專利名稱：：等離子顯示面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及等離子顯示面板及其制造方法，尤其涉及前面板的電極的表面形狀具有特征的等離子顯示面板及其制造方法。
背景技術(shù)：
：等離子顯示面板(以下，稱為PDP)具有將對(duì)置配置的前面板及背面板的周緣部密封的結(jié)構(gòu)，在前面板和背面板之間形成的放電空間中封入有氖(Ne)及氙(Xe)等放電氣體。前面板在玻璃基板的一面具備由以條紋狀形成的掃描電極和維持電極構(gòu)成的多個(gè)顯示電極、和覆蓋這些顯示電極的電介體層及保護(hù)層。顯示電極分別利用透明電極、及形成于該透明電極上的金屬材料構(gòu)成的總線電極構(gòu)成。背面板在玻璃基板的一面具備在與顯示電極正交的方向上以條紋狀形成的多個(gè)地址電極、覆蓋這些地址電極的基底電介體層、按地址電極劃分放電空間的條紋狀隔壁、和在隔板間的槽依次涂敷的紅色、綠色及藍(lán)色的熒光體層。顯示電極和地址電極相互正交，其交叉部成為放電單元。這些放電單元排列為矩陣狀，具有在顯示電極的方向上排列的紅色、綠色及藍(lán)色的熒光體層的三個(gè)單元成為用于彩色顯示的像素。PDP依次向掃描電極一地址電極間、及掃描電極一維持電極間施加規(guī)定的電壓，產(chǎn)生氣體放電，用該氣體放電產(chǎn)生的紫外線激勵(lì)熒光體層，使其發(fā)光，由此顯示彩色圖像。在此，作為總線電極，使用鋁(Al)電極或鉻(Cr)/銅(Cu)/鉻(Cr)電極的情況下，將半導(dǎo)體工序作為基礎(chǔ)，進(jìn)行成膜及圖案形成而形成。因此，以高精度形成該總線電極，但是成膜需要濺射法等的真空裝置，由此導(dǎo)致裝置成本變高的缺陷。因此，例如，通過印刷法或輥涂法等不需要特別的真空裝置的方法，涂敷使用銀(Ag)粉末的電極糊劑，形成銀(Ag)電極的總線電極的情況也居多。使用銀(Ag)粉末的電極糊劑中含有作為固態(tài)成分的導(dǎo)電劑即銀(Ag)粉末、或用于粘接的玻璃料、作為介質(zhì)成分的纖維素樹脂等樹脂及萜烯系溶劑等溶劑。另外，近年來，為了提高畫面的對(duì)比度，將總線電極形成為作為顯示側(cè)的黑層(與透明電極接觸的層)、和配置于其上的白層兩層結(jié)構(gòu)。黑層通過涂敷黑色的電極糊劑而形成，白層通過在其上涂敷導(dǎo)電性的電極糊劑而形成。在這種情況下，作為黑色的電極糊劑，使用配合了銅一鐵(Cu—Fe)系、銅一鉻(Cu—Cr)系等黑色復(fù)合氧化物的樹脂組合物。具體來說，由這些電極糊劑形成的總線電極可以通過按各層涂敷、形成圖案(曝光及顯影)，然后進(jìn)行燒成而形成。另外，為了以更少的工序制造PDP，公開了將構(gòu)成兩層結(jié)構(gòu)的總線電極的兩層及黑矩陣一并顯影的方法、及將黑層和白層一并曝光顯影的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)l)。在專利文獻(xiàn)1中公開的方法被認(rèn)為能夠有效形成電極。專利文獻(xiàn)1特開2004—63247號(hào)公報(bào)本發(fā)明人等經(jīng)探討結(jié)果得出，如專利文獻(xiàn)l中所述，在將黑層和白層一并曝光顯影的情況下，光不充分到達(dá)下層，下層的固化不充分。其結(jié)果，固化不充分的下層與上層相比，顯影時(shí)被除去的量變多，在顯影后的狀態(tài)下，下層的寬度相對(duì)于上層的寬度變小。這樣的總線電極的顯影后的剖面示意圖示于圖3中。若燒成這樣的電極，則由于熱收縮，如圖4所示，在白層及黑層中，各自欲收縮的力發(fā)生作用，產(chǎn)生如圖5所示的合力。在此，在顯影后殘留有黑層的區(qū)域4中，如圖4所示，在燒成時(shí)，白層和黑層的界面的力抵消。因此，作為合力，如圖5所示，在白層表面部上，朝向玻璃基板的方向的大的力7發(fā)生作用。另外，在顯影時(shí)黑層的被削減的區(qū)域5中，如圖4所示，不局限于黑層，產(chǎn)生朝向白層內(nèi)部收縮的力8。這些力發(fā)生的結(jié)果，如圖5所示，由于在所述白層表面發(fā)生作用的、朝向玻璃基板的方向的大的合力7、和朝向所述白層內(nèi)部收縮的力8的合力，在白層表面部將其端部向?qū)挾确较虻闹醒氩繝恳牧?發(fā)生作用。若該力9發(fā)生作用，則在白層上發(fā)生大的撓曲，并且電極寬度方向端部被巻起，向上方大大突出。若以這樣電極突出的狀態(tài)制造PDP，則突出部分的電介體變薄，另外，向電極施加電壓時(shí)，在突出部分的局部集中電荷。其結(jié)果，容易發(fā)生絕緣耐壓不良，降低制造成品率，導(dǎo)致大幅度增大制造成本的問題。另外，近年來，對(duì)進(jìn)一步的高精細(xì)化和低價(jià)格化的要求日益變得強(qiáng)烈，為了實(shí)現(xiàn)這個(gè)，需要在配置更多的電極的情況下，也不發(fā)生絕緣耐壓不良，成品率良好，以穩(wěn)定的低成本制造PDP。因此，將能夠以更少的工序制造的總線電極兩層一并進(jìn)行曝光及顯影，同時(shí)，不發(fā)生絕緣耐壓不良的制造方法還未實(shí)現(xiàn)的情況成為課題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為了解決上述課題而做成的，其目的在于提供將兩層結(jié)構(gòu)的電極圖案的表面形狀設(shè)計(jì)為抑制電極寬度方向端部的突出，且顯示高絕緣耐壓性能的PDP及其制造方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明是一種等離子顯示面板的制造方法，在玻璃基板上涂敷成為下層電極的第一材料而形成第一層，在所述第一層的表面上涂敷成為上層電極的第二材料而形成第二層，通過向形成電極的部分，遮住形成所述電極的部分的表面的一部分而照射光，進(jìn)行曝光后經(jīng)顯影而形成電極，所述等離子顯示面板的制造方法提供遮住形成所述電極的部分的表面的一部分的遮光部件的與電極的寬度方向平行的方向的尺寸(以下稱為"寬度")T為2)im《T《10,，曝光后形成的電極的寬度方向端部、和所述遮光部件的寬度方向的端部的間隔L為lpm《L《l(Him的PDP的制造方法。在此，"玻璃基板上"是指包括在玻璃基板的表面直接形成第一層的情況、及在形成于玻璃基板的表面的其他層的表面形成第一層的情況的任一種。另外，"電極的寬度方向"是指在二維上觀察電極的情況下(即，忽略電極的厚度時(shí))，與電極較長(zhǎng)地延伸的方向正交而較短地延伸的方向。