專利名稱：一種陽極玻璃熒光粉體層的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及場致發(fā)射顯示器(Field Emission Display; FED)陽極 面板熒光粉體層的制備方法，具體涉及一種陽極玻璃熒光粉體層的制 備方法。
背景技術(shù)：
本發(fā)明所謂的場致發(fā)射顯示器，其發(fā)光機(jī)制基本上與傳統(tǒng)的陰極 射線管(Cathode Ray Tube, CRT)的顯示器發(fā)光原理相同，可以說是 集顯示器CRT和液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)的優(yōu)點(diǎn)而 誕生的，它仍然是利用顯示器CRT電子槍發(fā)射RGB三色光在屏幕上 顯示圖像。不過，顯示器CRT只有一個龐大的電子槍單元，而場致發(fā) 射顯示器卻具有同其顯示像素?cái)?shù)一樣多的電子槍單元。在實(shí)現(xiàn)場致發(fā) 射顯示器時，預(yù)先規(guī)定好分辨率，然后按規(guī)定的方法為每一個像素一 對一地安裝上極其微小的電子槍。當(dāng)顯示器開始工作時，每個電子槍 都會在顯示器控制電路的指揮下直接激發(fā)需要發(fā)光的熒光粉，使這個 像素顯示出需要的色彩，而所有的電子槍協(xié)同工作就能完成預(yù)定的色 彩顯示。場致發(fā)射顯示器的特色是輕、薄、有效顯示區(qū)域尺寸的大小 可以依產(chǎn)品需求而制作，此外也沒有如平面液晶顯示器存在的視角問 題。
一般現(xiàn)有的場致發(fā)射顯示器，其結(jié)構(gòu)至少包括陽極和陰極，陽極與陰極之間設(shè)置有隔離子以提供陽極與陰極之間真空區(qū)域的間隔，還 可以作為陽極與陰極之間的支撐。此外，陽極至少包括一陽極玻璃基 板、 一陽極導(dǎo)電層以及一熒光粉體涂層；而陰極至少包括一陰極玻璃 基板、 一陰極導(dǎo)電層以及一電子發(fā)射源層；其中陽極與陰極之間設(shè)有 隔離子，其目的是保持陰極與陽極之間的真空區(qū)域的支撐，并提供一 場所，使陰極板上的電子源在外加電場的作用下產(chǎn)生電子并射向陽極 板上的熒光粉體從而使熒光粉發(fā)光。上述結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射顯示器，為 了保證色純，陽極與陰極的間隙很窄，介于50,至lj200Mm之間，以避 免打到相鄰熒光粉的粉條上。所需要的驅(qū)動電場強(qiáng)度大多無須超過 10V/pm，或驅(qū)動電壓大于150V以上，即可使陰極產(chǎn)生電子。這種過 小的陰、陽極間距使得陽極電壓不能超過1000V，限制了高效率的高 壓熒光粉的應(yīng)用。
因此，基于以上的需求，在微米級規(guī)格的陰陽極面板間隙及以利 用低驅(qū)動電壓的電路結(jié)構(gòu)下，對于陽極板上熒光粉體層的發(fā)光效率表 現(xiàn)的更嚴(yán)苛，直接反應(yīng)于熒光粉發(fā)光機(jī)制則為陽極板的熒光體層的結(jié) 構(gòu)。為保證場致發(fā)射器件陰陽極的平行度，還要求熒光層厚度十分均 勻，因?yàn)殛庩枠O距離小，熒光層的不均勻會導(dǎo)致電場的不均勻；由于 場致發(fā)射器件FED工作壓強(qiáng)很高而且熒光屏是開放式的，熒光層要 承受高速電子的轟擊而不脫落，還必須與襯底有較高的附著力。
目前，由于薄膜型熒光材料暫時還無法投入實(shí)際應(yīng)用，場致發(fā) 射顯示器的陽極主要采用粉末熒光材料，所以通常熒光層也就是熒光 粉層。熒光粉層的性能與涂屏工藝密切相關(guān)，常見的涂屏工藝有沉淀法、甩涂法、絲網(wǎng)印刷法等。沉淀法生產(chǎn)率很低，絕大多數(shù)顯示器
