專利名稱：陰極射線管用玻璃面板、其檢測方法以及檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及陰極射線管用玻璃面板、其檢測方法以及檢測裝置，特別涉及檢測出存在于陰極射線管用玻璃面板的螢屏部分的內(nèi)部缺陷的技術(shù)。
背景技術(shù)：
一般的，作為電視機接收器等的構(gòu)成要素的陰極射線管，已公知的有所謂的直視型陰極射線管和投影型陰極射線管。這樣的陰極射線管具備面板和漏斗形物，所述面板具有能映射出圖像的大致成矩形的螢屏部分，所述漏斗形物具有由矩形的大開口部開始至大致成圓形的小開口的大致成漏斗狀的側(cè)壁部。在該漏斗形物的小開口部連接有插入電子槍的頸狀部來構(gòu)成。而且面板和漏斗形物是使用由雌型和雄型構(gòu)成的模具將溶化的玻璃按壓成型來制造的。
上述直視型陰極射線管是針對在面板的內(nèi)表面形成的熒光膜上，例如通過排列各種顏色的光來映射出圖像的構(gòu)成，上述投影型陰極射線管是向在面板的內(nèi)表面形成的發(fā)出特定光的熒光膜上照射電子線，以在該熒光膜上存在的焦點位置的投影用透鏡系統(tǒng)作為媒介通過在屏幕上放大投影映射出圖像而構(gòu)成。
對構(gòu)成有這樣的陰極射線管的面板，以單體狀態(tài)，或者成為以和漏斗形物封閉著的玻璃真空管的狀態(tài)，檢測其螢屏部分是否存在由于氣泡和異物(固體)的混入等而產(chǎn)生的內(nèi)部缺陷。這樣的內(nèi)部缺陷主要是從溶化玻璃原料的工序到上述的按壓成型工序中生成的，面板單體的檢測是關(guān)于面板的制造的各處理完成后進行的，玻璃真空管的檢測是面板和漏斗形物實行封閉并安裝其它的各個部品等，然后再去檢測的普遍做法。
這種面板的檢測，以往是通過作業(yè)員的目測，或者是通過使用CCD照相機等光學(xué)的照相機去完成的。因而，在該檢測中，在檢測出不適當(dāng)?shù)拇蟮娜毕莼虿贿m當(dāng)?shù)亩鄠€的缺陷的情況下，由于在映射出的圖像上引起顯著的不良影響，這樣的面板和玻璃真空管被作為廢棄物處理。
進一步說，在近年來，如專利公開公報平成06-018486號以及平成05-273180號所公開的那樣，進行利用超聲波來檢測被檢測物(例如面板)是否有缺陷。
在這種情況下，面板內(nèi)部缺陷的檢測是根據(jù)如以往那樣通過目測或光學(xué)照相機去進行檢測的方法，因不過是在和螢屏部分的內(nèi)外表面平行的面內(nèi)能得知二維空間的內(nèi)部缺陷的存在狀況，所以會招致如以下所示那樣的問題。
即這樣的檢測方法是因不能得知在螢屏部分的厚度方向(和管軸平行的方向)上內(nèi)部缺陷的存在狀況，例如內(nèi)部缺陷是在螢屏部分的外表面?zhèn)确浅＜械拇嬖?，還是相反在內(nèi)表面?zhèn)确浅＜械拇嬖谟袃?nèi)部缺陷，該差異不能準(zhǔn)確地把握。
詳細(xì)敘述，在如圖7(a)所示那樣的面板1’的螢屏部分2’中，在厚度方向的全范圍存在有內(nèi)部缺陷S’的狀態(tài)；只在如圖7(b)所示那樣的螢屏部分2’的外表面2a’周圍存在有內(nèi)部缺陷S’的狀態(tài)；只在如圖7(c)所示那樣的螢屏部分2’的內(nèi)表面2b’周圍存在有內(nèi)部缺陷S’的狀態(tài)，都不可能明確進行區(qū)分并把握。
為此，盡管假設(shè)在螢屏部分的厚度方向上判明了內(nèi)部缺陷的集中存在的位置的話，能很容易地確定生成那樣的缺陷的原因，例如玻璃溶融條件的錯誤、玻璃溶化爐的缺陷以及玻璃成分的認(rèn)識誤差等，卻沒有這種可能性。
因此，對應(yīng)玻璃溶化條件的錯誤、玻璃溶化爐的缺陷，再就是玻璃成分等沒有講任何對策，這樣以放置的狀態(tài)通過試運行的錯誤等必須防止內(nèi)部缺陷的發(fā)生，不但在缺陷對策上加大了麻煩而且復(fù)雜的作業(yè)，還會在問題的解決上招致產(chǎn)生延遲。
