專利名稱:包含吸氣裝置的高壓放電燈的制作方法
包含吸氣裝置的高壓放電燈本發(fā)明涉及一種高壓放電燈,具體地涉及包含吸氣裝置的小尺寸 高壓放電燈。高壓放電燈(也被稱為高強度放電燈)是由于建立在由惰性氣體 (通常為氬、可能添加少量的其它惰性氣體)和根據燈的類型的不同 金屬蒸汽組成的氣體介質中放電而發(fā)光的燈。這些燈根據放電發(fā)生介質被分類。第一種類型是鈉高壓燈,其中 放電介質是鈉和汞汽的混合物(通過這兩種金屬的汞合金的汽化而獲得),并且其中在操作中蒸汽可以達到大約10s帕斯卡(Pa)的壓力 和高于800'C的溫度;第二種類型是汞高壓燈(在汞蒸汽中放電), 其中蒸汽可以達到大約106Pa的壓力和大約600 700。C的溫度;最 后,第三種類型的高壓放電燈是金屬卣化物燈,其中除汞蒸汽之外, 放電介質是通過離解鈉、鉈、銦、鈧或稀土碘化物(通常,每個燈包 含這些碘化物中的至少兩種或多種)產生的原子和/或離子的等離子 體;在這種情況下,隨著燈被打開,可以在燈的最冷點的大約700。C 溫度下在燃燒室中達到105Pa的壓力。
圖1是示出了電聯接器僅在燈的一側上的類型的一般高壓放電 燈的截面圖;盡管在說明書的其余部分中總是參考這種類型的燈,但 本發(fā)明也可以應用在所謂的"雙端引線燈,,中,其中,在燈的兩端上都 存在電接觸。燈L是由一般為玻璃制成的外部燈泡C構成,在該燈泡 內設置有所謂的燃燒室B,它由石英或半透明氧化鋁的一般為球形或 圓柱形的容器構成;兩個電極E存在于兩個燃燒室末端,且添加有蒸 汽形式(或在燈開啟時可蒸發(fā))的金屬或金屬混合物的惰性氣體V被 設置在其內部,惰性氣體和所述蒸汽的混合物是放電發(fā)生的介質;在 本領域中已知的是,燈泡的末端A和燃燒室的兩端Z通過熱壓縮被密 封。燃燒室通過兩個支撐金屬部件M經由金屬引線R被固定就位,
件Z中;兩個部件M和R的組合也具有電聯接電極E到燈外部的觸 點P的功能。包圍在燈泡內部的空間S可以被抽空或填充有惰性氣體 (通常是氮、氬或其混合物);燈泡具有機械地保護燃燒室、將其與 外部熱絕緣、并且最重要是保持燃燒室外部的最佳化學環(huán)境的用途。 盡管在燈泡內部設置特殊的氣氛,但例如因為燈的制造操作、來自燈 的成分的除氣或分解或由于從外界大氣滲透的結果,微量雜質總是存 在于燈中。需要去除這些雜質,因為根據不同的機制它們可能改變最 佳燈操作。由于在其附近達到的溫度,所以可能出現在燃燒室外部的 氧化氣體可能損壞正存在的金屬部件(部件M或R)。如果氫出現在 燈泡中,則氫可以容易地在這些燈的操作溫度下穿透燃燒室壁,且一 旦在燃燒室中它具有增加在建立和保持放電所需要的各電極E之間 的電位差的效果,則由此增加了燈的功耗;此外,電位差的增加使電 極"濺射,,現象增加,它由于在放電中出現的離子的沖擊而存在于其侵 蝕中,其結果是,形成的黑暗金屬沉積在燃燒室內壁上并降低了燈亮 度。由于這些原因,氫通常被認為是燈泡中最有害的雜質。為了去除這些雜質,已知將能夠以化學方式凝固這些雜質的吸氣 材料插入燈泡內部、燃燒室外部。吸氣材料一般是金屬例如鈦、鋯、 或其具有一種或多種過渡元素、鋁或稀土的合金。適合用于燈的吸氣 材料在例如專利US 3,203,卯1(鋯鋁合金)、US 4,306,887(鋯鐵合金)、 US5,961,750 (鋯鈷稀土合金)中描述。為了特別是在高溫下吸附氬, 已知使用釔或其合金,例如在專利GB 1,248,184和在國際專利申請 WO 03/029502中描述。吸氣材料可以以僅由該材料形成的裝置的形 式被插入燈中(例如,燒結的吸氣劑粉末顆粒),但更通常的是這些 裝置包括用于該材料的支撐或金屬容器。圖1示出了吸氣裝置C,其 典型地用在燈中,由吸氣材料粉末顆粒被固定在其上的薄金屬板構 成;該圖也示出了在所謂的"標記"位置把吸氣器裝配在燈的內部結構 上的非常普通的方式。在燈泡中含有吸氣劑的燈的實例在國際專利申 請WO 02/089174中被公開。