CRT的涂屏都采用甩涂法，甩涂法制作的熒光粉層比較粗糙，厚度起 伏在10pm以上。真空熒光顯示器VFD通常采用絲網(wǎng)印刷法制作熒光粉 層，這種方法利用預(yù)先制作的絲網(wǎng)模板，將熒光粉漿料印制到襯底上。 絲網(wǎng)印刷法制作的熒光粉層，其厚度等于絲網(wǎng)與襯底之間的間隙，只 要保證絲網(wǎng)與襯底的平行度，就能獲得比較均勻的粉層，粗糙度在 10^rn以下，同時，還可以制作圖形化的絲網(wǎng)模板，方便地實(shí)現(xiàn)陽極 的圖形化。但上述兩種方法都不適合用于場致發(fā)射器件，甩涂法制作 的熒光粉層太粗糙，明顯不適合場致發(fā)射器件，而且，無論甩涂法還 是絲網(wǎng)印刷法，都是使用有機(jī)粘結(jié)劑將熒光粉顆粒粘結(jié)在襯底上，為 避免有機(jī)物質(zhì)在器件工作時放氣和碳化，必須在涂屏完成后將有機(jī)粘 結(jié)劑去除，所以，工作時熒光粉顆粒只能依靠范德華力依附在襯底上， 很小的力道就可以將其破壞。在顯示器CRT中，熒光粉層背后的A1 膜可以作為支撐和保護(hù)，使熒光粉層免遭破壞，而真空熒光顯示器VFD 則可以使用粗糙的石墨襯底來增加附著力，但這些措施很難在場致發(fā) 射顯示器FED器件中采用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)的熒光粉體熒光粉層比較粗糙沒有感光性， 所得圖形的精度差的缺陷，提供一種熒光粉體感光涂料的制備方法，作為消泡劑，溶劑為Texanol酯醇(2,2，4-三甲基-1.3戊二醇單異丁酸 酯)，添加以重量百分比為20%--30%的丙烯酸樹脂，再添加以重量 百分比為10%—15%主體成分為裂解型引發(fā)劑的活性劑，調(diào)制后的感 光體涂料的黏度控制在10000-30000cps，以印刷方式涂覆于陽極基 板玻璃上；
(2) 將印刷有感光涂料的陽極基板玻璃經(jīng)過溫度為85—90。C的 干燥過程，焙烤20—30分鐘，使涂覆層固化成膜；
(3) 以激發(fā)光燈產(chǎn)生紫外光，并配合圖形化所需的菲林掩膜進(jìn)行 曝光，以曝光量為25—60mJ/cr^的紫外光進(jìn)行曝光；
(4) 顯影步驟是在溫度30-60。C及濃度為0.3%—0.6%的Na2C03 溶液中進(jìn)行顯影；
(5)顯像后的涂層經(jīng)過一紫外光固化程序，在顯影后的膜層不 加蓋菲林直接暴露在紫外光下20-60s:
(6)在使用清水沖洗后用0.5MPa的氮?dú)獯蹈桑粗瞥申枠O玻璃 熒光粉體層。 本發(fā)明具有下列優(yōu)點(diǎn)
本發(fā)明的陽極熒光粉體涂層，適用于絲網(wǎng)印刷涂覆技術(shù)，可制作 出圖形清晰的陽極熒光粉體層。配合曝光顯影過程，制作出圖形精度 較高，本發(fā)明的制作過程簡單，涂料成本低。本發(fā)明應(yīng)用感光性熒光 粉體涂料制作陽極熒光粉體層的方法，使絲網(wǎng)印刷技術(shù)與顯影技術(shù)結(jié) 合起來，用于場發(fā)射顯示器的制作技術(shù)中，節(jié)省了時間，提高顯示器 分辨率。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明提供一種可以印刷涂覆的感光性熒光粉體涂料，以絲網(wǎng)印 刷及干燥曝光顯影過程制作陽極熒光粉體層。選用感光性的熒光粉體
按40%—60%重量百分比，其平均粒徑約為1(1111—5|1111;加入0.3%—0.5%