特別是在投影型陰極射線管使用的面板，在螢屏部分的內(nèi)表面(熒光膜)上，因存在有投影用的透鏡系統(tǒng)的焦點，如果在該內(nèi)表面的周圍存在有內(nèi)部缺陷，則該缺陷被放大并且例如作為黑色的不同形態(tài)在圖像上映射出來。對此，也存在有螢屏部分的厚度方向的中央部和在外表面周圍的內(nèi)部缺陷，該內(nèi)部缺陷通過由于遠(yuǎn)離透鏡系統(tǒng)的焦點而產(chǎn)生的透鏡效果，在廣域上成為模糊不清的狀態(tài)，有不能認(rèn)同內(nèi)部缺陷的存在的傾向。
因此，在螢屏厚度方向的中央部分附近和外表面，也就是除去內(nèi)表面周圍的部位，在存在有缺陷的場合，盡管能夠使用該面板，如上述那樣檢測平面上的缺陷的存在狀況的方法中，該面板也被判定為次品，從而招致面板或者玻璃面板被作為廢棄物處理的誤操作。
這樣的誤判斷和誤操作成為在面板或者玻璃面板的制造過程中產(chǎn)生浪費的原因，并且也是使制造成本白白上升的原因，對期望提高制造作業(yè)的平滑化和工期的縮短造成很大的妨礙。
還有，伴隨在近年來掃描線的倍增和高精細(xì)化，因在面板的螢屏部分的內(nèi)表面周圍生成有內(nèi)部缺陷，其對畫像有顯著的惡劣影響，所以說如何恰當(dāng)?shù)貦z測出該內(nèi)部缺陷這一事項成為重要的問題。
于是，根據(jù)上述專利公開公報平成06-018486號以及平成05-273180號所公開的裝置，還停留在通過超聲波能檢測出是否有缺陷的階段，實際上和上述場合相同，只不過能把握在平面上缺陷的存在狀況，由于誤判斷和誤操作而產(chǎn)生的既述的問題依然殘存。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的不僅是在和面板的螢屏部分的內(nèi)外表面平行的面上的缺陷的存在狀況，而且對于該螢屏部分的厚度方向內(nèi)部缺陷的存在狀況也能正確并容易地檢測，避免了由于不能得知三維的內(nèi)部缺陷的存在而產(chǎn)生的缺陷對策工作的繁雜化和真空管的不恰當(dāng)廢棄。
有關(guān)為了達到上述的目的的本發(fā)明的方法，其特征在于，具備有大致成矩形的螢屏部分和大致垂直連接該螢屏部分周邊的邊緣部分的陰極射線管的構(gòu)成要素的檢測玻璃面板的方法中，可以使用超聲波檢測出上述螢屏部分的內(nèi)部缺陷大小以及深度。
在此“內(nèi)部缺陷的深度”是指在螢屏部分的厚度方向上到由內(nèi)表面或外表面開始的厚度到內(nèi)部的深度。另外，玻璃面板的檢測也可以是以玻璃面板單體的狀態(tài)去進行，或者是以和玻璃面板、玻璃漏斗封閉著的玻璃真空管的狀態(tài)去進行。
如果是這樣的構(gòu)成，基于超聲波的反射波的特性或者是反射波的強度特性，不僅是在和螢屏部分的內(nèi)外表面大致平行的面內(nèi)的缺陷的存在狀況和該缺陷的大小，在螢屏部分的厚度方向上的內(nèi)部缺陷的存在位置也即深度也能夠得知。據(jù)此，能正確把握在三維空間的內(nèi)部缺陷的存在狀況，回避如現(xiàn)有那樣保留在二次空間能把握內(nèi)部缺陷的存在的場合那樣的缺陷對策工作的繁雜化和作業(yè)時間的長期化的同時，也有效地回避了內(nèi)部缺陷位置的誤判斷和廢棄處理的誤操作。
該場合、從上述螢屏部分的外表面以及內(nèi)表面的任何一方的表面?zhèn)乳_始向其它的表面?zhèn)劝l(fā)射超聲波，并且通過接收由上述其它的表面?zhèn)确瓷浠貋淼姆瓷洳?，可以檢測出上述內(nèi)部缺陷的大小以及該內(nèi)部缺陷距上述其它的表面開始的距離。
