專利名稱：：平板顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種平板顯示裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
：場(chǎng)發(fā)射顯示裝置是一種用于顯示多種圖像的裝置，其中將電壓施加到在陽極板和陰極板之間形成的高真空區(qū)域，并且自電子發(fā)射器件區(qū)域發(fā)射的電子輻射到熒光體(phosphor)區(qū)域，以便于使熒光體能夠發(fā)射光。因此，在場(chǎng)發(fā)射顯示裝置中，重要的是使陽極板和陰極板之間的耐電壓特性穩(wěn)定。場(chǎng)發(fā)射顯示裝置中存在的異物是使場(chǎng)發(fā)射顯示裝置的耐電壓特性極大劣化的原因之一。對(duì)于從外部進(jìn)入的異物，在才艮據(jù)其中可以盡可能低地減少異物的進(jìn)入的制造方法和/或制造環(huán)境執(zhí)行用于制造場(chǎng)發(fā)射顯示設(shè)備的工藝時(shí)，可以采取適當(dāng)?shù)膶?duì)策。然而，在用于制造場(chǎng)發(fā)射顯示裝置的工藝中，在某些情況中在鋁制成的陽極上可能生成須狀物(whiskers)或丘狀物(hillocks)，其是一種類型的突起。順便提及，針形突起被稱為須狀物，并且團(tuán)塊突起被稱為丘狀物。此外，當(dāng)在實(shí)際操作過程中將電壓施加到場(chǎng)發(fā)射顯示裝置時(shí)，在某些情況中上述突起可能導(dǎo)致放電。此外，由于在實(shí)際操作過程中施加到場(chǎng)發(fā)射顯示裝置的電壓生成的電場(chǎng)引起的靜電力，突起被剝離形成異物，由此使場(chǎng)發(fā)射顯示裝置的耐電壓特性極大劣化。已經(jīng)確信，在用于制造場(chǎng)發(fā)射顯示裝置的工藝的熱處理步驟中，的差異引起的壓應(yīng)力而形成的。作為減少陽極上的須狀物和丘狀物的生成的^t術(shù)，例如，在日本專利公開No.2003-31150中已公開了一種技術(shù)，其中通過使用氧化物膜或氮化物膜覆蓋陽極減小放電的生成。然而，未描述引起放電的須狀物和丘狀物的生成。此外，在日本專利公開No.2007-128701中，已公開了一種技術(shù)，其中將鋁和鋁合金至少之一用于陽極，并且其中陽極的外圍部分的平均厚度被設(shè)定為小于其中心部分的平均厚度。結(jié)果，盡管減少了須狀物和丘狀物的生成，但是制造方法變得復(fù)雜，并且因此需要一種簡(jiǎn)單的制造方法。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供了一種平板顯示裝置，其具有可以減少陽極上的須狀構(gòu)，相比于通過現(xiàn)有技術(shù)形成的結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)的配置是簡(jiǎn)單的。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種平板顯示裝置，其包括陰極板，該陰極板具有其上設(shè)置多個(gè)電子發(fā)射區(qū)域的表面；和陽極板，該陽極板具有其上設(shè)置多個(gè)熒光體區(qū)域的表面，其中其上設(shè)置電子發(fā)射區(qū)域的表面和其上設(shè)置熒光體區(qū)域的表面被設(shè)置為相互面對(duì)，在它們之間設(shè)有距離。在上迷平板顯示裝置中，熒光體區(qū)域每一均覆蓋有陽極，并且陽極具有包括鋁層(第一層)、氧化鋁層(第二層)和鋁層(第三層)的三層層疊結(jié)構(gòu)，這三個(gè)層從熒光體區(qū)域側(cè)開始按照上述順序?qū)盈B。此外，陽極具有范圍為70300nm的厚度。