重量百分比的羥基二甲基硅氧垸作為消泡劑，溶劑為Texanol酯醇 (2,2,4-三甲基-1.3戊二醇單異丁酸酯)，添加以重量百分比為 20%--30%的丙烯酸樹脂，再添加以重量百分比為10%--15%主體成分 為裂解型引發(fā)劑的活性劑。本發(fā)明的中等粘度涂料，粘度值為10000 到30000 cps之間，其實(shí)施方法是調(diào)制感光性熒光粉體涂料并將涂料 以印刷方式涂覆于陽極玻璃基板上，經(jīng)過低溫過程干燥成膜，接著以 紫外光進(jìn)行曝光，以使欲圖形化區(qū)域發(fā)生光反應(yīng)進(jìn)行化學(xué)鏈接，隨后 進(jìn)行顯影，顯像后的涂層可經(jīng)過一紫外光線固化處理，即膜層在不加 蓋菲林的情況下直接暴露在紫外光下20-60s，最后清洗后氮?dú)獯蹈桑?這樣可以增加膜層的附著力，以使熒光粉體固著于陽極玻璃基板的陽 極電極上。
本發(fā)明的感光性熒光粉體涂料，其包括溶劑；丙烯酸樹脂，溶 于該溶劑中；活性劑，包括光引發(fā)劑和活性單體，具有負(fù)型光阻特性， 且溶于該溶劑中；熒光粉體，懸浮于該溶劑中。其中所調(diào)制的該感光 性熒光粉體涂料，其黏度控制在10000到30000 cps之間，以適應(yīng)絲 網(wǎng)印刷的需求。
本發(fā)明的一種感光性熒光粉體涂料，其中所述的消泡劑為硅酮類 物質(zhì)，例如羥基二甲基硅氧烷，該溶劑為Texanol酯醇(2,2,4-三甲基-1.3戊二醇單異丁酸酯)，該樹脂由甲基丙烯酸和甲基丙烯酸甲酯的 共聚物形成，該活性劑包括過氧化苯甲酸或偶氮二異丁腈等。
以下是本發(fā)明的具體實(shí)施例 實(shí)施例l
(1)陽極玻璃基板印刷選用感光性的熒光粉體按60%重量百
分比，其平均粒徑約為5jim;加入0.3%重量百分比的羥基二甲基硅 氧烷作為消泡劑，溶劑為Texanol酯醇(2，2，4-三甲基-1.3戊二醇單異 丁酸酯)，添加以重量百分比為20%的丙烯酸樹脂，該樹脂是由0.4% 重量百分比的甲基丙烯酸和25%重量百分比的甲基丙烯酸甲酯的共 聚物形成，再添加以重量百分比為15%主體成分為裂解型引發(fā)劑的活 性劑，調(diào)制后的感光體涂料的黏度控制在10000cps，以印刷方式涂覆 于陽極基板玻璃上；
(2) 固膜將印刷有感光涂料的陽極基板玻璃經(jīng)過溫度為85°C 的干燥過程，焙烤30分鐘，使涂覆層固化成膜；
(3) 曝光以激發(fā)光燈產(chǎn)生紫外光，并配合圖形化所需的菲林 掩膜進(jìn)行曝光，以曝光量為60mJ/cm2的紫外光進(jìn)行曝光；使欲圖形 化區(qū)域發(fā)生光反應(yīng)進(jìn)行化學(xué)鏈接；
(4) 顯影在溫度30。C及濃度為0.3。/。的Na2C03溶液中進(jìn)行顯影；
(5) 顯像后的涂層經(jīng)過一紫外光固化程序，在顯影后的膜層不加 蓋菲林直接暴露在紫外光下20s,以增加膜層的附著力
(6)在使用清水沖洗后用0.5MPa的氮?dú)獯蹈?，即制成陽極玻 璃熒光粉體層。實(shí)施例2
(1) 陽極玻璃基板印刷選用感光性的熒光粉體按50%重量百
分比，其平均粒徑約為3pm;加入0.4%重量百分比的羥基二甲基硅 氧烷作為消泡劑，溶劑為Texanol酯醇(2,2，4-三甲基-1.3戊二醇單異 丁酸酯)，添加以重量百分比為30%的丙烯酸樹脂，該樹脂是由0.4% 重量百分比的甲基丙烯酸和27%重量百分比的甲基丙烯酸甲酯的共 聚物形成，再添加以重量百分比為10%主體成分為裂解型引發(fā)劑的活 性劑369，調(diào)制后的感光體涂料的黏度控制在30000cps，以印刷方式 涂覆于陽極基板玻璃上；