電極較長(zhǎng)地延伸的方向被稱為"電極的長(zhǎng)邊方向"。認(rèn)為若利用這樣的方法形成具有兩層的電極，則能夠在顯影后的電極表面設(shè)置凹部，能夠分離抑制在燒成中發(fā)生的電極寬度方向中央部和端部的熱收縮。其結(jié)果，能夠形成抑制了上層的撓曲和電極寬度方向端部的突出的電極，能夠提供具有高絕緣耐壓性能的PDP。該制造方法在形成由白層和黑層構(gòu)成的總線電極時(shí)優(yōu)選適用。在所述曝光中，優(yōu)選遮光部件的寬度T為2jam《T《10^im，另外，具有這樣的寬度的遮光部件優(yōu)選以使曝光后形成的電極的寬度方向端部和遮光部件的寬度方向的端部的間隔L為lpm《L《10Mm的方式覆蓋形成電極的部分的表面。若采用這樣的遮光部件的位置及寬度，則不會(huì)產(chǎn)生導(dǎo)致電極的缺陷及電極性能的降低的程度的大小的凹部，分離抑制電極寬度方向中央部和端部的燒成時(shí)的熱收縮，而且能夠有效抑制白層的撓曲和電極寬度方向端部的突出。在所述曝光中，優(yōu)選遮住形成電極的部分的表面(即，第二層的一部分表面)的一部分的遮光部件在與電極長(zhǎng)邊方向平行的方向上延伸。通過將遮光部件形成為在與電極的長(zhǎng)邊方向平行的方向上延伸的形狀及尺寸，在玻璃基板面內(nèi)，進(jìn)一步減少電極寬度方向中央部和端部的燒成時(shí)的熱收縮的不均，能夠穩(wěn)定地分離控制。其結(jié)果，能夠在玻璃基板面內(nèi)，進(jìn)一步減少不均，更穩(wěn)定地形成抑制了白層的撓曲和電極寬度方向端部的突出的電極。在本發(fā)明的制造方法中，優(yōu)選電極是包含于構(gòu)成前面板的顯示電極中的總線電極，所述總線電極具有兩層，該兩層是位于下側(cè)的黑層、和位于上側(cè)的白層。另外，在本發(fā)明的PDP的制造方法中，也可以由如下所述的電極材料形成電極的一側(cè)的層，所述電極材料中，作為導(dǎo)電性微粒，含有至少一種選自銀(Ag)、鋁(Al)、鎳(Ni)、金(Au)、鉑(Pt)、鉻(Cr)、銅(Cu)、及鈀(Pd)的金屬或它們的合金構(gòu)成的粒子。由包含這樣的導(dǎo)電性微粒的電極材料構(gòu)成的電極具有良好的導(dǎo)電性。另外，在本發(fā)明的PDP的制造方法中，也可以由作為黑色成分含有四氧化三鈷(Co304)微粒的電極材料形成電極的一側(cè)的層(在將一方的層作為含有所述導(dǎo)電性微粒的層的情況下為另一方的層)。若將這樣的由含有黑色成分的電極材料構(gòu)成的燒成被膜作為電極、尤其總線電極的黑層形成，則在干燥、曝光、顯影、及燒成的各工序中，不會(huì)損傷對(duì)基板的出色的粘附性、析像性、及燒成性，在燒成后，能夠同時(shí)滿足充分的層間導(dǎo)電性(例如，在總線電極的情況下為透明電極和白層的層間導(dǎo)通)、和充分的黑度。另夕卜，在本發(fā)明的PDP的制造方法中，也可以由如下所述的電極材料形成電極另一側(cè)的層，所述電極材料中，作為黑色成分，含有選自鉻(Cr)、鈷(Co)、鎳(Ni)、鐵(Fe)、錳(Mn)、及釕(Ru)中的至少一種金屬的氧化物。若將這樣的由含有黑色成分的電極材料構(gòu)成的燒成被膜作為電極、尤其黑層形成，則在干燥、曝光、顯影、及燒成的各工序中，不會(huì)損傷對(duì)基板的出色的粘附性、析像性、及燒成性，在燒成后，能夠同時(shí)滿足充分的層間導(dǎo)電性(例如，透明電極和白層的層間導(dǎo)通)、和充分的黑度。本發(fā)明還提供按照本發(fā)明的制造方法制造的等離子顯示面板。即本發(fā)明的等離子顯示面板，具有夾持放電空間的一對(duì)前面板及背面板，在前面板的基板的內(nèi)表面上具有相互平行的由掃描電極和維持電極構(gòu)成的多個(gè)顯示電極，在背面板的基板的內(nèi)表面上具有配置于與所述顯示電極交叉的方向上的多個(gè)地址電極、按單位發(fā)光區(qū)域劃分所述放電空間的隔壁、和利用放電發(fā)光的熒光體，其中，所述顯示電極由透明電極、及形成于該透明電極上的總線電極構(gòu)成，該總線電極具有位于下側(cè)的黑層、和位于上側(cè)的白層兩層，在將該總線電極的寬度方向端部的突出的高度(在兩端部的高度不相同時(shí)為較高端部的高度)Te、與將所述總線電極的白層的寬度三等分而分為三個(gè)區(qū)域時(shí)的正中央?yún)^(qū)域上的總線電極的平均高度Tc之差設(shè)為突出量Ec日寸，Ec小于2.0iim。在該顯示面板中，具有兩層的結(jié)構(gòu)的總線電極的兩端部的伸長(zhǎng)量小，即白層的撓曲小。從而，該顯示面板的成品率良好，能夠穩(wěn)定地制造。另外，在該顯示面板中，覆蓋其的電介體層的厚度局部地變小的情況不存在或被緩和，從而不易發(fā)生絕緣耐壓不良。根據(jù)本發(fā)明的制造方法可知，通過遮住需要構(gòu)成電極圖案的部分的表面的一部分，同時(shí)照射光而曝光，進(jìn)行顯影，形成電極圖案，由此，能夠在顯影后的電極表面形成凹部。其結(jié)果，能夠分離控制電極寬度方向中央部和端部的燒成時(shí)的熱收縮，能夠形成抑制了白層的撓曲和電極寬度方向端部的突出的電極。從而，根據(jù)該制造方法可知，能夠提供具有高絕緣耐壓性能的PDP。圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的PDP的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是表示圖1的PDP的前面板的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖3是表示利用以往法進(jìn)行曝光及顯影而形成的電極剖面的示意圖。圖4是利用以往法進(jìn)行曝光及顯影而形成的電極在燒成時(shí)發(fā)揮作用的力的示意圖。圖5是利用以往法進(jìn)行曝光及顯影而形成的電極在燒成時(shí)發(fā)揮作用的合力的示意圖。圖6是基于本發(fā)明的實(shí)施方式的PDP的制造方法的總線電極的形成的工序流程圖。圖7(a)是圖6的步驟S1的工序剖面圖。圖7(b)是圖6的步驟S2的工序剖面圖。圖7(c)是圖6的步驟S3的工序剖面圖。圖7(d)是圖6的步驟S3的工序剖面圖。圖7(e)是圖6的步驟S3的工序剖面圖。圖8是表示實(shí)施例中使用的遮光部件的俯視圖。圖9是說明突出量的測(cè)量方法的剖面圖。圖IO是表示突出量和電火花不良率的關(guān)系的圖表。