如果這樣，在由一方的表面?zhèn)乳_始的到螢屏部分的入侵部中的超聲波的反射波，是因噪聲的發(fā)生變大，在該一方的表面的周圍，對于不能精細(xì)地檢測出內(nèi)部缺陷，由其它的表面?zhèn)确瓷涞某暡ǖ姆瓷洳ㄒ蛐纬稍肼曒^少的鮮明的波形，因此在其它的表面?zhèn)鹊闹車?，能精?xì)地檢測出內(nèi)部缺陷。因此，如果有效地利用該反射波，在上述其它的表面?zhèn)鹊闹車膬?nèi)部缺陷的大小和內(nèi)部缺陷距其它的表面的距離正確地進行檢測成為可能。詳細(xì)地說，超聲波的振動源(含受振部，以下相同)在螢屏部分的一方的表面開始被隔離的場合，由于超聲波的衰減而不能很好地檢測出內(nèi)部缺陷，因此有必要使超聲波的振動源接近上述一方的表面。但是，在如這樣接近配置的場合，因在上述一方的表面和振動源之間往復(fù)傳播超聲波，在噪聲變大的同時，伴隨著不能檢測出內(nèi)部缺陷的范圍變大。所以，在發(fā)生噪聲少的上述反射波一側(cè)能檢測出內(nèi)部缺陷的范圍變大的場合中，發(fā)生該反射波一側(cè)的表面和由相反對應(yīng)一側(cè)的表面開始侵入超聲波是至關(guān)重要的。
還有，根據(jù)場合，由上述螢屏部分的外表面?zhèn)乳_始向內(nèi)表面?zhèn)劝l(fā)射超聲波，并且根據(jù)接收上述內(nèi)表面?zhèn)纫约耙詢?nèi)部缺陷反射的反射波，就可以檢測出上述內(nèi)部缺陷的大小和該內(nèi)部缺陷距上述內(nèi)表面開始的距離。
如果是這樣，由如上述那樣的超聲波的反射波的特性能認(rèn)識到，存在于螢屏部分的內(nèi)表面周圍的內(nèi)部缺陷是為了通過鮮明的反射波精細(xì)地進行檢測，特別是在螢屏部分的內(nèi)表面周圍的內(nèi)部缺陷變得重要的投影型陰極射線管的面板中，方便去進行內(nèi)部缺陷的檢測。該場合，以在螢屏部分的內(nèi)表面開始在5mm以內(nèi)的范圍，在檢測出的直徑或最大長度是0.15mm以上的內(nèi)部缺陷的場合，將其判斷為次品作為廢棄的對象。一方面，在這以外的范圍，例如在直徑或最大長度是0.5mm左右，或者檢測出這以下的內(nèi)部缺陷的場合，特舉一個判斷優(yōu)良品的事例。
上述構(gòu)成的檢測方法要成為具有可靠性的，就要在發(fā)射以及接收上述超聲波的時候最好以該超聲波的螢屏部分外部方向的傳播是以非壓縮性流體作為媒介。
于是，臨時性的超聲波從振動源開始到入侵螢屏部分內(nèi)的過程中，如果超聲波是以壓縮性流體作為媒介進行傳播的話，超聲波的振動能量為壓縮性流體變形所利用造成衰減。但是，根據(jù)本發(fā)明，在螢屏部分的外部方向上，因超聲波是以非壓縮性流體作為媒介進行傳播的，所以振動能量的顯著降低和伴隨其超聲波的衰減變的難以生成。
在該場合，上述非壓縮性流體是覆蓋上述超聲波的發(fā)射以及接收的波程，且決定比螢屏部分的內(nèi)外表面的流路面積小的柱體的流通流體。
如這樣的話，在和超聲波的發(fā)射以及接收的波程相關(guān)連，柱狀流通流體的流路面積不變大是不恰當(dāng)?shù)模簧闪魍黧w的無益，超聲波變得能以非壓縮性流體中進行傳播。于是在該場合，超聲波的發(fā)射以及接收的波程和在多個場所生成柱狀流通流體變成必要的。
另外，上述非壓縮性流體中，也可以浸漬進行上述超聲波的發(fā)射以及接收的超聲波探傷儀以及玻璃面板。
如這樣的話，產(chǎn)生作為非壓縮性流體的上述那樣在多個場所生成柱狀流通流體的問題，就是說若干個流通流體相互進行干涉且避免卷入氣泡等問題上，檢測面積是對應(yīng)大的玻璃面板，設(shè)置多個超聲波探傷儀成為可能，所以，有可能秘密的生成多個超聲波的發(fā)射以及接收的波程。即在該場合，玻璃面板以及超聲波探傷儀浸漬在非壓縮性流體中的時候，引起其具有高速的入侵速度和攪拌非壓縮性流體等，有可能卷入氣泡，因此，希望在檢測時間的縮短和裝置的小型化上能自然地生成制約。
在上述的構(gòu)成中，執(zhí)行超聲波的發(fā)射以及接收的超聲波探傷儀最好是如對應(yīng)玻璃面板進行相對移動那樣構(gòu)成。