(2) 固膜將印刷有感光涂料的陽極基板玻璃經(jīng)過溫度為90。C的 干燥過程，焙烤30分鐘，使涂覆層固化成膜；
(3) 曝光以激發(fā)光燈產(chǎn)生紫外光，并配合圖形化所需的菲林掩 膜進(jìn)行曝光，以曝光量為30mJ/cm2的紫外光進(jìn)行曝光；使欲圖形化 區(qū)域發(fā)生光反應(yīng)進(jìn)行化學(xué)鏈接；
(4) 顯影:在溫度6(TC及濃度為0.4%的Na2C03溶液中進(jìn)行顯影；
(5) 顯像后的涂層經(jīng)過一紫外光固化程序，在顯影后的膜層不 加蓋菲林直接暴露在紫外光下60s，以增加膜層的附著力
(6) 在使用清水沖洗后用0.5MPa的氮?dú)獯蹈桑粗瞥申枠O玻 璃熒光粉體層。
實(shí)施例3
(1)陽極玻璃基板印刷選用感光性的熒光粉體按40%重量百 分比，其平均粒徑約為3pm;加入0.5%重量百分比的羥基二甲基硅氧烷作為消泡劑，溶劑為Texanol酯醇(2，2，4-三甲基-1.3戊二醇單異 丁酸酯)，添加以重量百分比為23%的丙烯酸樹脂，該樹脂是由0.5% 重量百分比的甲基丙烯酸和30%重量百分比的甲基丙烯酸甲酯的共 聚物形成，再添加以重量百分比為13%主體成分為裂解型引發(fā)劑 1700，調(diào)制后的感光體涂料的黏度控制在20000cps，以印刷方式涂覆 于陽極基板玻璃上；
(2) 固膜將印刷有感光涂料的陽極基板玻璃經(jīng)過溫度為90。C的 干燥過程，焙烤30分鐘，使涂覆層固化成膜；
(3) 曝光以激發(fā)光燈產(chǎn)生紫外光，并配合圖形化所需的菲林掩 膜進(jìn)行曝光，以曝光量為40mJ/cm2的紫外光進(jìn)行曝光；使欲圖形化 區(qū)域發(fā)生光反應(yīng)進(jìn)行化學(xué)鏈接；
(4) 顯影在溫度5(TC及濃度為0.4%的Na2C03溶液中進(jìn)行顯影；
(5) 顯像后的涂層經(jīng)過一紫外光固化程序，在顯影后的膜層不 加蓋菲林直接暴露在紫外光下60s，以增加膜層的附著力
(6) 在使用清水沖洗后用0.5MPa的氮?dú)獯蹈桑粗瞥申枠O玻 璃熒光粉體層。
實(shí)施例4
(1)陽極玻璃基板印刷選用感光性的熒光粉體按50%重量百
分比，其平均粒徑約為3pm;加入0.45%重量百分比的羥基二甲基硅 氧烷作為消泡劑，溶劑為Texanol酯醇(2,2,4-三甲基-1.3戊二醇單異 丁酸酯)，添加以重量百分比為25%的丙烯酸樹脂，該樹脂是由0.5% 重量百分比的甲基丙烯酸和30%重量百分比的甲基丙烯酸甲酯的共聚物形成，再添加以重量百分比為15%主體成分為裂解型引發(fā)劑的活 性劑，該活性劑的主體成分為裂解型引發(fā)劑184,調(diào)制后的感光體涂 料的黏度控制在15000cps，以印刷方式涂覆于陽極基板玻璃上；
(2) 固膜將印刷有感光涂料的陽極基板玻璃經(jīng)過溫度為90。C的 干燥過程，焙烤30分鐘，使涂覆層固化成膜；
(3) 曝光以激發(fā)光燈產(chǎn)生紫外光，并配合圖形化所需的菲林掩 膜進(jìn)行曝光，以曝光量為25mJ/cm2的紫外光進(jìn)行曝光；使欲圖形化 區(qū)域發(fā)生光反應(yīng)進(jìn)行化學(xué)鏈接；
(4) 顯影:在溫度40。C及濃度為0.4%的Na2C03溶液中進(jìn)行顯影；
(5) 顯像后的涂層經(jīng)過一紫外光固化程序，在顯影后的膜層不 加蓋菲林直接暴露在紫外光下60s，以增加膜層的附著力
(6) 在使用清水沖洗后用0.5MPa的氮?dú)獯蹈?，即制成陽極玻 璃熒光粉體層。
實(shí)施例5