此外，根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于制造平板顯示裝置的方法是用于制造上述平板顯示裝置的方法，并且該方法包括如下步驟U)(f):(a)使用樹脂層覆蓋設(shè)置在陽極板基板的一個(gè)表面上的熒光體區(qū)域；(b)在樹脂層上形成鋁層(第一層)，(c)在鋁層(第一層)上形成氧化鋁層(第二層)；(d)在氧化鋁層(第二層)上形成鋁層(第三層)；(e)通過烘焙移除樹脂層以獲得陽極板；和(f)將在步驟(e)中獲得的陽極板的其上設(shè)置熒光體區(qū)域的表面和陰極板的其上設(shè)置電子發(fā)射區(qū)域的表面設(shè)置為相互面對(duì)，由此獲得平板顯示裝置。此外，在上述制造方法中，在步驟(C)中，可以通過使鋁層(第一層)暴露于空氣形成氧化鋁層(笫二層)。此外，在步驟(b)和(d)至少之一中，可以通過真空淀積方法形成鋁層(第一和第三層至少之一)。根據(jù)本發(fā)明，可以減少在陽極處引起放電的須狀物和丘狀物的生成，并且難以通過實(shí)際操作過程中施加電壓發(fā)生放電。此外，平板顯示裝置可被提供為具有卓越的耐電壓特性、穩(wěn)定的操作特性、高可靠性和長(zhǎng)壽命。從下面參考附圖的示例性實(shí)施例的描述中，本發(fā)明的另外的特征將是顯然的。圖l是示出平板顯示裝置的透視圖。圖2是示出陽極板的橫截面圖。圖3是示出用于形成陽極的方法的示意圖。具體實(shí)施例方式根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的平板顯示裝置具有陰極板，其中在支撐部件上提供多個(gè)電子發(fā)射區(qū)域；和陽極板，其中提供多個(gè)熒光體區(qū)域和陽極。陰極板和陽極板通過沿其外圍提供的支撐框相互接合以在陽極板和陰極板之間具有預(yù)定距離。特別地，在并入有包括電子發(fā)射器件的陰極板的平板顯示裝置中，重要的是使陰極板和陽極板之間的耐電壓特性穩(wěn)定，并且本發(fā)明的實(shí)施例適用于上述平板顯示裝置。陽極具有如下功能，通過在陽極和陰極板的電子發(fā)射區(qū)域之間施加電壓，使用自電子發(fā)射區(qū)域發(fā)射的電子轟擊熒光體區(qū)域。此外，陽極還具有如下功能，通過其釋放在熒光體區(qū)域上生成的靜電荷以及通過反射將熒光體區(qū)域中生成的可見光引導(dǎo)到平板顯示裝置的前表面。根據(jù)本發(fā)明的諸方面的平板顯示裝置具有如下結(jié)構(gòu)，其中設(shè)置在陽極板基板上的熒光體區(qū)域的面對(duì)陰極板的表面覆蓋有陽極(層)，并且所述陽極包括三個(gè)層，即，鋁層(第一層)、氧化鋁層(第二層)和鋁層(第三層)，這三個(gè)層從熒光體區(qū)域側(cè)開始按照上述順序?qū)盈B。可以使用已知材料和已知方法在陽極板基板上形成熒光體區(qū)域，并且在必要時(shí)，熒光體區(qū)域可以與光吸收層和/或分隔層一起提供。這些光吸收層和分隔層均也可以使用已知材料和已知方法形成。例如，具有與絕緣材料相似的屬性的材料可用于光吸收層，并且具有導(dǎo)電和絕緣屬性的材料可用于分隔層。此外，陽極可以通過下述方法形成。由于在形成陽極的鋁層之間提供氧化鋁層，因此可以減少須狀物和丘狀物的生成。因此，即使在實(shí)際操作過程中施加電壓時(shí)，仍可以減少放電生成。陽極優(yōu)選地具有范圍為70~300nm的厚度。當(dāng)厚度大于300nm時(shí)，在自電子發(fā)射區(qū)域發(fā)射的電子通過陽極時(shí)生成的阻擋效應(yīng)(死電壓(deadvoltage))增加，并且在某些情況中可以降低來自熒光體區(qū)域的亮度。另一方面，當(dāng)厚度小于70nm時(shí)，自熒光體區(qū)域發(fā)射的光不能通過陽極上的反射充分地引導(dǎo)到顯示設(shè)備的前表面(陽極板的基板方向)，并且在某些情況下可能使亮度降低。陽極的厚度更優(yōu)選在80140nm的范圍。此外，盡管陽極的氧化鋁層的厚度沒有特別限制，但是其優(yōu)選在110nm的范圍。