這樣，如超聲波探傷儀是對應(yīng)玻璃面板進行相對移動那樣構(gòu)成的話，有關(guān)以只配置必要的最小限度的個數(shù)的超聲波探傷儀在螢屏部分的全范圍能執(zhí)行內(nèi)部缺陷的檢測。在該場合，超聲波探傷儀的振動面最好是在和相對移動的方向垂直相交的方向上成多個配置，進一步說，該多個配置的振動面的群體最好是在相對移動的多個場所成千鳥狀那樣配置各個群體。于是，在該場合中，在和面板的螢屏部分的關(guān)連中，如不生成對應(yīng)相對移動方向的振動面的選取(不通過相對移動的振動面的范圍)那樣，各個振動面有規(guī)則地進行配置成為必要的。
具備上述構(gòu)成的玻璃面板適合使用的是使用于投影型陰極射線管的玻璃面板。
如這樣的話，關(guān)于玻璃面板的螢屏部分的厚度方向，由能把握內(nèi)部缺陷的大小以及位置開始，特別是在內(nèi)表面周圍的內(nèi)部缺陷的存在成為重要的這種投影型陰極射線管中，正確認(rèn)識該內(nèi)表面周圍的內(nèi)部缺陷的存在狀況，執(zhí)行好壞的判斷以及廢棄處理的妥善性的判斷，在近年的這種陰極射線管方面高精度化等請求進行適當(dāng)?shù)奶幚沓蔀榭赡堋?br> 一方面，有關(guān)為了達到上述目的的本發(fā)明的裝置，其特征在于在具備有大致成矩形的螢屏部分和大致垂直連接該螢屏部分周邊的邊緣部分的陰極射線管的構(gòu)成要素的檢測玻璃面板的裝置中，具有可以使用超聲波檢測出上述螢屏部分的內(nèi)部缺陷大小以及深度的超聲波探傷儀。
通過具備這樣的構(gòu)成的檢測裝置，如已敘述的那樣，通過超聲波探傷儀根據(jù)發(fā)射以及接收的超聲波的作用，不僅在螢屏部分的內(nèi)外表面大致平行的面內(nèi)，也在關(guān)于厚度方向上能檢測出內(nèi)部缺陷大小以及深度，能享受和已敘述的場合相同的益處。
該裝置是在由上述超聲波探傷儀的超聲波探傷子發(fā)射以及接收超聲波的時候，能由該超聲波探傷子開始在螢屏部分的外表面或內(nèi)表面如流下非壓縮性流體那樣進行構(gòu)筑。在此“非壓縮性流體的流下”最好是通過其自身的重量自然落下。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，超聲波是通過非壓縮性流體作為媒介進行傳播添加能享受的已述的益處，在如非壓縮性流體自然落下那樣進行的場合，例如通過泵強制流下的場合那樣不生成流量的變動，因此，適當(dāng)?shù)胤乐挂蛄髁康淖儎右鸬脑肼暤陌l(fā)生成為可能。
還有，該裝置也能如上述超聲波探傷儀的超聲波探傷子以及被檢測的玻璃面板浸漬在非壓縮性流體中那樣構(gòu)成。
這樣的話，由于超聲波探傷子和玻璃面板是存在于非壓縮性流體中，所以在超聲波的發(fā)射以及接收的波程插入空氣等氣體的可能性已經(jīng)沒有了。據(jù)此，會生成作為非壓縮性流體如上述那樣流下柱狀的流通流體以及為了大的玻璃面板的檢測面積從多個場所流下柱狀的流通流體的問題，總之避免了多個流通流體的相互干涉以及卷入氣泡等問題。再說，因超聲波探傷子和玻璃面板通常是暴露在大氣(空氣)的環(huán)境中，在去浸入在非壓縮性流體的過程中，招致所說的伴有空氣的事態(tài)。然后，引起這樣高速的浸入速度和攪拌非壓縮性流體等事情，有可能卷入氣泡，因此希望在檢測時間的縮短和裝置的小型化上能自然地生成制約。
還有，關(guān)于為了能達成上述目的的本發(fā)明中陰極射線管用玻璃面板，其特征在于，在具備有大致成矩形的螢屏部分和大致垂直連接該螢屏部分周邊的邊緣部分來構(gòu)成中，由上述螢屏部分的內(nèi)表面開始在5mm以內(nèi)的范圍內(nèi)，不存在直徑或最大長度是0.15mm以上的缺陷。
即例如在投影型陰極射線管上使用的玻璃面板，在螢屏部分的內(nèi)表面(熒光膜)上，因存在有投影用的透鏡系統(tǒng)的焦點，所以由螢屏部分的內(nèi)表面開始在5mm以內(nèi)的范圍內(nèi)存在內(nèi)部缺陷，擴大該缺陷，例如能映射出作為黑色的不同形態(tài)的圖像。為此，由螢屏部分的內(nèi)表面開始在5mm以內(nèi)(最好在3mm以內(nèi))的范圍內(nèi)存在的內(nèi)部缺陷，最好直徑或最大長度達不到0.15mm(最好是在0.1mm以下)。