(1)陽極玻璃基板印刷選用感光性的熒光粉體按50%重量百 分比，其平均粒徑約為3pm;加入0.35%重量百分比的羥基二甲基硅 氧烷作為消泡劑，溶劑為Texanol酯醇(2，2,4-三甲基-1.3戊二醇單異 丁酸酯)，添加以重量百分比為25%的丙烯酸樹脂，該樹脂是由0.6% 重量百分比的甲基丙烯酸和30%重量百分比的甲基丙烯酸甲酯的共 聚物形成，再添加以重量百分比為13%主體成分為裂解型引發(fā)劑的活 性劑，該活性劑的主體成分為裂解型引發(fā)劑907，調(diào)制后的感光體涂 料的黏度控制在25000cps，以印刷方式涂覆于陽極基板玻璃上；(2) 固膜將印刷有感光涂料的陽極基板玻璃經(jīng)過溫度為90。C的 干燥過程，焙烤30分鐘，使涂覆層固化成膜；
(3) 曝光以激發(fā)光燈產(chǎn)生紫外光，并配合圖形化所需的菲林掩 膜進(jìn)行曝光，以曝光量為25mJ/cm2的紫外光進(jìn)行曝光；使欲圖形化 區(qū)域發(fā)生光反應(yīng)進(jìn)行化學(xué)鏈接；
(4) 顯影在溫度40。C及濃度為0.4。/。的Na2C03溶液中進(jìn)行顯影；
(5) 顯像后的涂層經(jīng)過一紫外光固化程序，在顯影后的膜層不 加蓋菲林直接暴露在紫外光下60s，以增加膜層的附著力-
(6) 在使用清水沖洗后用0.5MPa的氮?dú)獯蹈?，即制成陽極玻 璃熒光粉體層。
權(quán)利要求
1. 一種陽極玻璃熒光粉體層的制備方法，其特征在于，具體步驟如下(1)選用感光性的熒光粉體按40％--60％重量百分比，其平均粒徑約為1μm--5μm；加入0.3％--0.5％重量百分比的羥基二甲基硅氧烷作為消泡劑，溶劑為Texanol酯醇(2，2，4-三甲基-1.3戊二醇單異丁酸酯)，添加以重量百分比為20％--30％的丙烯酸樹脂，再添加以重量百分比為10％--15％主體成分為裂解型引發(fā)劑的活性劑，調(diào)制后的感光體涂料的黏度控制在10000--30000cps，以印刷方式涂覆于陽極基板玻璃上；(2)將印刷有感光涂料的陽極基板玻璃經(jīng)過溫度為85—90℃的干燥過程，焙烤20—30分鐘，使涂覆層固化成膜；(3)以激發(fā)光燈產(chǎn)生紫外光，并配合圖形化所需的菲林掩膜進(jìn)行曝光，以曝光量為25—60mJ/cm2的紫外光進(jìn)行曝光；(4)顯影步驟是在溫度30-60℃及濃度為0.3％—0.6％的Na2CO3溶液中進(jìn)行顯影；(5)顯像后的涂層經(jīng)過紫外光固化處理，在顯影后的膜層上不加蓋菲林直接暴露在紫外光下20-60s；(6)在使用清水沖洗后用0.5MPa的氮?dú)獯蹈桑粗瞥申枠O玻璃熒光粉體層。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的陽極玻璃熒光粉體層的制備方法，其(1) 選用感光性的熒光粉體按60%重量百分比，其平均粒徑約 為5,;加入0.3%重量百分比的羥基二甲基硅氧烷作為消泡劑，溶 劑為Texanol酯醇(2,2,4-三甲基-1.3戊二醇單異丁酸酯)，添加以重 量百分比為20%的丙烯酸樹脂，再添加以重量百分比為15%主體成 分為裂解型引發(fā)劑的活性劑，調(diào)制后的感光體涂料的黏度控制在 10000cps，以印刷方式涂覆于陽極基板玻璃上；(2) 將印刷有感光涂料的陽極基板玻璃經(jīng)過溫度為85。