專利名稱：多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
自從碳納米管被發(fā)現(xiàn)具有優(yōu)良的場致發(fā)射性能以來，就一直成為了眾多科研人員的研究重點。碳納米管具有類金屬的導(dǎo)電性，低的功函數(shù)，良好的機(jī)械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性，高的縱橫比率，有望在場致電子發(fā)射領(lǐng)域發(fā)揮潛在的應(yīng)用。利用碳納米管作為陰極材料而制作的場致發(fā)射平板顯示器則是一種新型的平面型顯示設(shè)備，具有高清晰度、高亮度以及高分辨率等特點，其應(yīng)用越來越廣泛，已經(jīng)成為了平板顯示領(lǐng)域的熱門話題。
為了降低總體器件成本，以便于和常規(guī)的集成驅(qū)動電路相聯(lián)系在一起，制作三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射顯示器已經(jīng)成為了一種必然的選擇。其中，柵極結(jié)構(gòu)是顯示器件中比較關(guān)鍵的控制元件之一，它直接決定著碳納米管陰極的電子發(fā)射。而柵極結(jié)構(gòu)的控制模式也是多種多樣的，各不相同，其實質(zhì)上都是為了進(jìn)一步增強(qiáng)碳納米管陰極表面頂端的電場強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出更多的電子，進(jìn)一步提高器件的顯示亮度和顯示圖像質(zhì)量。很顯然，柵極結(jié)構(gòu)占據(jù)著十分重要的地位和作用。一方面需要盡可能的縮短柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，以便于降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，另一方面還需要對現(xiàn)有的柵極結(jié)構(gòu)以及柵極控制模式進(jìn)行改進(jìn)，以便于進(jìn)一步迫使碳納米管陰極發(fā)射出更多的電子。那么，在實際器件的制作過程中，究竟采用何種柵極結(jié)構(gòu)控制模式，究竟如何進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，究竟如何迫使碳納米管發(fā)射出更多的電子，這些都是值得考慮的問題。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層、碳納米管以及多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)。
所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成渡越層；渡越層為圓盤面型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；渡越層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層為類似于“器”字型形狀，即中央位置為一個正四邊形形狀，然后在中央正四邊形的四個頂點外再次分別存在一個正四邊形，共計五個正四邊形；陰極導(dǎo)電層中的正四邊形是通過底部的渡越層而相互連通的；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的渡越層以及陰極導(dǎo)電層；隔離層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層的上表面為一個平面，但隔離層與圓型孔交界處存在一個弧形斜坡面，即從隔離層的上表面開始，向斜下方逐漸降低，直至到達(dá)圓型孔的內(nèi)側(cè)壁位置為止，形成一個略向上凸起的弧形形狀；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層呈現(xiàn)圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，依附于圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上；柵極管制層和柵極引線層是相互連通的，其連接點位于圓環(huán)狀柵極管制層背側(cè)中部位置；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、錫、鋁、銅、鉬、鉻、銦、鉛；渡越層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；柵極管制層為金屬金、銀、鉬、鋁、鉻。
一種多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)渡越層的制作在陰極引線層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成渡越層；
5)陰極導(dǎo)電層的制作在渡越層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)隔離層的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；7)柵極引線層的制作在隔離層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；9)柵極管制層的制作在隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；10)多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；13)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；14)絕緣漿料層的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；17)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
所述步驟17具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)中，分別制作了柵極引線層和柵極管制層結(jié)構(gòu)，其中柵極引線層是用于將外界電壓傳導(dǎo)施加到柵極結(jié)構(gòu)上，而柵極管制層則是將柵極電壓在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大電場強(qiáng)度的具體實施者。由于柵極引線層和陰極引線層之間的距離比較遠(yuǎn)，這樣可以極大地減小二者之間的電容效應(yīng)，提高器件的工作頻率。但為了降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，還需要盡可能的減小柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，于是將柵極引線層的前端制作成了弧形斜坡狀結(jié)構(gòu)，并在柵極引線層的頂端制作了柵極管制層。這樣，柵極管制層上的電壓就可以迫使碳納米管陰極發(fā)射出大量的電子。由于柵極管制層的下端可以盡可能的接近于碳納米管陰極表面，就足可以來進(jìn)一步的降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。
其次，在所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制備在了多正四邊形的陰極導(dǎo)電層上面。這樣，可以極大的增加碳納米管陰極的場致電子發(fā)射面積，充分利用了碳納米管陰極中邊緣位置能夠發(fā)射大量電子的特有現(xiàn)象，能夠有效地提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，有利于進(jìn)一步提高整體器件的顯示亮度。與此同時，將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；
此外，在所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)中陰極形狀的俯視示意圖；圖4給出了帶有多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實施例。
所述的一種多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[16]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[12]、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[14]以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[13]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[15]以及消氣劑附屬元件[17]，在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層[5]、碳納米管[10]以及多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)。
所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、陰極引線層[3]、渡越層[4]、陰極導(dǎo)電層[5]、隔離層[6]、柵極引線層[7]、柵極覆蓋層[8]、柵極管制層[9]和碳納米管[10]部分。