圖中4一顯影后的黑層；5—顯影時(shí)黑層被削減的區(qū)域；6—抵消的白層一黑層間的力；7—朝向玻璃基板的合力；8—向白層內(nèi)部收縮的力；9一將白層表面部向白層寬度方向中央部牽引的力；12—前面板；13—前面玻璃基板；14一掃描電極；14a、15a—透明電極；14b、15b—總線電極;14c、15C—白層；14d、15d—黑層；15—維持電極；16—顯示電極；17—黑條紋(遮光層)；18—電介體層；19一保護(hù)層；20—背面板；21—背面玻璃基板；22—地址電極；23—基底電介體層；24—隔壁；25—熒光體層；26—放電空間；31—曝光掩模；32—遮光部件；33—凹部被填埋的部分；IOO—等離子顯示面板。具體實(shí)施方式使用附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的PDP的制造方法及利用該方法制造的PDP的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。首先，使用圖1及圖2，說明利用本發(fā)明的實(shí)施方式的PDP的制造方法制造的PDP結(jié)構(gòu)。圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的PDP的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是表示圖1的PDP的前面板的結(jié)構(gòu)的剖面圖。還有，值得注意的是，圖1及圖2均表示PDP的一部分。如圖1所示，在PDP100中，對(duì)置配置有作為第一基板的前面板12、和作為第二基板的背面板20，其外周部被由玻璃料等構(gòu)成的密封部件(未圖示)保密密封。在密封的PDP100內(nèi)部的放電空間26中以53200Pa79800Pa的壓力封入有氖(Ne)及氙(Xe)等放電氣體。在構(gòu)成前面板12的前面玻璃基板13的一表面分別相互平行地配置有多個(gè)一對(duì)帶狀顯示電極16，其是第一導(dǎo)電膜，由掃描電極14及維持電極15構(gòu)成；黑條紋(遮光層)17。所述玻璃基板13的形成有顯示電極16、和黑條紋17的表面形成有覆蓋它們的發(fā)揮電容器的作用的電介體層18。進(jìn)而，在電介體層18的表面形成有由氧化鎂(MgO)等構(gòu)成的用于保護(hù)電極的保護(hù)層19。在構(gòu)成背面板20的背面玻璃基板21上，作為第二導(dǎo)電膜的多個(gè)帶狀地址電極22相互平行地配置于與前面板12的掃描電極14及維持電極15正交的方向上。該地址電極22被基底電介體層23覆蓋。進(jìn)而，在地址電極22間的基底電介體層23的表面形成有劃分放電空間26的規(guī)定的高度的隔壁24。在隔壁24間的槽按地址電極22依次涂敷形成有利用紫外線分別發(fā)紅色、藍(lán)色及綠色的熒光體層25。在掃描電極14及維持電極15、和地址電極22交叉的位置形成有放電單元，具有在顯示電極16上排列的紅色、藍(lán)色、綠色的熒光體層25的放電單元成為用于彩色顯示的像素。在圖2中，將圖1的前面板12上下倒置，以剖面圖更詳細(xì)地示出前面板12的結(jié)構(gòu)。前面玻璃基板13利用浮法等制造。由掃描電極14及維持電極構(gòu)成的顯示電極16、及黑條紋17形成有圖案。掃描電極14及維持電極15分別包括由氧化銦(ITO)或氧化錫(Sn02)等構(gòu)成的透明導(dǎo)電膜即透明電極14a、15a、和形成于透明電極14a、15a上的總線電極14b、15b。總線電極14b、15b是為了在透明電極14a、15a的長(zhǎng)邊方向上賦予導(dǎo)電性而形成的?？偩€電極在圖示的形態(tài)中為兩層結(jié)構(gòu)，各層的材料將后述。電介體層18設(shè)置為覆蓋形成于前面玻璃基板13的表面的這些透明電極14a、15a、總線電極14b、15b、及黑條紋17。進(jìn)而，在電介體層18上形成有保護(hù)層19。其次，對(duì)PDP100的制造方法進(jìn)行說明。首先，在前面玻璃基板13上形成構(gòu)成掃描電極14及維持電極15的透明電極14a、15a。透明電極14a、15a通過使用光刻法等形成為具有規(guī)定的圖案。其次，使用光刻法，將黑條紋17形成為具有規(guī)定的圖案。黑條紋的材料是含有黑色顏料的糊劑。進(jìn)而，在透明電極14a、15a上使用電極材料糊劑涂敷構(gòu)成總線電極14b、15b的層，使用光刻法形成圖案，進(jìn)而燒成，由此形成總線電極14b、15b。在此，總線電極14b、15b的材料是含有導(dǎo)電粒子或銀(Ag)材料的電極材料糊劑。本發(fā)明的制造方法在將該總線電極如圖2所示地形成為兩層結(jié)構(gòu)的情況下尤其優(yōu)選適用。兩層結(jié)構(gòu)的總線電極的形成方法的詳細(xì)情況后述。其次，以覆蓋掃描電極14、維持電極15及黑條紋17的方式，在前面玻璃基板13上，利用模涂法等涂敷電介體玻璃糊劑，進(jìn)而，將其燒成，形成5pm5(Hmi的厚度的電介體層18。在此，電介體玻璃糊劑是含有粉末的電介體玻璃料、粘合劑及溶劑的涂料。進(jìn)而，利用真空蒸鍍法，在電介體層18上形成0.3pmlpm的厚度的由氧化鎂(MgO)構(gòu)成的保護(hù)層19。通過以上的工序，在前面玻璃基板13的表面上配置規(guī)定的結(jié)構(gòu)部件，完成前面板12。背面板20如下所述地形成。首先，在背面玻璃基板21上，使用含有銀(Ag)材料的糊劑，形成構(gòu)成地址電極22的材料的層，并使該地址電極具有規(guī)定的圖案。圖案通過網(wǎng)板印刷糊劑的方法、或在玻璃基板的整個(gè)面上涂敷糊劑后，使用光刻法形成圖案的方法等來形成。然后，以希望的溫度燒成該層，形成地址電極22。其次，利用模涂法等，在形成有地址電極22的背面玻璃基板21的表面以覆蓋地址電極22的方式涂敷電介體玻璃糊劑，形成電介體糊劑層。然后，通過燒成電介體糊劑層，形成基底電介體層23。電介體玻璃糊劑是含有粉末的電介體玻璃料、粘合劑及溶劑的涂料。其次，在基底電介體層23的表面涂敷含有隔壁材料的隔壁形成用糊劑，形成圖案為規(guī)定的形狀，形成隔壁材料層，然后，進(jìn)行燒成，由此，形成隔壁24。在此，對(duì)在基底電介體層23上涂敷的隔壁用糊劑形成圖案的方法，可以使用光刻法、或噴砂法。其次，在相鄰接的隔壁24間的基底電介體23的表面及隔壁24的側(cè)面涂敷含有熒光材料的熒光體糊劑，然后，進(jìn)行燒成，由此形成熒光體層25。通過以上的工序，在背面玻璃基板21上形成規(guī)定的結(jié)構(gòu)部件，完成背面板20。