由于鋁層中的須狀物的生長(zhǎng)受到阻礙，因此該厚度優(yōu)選地是lnm或更大。由于可以保持陽極的反射系數(shù)而不降低，因此該厚度優(yōu)逸地是10nm或更小。此外，在根據(jù)本發(fā)明多個(gè)方面的陽極中，只要形成三個(gè)層即可，即，鋁層(第一層)、氧化鋁層(第二層)和鋁層(笫三層)，對(duì)于每個(gè)層則不必具有均勻一致的厚度。此外，只要這三個(gè)層的整個(gè)層疊結(jié)構(gòu)用作電極，則在疊層中可以部分存在未分層部分。順便提及，陽極可以是這樣的疊層，其包括相互層疊的多個(gè)三層200910168709.1層疊結(jié)構(gòu)，每個(gè)三層層疊結(jié)構(gòu)由鋁層(第一層)、氧化鋁層(第二層)和鋁層(第三層)形成。此外，陽極的最頂表面優(yōu)選地由氧化鋁層形成(即，氧化鋁層被設(shè)置在第三鋁層上)。而且，在陽極上還優(yōu)選地提供吸氣劑(getter)層。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于制造平板顯示裝置的方法包括如下步驟U)~(f):(a)使用樹脂層覆蓋設(shè)置在陽極板基板的一個(gè)表面上的多個(gè)熒光體區(qū)域；(b)在樹脂層上形成鋁層(第一層)，(c)在鋁層(第一層)上形成氧化鋁層(第二層)；(d)在氧化鋁層(第二層)上形成鋁層(第三層)；(e)通過烘焙移除樹脂層以獲得陽極板；和(f)將步驟(e)中獲得的陽極板的其上設(shè)置有熒光體區(qū)域的表面和陰極板的其上設(shè)置有多個(gè)電子發(fā)射區(qū)域的表面設(shè)置為相互面對(duì)，由此獲得平板顯示裝置。為了在熒光體區(qū)域上形成平坦陽極，在步驟(a)中在陽極板基板的一個(gè)表面上提供的熒光體區(qū)域均覆蓋有樹脂層。盡管形成樹脂層的樹脂沒有特別限制，但是考慮到平坦度和熱解特性，丙烯酸樹脂或乙基纖維素樹脂是優(yōu)選使用的。樹脂層可以例如通過絲網(wǎng)印刷方法、狹縫涂覆方法或者噴涂方法形成。此外，為了僅在熒光體區(qū)域上形成樹脂層，在通過上述方法在整個(gè)表面之上形成樹脂層之后，可以通過光刻技術(shù)移除熒光體區(qū)域以外的樹脂層區(qū)域。在步驟(b)中，在樹脂層上形成鋁層(第一層)。鋁層(第一層)可以通過物理氣相淀積(PVD)方法形成，i者3口真空淀積方法或賊射方法。在步驟(c)中，在鋁層(第一層)上形成氧化鋁層(第二層)?？梢酝ㄟ^使鋁層(第一層)暴露于大氣(空氣)，形成氧化鋁層(第二層)。該方法是優(yōu)選的，因?yàn)榭梢詫⒀趸X層(第二層)容易地形成為具有期望的厚度。替代地，可以通過在高真空條件下供給非常少量的氧的同時(shí)淀積鋁，形成氧化鋁層(第二層)。此外，可以通過濺射氧化鋁靼形成氧化鋁層(第二層)。在步驟(d)中，在氧化鋁層(第二層)上形成鋁層(第三層)。鋁層(第三層)可以通過與用于鋁層(第一層)的相似的方法形成。在步驟(e)中，通過烘焙移除樹脂層，由此獲得陽極板。盡管烘焙的溫度取決于樹脂層的類型，但是考慮到熒光體的耐熱性，400500'C的溫度是優(yōu)選的，并且由于樹脂可被完全烘除，該溫度也是優(yōu)選的。通過在步驟(e)中控制氣氛中的氧，陽極的最頂表面可被形成為氧化鋁層(在第三鋁層上形成氧化鋁層)。在步驟(f)中，將步驟(e)中獲得的陽極板的具有熒光體區(qū)域的表面和陰極板的具有多個(gè)電子發(fā)射區(qū)域的表面設(shè)置為相互面對(duì)，由此獲得平板顯示裝置。參考圖1，將利用包括在電子發(fā)射區(qū)域上提供的表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射器件的平板顯示裝置作為示例，詳細(xì)描述本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例。根據(jù)本發(fā)明的多個(gè)方面的平板顯示裝置包括陰極板2，其中在基板上提供多個(gè)電子發(fā)射區(qū)域；和陽極板1,其中在基板上提供多個(gè)焚光體區(qū)域和陽極。