與其對應(yīng)，存在于螢屏部分的厚度方向的中央部分與外表面的周圍的內(nèi)部缺陷是通過由透鏡系統(tǒng)的焦點開始進行隔離成為透鏡效果的原因，因為在很大的范圍內(nèi)成模糊的狀態(tài)，所以有內(nèi)部缺陷的存在不能被確認(rèn)的傾向。但是，如果內(nèi)部缺陷過大的話，為了在圖像上能很容易地映射出該內(nèi)部缺陷，存在于螢屏部分的厚度方向的中央部分與外表面的周圍的內(nèi)部缺陷的大小最好是在0.5mm以下。
如果這樣構(gòu)成的話，超過由螢屏部分的內(nèi)表面開始5mm的范圍內(nèi)也存在有內(nèi)部缺陷，因在從內(nèi)表面開始5mm以內(nèi)的范圍連接中作為沒有內(nèi)部缺陷這一問題的制品被采用，不進行無益的廢棄處理，能對市場提供滿足必要的條件以及質(zhì)量的玻璃面板或者玻璃真空管。


圖1表示的是有關(guān)本發(fā)明實施例的陰極射線管用玻璃面板的立體圖。
圖2表示的是有關(guān)本發(fā)明實施例的陰極射線管用玻璃面板的檢測裝置的大致正面圖。
圖3(a)表示的是有關(guān)本發(fā)明實施例的陰極射線管用玻璃面板的檢測裝置的大致平面圖。
圖3(b)表示的是有關(guān)本發(fā)明實施例的陰極射線管用玻璃面板的檢測裝置的大致正面圖。
圖4表示的是有關(guān)本發(fā)明實施例通過檢測裝置的測定結(jié)果的信號波形。
圖5表示的是有關(guān)本發(fā)明實施例的陰極射線管用玻璃面板的放大截面正面圖。
圖6(a)表示的是有關(guān)本發(fā)明的其它實施例的陰極射線管用玻璃面板的檢測裝置的大致平面圖。
圖6(b)表示的是有關(guān)本發(fā)明的其它實施例的陰極射線管用玻璃面板的檢測裝置的大致正面圖。
圖7(a)表示的是為了說明現(xiàn)有問題點的陰極射線管用玻璃面板的放大截面正面圖。
圖7(b)表示的是為了說明現(xiàn)有問題點的陰極射線管用玻璃面板的放大截面正面圖。
圖7(c)表示的是為了說明現(xiàn)有問題點的陰極射線管用玻璃面板的放大截面正面圖。
符號說明1面板；2螢屏部分；2a外表面； 2b內(nèi)表面；3混合R部； 4邊緣部分4a對角部 4b邊部；5密封著的端面；
10超聲波探傷儀；11超聲波探傷子；12通路形成一部分； 12a超聲波通過用的開口部；12b非壓縮性流體流入用的開口部；13流體流下通路；14儲水槽；15供給通路；18擴音器； 19接口電路；21監(jiān)控器(顯示器)； 22定序器；25搬運傳送帶； 26檢測部件；27保持部分；S內(nèi)部缺陷； T蓄水池；P泵； F過濾器；具體實施方式
以下，基于本發(fā)明實施例的圖面進行說明。圖1表示的是有關(guān)本發(fā)明實施例的投影型陰極射線管用玻璃面板(以下簡單地說成面板)的立體圖。圖2表示的是該面板的檢測裝置的主要部分的簡略正面圖。圖3(a)表示的是該檢測裝置全體的大致平面圖。圖3(b)表示的是該檢測裝置全體的簡略正面圖。
如圖1所示的那樣，面板1是具備裝有表示圖像有效畫面的螢屏部分2；在該螢屏部分2的周邊通過混合R部3如圍繞該螢屏部分2那樣略成直角連接的邊緣部分4。還有，邊緣部分4有以四個對角部4a連接的各個邊部4b，在該各個邊部4b的前端的開口處，形成有在漏斗形物的接縫處呈密封著的端面5。
圖2例示的是在上述面板1中檢測出螢屏部分2的內(nèi)部缺陷S的檢測裝置。如同圖所示的那樣，面板1是如螢屏部分2的外表面2a成為上側(cè)那樣裝置，由該螢屏部分2的外表面2a開始在上方每隔3～4mm的位置上，配置有超聲波探傷儀10的超聲波探傷子11。該超聲波探傷子11呈圓柱體形狀，并且在其下端面設(shè)置有直徑3mm的超聲波振動部(兼受振部)。
