專利名稱：用于掃描電子顯微鏡的樣品支架的制作方法
用于掃描電子顯微鏡的樣品支架狄領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種用于掃描電子顯微鏡的樣品支架。 背禁駄現(xiàn)有的掃描電子顯微鏡(S-4700和S-4800)的樣品支架，如

圖1 所示，它包括樣品臺1、螺桿2和底座3,在樣品臺1上放置有樣品 5，該樣品支架在調(diào)整高度時很容易將螺桿2旋出底座3，如圖2所 示，放進掃描電子顯微鏡室時可能不易發(fā)現(xiàn)，但是當從掃描電子顯微 鏡室中取出的時候會卡在平臺4上。并且當樣品支架的高度調(diào)節(jié)范圍 比較大時，現(xiàn)有的支架需要更換不同長度的螺桿，頻繁的更換容易造 成底座螺孔與螺桿之間劃牙，給掃描電子顯微鏡的安全操作帶來隱 患，嚴重的會使樣品支架上的部件掉入掃描電子顯微鏡室。這些情況 都需要掃描電子顯微鏡室破真空才能將樣品支架取出，造成掃描電子 顯微鏡機臺的死機，對掃描電子顯微鏡機臺的性能和使用壽命都有很 大的影響。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種用于掃描電子顯微鏡的 樣品支架，它可以防止樣品支架的螺桿旋出底座卡在平臺上。為了解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種用于掃描電子顯微鏡 的樣品支架，它包括樣品臺和中間具有螺紋孔的底座，其中，它還包
括一個螺桿機構(gòu)，所述螺桿機構(gòu)的下部具有用于調(diào)節(jié)高度的螺桿，所 述螺桿與所述底座的蟪紋孔相連，所述螺桿機構(gòu)的下部可旋入底座部 分不超過底座厚度，所述嫘桿機構(gòu)的上都與樣品臺相連。所述螺桿機構(gòu)包括兩個部分，螺桿機構(gòu)下部一端帶有所述螺桿， 上部為可更換模塊，該可更換模塊分別與螺桿機構(gòu)下部和樣品臺通過 可快速拆卸機構(gòu)連接。所述的可快速拆卸機構(gòu)為螺紋螺桿機構(gòu)。 所述每個可更換模塊的高度根據(jù)需要進行設(shè)定。因為本發(fā)明將現(xiàn)有單個蠊桿更換為嫘桿機構(gòu)，在螺桿機構(gòu)的下部 具有用于調(diào)節(jié)高度的螺桿，并且對螺桿可旋入底座部分進行了限制， 所以避免了螺桿旋出底座。另外在螺桿機構(gòu)的上部采用可更換模塊， 該模塊的高度根據(jù)需要進行設(shè)定，那么就帶來了如下的好處，首先無 需頻繁更換螺桿，只需要更換可更換模塊，就可以滿足樣品不同高度 的需求，其次，這樣就提高了底座螺紋孔與螺桿的使用壽命，提高了 調(diào)節(jié)精度。附圉說明下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明做進一步闡述。圖1是5見有樣品支架結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有樣品支架使用狀態(tài)示意圖；圖3是本發(fā)明樣品支架結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明樣品支架使用狀態(tài)示意圖；圖5是本發(fā)明樣品支架的螺桿機構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖6是圖5螺桿機構(gòu)中的可更換模塊結(jié)構(gòu)示意圖； 圖7是圖5螺桿機構(gòu)的下部結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，它是本發(fā)明樣品支架結(jié)構(gòu)示意圖。它包括樣品臺1、 螺桿機構(gòu)20和中間帶有螺紋孔的底座3，在樣品臺1上放置有樣品5， 另外螺桿機構(gòu)20的螺桿27旋入到底座3中。本發(fā)明的螺桿機構(gòu)20的具體結(jié)構(gòu)，可以采用如圖5-7所示。如 圖5所示，螺桿機構(gòu)20由可更換模塊21和下部22組成。如圖6所 示，可更換模塊21由嫘桿部分23、本體24和蟪紋孔25組成。如圖 7所示，下部22由蠊桿27、擋塊28和聯(lián)接蟪桿26。其中聯(lián)接螺桿 25和螺紋孔25就是實現(xiàn)可更換模塊21和下部22連接的蠊紋螺桿機 構(gòu)。