這樣，將具備規(guī)定的結(jié)構(gòu)部件的前面板12和背面板20以顯示電極16和地址電極22正交的方式對(duì)置配置，并將其周圍用密封部件密封。進(jìn)而，向放電空間26中封入含有氖(Ne)及氙(Xe)等的放電氣體，由此完成PDPIOO。在上述中，對(duì)等離子顯示面板的制造方法的概略進(jìn)行了說明。其次，對(duì)總線電極14b、15b的形成方法進(jìn)而詳細(xì)的說明。在該實(shí)施方式中，總線電極包括白層和黑層兩層結(jié)構(gòu)。圖6是用于形成這樣的總線電極的工序流程圖。首先，在步驟Sl中，涂敷黑層及白層的電極材料糊劑，將其干燥，形成電極糊劑的膜。更具體來說，涂敷黑層，使其干燥后，在其表面涂敷白層，將其干燥。然后，在步驟S2中，根據(jù)圖案，用掩模遮住步驟S1中形成的電極糊劑的膜的表面，并且遮住需要形成圖案的部分的表面的一部分(即，構(gòu)成的白層的電極的部分的表面的一部分)，同時(shí)，照射光進(jìn)行曝光。步驟S3是將在步驟S2中曝光的電極糊劑的膜進(jìn)行顯影后，燒成的步驟，若該步驟結(jié)束，則形成總線電極。圖7是與圖6對(duì)應(yīng)的工序剖面圖，圖7(a)是表示步驟Sl的工序剖面圖，圖7(b)是表示步驟S2的工序剖面圖，圖7(c)、圖7(d)及圖7(e)是表示步驟S3的工序剖面圖。圖7(a)表示在前面玻璃基板13的表面形成的透明電極14a(或15a)上分別涂敷成為白層14c(或15c)及黑層14d(或15d)的電極材料糊劑，將其在IO(TC下干燥的狀態(tài)的電極糊劑的膜。電極糊劑均為感光性糊劑。構(gòu)成白層14c(或15c)的電極糊劑優(yōu)選在燒成后形成為具有350|am的厚度，構(gòu)成黑層14d(或15d)的電極糊劑優(yōu)選在燒成后形成為具有0.55pm的厚度。電極材料糊劑包括導(dǎo)電性粒子、玻璃料、黑色無機(jī)微粒、感光性樹脂及有機(jī)粘合劑等有機(jī)物的樹脂、聚合引發(fā)劑、單體及有機(jī)溶劑等。導(dǎo)電性粒子主要含于白層，黑色無機(jī)微粒主要含于黑層。根據(jù)情況，白層及黑層在不影響它們的功能的情況下，分別含有黑色無機(jī)微粒及導(dǎo)電性粒子也可。在利用輥涂機(jī)等涂敷該電極材料糊劑后，將其干燥，由此，使大部分的有機(jī)溶劑蒸發(fā)。從而，干燥后的電極糊劑的膜包括除了蒸發(fā)的有機(jī)溶劑之外的導(dǎo)電性微粒、玻璃料、感光性樹脂、有機(jī)粘合劑等有機(jī)物的樹脂(包括單體聚合的樹脂)及單體等。作為涂敷電極材料糊劑的方法，可以使用輥涂法、模涂法、旋涂法、及刮刀涂法等。如上所述，作為電極材料糊劑，使用分別按規(guī)定的比率混合以下所述的物質(zhì)的糊劑，即銀(Ag)粒子等導(dǎo)電性微粒、以氧化鉍(Bi203)、氧化硼(B203)、及/或氧化硅(Si02)等為主成分的玻璃料；黑色無機(jī)微粒(僅黑層)、聚合引發(fā)劑、感光性樹脂及有機(jī)粘合劑等有機(jī)物的樹脂、單體、及有機(jī)溶劑。以下，對(duì)成分進(jìn)行說明。作為導(dǎo)電性微粒，適合使用粒徑0.1um5um的銀(Ag)粒子。若銀粒子的粒徑小于O.lpm，則容易發(fā)生銀(Ag)粒子之間的凝聚，總線電極14b(或15b)的電阻值也變得不恒定。另外，若銀(Ag)粒子的粒徑大于50nm，則銀(Ag)粒子超出總線電極14b(或15b)的高度，不能形成具有恒定且均一的圖案的總線電極14b(或15b)。除了銀粒子之外，可以將選自導(dǎo)電性良好的鋁(Al)、鎳(Ni)、金(Au)、鉑(Pt)、鉻(Cr)、銅(Cu)、及鈀(Pd)中的金屬構(gòu)成的粒子、或它們的合金構(gòu)成的粒子用作電極材料用導(dǎo)電性微粒。這些導(dǎo)電性微粒在本發(fā)明的實(shí)施方式中優(yōu)選含于白層中?；蛘撸@些導(dǎo)電性微粒含于黑層也可。作為玻璃料，優(yōu)選使用以氧化鉍(Bi203)、氧化硼(B203)、及/或氧化硅(Si02)等為主成分的低熔點(diǎn)玻璃料。但是，只要是能夠形成希望的電極形狀的玻璃材料，就不限于以這些為主成分的玻璃，可以使用其他的玻璃料。其次，對(duì)黑色無機(jī)微粒進(jìn)行說明。黑色無機(jī)微粒主要含于黑層。或者，黑色無機(jī)微粒含于白層也可。作為黑色無機(jī)微粒，適合使用四氧化三鈷(Co304)微粒。在作為黑色無機(jī)微粒添加四氧化三鈷(Co304)微粒的情況下，即使添加少量，也能得到具有充分的黑色度且致密的燒成被膜，因此，能夠以薄的膜厚實(shí)現(xiàn)充分的對(duì)比度。其結(jié)果，尤其，就黑層來說，在干燥、曝光、顯影、及燒成的各工序中，不會(huì)損傷對(duì)基板優(yōu)越的粘附性、析像性、及燒成性，在燒成后，能夠形成燒成被膜，其能夠同時(shí)滿足充分的層間導(dǎo)電性(透明電極和白層的層間導(dǎo)通)及黑度。另外，四氧化三鈷(Co304)微粒的與聚合引發(fā)劑、感光性樹脂等有機(jī)成分或有機(jī)溶劑等的親和性高，因此，通過組合使用四氧化三鈷(Co304)微粒和這些有機(jī)成分及有機(jī)溶劑，能夠得到保存穩(wěn)定性優(yōu)越的電極材料糊劑。作為四氧化三鈷(Co304)微粒，使用粒徑5pm以下，優(yōu)選0.05)iim以上，5|im以下的微粒。通過使粒徑為5pm以下，即使添加少量，也不會(huì)損傷粘附性，能夠形成致密的燒成被膜，因此，尤其在黑層的情況下，能夠同時(shí)滿足充分的層間導(dǎo)電性(透明電極和白層的層間導(dǎo)通)及黑度。另外，作為四氧化三鈷(Co304)微粒，優(yōu)選表面系數(shù)在1.020m2/g的范圍的粒子。其理由如下，艮P:若其表面系數(shù)小于1.0m2/g，則利用曝光的圖案形成的精度降低，即線邊緣的直線性變差，另外，難以得到黑度的燒成被膜。另一方面若大于20m々g，則粒子的表面積變得過大，在顯影時(shí)，削減量變大。作為黑色無機(jī)微粒，可以與四氧化三鈷(C0304)微粒一同，或取而代之，配合耐熱性黑色顏料。耐熱性黑色顏料只要是耐熱性優(yōu)越的無機(jī)顏料，就不特別限定。通常，選自鉻(Cr)、鈷(Co)、鎳(Ni)、鐵(Fe)、么、及釕(Ru)中的金屬的氧化物、及復(fù)合氧化物相當(dāng)于耐熱性黑色顏料，可以單獨(dú)使用它們或組合兩種以上使用。感光性樹脂是具有在照射光的情況下交聯(lián)而不熔化的性質(zhì)的樹脂，例如是具有乙烯性不飽和雙鍵的含羧基感光性樹脂。