該超聲波探傷子11是通過在下端的中央處具有超聲波通過用的開口部12a且在上端的中央處具有非壓縮性流體(以下稱為流體)流入用的開口部12b的通路形成一部分12進行覆蓋，通過上端的開口部12a的流體(純凈水)變成通過形成在超聲波探傷子11和通路形成一部分12之間、通過流體流通空間SP由下端的開口部12a流下。
上述通路形成部分12的上端的開口部12a和配置在其上方的蓄水池T的下端部，通過流體流下通路13進行連通，蓄水池T內(nèi)的純凈水是如通過流體流下通路13且自然落下那樣構(gòu)成的。因此，由通路形成部分12的下端的開口部12a自然落下的純凈水，通過這樣在該開口部12a和螢屏部分2的外表面2a之間生成純凈水的水柱。還有，在上述蓄水池T中，儲水槽14內(nèi)的純凈水如通過供給通路15輸送的那樣構(gòu)成，在該供給通路15中，配置為了能把純凈水壓送到蓄水池T為止的泵P，同時在該上流一側(cè)配置有過濾異物的過濾器F。
在上述超聲波探傷子11中，接續(xù)有為了擴大發(fā)射超聲波的信號以及/或者接收振動信號的擴音器18，同時在該擴音器18中，通過接口電路19接續(xù)有微型計算機(個人電腦)20。還有，在該微型計算機中，接續(xù)有通過超聲波探傷儀10表示面板1的檢測結(jié)果的監(jiān)控器21和在以該檢測結(jié)果判斷出有次品的場合自動廢棄該面板的定序器22。再有，超聲波探傷儀10的超聲波探傷子11是如后述那樣設(shè)置有多個，各超聲波探傷子11分別接續(xù)有擴音器18。
在該場合如圖3的(a)、(b)所示的那樣，面板1是如螢屏部分2的外表面2a面向上那樣裝載在搬運傳送帶25上，向箭頭A所指方向搬運。一方面，超聲波探傷儀10是以在和上述搬運方向垂直相交的方向上配置若干個(圖中所示為4個)的超聲波探傷子11作為一個檢測部件26，通過配置在搬運方向的若干個限定的場所(圖中所示為4個限定的場所)的該檢測部件26而構(gòu)成，并通過保持部分27被定置保存。還有，各檢測部件26是呈千鳥狀配置各個超聲波探傷子11，而且，各個超聲波探傷子11在搬運方向上沒有遺漏，換句話說，就是搬運面板1的螢屏部分2在全體范圍延伸且不遺漏通過各個超聲波探傷子11如接受到檢測那樣進行配置。
圖4表示的是通過超聲波在沿厚度方向上檢測面板1的螢屏部分2的場合，一例信號波形的曲線圖。即，由超聲波探傷子11產(chǎn)生振動并以純凈水的水柱作為媒介傳播的超聲波，是由螢屏部分2的外表面2a開始侵入到該內(nèi)部，并在該侵入部，通過這樣在與接近并配置有超聲波探傷子11之間來回傳播超聲波，產(chǎn)生在同圖上是以符號E表示的那樣大的噪聲。對此，到達螢屏部分2的內(nèi)表面2b一側(cè)進行反射的反射波，形成噪聲較少的鮮明的波形，由來自存在于內(nèi)表面2b周圍(由內(nèi)表面開始2～3mm以內(nèi)的范圍)的內(nèi)部缺陷的反射波，如以符號F表示的那樣明確顯現(xiàn)出來。在該場合，在同圖上表示的量度t1是表示由該內(nèi)部缺陷到螢屏部分2的內(nèi)表面2b為止的距離，量度t2表示的是該內(nèi)部缺陷的大小(直徑或最大長度)。再有，在同圖上表示的量度T是表示螢屏部分2的厚度。
在此，在組成上述構(gòu)成的檢測裝置中，使用超聲波波長是10MHz、最好是20MHz并且超聲波振動部的直徑(起始直徑)是10mm、最好是3mm的超聲波探傷子11，準(zhǔn)備10個由螢屏部分2的內(nèi)表面2b開始在0.6～5.5mm的范圍存在0.1～0.3mm的內(nèi)部缺陷的面板1，去進行該內(nèi)部缺陷的檢測。該結(jié)果關(guān)于全部的面板1，能去進行內(nèi)部缺陷的檢測。
