專利名稱:一種長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化的方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種陶瓷金屬化的方法,具體涉及一種長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化的方法。
背景技術(shù):
目前,由于真空器件應(yīng)用的發(fā)展,迫切需要高質(zhì)量、高可靠的真空器件,而真空器件中應(yīng)用了大量的陶瓷零件,需要將它們進行陶瓷金屬化。目前的真空器件的陶瓷金屬化質(zhì)量不好特別是長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化層不平,導(dǎo)致與金屬焊接質(zhì)量不好,使真空器件的合格率和可靠性大大降低。正確合理的金屬化方法是獲得優(yōu)質(zhì)陶瓷_金屬封接的重要因素。 它直接影響到焊料能否充分填滿接頭間隙,能否與陶瓷、金屬形成牢固的結(jié)合,從而形成氣密件好、強度高的焊縫。目前長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化的方法對涂膏技術(shù)要求很高,由于陶瓷筒長,人工涂覆內(nèi)圓不方便,無法保證涂層的均勻性和一致性,從而也很難保證內(nèi)圓金屬化的質(zhì)量和陶瓷與金屬的配合,大大的影響了陶瓷與金屬針封的氣密性和可靠性。
發(fā)明內(nèi)容
為解決現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明的目的在于提供一種能夠提高長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化層的均勻性和一致性以及與金屬封接的氣密性和可靠性的金屬化的方法。為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下的技術(shù)方案
一種長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化的方法,其特征在于,包括如下的步驟多次金屬化層涂覆和鍍鎳,一次上述金屬化層涂覆包括多次涂覆烘干和一次高溫?zé)Y(jié),上述涂覆烘干是指先用毛筆在長陶瓷筒內(nèi)圓上涂覆一遍金屬化膏劑,晾干,之后放在烘箱中以50°C下烘lOmin,在進行完一次上述金屬化層涂覆中所有的涂覆烘干后,保證金屬化層的厚度為2(Γ30μπι。前述的一種長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化的方法,其特征在于,進行兩次金屬化層涂覆,然后進行鍍鎳。前述的一種長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化的方法,其特征在于,上述每次金屬化層涂覆的過程中涂覆烘干的次數(shù)為2。本發(fā)明的有益之處在于多次金屬化層涂覆提高了長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化層的均勻性和一致性以及與金屬封接的氣密性和可靠性;同時回避了涂層不均勻、不平整的缺點,大大降低了對人工涂覆技術(shù)的要求,提高了長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化層的均勻性和一致性,同時通過兩次金屬化燒結(jié)使得金屬化層更加致密均勻。
具體實施例方式以下結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作具體的介紹。本發(fā)明的一種長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化的方法,包括如下的步驟多次金屬化層涂覆和鍍鎳,上述金屬化層涂覆的過程包括多次涂覆烘干和一次高溫?zé)Y(jié),上述涂覆烘干是指先用毛筆在長陶瓷筒內(nèi)圓上涂覆一遍金屬化膏劑,晾干,之后放在烘箱中以50°C 下烘lOmin,。在進行完一次金屬化層涂覆中所有的涂覆烘干后,保證金屬化層的厚度為20 30μπιο作為一種優(yōu)選方案,可以采用如下技術(shù)方案先用毛筆在長陶瓷筒內(nèi)圓上涂覆一遍金屬化膏劑,晾干,之后放在烘箱中50°C下烘IOmin ;取出再在原來的涂層上再涂覆一遍金屬化膏劑,晾干,之后放在烘箱中50°C下烘lOmin,保證金屬層厚度2(Γ30μπι;將涂覆好的陶瓷經(jīng)過高溫?zé)Y(jié),之后再用毛筆在長陶瓷筒內(nèi)圓上涂覆一遍金屬化膏劑,晾干,之后放在烘箱中50°C下烘IOmin ;取出再在原來的涂層上再涂覆一遍金屬化膏劑,晾干,之后放在烘箱中50°C下烘lOmin,保證厚度2(Γ30 μ m ;將涂覆好的陶瓷經(jīng)過高溫?zé)Y(jié),然后鍍鎳即可。利用上述的方法所取得金屬化層的質(zhì)量有了很大的提高。詳細如表1所示。表1
其中,用于檢測的總樣品數(shù)為50只;均勻性是在16X顯微鏡下觀察;氣密性是按照 SJ20600-1996標(biāo)準(zhǔn)進行檢測;抗拉強度按照SJ3226-199標(biāo)準(zhǔn)進行檢測。從表1所示,我們可以看到利用本發(fā)明的方法,所有的樣品的均勻性均達到良好以上,氣密性全部達到SJ20600-1996標(biāo)準(zhǔn),抗拉強度300MPa也非常優(yōu)異,現(xiàn)有的一般在 120MPa左右,這個是以往的方法所達不到的。上述實施例不以任何形式限制本發(fā)明,凡采用等同替換或等效變換的方式所獲得的技術(shù)方案,均落在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化的方法,其特征在于,包括如下的步驟多次金屬化層涂覆和鍍鎳;一次上述金屬化層涂覆包括多次涂覆烘干和一次高溫?zé)Y(jié),上述涂覆烘干是指先用毛筆在長陶瓷筒內(nèi)圓上涂覆一遍金屬化膏劑,晾干,之后放在烘箱中以50°c下烘IOmin ;在進行完一次上述金屬化層涂覆中所有的涂覆烘干后,保證金屬化層的厚度為 20 30μπιο
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化的方法,其特征在于,進行兩次金屬化層涂覆,然后進行鍍鎳。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2任意一項所述的一種長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化的方法,其特征在于, 上述每次金屬化層涂覆的過程中涂覆烘干的次數(shù)為2。
全文摘要
本發(fā)明公開一種長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化的方法,其特征在于,包括如下的步驟多次金屬化層涂覆和鍍鎳,上述金屬化層涂覆的過程包括多次涂覆烘干和一次高溫?zé)Y(jié),上述涂覆烘干是指先用毛筆在長陶瓷筒內(nèi)圓上涂覆一遍金屬化膏劑,晾干,之后放在烘箱中以50℃下烘10min,在進行完所有的涂覆烘干后,保證烘干后的金屬化層的厚度為20~30μm,其有益之處在于多次金屬化層涂覆提高了長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化層的均勻性和一致性以及與金屬封接的氣密性和可靠性;同時回避了涂層不均勻、不平整的缺點,大大降低了對人工涂覆技術(shù)的要求,提高了長陶瓷筒內(nèi)圓金屬化層的均勻性和一致性,同時通過兩次金屬化燒結(jié)使得金屬化層更加致密均勻。
文檔編號H01J5/10GK102290305SQ20111020652
公開日2011年12月21日 申請日期2011年7月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月22日
發(fā)明者吳華夏, 李娟 , 章文燕, 賀兆昌, 阮智文 申請人:安徽華東光電技術(shù)研究所