具體來說，感光性樹脂可以如下，使乙烯性不飽和基作為側(cè)基與具有不飽和羧酸和不飽和雙鍵的化合物的共聚物加成而得到的具有羧基的感光性樹脂；使不飽和羧酸與具有環(huán)氧基和不飽和雙鍵的化合物和具有不飽和雙鍵的化合物的共聚物反應(yīng)而生成的二級(jí)羥基、與使多價(jià)酸酐反應(yīng)得到的含羧基感光性樹脂；使具有羥基和不飽和雙鍵的化合物與具有不飽和雙鍵的酸酐和具有不飽和雙鍵的化合物的共聚反應(yīng)得到的含羧基感光性樹脂；多價(jià)酸酐與環(huán)氧化合物和不飽和單體羧酸反應(yīng)生成的二級(jí)羥基反應(yīng)而得到的含羧酸感光性樹脂；及使具有環(huán)氧基和不飽和雙鍵的化合物、與使多價(jià)酸酐與含羥基聚合物反應(yīng)得到的含羧基樹脂進(jìn)而反應(yīng)而得到的含羧基感光性樹脂等，但不限定于這些。這些感光性樹脂可以單獨(dú)或混合使用。另外，作為發(fā)揮有機(jī)粘合劑功能的樹脂，例如，可以舉出聚乙烯醇、聚乙烯醇縮丁醛、甲基丙烯酸酯聚合物、丙烯酸酯聚合物、丙烯酸酯一甲基丙烯酸酯共聚物、a—甲基苯乙烯聚合物、及甲基丙烯酸丁酯樹脂等，但不限定于這些。這些有機(jī)粘合劑可以單獨(dú)或混合使用。聚合引發(fā)劑用于聚合后述的單體而使用。聚合引發(fā)劑不特別限定，但可以為苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙基醚等苯偶姻和苯偶姻垸基醚類；苯乙酮、2，2—二甲氧基一2—苯基苯乙酮、1，l一二氯苯乙酮等苯乙酮類；2—甲基一1一[4一(甲基硫)苯基]一2—嗎啉基丙垸一1一酮、2—芐基一2—二甲基氨基一1—(4一嗎啉基苯基)一丁酮一l等氨基苯乙酮類；2—甲基蒽醌、2—乙基蒽醌；2—叔丁基蒽醌；l一氯代蒽醌等蒽醌類；2，4—二甲基噻噸酮、2，4—二乙基噻噸酮、2—氯代噻噸酮、2，4一二異丙基噻噸酮等噻噸酮類；苯乙酮二甲基縮酮、芐基二甲基縮酮等縮酮類、二苯甲酮等苯酮類；或卩占噸酮類；(2，6—二甲氧基苯甲?；?一2，4，4一戊基氧化膦、雙(2，4，6—三甲基苯甲?；?一苯基氧化膦、2，4，6—三甲基苯甲?；交趸ⅰ⒁一?，4，6—三甲基苯甲?；交戊⑺猁}等氧化膦類；及各種過氧化物類等。作為單體，例如，可以舉出丙烯酸2—羥乙酯、丙烯酸2—羥丙酯、二乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、聚氨酯二丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、三羥甲基丙烷環(huán)氧乙烷改性三丙烯酸酯、三羥甲基丙垸環(huán)氧丙烷改性三丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯及與上述丙烯酸酯反應(yīng)的各甲基丙烯酸酯類等，但不限定于這些。單獨(dú)使用單體，生成均聚物也可，或選擇多個(gè)單體，生成共聚物也可。作為有機(jī)溶劑，可以舉出丁酮、環(huán)己酮等酮類、三烯、二甲苯、四甲基苯等芳香族烴類；溶纖劑、甲基溶纖劑、卡必醇、甲基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇單甲基醚、二丙二醇單甲基醚、三乙二醇單乙基醚等二醇醚類；醋酸乙酯、醋酸丁酯、乙酸溶纖劑、丁基乙酸溶纖劑、乙酸卡必醇酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯等醋酸酯類；乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇、萜品醇等醇類；辛烷、癸烷等脂肪族烴、石油醚、石油粗汽油、溶劑石腦油等石油系溶劑，可以單獨(dú)使用它們或組合兩種以上使用。在電極材料糊劑中，各成分的比例可適當(dāng)選擇。例如，希望在形成白層的糊劑中，相對(duì)于導(dǎo)電性微粒100質(zhì)量份，玻璃料以0.5200質(zhì)量份，感光性樹脂及有機(jī)粘合劑等有機(jī)物的樹脂成分在將糊劑全部的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其以1080質(zhì)量份，聚合引發(fā)劑在將樹脂成分的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其以130質(zhì)量份，單體在將樹脂成分的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其以20100重量份，溶劑在將糊劑全部的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其以130質(zhì)量份的比例含有。在形成黑層的糊劑中，希望相對(duì)于黑色無機(jī)微粒100質(zhì)量份，玻璃料以0.5200質(zhì)量份，感光性樹脂及有機(jī)粘合劑等有機(jī)物的樹脂成分在將糊劑全部的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其以1080質(zhì)量份，聚合引發(fā)劑在將樹脂成分的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其以130質(zhì)量份，單體在將樹脂成分的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其以20100重量份，溶劑在將糊劑全部的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其以140質(zhì)量份的比例含有。其次，如圖7(b)所示，在圖7(a)的干燥狀態(tài)的電極糊劑的膜的表面配置曝光掩模31，并且在需要構(gòu)成電極圖案的部分的表面配置遮光部件32，部分地遮住作為電極表面的表面，同時(shí)照射光而曝光。其結(jié)果，不僅在配置掩模31的部分，而且在電極圖案表面也產(chǎn)生未曝光部分。對(duì)這樣的狀態(tài)的電極糊劑的膜剝離曝光掩模31及遮光部件32后，利用堿水溶液進(jìn)行顯影，除去未曝光部分，則顯影后，如圖7(c)所示，與用掩模31覆蓋的部分對(duì)應(yīng)的白層及黑層被除去，形成電極圖案，并且能夠形成與遮光部件32對(duì)應(yīng)的部分成為凹部的電極。在該實(shí)施方式中，遮光部件32配置兩個(gè)，分別設(shè)置為在與電極長(zhǎng)邊方向(從表示附圖的紙面向背面穿透的方向)平行的方向延伸。