專利名稱：帶有島柵結構的平板場致發(fā)射顯示器的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于真空科學與技術、平面顯示技術、微電子技術以及納米科學與技術的相互交叉技術領域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，尤其涉及一種帶有島柵結構的平板場致發(fā)射顯示器。
背景技術：
碳納米管具有小的尖端曲率半徑，極高的機械強度，是一種較為理想的冷陰極材料。在平板顯示器件的制作過程中，需要盡可能的降低總體生產(chǎn)成本，降低整體器件的工作電壓，以便于能夠和常規(guī)的集成電路相結合，這也是器件制作人員需要重點考慮的研究課題之一。在平板碳納米管場致發(fā)射顯示器件當中，柵極結構是器件制作過程中不可缺少的元件之一，其制作質量的優(yōu)劣與否直接影響到整體顯示器件的質量，其控制特性也是衡量平板顯示器件的重要性能指標之一。
在目前的碳納米管陰極平板顯示器件制作當中，一方面，大多數(shù)都使用了專用的絕緣材料來制作柵極結構，這其中不僅包含有相當復雜的器件制作工藝，而且還涵蓋有新技術的開發(fā)利用，造成總體器件的制作成本很高；對于碳納米管平板顯示器件來說，實現(xiàn)工藝簡單、穩(wěn)定可靠、成本低廉的器件制作，這是平板器件的基本要求，也是實際產(chǎn)品應用的前提條件。另一方面，在平板顯示器件當中所制作的柵極結構均為一個閉合結構，因此在進一步降低工作電壓方面，研究人員只能從進一步減少柵極和陰極之間的距離等方面著手，造成既提高了總體器件的制作成本，但是在進一步降低器件的工作電壓方面的效果又不是很明顯。
此外，在確保柵極結構對碳鈉米管陰極具有良好控制作用的前提下，需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉的器件制作。

發(fā)明內容
本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術中存在的不足而提供一種成本低廉、帶有島柵結構、制作成功率高、制作過程穩(wěn)定可靠、結構簡單的帶有島柵結構的平板場致發(fā)射顯示器。
本實用新型的目的是這樣來實現(xiàn)的帶有島柵結構的平板場致發(fā)射顯示器包括由陰極面板、陽極面板和四周玻璃圍框構成的密封真空腔、在陰極面板上有印刷的碳納米管陰極、在陽極面板上有光刻的錫銦氧化物薄膜層以及制備在錫銦氧化物薄膜層上面的熒光粉層、位于真空腔內部起支撐作用的絕緣隔離支撐墻，在碳納米管陰極上方設置有控制碳納米管陰極的電子發(fā)射的島柵結構。所述的島柵結構包括以玻璃為襯底材料的陰極面板、設置在陰極面板上的陰極導電條，在陰極導電條的兩側設置有絕緣隔離層，設置在絕緣隔離層的第一柵極導電條和第二柵極導電條，在第一柵極導電條和第二柵極導電條上設置有絕緣覆蓋層。所述的島柵結構固定方式為單獨固定和安裝固定在陰極面板上之一，島柵結構的陰極面板的襯底材料為鈉鈣玻璃，硼硅玻璃之一。所述的島柵結構中柵極和陰極之間的絕緣材料可以為絕緣漿料層、薄玻璃、云母板、陶瓷片材料之一，絕緣漿料層是結合絲網(wǎng)印刷工藝和高溫燒結工藝完成的。所述的島柵結構中的電極是采用導電條來制作的，導電條可以是錫銦氧化物導電膜、銀漿、蒸鍍銅、蒸鍍鋁、蒸鍍鎳、蒸鍍金、蒸鍍銀之一，導電條分為兩部分，即第一柵極部分和第二柵極部分，第一柵極和第二柵極位于同一個平面，但是第一柵極和第二柵極部分是互不相連的，島柵結構中存在有用于電子穿越的電子通道孔，島柵結構中的柵極(包括第一柵極和第二柵極在內)的表面存在一個絕緣覆蓋層，島柵結構上在不影響器件顯示分辨率的前提下可以安裝固定絕緣隔離支撐墻元件。
本實用新型具有如下積極效果本實用新型中的島柵結構中的控制柵極(包括第一柵極和第二柵極)位于碳納米管陰極的上方，用于控制碳納米管陰極的電子發(fā)射。當在控制柵極上施加適當電壓的情況下，碳納米管陰極就會發(fā)射出大量的電子。從器件顯示方面有了更大的選擇余地，在島柵結構的制作過程中，并沒有采用特殊的結構制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了整體顯示器件的制作過程，能夠進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大生產(chǎn)。


圖1給出了島柵結構的縱向結構示意圖。
圖2給出了島柵結構的橫向結構示意圖。
圖3給出了一個帶有島柵結構的場致發(fā)射平面顯示器的實施例的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型進行進一步說明，但本實用新型并不局限于這些實施例。