當然可以根據(jù)需要采用其它形式的螺紋蟪桿機構(gòu)，比如可更換模 塊21的下端采用螺桿，而下部22的對應(yīng)位置采用螺紋孔，或者采用 其它的形式。當然可更換模塊21和樣品臺1的連接也可以采用螺紋嫘桿機構(gòu)， 即可以利用可更換模塊21的螺桿部分23和樣品臺1底部的螺紋孔實 現(xiàn)。同樣道理，它也可以采用其它形式的螺紋螺桿機構(gòu)。另外，可更換模塊21的本體24可以根據(jù)需要設(shè)定不同的高度， 便于滿足不同樣品的需要。下部22的螺桿27的長度要小于底座3的 厚度，并且擋塊28的寬度大于底座3的螺紋孔的直徑，這樣可以保 證下部22可旋入部分不會超出底座。如圖4所示，它是螺桿27完全 旋入到底座3的狀態(tài)圖，此時螺桿27仍然在底座3內(nèi)，所以不會旋
入到平臺4內(nèi)，這樣也就不會卡在平臺4上了。在每次使用的時候，只需要根據(jù)需要更換不同的可更換模塊21 即可，而不需要更換下部22，這樣就減少了嫁桿27和底座3的蟪紋孔之間的損耗。
權(quán)利要求
1、一種用于掃描電子顯微鏡的樣品支架，它包括樣品臺和中間具有螺紋孔的底座，其特征在于，它還包括一個螺桿機構(gòu)，所述螺桿機構(gòu)的下部具有用于調(diào)節(jié)高度的螺桿，所述螺桿與所述底座的螺紋孔相連，所述螺桿機構(gòu)的下部可旋入底座部分不超過底座厚度，所述螺桿機構(gòu)的上部與樣品臺相連。
2、 如權(quán)利要求1所述用于掃描電子顯微鏡的樣品支架，其特征 在于，所述嫘桿機構(gòu)包括兩個部分，螺桿機構(gòu)下部一端帶有所述螺桿， 上部為可更換模塊，該可更換模塊分別與螺桿機構(gòu)下部和樣品臺通過 可快速拆卸機構(gòu)連接。
3、 如權(quán)利要求2所述用于掃描電子顯微鏡的樣品支架，其特征在于，所述的可快速拆卸機構(gòu)為螺紋螺桿機構(gòu)。
4、 如權(quán)利要求2所述用于掃描電子顯微鏡的樣品支架，其特征在于，所述嫘紋螺桿機構(gòu)是指在可更換模塊的上下端分別具有嫘紋孔 和螺桿，在與之相連的螺桿機構(gòu)下部和樣品臺分別具有與之配合的蟪 桿和螺紋孔。
5、 如權(quán)利要求2所述用于掃描電子顯微鏡的樣品支架，其特征 在于，所述嫘紋螺桿機構(gòu)是指在可更換模塊的上下端分別具有螺桿和 螺紋孔，在與之相連的螺桿機構(gòu)下部和樣品臺分別具有與之配合的螺 紋孔和螺桿。
6、 如權(quán)利要求2所述用于掃描電子顯微鏡的樣品支架，其特征 在于，所述螺紋螺桿機構(gòu)是指在可更換模塊的上下端均具有螺桿，在與之相連的螺桿機構(gòu)下部和樣品臺分別具有與所述螺桿配合的螺紋 孔。
7、 如權(quán)利要求2所述用子掃描電子顯微鏡的樣品支架，其特征 在于，所述螺紋螺桿機構(gòu)是指在可更換模塊的上下端均具有螺紋孔， 在與之相連的嫘桿機構(gòu)下部和樣品臺分別具有與所述螺紋孔配合的
8、 如權(quán)利要求2、 4、 5、 6或7任一項中所述用于掃描電子顯 微鏡的樣品支架，其特征在于，所述每個可更換模塊的高度根據(jù)需要 進行設(shè)定。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于掃描電子顯微鏡的樣品支架，它可以防止樣品支架的螺桿旋出底座卡在平臺上。它包括樣品臺和中間具有螺紋孔的底座，其中，它還包括一個螺桿機構(gòu)，所述螺桿機構(gòu)的下部具有用于調(diào)節(jié)高度的螺桿，所述螺桿與所述底座的螺紋孔相連，所述螺桿機構(gòu)的下部可旋入底座部分不超過底座厚度，所述螺桿機構(gòu)的上部與樣品臺相連。所述螺桿機構(gòu)包括兩個部分，螺桿機構(gòu)下部一端帶有所述螺桿，上部為可更換模塊，該可更換模塊分別與螺桿機構(gòu)下部和樣品臺通過可快速拆卸機構(gòu)連接。所述的可快速拆卸機構(gòu)為螺紋螺桿機構(gòu)。所述每個可更換模塊的高度根據(jù)需要進行設(shè)定。
文檔編號H01J37/20GK101127293SQ20061003009
公開日2008年2月20日 申請日期2006年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月15日
發(fā)明者王俊杰, 鳴 章, 蘇鳳蓮, 葛挺鋒 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司