從而，與遮光部件32對(duì)應(yīng)而形成的凹部形成沿電極的長(zhǎng)邊方向延伸的槽部。在圖7(b)中，凹部只形成于白層14c(或15c)。在其他實(shí)施方式中，凹部具有貫通白層14c(或15c)而到達(dá)黑層14d(或15d)的深度也可。但是，凹部不具有貫通黑層14而到達(dá)基板的深度。凹部的深度還取決于白層及黑層的厚度，但優(yōu)選白層和黑層的總計(jì)高度的10%80%，更優(yōu)選1550%。例如，凹部?jī)?yōu)選具有18^m的深度，更優(yōu)選具有1.55pm的深度。若凹部淺，則不能分離電極寬度方向中央部的熱收縮、和電極端部的燒成時(shí)的熱收縮，在白層表面部產(chǎn)生向白層寬度方向中央部牽引白層的力，向電極寬度方向端部突出。另夕卜，若凹部深，則電極容易缺欠，容易多發(fā)電極缺陷不良。還有，凹部的深度是指白層的表面(白層的表面不平坦時(shí)為最高的部位)和凹部的最深部位之間的厚度方向的距離。為了得到這樣的深度的凹部，遮光部件32如圖7(b)所示，優(yōu)選電極的寬度方向端部和遮光部件的寬度方向的端部的間隔L、即自電極圖案寬度方向端部至遮光部件的寬度方向端部的電極寬度方向上的距離L配置為lpm《L《10^im，且遮光部件的電極寬度方向的寬度T為2nm〈T〈10pm。間隔L如圖7(b)所示，通常是曝光掩模的端部(與電極的端部一致)、和遮光部件的端部之間的與電極寬度方向平行的方向上的距離。通過這樣選擇遮光部件的位置及寬度，能夠形成如下所述的適當(dāng)?shù)纳疃鹊陌疾?，S卩不會(huì)產(chǎn)生電極的缺陷、及損傷電極性能的程度的大小的凹部，能夠分離控制電極寬度方向中央部和端部在燒成時(shí)的熱收縮。在圖中，設(shè)置兩個(gè)L及T滿足上述范圍的遮光部件32，對(duì)一個(gè)電極設(shè)置兩個(gè)與電極長(zhǎng)邊方向平行地延伸的凹部(槽部)。遮光部件的數(shù)(即，凹部的數(shù))不限定于兩個(gè)，l個(gè)也可，或3個(gè)以上也可。遮光部件32由與曝光掩模31相同的材料形成，且作為掩模的一部分形成也可。遮光部件32可以與電極糊劑接觸，也可以不接觸。在曝光工序中，可以使用具有規(guī)定的電極圖案的曝光掩模(負(fù)掩模)31，實(shí)施接觸曝光及非接觸曝光。作為曝光光源，可以使用鹵素?zé)?、高壓水銀燈、激光、金屬鹵化物燈、黑燈、或無電極燈等。曝光量?jī)?yōu)選501000mJ/cn^左右。顯影通過使用碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鈣水溶液等之類的金屬堿水溶液，用濺射法或浸漬法實(shí)施。圖7中以沿寬度截?cái)嗥拭鎴D表示顯影后的電極形狀。優(yōu)選電極的高度H在l!im5(Him的范圍內(nèi)，優(yōu)選電極的寬度W在10nm500|im的范圍內(nèi)。若電極的高度H小于l|_im，或電極的寬度W小于l(Vm，則燒成后的電阻變高，作為總線電極得不到充分的導(dǎo)電性。另外，若寬度W小于10pm，則在形成凹部時(shí)，電極容易發(fā)生缺欠，變得容易發(fā)生電極缺欠不良。進(jìn)而，若電極的高度H大于5(^m，或?qū)挾萕大于500|im，則燒成后，由總線電極14b(或15b)和前面玻璃基板13形成的凹凸(凹陷)的高低差變得過大，難以以均一的厚度涂敷電介體材料糊劑。其次，圖7(d)及圖7(e)示出了將顯影后的電極例如在400'C600'C左右下燒成時(shí)發(fā)生的熱收縮的狀態(tài)。如圖7(d)所示的電極在電極表面形成有凹部，因此，能夠分離控制電極寬度方向中央部的熱收縮、和電極端部在燒成時(shí)的熱收縮。在顯影后殘留有黑層的區(qū)域4中，白層和黑層的界面的力抵消，玻璃基板方向的合力7作用于白層表面部，但是由于凹部的存在，不成為與在顯影時(shí)黑層被削減的區(qū)域5的電極寬度方向端部產(chǎn)生的向白層內(nèi)部收縮的力的合力。從而，不像以往法中形成的電極一樣，在白層表面部產(chǎn)生向白層寬度方向中央部牽引白層的力。其結(jié)果，在電極寬度方向端部不發(fā)生巻起而向白層內(nèi)部收縮，因此，電極寬度方向端部不突出，或即使發(fā)生也為少量。顯影時(shí)形成的凹部在粘結(jié)導(dǎo)電性粒子之間時(shí)，玻璃料逐漸被熔融的熔融玻璃填埋。凹部在最終的燒成結(jié)束時(shí)，大致被填埋，形成平坦的電極表面，或?qū)﹄姌O表面賦予稍許的凹陷(圖7(e)中的符號(hào)33)。這樣，部分地遮住構(gòu)成電極圖案的電極材料糊劑的表面，同時(shí)，照射光而曝光，進(jìn)行顯影，形成電極圖案，由此能夠在顯影后，在電極表面設(shè)置凹部。其結(jié)果，能夠分離控制電極寬度方向中央部和電極端部的燒成時(shí)的熱收縮，能夠形成抑制了白層的撓曲和電極寬度方向端部的突出的電極，并且，能夠提供具有高絕緣耐壓性能的PDP。實(shí)施例其次，對(duì)實(shí)施例進(jìn)行說明。在各實(shí)施例及比較例中，在以下的共同條件下，分別制作各100張樣品。共同條件如下所述。1)將總線電極14b、15b的形狀形成為如圖7(c)所示的形狀，將燒成后的高度H設(shè)為10|im，將黑層的厚度設(shè)為2pm。2)白層的電極材料糊劑通過混合粒徑200nmlpm的銀(Ag)的導(dǎo)電性粒子、玻璃料、感光性樹脂及含有有機(jī)粘合劑的樹脂成分、聚合引發(fā)劑、單體、及有機(jī)溶劑而調(diào)節(jié)。組成如下所述。導(dǎo)電性粒子100質(zhì)量份玻璃料相對(duì)于導(dǎo)電性微粒100質(zhì)量份為5質(zhì)量份感光性樹脂及含有有機(jī)粘合劑的樹脂成分在將糊劑全部的質(zhì)量設(shè)為IOO質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其為15質(zhì)量份聚合引發(fā)劑在將樹脂成分的質(zhì)量設(shè)為IOO質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其為2質(zhì)量份單體在將樹脂成分的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其為35質(zhì)量份溶劑在將糊劑全部的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其為10質(zhì)量份。