陰極板2和陽極板1通過插入其間的支撐框3在其外圍部分處相互接合。此外，由陰極板2和陽極板1包圍的空間被置于真空狀態(tài)(例如，在1(T3Pa或更低)。此外，在陰極板2上提供的電子發(fā)射區(qū)域以二維矩陣設(shè)置，并且在陽極板1上提供的熒光體區(qū)域被設(shè)置為面對(duì)各自的電子發(fā)射區(qū)域。電子發(fā)射區(qū)域由以下形成(A)在基板21上形成的掃描線23和掃描電極25、(B)在掃描線23上形成的絕緣層、(C)在絕緣層上形成的信號(hào)線24和信號(hào)電極26、和(D)在各掃描電極25和信號(hào)電極26之間形成以便與其連接的電子發(fā)射器件22。順便提及，根據(jù)本發(fā)明的多個(gè)方面在對(duì)應(yīng)的電子發(fā)射區(qū)域中提供的電子發(fā)射器件22可以由spinto型場(chǎng)發(fā)射器件或碳納米管型場(chǎng)發(fā)射器件形成。在陰極板2中，掃描線23是在第一方向(X方向)中延伸的帶形線，并且信號(hào)線24是在不同于第一方向的第二方向(Y方向)中延伸的帶形線。掃描線23和信號(hào)線24在相互正交的方向中延伸以在每個(gè)方向中形成條紋圖案。在對(duì)應(yīng)于一個(gè)子像素的電子發(fā)射區(qū)域中，在連接到掃描線23的掃描電極25和連接到信號(hào)線24的信號(hào)電極26上提供表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射器件22。此外，在陽極板1中，在基板ll的內(nèi)表面上形成熒光體(未示出)、光吸收層(黑矩陣)13、陽極14、非可蒸發(fā)性吸氣劑(NEG)15。圖2是陽極板1的橫截面圖。陽極板l包括基板ll、在基板ll上形成的熒光體16、和陽極14。此外，在基板11上在熒光體16之間形成光吸收層(黑矩陣)13和分隔層17。而且，在陰極板2和陽極板l之間設(shè)置有間隔物(spacer)(未示出)，并且支撐框3設(shè)置在基板外圍部分。在根據(jù)本發(fā)明的多個(gè)方面的平板顯示裝置中，掃描電極25連接到掃描線控制電路，信號(hào)線24連接到信號(hào)線控制電路，并且陽極14連接到陽極控制電路。這些電路可由已知電路形成。在平板顯示裝置的實(shí)際操作過程中，施加到陽極14的陽極電壓Va通常是恒定的，并且例如，可以4吏用515千伏的電壓。在根據(jù)本發(fā)明的多個(gè)方面的平板顯示裝置的實(shí)際操作過程中，自掃描線控制電路向掃描電極25施加相對(duì)負(fù)的電壓，并且自信號(hào)線控制電路向信號(hào)電極26施加相對(duì)正的電壓。此外，自陽極控制電路向陽極14施加高于施加到信號(hào)電極26的正電壓(陽極電壓Va)。通過在掃描電極25和信號(hào)電極26之間生成的驅(qū)動(dòng)電壓(Vf)，根據(jù)量子隧穿效應(yīng)自電子發(fā)射區(qū)域發(fā)射電子，并且因此發(fā)射的電子通過陽極14并且與熒光體16碰撞。結(jié)果，激發(fā)熒光體16發(fā)射光，由此可以獲得期望的圖像。即，平板顯示裝置的操作基本上由施加到掃描電極25的電壓和施加到信號(hào)電極26的電壓控制。示例在下文中，將通過參考示例詳細(xì)描述本發(fā)明；然而，本發(fā)明不限于此。示例1在該示例中，將通過示例的方式描述一種用于制造平板顯示裝置的方法，在該平板顯示裝置中電子發(fā)射區(qū)域由表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射器件形成。首先，根據(jù)如下制造方法形成具有表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射器件的陰極板。