然而,已知在燈泡內部安裝吸氣裝置具有引起"陰影,,效應的缺 點,根據吸氣裝置的尺寸、對燃燒室的密閉性、及其關于燃燒室的取向以一固定角度屏蔽來自燃燒室的光;該效應對燈制造商是不期望 的,因為它減少了整個燈亮度的一些百分比單位。該陰影效應對具有 相對大的尺寸(燈泡通常具有大于l(km的長度)的傳統(tǒng)的高壓放電 燈是致命問題;它在最近發(fā)展的、具有明顯降低尺寸(例如具有大約 2cm或更小的外徑和小于7cm長度的燈泡)的高壓放電燈中變得更糟 (在本文的剩余部分中,具有這些尺寸的高壓放電燈將被稱為小型化 燈)。對于這種降低的尺寸,在燈泡內部布置吸氣裝置出現許多問題。 第一方面存在直接影響降低尺寸的燈泡迫使將吸氣裝置設置在與較 大尺寸的燈相比更接近燃燒室的位置,從而對于同樣大小的吸氣裝置 增加了陰影效應。第二方面,存在與下述事實關聯的非直接影響,即 通過吸氣材料的氫的吸附作用(與所有其它一般雜質相反)是平衡現 象溫度越高,與吸氣劑平衡的氣態(tài)氫的壓力越大。對于小型化燈, 任意燈泡處于相對高溫度下且結果是,為了保證燈泡中氣態(tài)氫的足夠 低的壓力,有必要增加吸氣材料的量并由此增加吸氣裝置的尺寸;尺 寸的增加和上述將吸氣裝置放置為接近燃燒室的需要,同時增加了由 吸氣裝置投射的陰影。本發(fā)明的目的是提供高壓放電燈,且具體是小型化高壓放電燈, 其解決了上述問題。根據本發(fā)明,該目的通過包含吸氣裝置的高壓放電燈來實現,其 特征在于,吸氣裝置是—絲狀物,其固定到支撐燃燒室的金屬部件之一上,而且是固 定在與所述金屬部件平行且通過所述金屬部件對燃燒室基本上隱藏 的位置上;或-連接到用于燃燒室的饋電的至少一個引線上;或—以由吸氣材料裝滿的空心的絲狀物主體的形式,它完全或部 分地構成在燈的兩個頭部之間自身延伸的燃燒室支撐金屬部件。本發(fā)明將在下面參考附圖進行描述,其中
圖1已經在背景技術中被描述; 圖2示出了本發(fā)明的燈的第一實施例的截面圖; 圖3和圖4示出了要用在圖2的燈中的兩種可能的吸氣裝置; 圖5示出了本發(fā)明的燈的第二實施例的截面圖; 圖6示出了要用在圖5的燈中的吸氣裝置; 圖7示出了本發(fā)明的燈的另一實施例的截面圖; 圖8示出了要用在圖7的燈中的吸氣裝置; 圖9示出了本發(fā)明的燈的另一實施例的截面圖; 圖10示出了用于圖9的燈中的吸氣裝置; 圖11示出了本發(fā)明的燈的另一實施例的截面圖;以及 圖12示出了本發(fā)明的燈的最后一個實施例的截面圖。 本發(fā)明的燈的第一實施例在圖2中以及參考圖3和圖4被示出。 燈20包括在其上固定絲狀吸氣裝置22的支撐金屬部件21。該裝置 22具有與部件21的截面接近并優(yōu)選不大于部件21的截面的寬度,且 以這種方式被固定在該部件上(例如,通過兩個焊點23和23'),使 得當沿著燈軸線觀看時,其投影基本上完全被包括在其上固定該裝置 的支撐部件21內;通過該裝配,吸氣裝置22產生對燃燒室"隱藏"的 結果,且并不增加由于部件21的不可避免的陰影效應。 在圖3和4中示出適合用于圖2的燈中的吸氣裝置。 裝置22'(圖3)是由延長的并在末端敞開的一般為金屬的殼體 30構成;在殼體30內部,吸氣材料31以粉末狀存在;在附圖中示出 的裝置具有偽正方形的截面,但明顯其它截面也是可能的,例如圓形、 正方形或矩形。根據在以本申請人的名義提交的國際專利申請WO 01/67479中描述的方法(盡管該申請涉及汞分配器的生產),圖3的 裝置可以通過將裝滿吸氣劑粉末的較大截面面積的管通過一系列壓 輥而獲得。通過該方法,已經生產了具有大約0.8mm寬度的類型的裝 置22',且可以進一步將這些尺寸降低到至少大約0.6mm。裝置22〃 (圖4)是由含有吸氣材料粉末41的一般為金屬的殼 體40構成;殼體40是由成型的薄金屬板構成,由此獲得基本上封閉