3)黑層的電極材料糊劑通過混合粒徑200nm300nm(0.2|im0.3pm)，且表面系數(shù)為416m2/g的范圍內(nèi)的四氧化三鈷(Co304)黑色無機(jī)微粒、玻璃料、感光性樹脂及含有有機(jī)粘合劑的樹脂成分、聚合引發(fā)劑、單體、及有機(jī)溶劑而調(diào)節(jié)。黑色無機(jī)微粒100質(zhì)量份玻璃料相對(duì)于黑色無機(jī)微粒100質(zhì)量份為50質(zhì)量份感光性樹脂及含有有機(jī)粘合劑的樹脂成分在將糊劑全部的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其為30質(zhì)量份聚合引發(fā)劑在將樹脂成分的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其為2質(zhì)量份單體在將樹脂成分的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其為35質(zhì)量份溶劑在將糊劑全部的質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份時(shí)，相對(duì)于其為10質(zhì)量份。4)作為玻璃料，使用以氧化鉍(Bi203)、氧化硼(B203)、及氧化硅(Si02)為主成分的組成的玻璃料。5)作為感光性樹脂，使用具有乙烯性不飽和雙鍵的含羧基感光性樹脂(使乙烯性不飽和基作為側(cè)基與具有不飽和羧酸和不飽和雙鍵的化合物的共聚物加成而得到的具有羧基的感光性樹脂)。6)作為有機(jī)粘合劑，使用聚乙烯醇。7)作為聚合引發(fā)劑，使用2—芐基一2—二甲基氨基一1一(4一嗎啉基苯基)丁垸一1一酮。8)作為單體，使用季戊四醇三丙烯酸酯。9)作為有機(jī)溶劑，使用二丙二醇單甲基醚。10)遮光部件32形成為如圖8所示的在與電極長(zhǎng)邊方向平行的方向上連續(xù)延伸的部件。在圖8中，用符號(hào)31表示的要件是曝光掩模。11)作為曝光光源，使用金屬鹵化物燈，曝光量為200mJ/cm2。在實(shí)施例1及2中，樣品通過在總線電極14b、15b的曝光時(shí)，分別改變遮光部件32和電極圖案寬度方向端部的電極寬度方向上的間隔L和遮光部件32的電極寬度方向的寬度而制作。在比較例中，樣品中沒有配置遮光部件而制作。(實(shí)施例1)在實(shí)施例1中，將如圖7(c)所示的電極的寬度W設(shè)為120nm。對(duì)于遮光部件的自電極圖案寬度方向端部的距離L和遮光部件的電極寬度方向的寬度T，將L在0.5pm18pm，將T在1^im14pm的范圍內(nèi)變化而曝光，顯影后，在600'C下燒成，形成總線電極14b、15b。對(duì)T及L的每一個(gè)組合，制作樣品各100張。其次，利用模涂法，以覆蓋總線電極14b、15b的方式涂敷電介體材料糊劑，在100'C下干燥后，在60(TC下燒成，形成50|im的厚度的電介體層。電介體糊劑是配合、混合以氧化鉍(Bi203)、氧化硼(B203)、及氧化硅(Si02)為主成分的玻璃料、作為粘合劑成分的乙基纖維素、作為有機(jī)溶劑的丁基卡必醇乙酸酯的糊劑。各成分的配合比如下所述。玻璃料60質(zhì)量份乙基纖維素IO質(zhì)量份有機(jī)溶劑30質(zhì)量份(實(shí)施例2)將圖7(c)所示電極的寬度W設(shè)為40iim，與實(shí)施例l相同地制作。(比較例)在不局部地遮住構(gòu)成電極圖案的電極材料糊劑的表面的情況下，照射光而曝光，與實(shí)施例l、2相同地制作。在此，將圖9所示的燒成后的電極寬度方向端部的突出的高度(在兩端的高度不相同的情況下為較高的端部的高度)Te、與將電極的寬度Wf三等分而分為三個(gè)區(qū)域時(shí)的正中央的區(qū)域(寬度Wf/3)上的平均高度Tc之差定義為突出量Ec，測(cè)定通過實(shí)施例12及比較例制作的各樣品的突出量。對(duì)于突出量而言，對(duì)L及T的每一個(gè)組合，任意選擇10張，并在其中取最大值。實(shí)施例1的測(cè)定結(jié)果示于表1中，實(shí)施例2的測(cè)定結(jié)果示于表2中，比較例的測(cè)定結(jié)果示于表3中。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>表2L(pm)<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>表3<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>在表1及表2中，"缺欠"表示在電介體層的形成中，在總線電極中發(fā)生的缺欠，"凹大"表示在燒成后的總線電極中，相當(dāng)于遮光部件的凹部沒有通過玻璃料的熔融而充分地被填埋，在電極表面殘留大的凹部的情況。根據(jù)表13，根據(jù)本發(fā)明的方法可知，通過由于曝光時(shí)的部分的遮光形成的凹部的效果，與以往的制造方法中制造的比較例相比，能夠減小突出量。另外，尤其，得到電極圖案寬度方向端部和遮光部件的寬度方向端部的間隔L為lnm《L《10nm，遮光部件的電極寬度方向的寬度T在2nm《T《l(Him的范圍，突出量在2nm以下的良好的效果。其次，在實(shí)施例12及比較例的樣品中，假設(shè)實(shí)際的照明，實(shí)施投入平均電流50mA的電流的照明試驗(yàn)，對(duì)此時(shí)發(fā)生的電火花不良的發(fā)生率進(jìn)行比較，將結(jié)果示于表4中。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>在表4中，Ec=3.5的樣品相當(dāng)于實(shí)施例1中的L=16pm、T=6nm的樣品，Ec=3.4的樣品相當(dāng)于實(shí)施例1中的L=16jim、T=10|am的樣品，Ec=2.5的樣品相當(dāng)于實(shí)施例1中的L-12pm、T-4pm的樣品，Ec=2.2的樣品相當(dāng)于實(shí)施例1中的L=12pm、T=10nm的樣品，Ec=1.9的樣品相當(dāng)于實(shí)施例1中的I^10iam、T:8jim的樣品，Ec^.5的樣品相當(dāng)于實(shí)施例1中的I^Him、T=6pm的樣品，Ec=U的樣品相當(dāng)于實(shí)施例1中的L=l^m、T-10jim的樣品。根據(jù)表4，根據(jù)本發(fā)明的方法可知，通過由于曝光時(shí)的部分的遮光形成的凹部的效果，能夠減小突出量，其結(jié)果，能夠減少電火花不良。