在通過濺射方法在鈉鈣玻璃制成的基板上形成掃描電極層和信號(hào)電極層(掃描電極層和信號(hào)電極層均由鉑形成)之后，使用光刻和刻蝕技術(shù)執(zhí)行構(gòu)圖，由此形成掃描電極和信號(hào)電極。隨后，在使用銀漿通過絲網(wǎng)印刷方法形成掃描線導(dǎo)電層之后，通過光刻技術(shù)執(zhí)行構(gòu)圖，隨后執(zhí)行烘焙處理，由此形成帶形掃描線。在掃描線上形成Si02絕緣膜。而且，在如上文的掃描線的情況那樣使用銀漿在絕緣層上形成信號(hào)線導(dǎo)電層并且隨后通過光刻技術(shù)構(gòu)圖之后，執(zhí)行烘焙處理，由此形成帶形信號(hào)線。帶形信號(hào)線被設(shè)置為垂直于掃描線延伸。最后，在掃描線和信號(hào)線之間通過噴墨方法施加將形成到電子發(fā)射器件中的包括氧化鈀的材料之后，在掃描線和信號(hào)線之間施加脈沖電壓，由此形成表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射器件。如上文所迷，獲得了陰極板，其中在基板上形成了多個(gè)表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射器件。此外，根據(jù)如下制造方法形成陽極板。示例1的陽極板包括熒光體區(qū)域；光吸收層和分隔層，其均被提供在不同于熒光體區(qū)域的位置處；和覆蓋這些組成元件的陽極。首先，在基板上形成二維矩陣光吸收層(黑矩陣)。下一步，在光吸收層(黑矩陣)上形成分隔層(肋)。而且，在由光吸收層(黑矩陣)包圍的基板的暴露部分上形成熒光體區(qū)域。此外，在熒光體區(qū)域上形成樹脂層。特別地，在整個(gè)表面上通過絲網(wǎng)印刷方法形成整個(gè)(solid)樹脂層之后，通過光刻技術(shù)僅在熒光體區(qū)域上形成樹脂層。如上文所迷，在基板上形成覆蓋有樹脂層的熒光體區(qū)域、包圍熒光體區(qū)域的光吸收層、以及分隔層。隨后，在整個(gè)表面之上形成包括鋁和氧化鋁的陽極，即，陽極被形成為覆蓋所述覆蓋有樹脂層的熒光體區(qū)域、包圍熒光體區(qū)域的光吸收層、以及分隔層。圖3是示出用于形成示例1的陽極的方法的示意圖。作為用于形成包括鋁和氧化鋁的陽極14的方法，首先在真空淀積裝置中形成鋁層(第一層)28。對(duì)于真空淀積的條件，使用純度為99.999%的鋁錠作為原料，并且在10"Pa或更低的極度真空下輻射與10kV下0.5A對(duì)應(yīng)的電子束，由此以555nm/sec的淀積速率執(zhí)行膜形成。結(jié)果，形成具有60nm厚度的鋁層(第一層)28。隨后，一旦使該鋁層(第一層)28暴露于空氣，由此形成氧化鋁層(第二層)29。結(jié)果，獲得了具有數(shù)納米厚度的氧化鋁層(第二層)29。接著，在等效于用于形成鋁層(第一層)28的條件下再一次在真空淀積裝置中形成鋁層(第三層)30。結(jié)果，獲得了具有60nm厚度的鋁層(第三層)30，并且形成了包括兩個(gè)鋁層和在其間提供的氧化鋁層的陽極14。最后，通過執(zhí)行煤焙處理移除樹脂層。特別地，在450。C烘焙樹脂層。通過該烘焙處理，樹脂層被燃燒掉和移除，由此允許包括鋁和氧化鋁的陽極保留在焚光體區(qū)域、光吸收層和分隔層上。順便提及，樹脂層燃燒生成的氣體例如通過在導(dǎo)電材料層中形成的細(xì)孔被排放到外部。通過上迷工藝，完成了陽極板。接著，隨后組裝平板顯示裝置。特別地，間隔物被裝配到在陽極板的分隔層上提供的間隔物保持部分，并且陽極板和陰極板被設(shè)置為使熒光體區(qū)域和電子發(fā)射區(qū)域相互面對(duì)。隨后，兩個(gè)板的外圍部分通過插入于其間的支撐框相互接合，該支撐框由具有1.6mm高度的金屬框部件和燒結(jié)玻璃組成的粘合層形成。當(dāng)在高真空氣氛(10"Pa)中執(zhí)行該接合時(shí)，由陽極板和陰極板之間的接合部分包圍的空間被抽空，由此上迷空間被置于真空條件下。通過上述步驟，形成了平板顯示裝置。