的截面(在附圖中示出了梯形截面);留下在構成殼體的薄板的兩個 邊緣42和42'之間的狹縫43,它提供了用于氣體朝向吸氣材料41進 入的另一路徑(除在裝置的末端處的開口之外)。該裝置可以通過在 國際專利申請WO 98/53479中描述的方法而制造(在這種情況下該申 請也涉及汞分配器生產,但該方法可以以相同方式用于吸氣裝置的生 產);通過該方法,已經獲得具有這種截面的裝置,其中梯形最大邊 是大約0.75mm長和大約0.6mm高。裝置22'和22〃的殼體通常是由鎳、鍍鎳鐵、不銹鋼構成;也可 以使用鈮或鉭,盡管它們價格比較昂貴,但具有對于上述材料具有較 少蒸發(fā)的優(yōu)點,并可以由此更自由地位于燈內部,甚至在更接近燃燒 室的位置,而沒有由于金屬蒸汽在燈壁上凝結而在其上形成暗黑沉積 物的風險。鈮和鉭特別是在高溫度下也具有對氫容易滲透的優(yōu)點,使 得在這種情況下,通過吸氣材料的對這種氣體的吸附作用不僅在裝置 的末端發(fā)生且可能通過狹縫43發(fā)生,而且通過裝置的整個表面發(fā)生。根據本發(fā)明的第二實施例的燈具有連接到用于燃燒室饋電的至 少一個且優(yōu)選為兩個引線的吸氣裝置;兩個吸氣裝置的使用,在每個 引線上有一個,具有使可用吸氣材料量變成雙倍的優(yōu)點,但在一些情 況下,由于經濟上原因可以使用單獨一個裝置。該實施例可以以兩種可選的方式被實現,第一種在圖5和圖6 中示出,而第二種在圖7和圖8中示出。在圖5中示出根據該第一可選實施例的燈50。燈50包括第一支 撐部件51,它通過在燃燒室終端52中密封的引線60饋電給電極53; 以及第二支撐部件51',它通過在相對的燃燒室終端52'中密封的引線 60'饋電給電極53'。在圖6中詳細示出引線60的結構(與60'相同), 并包括金屬線61,在其上形成構成吸氣裝置62的吸氣材料的主體。 具有吸氣裝置62的引線60可以例如通過在粉末冶金領域已知的金屬 注模技術生產,通過將金屬線61布置在注入吸氣材料粉末的模具中, 壓縮粉末然后加熱粉末-金屬線的組合物到適合于固結結構的溫度??蛇x地,裝置62可以通過以下步驟生產將吸氣材料顆粒的懸浮液
沉積(例如,通過用刷子分配)在金屬線61上,將組合物加熱到第 一溫度以使懸浮液的液相蒸發(fā),然后將產生的組合物加熱到第二較高 溫度,以通過燒結吸氣劑顆粒沉淀物而固結;如以申請人名義的美國 專利No. 5,882,727中描述的那樣,懸浮液可以如下制備用低于大約 150nm的微粒尺寸的吸氣材料粉末,在具有含水的、含酒精的或水醇 的基本成分的且含有小于1%重量的具有高于250。C沸騰溫度的有機 化合物的分配介質中,吸氣材料的重量和分配介質的重量之間的比率 包括在4: l和l: l之間。在金屬線61上直接形成的吸氣裝置62更易于生產,但可能遇到 的問題是,作為打開和關閉燈的結果而發(fā)生的重復的熱循環(huán)可能引起 中斷并最終從金屬線至少部分分離吸氣器主體;該缺點可以通過選擇 具有與金屬線61的材料類似的熱膨脹特性的吸氣裝置62的材料而被 避免。