然后，通過進行以上那樣的檢測的次品決定作廢棄處理，得到如圖5所示那樣的面板1。即，該面板1是由螢屏部分2的內(nèi)表面2b開始在5mm以內(nèi)的范圍(同圖中斜線所示的范圍)B上，例如不存在0.15mm以上的內(nèi)部缺陷，而且在其它的范圍C上，例如超過0.5mm左右的內(nèi)部缺陷也變得不存在了。
該場合根據(jù)圖2所示的檢測裝置，通過檢測的面積變大超聲波探傷子11的數(shù)量也變多，通過流下來的各柱狀流體的相互間隔變窄，各柱狀流體相互干涉，在柱狀流體的周圍卷入存在著的氣體(空氣)，導(dǎo)致氣泡的發(fā)生的可能性加大，存在以此為起因的受振信號的波形上產(chǎn)生生成噪音的問題。這樣的問題能通過采用浸漬在流體中的檢測物品的面板1和超聲波探傷子11的構(gòu)成(例如后面敘述的構(gòu)成)來有效地回避。
圖6的(a)、(b)表示的是關(guān)于本發(fā)明其它的實施例的檢測裝置。更在基于以下的圖6的(a)、(b)的說明中，對有關(guān)涉及和上述實施例中的檢測裝置共通的構(gòu)成要件，附與了相同的符號，省略了對其的說明。
該檢測裝置在水槽30之中儲存作為非壓縮性流體的純凈水的同時，向箭頭A方向驅(qū)動的搬運傳送帶25、裝載其上的面板1、在超聲波探傷子11的下端部的超聲波振動部(兼受振部)是以浸漬在純凈水中的狀態(tài)，如檢測出面板1的螢屏部分2的內(nèi)部缺陷那樣構(gòu)成的。根據(jù)該檢測裝置，在通過搬運傳送帶25搬運面板1并浸漬在純凈水中的時候，進行該螢屏部分2的內(nèi)部缺陷的檢測。
這樣，如果超聲波探傷子11的振動部和面板1的螢屏部分2是以浸漬在純凈水中的狀態(tài)去進行螢屏部分2的內(nèi)部缺陷的檢測而構(gòu)成的話，為了能配置若干個超聲波探傷子11，在螢屏部分2很寬的范圍上延伸的內(nèi)部缺陷的檢測成為可能，與此同時也就能檢測出大型面板1中適當(dāng)?shù)奈炂敛糠?的內(nèi)部缺陷。
還有，根據(jù)該檢測裝置，在通過搬運傳送帶25搬運面板1并浸漬在純凈水中的過程，有可能在面板1的周圍產(chǎn)生氣泡，以此為原因在受振信號的波形上有可能產(chǎn)生噪音，因此以不產(chǎn)生氣泡的程度適當(dāng)延緩搬運面板1的搬運速度(移動速度)是尤其必要的。
使用該檢測裝置，關(guān)于在下記的表1所示的No.1～No.3的面板中進行內(nèi)部缺陷的檢測，在顯示器的圖像上確認(rèn)畫像中是否照出內(nèi)部缺陷。該結(jié)果如下記表1所示。還有，在表1中No.1以及No.2的面板是表示了本發(fā)明的實施例，No.3的面板表示的是對比例。
表1

由上述的表1可以明白，具有本發(fā)明實施例的No.1以及No.2的面板，因由螢屏部分的內(nèi)表面開始存在于5mm以內(nèi)的范圍的缺陷的大小是小于0.1mm以下，或者在該范圍之外存在于外表面?zhèn)鹊娜毕莸拇笮∫彩切∮?.25mm以下，比較小，所以該內(nèi)部缺陷沒有在顯示器的圖像上映射出來。對此，據(jù)對比例的No.3的面板，因由螢屏部分的內(nèi)表面開始存在于5mm以內(nèi)的范圍的缺陷的大小是大于0.2mm以上，比較大，所以該缺陷能在顯示器的圖像上映射出來。還有，上述的表1中，關(guān)于不同形態(tài)的有無，在面板上照射光，并通過在螢屏部分的內(nèi)表面(形成有熒光膜的部分)上存在有焦點位置的投影用的透鏡系統(tǒng)在屏幕上進行放大投影的時候，不易確認(rèn)的黑色的不同形態(tài)用「○」來表示，能確認(rèn)的黑色的不同形態(tài)用「×」來表示。
權(quán)利要求
1.一種陰極射線管用玻璃面板的檢測方法，檢測作為一陰極射線管的構(gòu)成要素的玻璃面板，該陰極射線管用玻璃面板具備有大致成矩形的螢屏部分和大致垂直連接該螢屏部分周邊的邊緣部分，其特征在于使用超聲波檢測出上述螢屏部分的內(nèi)部缺陷的大小以及深度。