通過觀察表面，確認(rèn)在通過根據(jù)該示例的用于形成陽極的方法形成的陽極上未生成須狀物。為了確認(rèn)須狀物的生成，當(dāng)完成陽極板時(shí)，通過光學(xué)顯微鏡觀察面板表面上的25個(gè)點(diǎn)，并且在必要時(shí)，使用掃描電子顯微鏡執(zhí)行觀察。結(jié)果，生成的須狀物的數(shù)目為零。此外，在如此形成的平板顯示裝置的實(shí)際操作過程中，放電難于發(fā)生，耐電壓特性是卓越的，并且獲得了穩(wěn)定的操作特性。在表l中裝置的耐電壓特性。"'、'、''、、比較示例1在比較示例1中，使用由一個(gè)鋁層形成的陽極形成平板顯示裝置，該鋁層的厚度與示例1的陽極的總厚度相同。結(jié)果，通過觀察陽極表面，確認(rèn)了許多須狀物。此外，在該平板顯示裝置的實(shí)際操作過程中，頻繁發(fā)生從須狀物開始的放電。在表l中示出了在該比較示例中形成的陽極上生成的須狀物的數(shù)目和該平板顯示裝置的耐電壓特性。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>盡管參考示例性實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明不限于所公開的示例性實(shí)施例。所附權(quán)利要求的范圍應(yīng)依照最廣泛的解釋，涵蓋所有修改以及等效結(jié)構(gòu)和功能。權(quán)利要求1.一種平板顯示裝置，包括陰極板，具有其上設(shè)置有多個(gè)電子發(fā)射區(qū)域的表面；和陽極板，具有其上設(shè)置有多個(gè)熒光體區(qū)域的表面，其中其上設(shè)置有所述電子發(fā)射區(qū)域的表面和其上設(shè)置有所述熒光體區(qū)域的表面被設(shè)置為相互面對(duì)，且在兩者之間設(shè)有距離，其中所述熒光體區(qū)域覆蓋有陽極，所述陽極包括第一鋁層、第二鋁層和在所述第一和第二鋁層之間提供的氧化鋁層，并且在所述熒光體區(qū)域上按照第一鋁層、氧化鋁層和第二鋁層的順序提供該第一鋁層、氧化鋁層和第二鋁層。2.如權(quán)利要求l所述的平板顯示裝置，其中所述陽極具有范圍為70300nm的厚度。3.—種用于制造如權(quán)利要求1所述的平板顯示裝置的方法，包括以下步驟(a)使用樹脂層覆蓋設(shè)置在陽極板基板的一個(gè)表面上的所述熒光體區(qū)域；(b)在所述樹脂層上形成所述第一鋁層；(c)在所述第一鋁層上形成所述氧化鋁層；(d)在所述氧化鋁層上形成所述第二鋁層；(e)通過烘焙移除所述樹脂層以獲得所述陽極板；和(f)將步驟(e)中獲得的所述陽極板的其上設(shè)置有所述熒光體區(qū)域的表面和所述陰極板的其上設(shè)置有所述電子發(fā)射區(qū)域的表面設(shè)置為相互面對(duì)，由此獲得所述平板顯示裝置。4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中在步驟(C)中，通過使所述樹脂層上形成的所述鋁層暴露于空氣形成所述氧化鋁層。全文摘要本發(fā)明公開了一種平板顯示裝置及其制造方法在一種平板顯示裝置中，提供具有其上設(shè)置有多個(gè)電子發(fā)射區(qū)域的表面的陽極板和具有其上設(shè)置有多個(gè)熒光體區(qū)域的表面的陰極板，使得上述兩個(gè)表面相互面對(duì)，其間設(shè)有距離，熒光體區(qū)域覆蓋有陽極，并且陽極具有包括第一鋁層、第二氧化鋁層和第三鋁層的三層層疊結(jié)構(gòu)，這三個(gè)層從熒光體區(qū)域側(cè)開始按照上述順序?qū)盈B。文檔編號(hào)H01J9/20GK101673654SQ200910168709公開日2010年3月17日申請(qǐng)日期2009年9月3日優(yōu)先權(quán)日2008年9月8日發(fā)明者三井田淳申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社