如在圖7中示出的燈所述,該問題可以通過使用將吸氣裝置連接 到引線的第二種可選方式來避免。該燈70具有支撐部件71和71,,用 于燃燒室中電極饋電的支撐引線72和72',其壓縮密封在燃燒室兩端 73和73'中。在圖8中放大示出了吸氣裝置80 (與80'相同),其具 有帶有中心孔81的空心圓柱體形狀,其中該中心孔81的直徑稍大于 引線的金屬線的直徑。該裝置可以例如通過前述的金屬注模技術來獲 得,或通過在以本申請人名義的專利US 5,908,579中描述的方法來實 現。在將引線焊接到支撐部件71和71,之一之前,或在所述引線周圍 的燃燒室終端73和73'的熱壓縮密封之前,此類型的裝置80可以簡 單地將引線72 (或72')插入孔81而被安裝在燈70中;事實上,孔 81的直徑大于引線72的直徑允許這兩個部件彼此獨立地膨脹或收縮, 每個部件根據其自己的熱膨脹特性膨脹或收縮,由此避免主體80被 破壞的風險。裝置62和80都允許在燈中具有必要數量的吸氣材料,但具有減 少的外徑,使得吸氣裝置投影基本上被包括在部件52、 52'或73、 73' 的寬度內,它們通常不夠透明(特別是在由氧化鋁制成的燃燒室的一 般情況下),由此基本上沒有產生附加的陰影效應。圖9示出了本發(fā)明的燈的另一實施例。燈90具有由兩個部件91 和91'構成的主要支架,這兩個部件通過吸氣裝置100彼此連接。裝 置100在圖10中被放大,且除兩端之外,它是由內部充滿吸氣材料 102的管狀殼體101構成;殼體101由在高溫下具有良好氫滲透性的 材料例如鈮制成,以便空氣可以通過殼體并到達吸氣材料,在這里它 被化學凝固。通過殼體的氫滲透可以通過最小化殼體厚度而達到最大 化,與組件的機械阻力需要相一致;最小化可能的厚度可以容易地用 有限數量的實驗測試來確定。裝置100的兩端并不充滿吸氣材料,由 此構成兩個座部用于插入燃燒室支架的部件91和91'的末端;在裝置 100與部件91和91'之間的固定優(yōu)選通過焊接被加強。此類型的裝置 100可以例如通過提供與最后一個吸氣裝置相同直徑的鈮管部件來生 產,通過在其底部孔口中插入與管本身的內徑相同直徑且與在完成的 裝置的第一末端處未充滿吸氣材料的部件高度相等的支柱而把該管 保持在垂直位置中;通過將吸氣材料粉末注入到由殼體和其下部支柱 構成的容器中;并通過將粉末經由與殼體的內徑相等直徑的活塞壓到 這樣形成的容器中;吸氣材料的量將被優(yōu)化為使得在壓縮之后,在裝 置100的第二末端留下沒有吸氣材料本身的第二部件。為了避免由于 粉末壓縮而導致的殼體變形,也可以在這一操作過程中將殼體包含在 外模中。.借助于該實施例,由于吸氣裝置導致的陰影效應被最小化, 且實際上相對于于由支柱引起的不可避免的影響是可以忽略的。本發(fā)明的燈的另一可能實施例在圖11中示出。在該燈110中, 吸氣裝置111也執(zhí)行燃燒室的支持功能。該吸氣裝置可以與圖3、 4 或10之一類似,其區(qū)別是,在這種情況下燃燒室的較長支柱的整個 長度是由充滿吸氣材料的殼體構成;這種吸氣裝置可以用在上述國際 專利申請WO 98/53479和WO 01/67479中描述的工藝制造。在如在 WO 01/67479中描述所產生的吸氣裝置的情況下,殼體材料將由對氫 顯現出良好的滲透性的材料制成,例如鈮。裝置111的末端112總是 敞開的,并作為氫直接進入吸氣材料的附加通道。如在W098/53479