另外，尤其，對(duì)以間隔L為1^im《L《10pm，寬度T在2pm《T《10nm的范圍制作的突出量為2pm以下的樣品，得到電火花不良率為1%以下的結(jié)果。這與電火花不良率1.7%的比較例相比，顯示非常良好的效果。進(jìn)而，圖10中示出表示突出量和電火花不良率的關(guān)系的圖表。在實(shí)施例及比較例的各樣品中，測(cè)定如圖9所示的燒成后的在電極寬度方向上的從電極寬度方向端部的突出的最高的位置(兩端中較高的一方)向內(nèi)側(cè)靠10pm的位置上的高度Ts。將該Ts和Tc之差設(shè)為Tg，測(cè)定實(shí)施例12及比較例中制作的各樣品的Tg。對(duì)L及T的每一個(gè)組合，任意選擇10張，其中最大值作為Tg。實(shí)施例1的測(cè)定結(jié)果示于表5中，實(shí)施例2的測(cè)定結(jié)果示于表6中。比較例的測(cè)定結(jié)果示于表7中。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>表6<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>表7<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>根據(jù)表57，根據(jù)本發(fā)明的方法可知，通過由于曝光時(shí)的部分的遮光形成的凹部的效果，與以往相比，能夠減小Tg。能夠減小Tg就可以使自電極寬度方向中央部至電極寬度方向端部的電極高度均一。對(duì)于突出部大、且從電極寬度方向中央部朝向電極寬度方向端部，電極高度增加變大的比較例樣品，根據(jù)本發(fā)明的方法可知，通過由于曝光時(shí)的部分的遮光形成的凹部的效果，能夠使更靠近電極寬度方向端部的部分的電極高度更接近電極寬度方向中央部的電極高度。通過這樣形成電極寬度方向上的電極高度更恒定的電極，能夠使放電面均一化，能夠?qū)崿F(xiàn)更穩(wěn)定的放電特性。另外可知，以電極圖案寬度方向端部和遮光部件的寬度方向端部的間隔L為lpm《L《l(^m，且遮光部件的電極寬度方向的寬度T滿足2pm《T《l(Him的方式制作的樣品中，能夠使Tg非常小(2pm以下)，形成電極寬度方向上的高度變動(dòng)更小的電極。本發(fā)明的PDP的制造方法能夠?qū)蓪咏Y(jié)構(gòu)的電極一并曝光及顯影，同時(shí)，通過由于曝光時(shí)的部分的遮光而形成于電極的凹部，能夠減小電極寬度方向端部的突出量。由此，能夠減小電火花不良率，因此，能夠以高成品率制造具有高的絕緣耐用性能的PDP。從而，利用本發(fā)明的制造方法提供的PDP作為能夠應(yīng)對(duì)進(jìn)一步的高精細(xì)化和低價(jià)格化的PDP有用。權(quán)利要求1.一種等離子顯示面板的制造方法，在玻璃基板上涂敷成為下層電極的第一材料而形成第一層，在所述第一層的表面涂敷成為上層電極的第二材料而形成第二層，向形成電極的部分，遮住形成所述電極的部分的表面的一部分而照射光，由此進(jìn)行曝光之后經(jīng)顯影而形成電極，其中，遮住形成所述電極的部分的表面的一部分的遮光部件的與電極的寬度方向平行的方向的尺寸T為2μm≤T≤10μm，曝光后形成的電極的寬度方向端部、和所述遮光部件的寬度方向的端部的間隔L為1μm≤L≤10μm。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子顯示面板的制造方法，其中，所述遮光部件在與電極長(zhǎng)邊方向平行的方向上延伸。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的等離子顯示面板的制造方法，其中，所述電極是包含于構(gòu)成前面板的顯示電極中的總線電極，所述前面板具有兩層，該兩層是位于下側(cè)的黑層、和位于上側(cè)的白層。4.根據(jù)權(quán)利要求12中任意一項(xiàng)所述的等離子顯示面板的制造方法，其中，由如下所述的電極材料形成電極的一側(cè)的層，所述電極材料中，作為導(dǎo)電性微粒，含有至少一種由選自銀(Ag)、鋁(Al)、鎳(Ni)、金(Au)、鉬(Pt)、鉻(Cr)、銅(Cu)、及鈀(Pd)中的金屬或它們的合金構(gòu)成的粒子。5.根據(jù)權(quán)利要求12中任意一項(xiàng)所述的等離子顯示面板的制造方法，其中，由作為黑色成分含有四氧化三鈷(Co304)微粒的電極材料形成電極的一側(cè)的層。6.根據(jù)權(quán)利要求12中任意一項(xiàng)所述的等離子顯示面板的制造方法，其中，由如下所述的電極材料形成電極的一側(cè)的層，所述電極材料中，作為黑色成分，含有選自鉻(Cr)、鈷(Co)、鎳(Ni)、鐵(Fe)、錳(Mn)、及釕(Ru)中的至少一種金屬的氧化物。7.—種等離子顯示面板，具有夾持放電空間的一對(duì)前面板及背面板，在前面板的基板的內(nèi)表面上具有相互平行的由掃描電極和維持電極構(gòu)成的多個(gè)顯示電極，在背面板的基板的內(nèi)表面上具有配置于與所述顯示電極交叉的方向上的多個(gè)地址電極、按單位發(fā)光區(qū)域劃分所述放電空間的隔壁、和利用放電發(fā)光的熒光體，其中，所述顯示電極包括透明電極、及形成在所述透明電極上的總線電極，所述總線電極具有位于下側(cè)的黑層、和位于上側(cè)的白層兩層，在將所述總線電極的寬度方向端部的突出高度(在兩端部的高度不相同時(shí)為較高端部的高度)Te、與將所述總線電極的白層的寬度三等分而分為三個(gè)區(qū)域時(shí)的正中央?yún)^(qū)域上的總線電極的平均高度Tc之差設(shè)為突出量Ec日寸，Ec小于2.0(im。全文摘要本發(fā)明提供在將兩層結(jié)構(gòu)的總線電極一并曝光及顯影而形成電極圖案時(shí)，抑制電極寬度方向端部的突出，絕緣耐壓不良的等離子顯示面板的制造方法。在使用掩模的光刻法中，在形成兩層結(jié)構(gòu)的電極圖案時(shí)，遮住形成電極圖案的電極材料的糊劑膜的部分表面的一部分，同時(shí)，照射光而曝光，由此在顯影后的電極表面形成凹部，利用該凹部分離抑制電極寬度方向中央部的熱收縮、和端部的熱收縮。文檔編號(hào)H01J11/12GK101276716SQ200810087898公開日2008年10月1日申請(qǐng)日期2008年3月27日優(yōu)先權(quán)日2007年3月28日發(fā)明者名木野俊文,堀川晃宏申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社