用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Y2方向上的運動。Z1方向運動機構(gòu)(7)和Z2方向運動機構(gòu)(8)分別用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Z1方向上和Z2方向上的運動。
文檔編號H01J37/32GK102956429SQ20111024116
公開日2013年3月6日 申請日期2011年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月22日
發(fā)明者鄧穎輝, 彭立波, 林萍 申請人:北京中科信電子裝備有限公司
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