中描述所產生的吸氣裝置的情況下,它也可以用高氫滲透性的材料生 產,但在這情況下這不是嚴格要求,因為沿著裝置的整個長度的狹縫43已經保證氫分子進入吸氣材料的滿意速率;在該第二種情況下,因 此,允許對用于殼體材料的材料進行較寬選擇。最后,也可以采用在圖9和11的實施例之間混合的配置(未在 附圖中示出),其中燃燒室支柱是由在其初始部件(該部件更接近圖 1的觸點P)中的共同金屬線構成,并通過與用于剩余部件的圖11之 一類似的吸氣裝置。該最后一個實施例的特殊實現形式在圖12中示 出,且特別適合于較小尺寸的燈的生產,該較小尺寸并不需要燃燒室 的較長的支柱接觸燈泡的末端以保證結構的剛性。根據最后一個實施 例的燈120具有由簡單金屬線制成其主要部件121和用于吸氣裝置 122終端部件的較長支架,引線123又與吸氣裝置122連接用于燃燒 室的支撐和饋電;引線123將通常通過焊接被固定到裝置122,同時 裝置122又可以例如通過將部件121的末端部分插入合適的孔或裝置 122的中空部(該中空部可以是參考裝置100描述的種類)中或通過 焊接(例如,點焊)而機械地固定到部件121上。可以用于生產裝置22、 22'、 22〃 、 52、 70、 92和111的吸氣材 料在背景技術中被描述的那些,且具體的是,專利US3,203,901的鋯 鋁合金、專利US 5,961,750的鋯鈷稀土合金、專利GB 1,248,184或國 際專利申請WO 03/029502的釔和以釔為基礎的合金;也可以使用在 以申請人名義提交的國際專利申請PCT/IT2005/000673中描述的 ZrYM合金,其中M是在鋁、鐵、鉻、錳、釩或這些金屬的混合物 中選擇的金屬。
權利要求
1.高壓放電燈(20,50,70,90,110,120),包括燈泡(C)、和在所述燈泡內部的燃燒室(B)、用于燃燒室的支柱(M)、用于在包括惰性氣體和燃燒室中的金屬蒸汽的氣氛中饋給放電的引線(R)、以及吸氣裝置,其特征在于,所述吸氣裝置是-絲狀物(22,22′,22″),其被固定到支撐所述燃燒室的所述金屬部件之一(21),且固定在與所述金屬部件平行的且通過所述金屬部件基本上對所述燃燒室隱藏的位置上;或-連接到用于為所述燃燒室饋電的至少一個引線(61,61’;72,72′)上,或-以充滿吸氣材料的空心絲狀物主體的形式,它完全(111)或部分(100;122)地構成對在所述燈的兩個頭部之間自身延伸的所述燃燒室進行支撐的金屬部件。
2. 根據權利要求l所述的燈(20),其中所述吸氣裝置(22') 由在其末端延伸和敞開的金屬殼體(30)構成,粉末(31)的吸氣材 料存在于該金屬殼體內部。
3. 根據權利要求1所述的燈(20 ),其中所述吸氣裝置(22〃 ) 由包含吸氣材料粉末(41)的金屬殼體(40)構成,和由成型為獲得 基本封閉的截面的薄金屬板構成,在所述薄板的兩個相對邊緣(42, 42')之間具有一個狹縫(43)。
4. 根據權利要求l所述的燈(50),其中所述吸氣裝置(62, 62')為由吸氣材料在金屬線(61, 61')上形成的主體的形式,所述 金屬線是將所述燃燒室中的電極(53, 53')連接到所述燃燒室的支柱(51, 51')的引線(60, 60')的一部分。
5. 根據權利要求l所述的燈(70),其中所述吸氣裝置(80, 80')為僅由吸氣材料形成的空心圓柱體且具有中心孔(81)的形式, 在該中心孔中插入將所述燃燒室中的電極連接到所述燃燒室的支柱(71, 71')的引線(72, 72')。
6. 根據權利要求l所述的燈(90),其中在所述燈的兩個頭部 之間延伸的所述燃燒室支柱由通過吸氣裝置(100)彼此連接的兩個 部件(91, 91')構成,所述裝置除所述末端之外由內部填充有吸氣材 料(102)、對氫氣可滲透的管狀殼體(101)構成,其中所述支撐部 件(91, 91')的終端被插入。