所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成渡越層；渡越層為圓盤面型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；渡越層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層為類似于“器”字型形狀，即中央位置為一個正四邊形形狀，然后在中央正四邊形的四個頂點外再次分別存在一個正四邊形，共計五個正四邊形；陰極導(dǎo)電層中的正四邊形是通過底部的渡越層而相互連通的；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的渡越層以及陰極導(dǎo)電層；隔離層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層的上表面為一個平面，但隔離層與圓型孔交界處存在一個弧形斜坡面，即從隔離層的上表面開始，向斜下方逐漸降低，直至到達(dá)圓型孔的內(nèi)側(cè)壁位置為止，形成一個略向上凸起的弧形形狀；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層呈現(xiàn)圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，依附于圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上；柵極管制層和柵極引線層是相互連通的，其連接點位于圓環(huán)狀柵極管制層背側(cè)中部位置；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、錫、鋁、銅、鉬、鉻、銦、鉛；渡越層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；柵極管制層可以為金屬金、銀、鉬、鋁、鉻。
一種帶有多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)渡越層[4]的制作在陰極引線層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成渡越層；5)陰極導(dǎo)電層[5]的制作在渡越層上面制備出一個金屬鈷層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)隔離層[6]的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；7)柵極引線層[7]的制作在隔離層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[8]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；9)柵極管制層[9]的制作在隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極管制層；10)多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)陽極玻璃面板[11]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；13)陽極導(dǎo)電層[12]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；14)絕緣漿料層[13]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑[17]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；17)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)；所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)；所述步驟17具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[16]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[12]、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[14]以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[13]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[15]以及消氣劑[17]附屬元件，其特征在于在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層[5]、碳納米管[10]以及多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成渡越層；渡越層為圓盤面型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；渡越層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層為類似于“器”字型形狀，即中央位置為一個正四邊形形狀，然后在中央正四邊形的四個頂點外再次分別存在一個正四邊形，共計五個正四邊形；陰極導(dǎo)電層中的正四邊形是通過底部的渡越層而相互連通的；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的渡越層以及陰極導(dǎo)電層；隔離層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層的上表面為一個平面，但隔離層與圓型孔交界處存在一個弧形斜坡面，即從隔離層的上表面開始，向斜下方逐漸降低，直至到達(dá)圓型孔的內(nèi)側(cè)壁位置為止，形成一個略向上凸起的弧形形狀；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層呈現(xiàn)圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，依附于圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上；柵極管制層和柵極引線層是相互連通的，其連接點位于圓環(huán)狀柵極管制層背側(cè)中部位置；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、錫、鋁、銅、鉬、鉻、銦、鉛；渡越層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；柵極管制層為金屬金、銀、鉬、鋁、鉻。
4.一種多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)渡越層[4]的制作在陰極引線層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成渡越層；5)陰極導(dǎo)電層[5]的制作在渡越層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)隔離層[6]的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；7)柵極引線層[7]的制作在隔離層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[8]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；9)柵極管制層[9]的制作在隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；10)多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)陽極玻璃面板[11]的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；13)陽極導(dǎo)電層[12]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；14)絕緣漿料層[13]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑[17]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；17)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種帶有多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種帶有多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種帶有多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述步驟17具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層、碳納米管以及多方型陰極柵控結(jié)構(gòu)；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠進(jìn)一步減小柵極－陰極之間的電容，增強(qiáng)柵極的控制效應(yīng)，提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，有利于進(jìn)一步提高整體器件的顯示圖像質(zhì)量，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J1/00GK1975976SQ20061010731
公開日2007年6月6日 申請日期2006年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月17日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院