C的干燥 過程，焙烤30分鐘，使涂覆層固化成膜；(3) 以激發(fā)光燈產(chǎn)生紫外光，并配合圖形化所需的菲林掩膜進(jìn)行 曝光，以曝光量為60mJ/ci^的紫外光進(jìn)行曝光；(4) 顯影步驟是在溫度3(TC及濃度為0.3%的Na2C03溶液中進(jìn) 行顯影；(5)顯像后的涂層經(jīng)過一紫外光固化程序，在顯影后的膜層不 加蓋菲林直接暴露在紫外光下20s:(6)在使用清水沖洗后用0.5MPa的氮?dú)獯蹈桑粗瞥申枠O玻璃 熒光粉體層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陽極玻璃熒光粉體層的制備方法，其 特征在于，具體步驟如下(1)選用感光性的熒光粉體按50%重量百分比，其平均粒徑約 為3pm;加入0.4%重量百分比的羥基二甲基硅氧垸作為消泡劑，溶 劑為Texanol酯醇(2,2,4-三甲基-1.3戊二醇單異丁酸酯)，添加以重 量百分比為30%的丙烯酸樹脂，再添加以重量百分比為10%主體成分為裂解型引發(fā)劑的活性劑，調(diào)制后的感光體涂料的黏度控制在30000cps，以印刷方式涂覆于陽極基板玻璃上；(2) 將印刷有感光涂料的陽極基板玻璃經(jīng)過溫度為90。C的干燥 過程，焙烤30分鐘，使涂覆層固化成膜；(3) 以激發(fā)光燈產(chǎn)生紫外光，并配合圖形化所需的菲林掩膜進(jìn)行 曝光，以曝光量為30mJ/cn^的紫外光進(jìn)行曝光；(4) 顯影步驟是在溫度6(TC及濃度為0.4%的Na2C03溶液中進(jìn) 行顯影；(5)顯像后的涂層經(jīng)過一紫外光固化程序，在顯影后的膜層不 加蓋菲林直接暴露在紫外光下60s-(6)在使用清水沖洗后用0.5MPa的氮?dú)獯蹈?，即制成陽極玻璃 熒光粉體層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陽極玻璃熒光粉體層的制備方法，其 特征在于，具體步驟如下(1) 選用感光性的熒光粉體按50%重量百分比，其平均粒徑約 為3pm;加入0.5%重量百分比的羥基二甲基硅氧垸作為消泡劑，溶 劑為Texanol酯醇(2，2，4-三甲基-1.3戊二醇單異丁酸酯)，添加以重 量百分比為25%的丙烯酸樹脂，再添加以重量百分比為13%主體成 分為裂解型引發(fā)劑的活性劑，調(diào)制后的感光體涂料的黏度控制在 20000cps，以印刷方式涂覆于陽極基板玻璃上；(2) 將印刷有感光涂料的陽極基板玻璃經(jīng)過溫度為90。C的干燥 過程，焙烤30分鐘，使涂覆層固化成膜；C3)以激發(fā)光燈產(chǎn)生紫外光，并配合圖形化所需的菲林掩膜進(jìn)行 曝光，以曝光量為25mJ/ci^的紫外光進(jìn)行曝光；(4)顯影步驟是在溫度40。C及濃度為0.4%的Na2C03溶液中進(jìn) 行顯影；(5)顯像后的涂層經(jīng)過一紫外光固化程序，在顯影后的膜層不 加蓋菲林直接暴露在紫外光下60s;(6)在使用清水沖洗后用0.5MPa的氮?dú)獯蹈?，即制成陽極玻璃 熒光粉體層。
全文摘要
本發(fā)明涉及場致發(fā)射顯示器陽極面板熒光粉體層的制備方法。選用感光性的熒光粉，加入羥基二甲基硅氧烷作為消泡劑，溶劑為Texanol酯醇，添加丙烯酸樹脂與添加主體成分為裂解型引發(fā)劑的活性劑，以印刷方式涂覆于陽極基板玻璃上；將印刷有感光涂料的基板玻璃經(jīng)過干燥，焙烤，使涂覆層固化成膜；以紫外光曝光，顯影；顯影后進(jìn)行固化處理；清洗后用氮?dú)獯蹈伞１景l(fā)明用于絲網(wǎng)印刷涂覆技術(shù)，可制作出圖形清晰的陽極熒光粉體層。制作的圖形精度較高，制作過程簡單，涂料成本低。本發(fā)明使絲網(wǎng)印刷技術(shù)與顯影技術(shù)結(jié)合起來，用于場發(fā)射顯示器的制作技術(shù)中，節(jié)省了時間，提高顯示器分辨率。
文檔編號H01J9/20GK101447381SQ200810232769
公開日2009年6月3日 申請日期2008年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月11日
發(fā)明者莉 趙 申請人:彩虹集團(tuán)公司