如圖1、2、3所示，本實用新型帶有島柵結構的平面場致發(fā)射顯示器，包括由陰極面板1、陽極面板8和四周玻璃圍框13構成的密封真空腔、在陰極面板1上有印刷的碳納米管陰極7、在陽極面板8上有光刻的錫銦氧化物薄膜層9以及制備在錫銦氧化物薄膜層上面的熒光粉層11、位于真空腔內部起支撐作用的絕緣隔離支撐墻12，在碳納米管陰極上方設置有控制碳納米管陰極的電子發(fā)射的島柵結構。所述的島柵結構包括以玻璃為襯底材料的陰極面板1、設置在陰極面板1上的陰極導電條2，在陰極導電條2的兩側設置有絕緣隔離層3，設置在絕緣隔離層3的第一柵極導電條4和第二柵極導電條5，在第一柵極導電條4和第二柵極導電條5上設置有絕緣覆蓋層6。所述的島柵結構固定方式為單獨固定和安裝固定在陰極面板上之一，島柵結構的陰極面板1的襯底材料為鈉鈣玻璃，硼硅玻璃之一。所述的島柵結構中柵極和陰極之間的絕緣材料可以為絕緣漿料層、薄玻璃、云母板、陶瓷片材料之一，絕緣漿料層是結合絲網(wǎng)印刷工藝和高溫燒結工藝完成的。所述的島柵結構中的電極是采用導電條來制作的，導電條可以是錫銦氧化物導電膜、銀漿、蒸鍍銅、蒸鍍鋁、蒸鍍鎳、蒸鍍金、蒸鍍銀之一，導電條分為兩部分，即第一柵極部分和第二柵極部分，第一柵極和第二柵極位于同一個平面，但是第一柵極和第二柵極部分是互不相連的，島柵結構中存在有用于電子穿越的電子通道孔，島柵結構中的柵極(包括第一柵極和第二柵極在內)的表面存在一個絕緣覆蓋層，島柵結構上在不影響器件顯示分辨率的前提下可以安裝固定絕緣隔離支撐墻元件。
權利要求1.一種帶有島柵結構的平面場致發(fā)射顯示器，包括由陰極面板(1)、陽極面板(8)和四周玻璃圍框(13)構成的密封真空腔、在陰極面板(1)上有印刷的碳納米管陰極(7)、在陽極面板(8)上有光刻的錫銦氧化物薄膜層(9)以及制備在錫銦氧化物薄膜層上面的熒光粉層(11)、位于真空腔內部起支撐作用的絕緣隔離支撐墻(12)，其特征在于在碳納米管陰極上方設置有控制碳納米管陰極的電子發(fā)射的島柵結構。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種帶有島柵結構的平面場致發(fā)射顯示器，其特征在于所述的島柵結構包括以玻璃為襯底材料的陰極面板(1)、設置在陰極面板(1)上的陰極導電條(2)，在陰極導電條(2)的兩側設置有絕緣隔離層(3)，設置在絕緣隔離層(3)上的第一柵極導電條(4)和第二柵極導電條(5)，在第一柵極導電條(4)和第二柵極導電條(5)上設置有絕緣覆蓋層(6)。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種帶有島柵結構的平面場致發(fā)射顯示器，其特征在于所述的島柵結構固定方式為單獨固定和安裝固定在陰極面板上之一，島柵結構的陰極面板(1)的襯底材料為鈉鈣玻璃，硼硅玻璃之一。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種帶有島柵結構的平面場致發(fā)射顯示器，其特征在于所述的島柵結構中柵極和陰極之間的絕緣材料可以為絕緣漿料層、薄玻璃、云母板、陶瓷片材料之一，絕緣漿料層是結合絲網(wǎng)印刷工藝和高溫燒結工藝完成的。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種帶有島柵結構的平面場致發(fā)射顯示器，其特征在于所述的島柵結構中的電極是采用導電條來制作的，導電條可以是錫銦氧化物導電膜、銀漿、蒸鍍銅、蒸鍍鋁、蒸鍍鎳、蒸鍍金、蒸鍍銀之一，導電條分為兩部分，即第一柵極部分和第二柵極部分，第一柵極和第二柵極位于同一個平面，但是第一柵極和第二柵極部分是互不相連的，島柵結構中存在有用于電子穿越的電子通道孔，島柵結構中的柵極，包括第一柵極和第二柵極在內的表面存在一個絕緣覆蓋層，島柵結構上在不影響器件顯示分辨率的前提下可以安裝固定絕緣隔離支撐墻元件。
專利摘要本實用新型涉及一種帶有島柵結構的平板場致發(fā)射顯示器，包括由陰極面板、陽極面板和四周玻璃圍框構成的密封真空腔、陰極面板上有碳納米管陰極、在陽極面板上有錫銦氧化物薄膜層及制備在錫銦氧化物薄膜層上的熒光粉層、位于真空腔內的絕緣隔離支撐墻，在碳納米管陰極上方設置有控制碳納米管陰極的電子發(fā)射的島柵結構，具有成本低廉、帶有島柵結構、制作成功率高、制作過程穩(wěn)定可靠、結構簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J1/46GK2842720SQ20052003074
公開日2006年11月29日 申請日期2005年5月24日 優(yōu)先權日2005年5月24日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學院