7. 根據權利要l所述的燈(110),其中所述吸氣裝置(111) 在所述燈的兩個頭部之間延伸并且也執(zhí)行用于所述燃燒室的支持功 能,并由對氫氣可滲透并由吸氣材料填充的管狀金屬殼體構成。
8. 根據權利要求1所述的燈(120 ),其中所述吸氣裝置(122 ) 形成所述燃燒室的所述較長支柱的最后部分,并且在一側固定在金屬 部件(121)上,而在另一側固定在所述燃燒室中的一個電極的引線(123)上。
9. 根據權利要求l所述的燈,其中所述燃燒室支柱在其開始部 分上通過共同的金屬線形成,而在其終端部分上通過由管狀金屬殼體 構成的吸氣裝置形成,所述管狀金屬殼體對氫氣可滲透并填滿吸氣材 料。
10. 根據權利要求2或3之一所述的燈,其中所述吸氣裝置(22, 22', 22〃 )的所述殼體(30, 40)由在鎳、鍍鎳鐵、不銹鋼、鋯和鉭 中選擇的一種材料制成。
11. 根據權利要求6所述的燈,其中所述吸氣裝置的殼體(101) 由鋯或鉭制成。
12. 根據權利要求7或8所述的燈,其中所述吸氣裝置的所述殼 體(30, 40, 101)由從鎳、鍍鎳鐵、不銹鋼、鋯和鉭中選擇的一種 材料制成。
13. 根據權利要求l所述的燈,其中所述吸氣裝置包括或由在釔 或以釔為基礎的合金、鋯鋁合金、鋯鈷稀土合金和鋯釔M合金中選 擇的一種吸氣材料制成,其中M是從鋁、鐵、鉻、錳、釩或這些金 屬的混合物中選擇的 一種金屬。
14. 根據權利要求1所述的燈,其中所述燈泡具有大約2cm或更 小的外徑和小于7cm長度。
15. 用于在權利要求2、7或8的燈中使用的吸氣裝置(22'; 111, 122)的生產方法,包括提供比所述吸氣裝置的所需直徑大的直徑 的金屬管,將所述管填充吸氣材料粉末,將填充好的管通過一系列壓 輥直到獲得所述吸氣裝置所需的直徑,并將所產生的管切割成所需長 度的部件。
16. 用于在權利要求4的燈中使用的吸氣裝置(62 )的生產方法, 包括將金屬線(61)布置在吸氣材料的粉末被注入的模具中并然后 壓縮,以通過金屬注模在所述線上形成吸氣材料的主體。
17. 用于在權利要求4的燈中使用的吸氣裝置(62 )的生產方法, 包括將吸氣材料的顆粒的懸浮液沉積到金屬線(61)上,加熱由此 獲得的組合物到第一溫度以使懸浮液的液相蒸發(fā),并然后加熱所產生 的組合物到更高的笫二溫度,以便通過燒結吸氣材料顆粒的沉淀物而 固結,以形成所述吸氣裝置。
18. 用于在權利要求5的燈中使用的吸氣裝置(80 )的生產方法, 包括通過金屬注模形成吸氣材料的固結顆粒的主體。
19. 用于在權利要求6的燈中使用的吸氣裝置(100)的生產方 法,包括提供與所述最后一個吸氣裝置直徑相同的鈮管的部件;通 過在其底部孔口中插入與管本身的內徑相同的直徑的且與在最終裝 置的一末端處未充滿吸氣材料的部件高度相等的支柱而把保持該管 在垂直位置中;通過將吸氣材料粉末注入到由管和其下部支柱構成的 容器中;且通過將吸氣材料粉末經由與管內徑相等的直徑的活塞而壓 縮到這樣形成的容器中。
20. 根據權利要求19所述的方法,其中在壓縮所述吸氣材料粉 末的所述步驟中,所述管被包含到其內徑與所述最后一個吸氣裝置的 外徑相等的外部模具中。
全文摘要
包含吸氣裝置(22)的小型高壓放電燈(20)以不同實施例被描述,其中以這種方式定位吸氣裝置,使得關于由燈燃燒室發(fā)射的光被最小化或完全抑制陰影效應。
文檔編號H01J61/34GK101128903SQ200680005778
公開日2008年2月20日 申請日期2006年2月20日 優(yōu)先權日2005年2月23日
發(fā)明者亞利西奧·克拉扎, 沃尼爾·卓爾, 馬西莫·帕拉迪諾 申請人:工程吸氣公司