2.如權(quán)利要求1所述的陰極射線管用玻璃面板的檢測方法，其特征在于從上述螢屏部分的外表面以及內(nèi)表面的任意一方的表面?zhèn)认蛄硪粋?cè)的表面?zhèn)劝l(fā)射超聲波，并且通過接收從上述另一側(cè)的表面?zhèn)纫约皟?nèi)部缺陷反射回來的反射波，檢測出上述內(nèi)部缺陷的大小和該內(nèi)部缺陷距上述另一側(cè)的表面的距離。
3.如權(quán)利要求2所述的陰極射線管用玻璃面板的檢測方法，其特征在于從上述螢屏部分的外表面?zhèn)认騼?nèi)表面?zhèn)劝l(fā)射超聲波，并且通過接收從所述內(nèi)表面?zhèn)纫约皟?nèi)部缺陷反射回來的反射波，檢測出上述內(nèi)部缺陷的大小和該內(nèi)部缺陷距上述內(nèi)表面的距離。
4.如權(quán)利要求3所述的陰極射線管用玻璃面板的檢測方法，其特征在于在發(fā)射以及接收上述超聲波的時候，該超聲波的螢屏部分的外部的傳播是以非壓縮性流體為媒介進行的。
5.如權(quán)利要求4所述的陰極射線管用玻璃面板的檢測方法，其特征在于上述非壓縮性流體是覆蓋住發(fā)射以及接收上述超聲波的波程，并且是和螢屏部分的內(nèi)外表面相比，其流路面積更小的柱狀的流通流體。
6.如權(quán)利要求4所述的陰極射線管用玻璃面板的檢測方法，其特征在于進行發(fā)射以及接收上述超聲波的超聲波探傷儀以及玻璃面板是浸漬在上述非壓縮性流體中的。
7.如權(quán)利要求5所述的陰極射線管用玻璃面板的檢測方法，其特征在于進行發(fā)射以及接收上述超聲波的超聲波探傷儀，是對玻璃面板呈相對移動那樣構(gòu)成的。
8.如權(quán)利要求6所述的陰極射線管用玻璃面板的檢測方法，其特征在于進行發(fā)射以及接收上述超聲波的超聲波探傷儀是如對玻璃面板呈相對移動那樣構(gòu)成的。
9.如權(quán)利要求4所述的陰極射線管用玻璃面板的檢測方法，其特征在于上述玻璃面板是使用在投影型陰極射線管上的玻璃面板。
10.一種陰極射線管用玻璃面板的檢測裝置，檢測作為一陰極射線管的構(gòu)成要素的玻璃面板，該陰極射線管具備有大致成矩形的螢屏部分和大致垂直連接該螢屏部分周邊的邊緣部分，其特征在于包括了使用超聲波檢測出上述螢屏部分的內(nèi)部缺陷的大小以及深度的超聲波探傷儀。
11.如權(quán)利要求10所述的陰極射線管用玻璃面板的檢測裝置，其特征在于上述超聲波探傷儀的超聲波探傷子在發(fā)射以及接收超聲波時，使柱狀的非壓縮性流體從該超聲波探傷子往螢屏部分的外表面或內(nèi)表面流下那樣構(gòu)成。
12.如權(quán)利要求11所述的陰極射線管用玻璃面板的檢測裝置，其特征在于上述超聲波探傷儀的超聲波探傷子以及被檢測的玻璃面板是浸漬在非壓縮性流體中。
13.一種陰極射線管用玻璃面板，作為陰極射線管的構(gòu)成要素的所述玻璃面板具備有大致成矩形的螢屏部分和大致垂直連接該螢屏部分周邊的邊緣部分，其特征在于從上述螢屏部分的內(nèi)表面開始在5mm以內(nèi)的范圍內(nèi)，不存在直徑或最大長度是0.15mm以上的缺陷。
全文摘要
使用超聲波檢測出在面板(1)的熒屏部分(2)中內(nèi)部的缺陷(S)的大小以及深度。最好是由熒屏部分(2)的外表面(2a)側(cè)開始向內(nèi)表面(2b)側(cè)發(fā)射超聲波，并且通過在內(nèi)表面(2b)側(cè)接收反射回來的反射波，檢測出內(nèi)部缺陷(S)的大小和內(nèi)部缺陷(S)距上述內(nèi)表面(2a)的距離。而且在發(fā)射以及接收超聲波的時候，超聲波的熒屏部分(2)的外部的傳播是以非壓縮性流體作為媒介進行的。
文檔編號H01J29/86GK1647228SQ0380811
公開日2005年7月27日 申請日期2003年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月17日
發(fā)明者秋山茂彥, 桐畑義夫, 三國隆司, 洼坂衛(wèi) 申請人:日本電氣硝子株式會社